CN112420617A - 显示面板的制备方法及显示面板 - Google Patents
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Abstract
本揭示实施例提供了一种显示面板的制备方法及显示面板，显示面板包括衬底基板、驱动电路层、以及指纹识别模组，指纹识别模组通过电极层与驱动电路层电连接，指纹识别模组被配置成用以接收光迅号并产生光生载流子，驱动电路层内的电容结构被配置成用以存储光生载流子，当驱动电路层开启时，电容结构内存储的电荷输出，并实现指纹识别。本揭示实施例提供的显示面板的结构简单并且生产工艺少，生产成本低，同时指纹识别的准确度以及识别效率高。
Description
技术领域
本揭示涉及显示面板制造技术领域，尤其涉及一种显示面板的制备方法及显示面板。
背景技术
近年来，随着显示技术的不断发展，显示面板的功能也得到迅速发展，其中，屏下指纹识别技术被广泛应用于各种移动显示面板及显示终端内。
现有的屏下指纹识别技术中，主要包括电容式、光学式以及超声波式指纹识别技术。其中光学指纹识别技术为目前的主流识别技术之一，光学指纹识别技术通过光电传感器来获取指纹特征，然后再对显示设备进行控制。但是，在现有的搭载有(光学)屏下指纹识别技术的显示面板中，通常将主要的光电传感器识别模块置于显示面板下方的特定区域内，其利用透过面板内的子像素间的缝隙的光线以实现指纹信息的获取。但是，当光线在显示面板内传播时，在各膜层上的损耗较大，导致最终到达光电传感器识别模块上的光线量较小，使得识别效率降低甚至出现无法识别的问题。同时，由于只能在特定的区域内设置识别模块，因此，在进行识别时，必须将手指等识别物放置于特定的限定区域内，才能达到识别的目的，从而造成显示面板在进行指纹识别时存在一定的局限性。
综上所述，现有的指纹识别技术中，到达显示面板内的光电传感器识别模块的光线量较少，光线不能被完全接收，进而造成显示面板的指纹识别效率较低、指纹的识别准确性差，以及显示面板的指纹识别区域较小，通用性较低、用户体验较差等问题。
发明内容
本揭示实施例提供一种显示面板的制备方法及显示面板，以解决现有的显示面板的指纹识别技术中，指纹识别效率不高、指纹识别的准确性较低并提高显示面板的指纹识别范围。
本揭示实施例提供一种显示面板的制备方法及显示面板，以提高显示面板的指纹识别性能。
为解决上述技术问题，本揭示实施例提供的技术方案如下：
本揭示实施例的第一方面，提供了一种显示面板的制备方法，包括如下步骤：
S10：提供衬底基板；
S11：在所述衬底基板上制备驱动电路层，其中，所述驱动电路层包括至少两个薄膜晶体管，依次沉积并蚀刻形成图案化的所述薄膜晶体管的有源层、第一栅极层、第二栅极层以及层间介质层，并在所述薄膜晶体管对应位置上蚀刻并形成多个第一过孔结构；
S12：在所述驱动电路层上沉积并刻蚀形成图案化的第一电极层，并在所述第一电极层上制备第一平坦化层，在所述第一平坦化层上蚀刻形成多个第二过孔结构，并在所述第一平坦化层上沉积并蚀刻形成第二电极层；
S13：在所述第二电极层上制备第一钝化层，在所述第一钝化层一侧蚀刻形成第一开口，并在所述第一开口对应区域内制备指纹识别模组；
S14：在所述第一钝化层上制备第二钝化层，并在所述第一钝化层和第二钝化层上蚀刻形成第三过孔结构，在所述第二钝化层和所述指纹识别模组上沉积氧化铟锡膜层；
S15：在所述第二钝化层上沉积第二平坦化层，在所述第二平坦化层上沉积像素定义层，并在所述像素定义层的一侧蚀刻形成第二开口，在所述第二开口区域内蚀刻并形成第四过孔结构。
根据本揭示一实施例，所述步骤S11中，所述薄膜晶体管包括第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管，将所述第一薄膜晶体管的第二栅极层设置在所述第一薄膜晶体管的第一栅极层的一侧，将所述第二薄膜晶体管的第二栅极层设置在所述第二薄膜晶体管的第一栅极层的正上方对应位置处。
根据本揭示一实施例，所述第一薄膜晶体管的第二栅极层设置在所述第一薄膜晶体管和所述第二薄膜晶体管之间区域内。
根据本揭示一实施例，所述第一电极层包括所述薄膜晶体管的源极和漏极，所述源极和漏极通过所述第一过孔与所述有源层电连接。
根据本揭示一实施例，所述步骤S13中，所述指纹识别模组包括第一膜层、第二膜层和第三膜层；
在所述第一开口对应的所述第二电极层上沉积所述第一膜层，并使所述第一膜层的两侧延伸至所述第一开口区域外；
在所述第一膜层上沉积所述第二膜层，并在所述第二膜层上沉积所述第三膜层。
根据本揭示一实施例，所述第二钝化层的高度小于所述指纹识别模组的高度。
根据本揭示一实施例，还包括步骤：
在所述第二开口内沉积第三电极层；
在所述第三电极层上沉积发光层；
在所述发光层上沉积封装层。
根据本揭示实施例的第二方面，还提供了一种显示面板，所述显示面板包括：
衬底基板；
驱动电路层，所述驱动电路层设置在所述衬底基板上，所述驱动电路层包括至少两个薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括有源层、第一栅极层、第二栅极层、第一过孔以及层间介质层；
第一电极层，所述第一电极层设置在所述驱动电路层上，所述第一电极层通过所述第一过孔与所述有源层电连接；
第一平坦化层，所述第一平坦化层设置在所述第一电极层上，所述第一平坦化层上还设置有多个第二过孔；
第二电极层，所述第二电极层设置在所述第一平坦化层上，且所述第二电极通过所述第二过孔与所述第一电极层电连接；以及
钝化层，所述钝化层设置在所述第二电极层上；
其中，所述钝化层的一侧设置有第一开口，所述第一开口对应设置在所述第二电极层上，且所述第一开口内设置有指纹识别模组，所述指纹识别模组通过所述第二电极层与所述驱动电路层电连接；所述第二栅极层与所述第一电极层形成一电容结构；
所述指纹识别模组被配置成用以接收光迅号并产生光生载流子，所述电容结构被配置成用以存储所述光生载流子，所述驱动电路层开启时，所述驱动电路层将所述电容结构内存储的电荷输出，并实现指纹识别。
根据本揭示一实施例，所述指纹识别模组包括PIN光电二极管。
根据本揭示一实施例，所述显示面板还包括氧化铟锡膜层和第三过孔，所述氧化铟锡膜层设置在所述指纹识别模组上，所述氧化铟锡膜层通过所述第三过孔与所述第二电极电连接。
综上所述，本揭示实施例的有益效果为：
本揭示实施例提供一种显示面板的制备方法及显示面板，通过制备驱动电路层内的薄膜晶体管，以及蚀刻形成多层电极层结构，并在对应的电极层上设置指纹识别模组，当外界的光线反射回指纹识别模组上后，被指纹识别模组接收并产生光生载流子，产生的光生载流子继而再被显示面板内由电极和栅极构成的电容结构存储，当驱动电路的电路开启时，存储在电容内的电荷进而再被输出至外围电路内，从而实现触控解锁或者指纹识别的功能。本揭示实施例中的显示面板的结构简单，识别效果好且显示面板的制备方法工艺流程简单，生产成本低。
附图说明
下面结合附图，通过对本揭示的具体实施方式详细描述，将使本揭示的技术方案及其它有益效果显而易见。
图1A为本揭示实施例提供的显示面板的膜层结构示意图；
图1B为本揭示实施例提供的指纹识别面板的等效电路图；
图2为本揭示实施例提供的显示面板的制备方法工艺流程示意图；
图3-图7为本揭示实施例提供的显示面板的制备工艺流程对应的膜层结构示意图；
图8为本揭示实施例提供的显示面板的两种不同的像素排布方式示意图。
具体实施方式
下面将结合本揭示实施例中的附图，对本揭示实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本揭示一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本揭示中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本揭示保护的范围。
在本揭示的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本揭示和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本揭示的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本揭示的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
本揭示实施例提供的显示面板为屏下指纹识别面板，该指纹识别面板的膜层结构简单，且制备工艺流程简单，同时所述屏下指纹识别面板还能有效地对指纹等触摸信息进行识别，且识别精度高，识别性能好。
具体的，如图1A所示，图1A为本揭示实施例提供的显示面板的膜层结构示意图。本揭示实施例中的显示面板包括衬底基板100以及驱动电路层10。其中，驱动电路层10设置在衬底基板100上，衬底基板100可包括多层膜层，优选的，衬底基板100可包含有柔性衬底聚酰亚胺膜层和缓冲层，缓冲层可设置在柔性衬底聚酰亚胺膜层上。
优选的，本揭示实施例中，为了实现显示面板的电路驱动功能，所述驱动电路层10内包括有至少两个薄膜晶体管，本揭示实施例中，以第一薄膜晶体管11和第二薄膜晶体管12为例进行说明。其中，第一薄膜晶体管11和第二薄膜晶体管12可阵列间隔设置。
具体的，驱动电路层还包括薄膜晶体管的有源层123、第一栅极绝缘层101、第一栅极层124、第二栅极绝缘层102、第二栅极层125、无机绝缘层103以及薄膜晶体管的源极121和漏极122。
在设置各膜层时，有源层123设置在衬底基板100上，第一栅极绝缘层101设置在有源层123上且覆盖有源层123，第一栅极层124设置在第一绝缘层101上，同时，第二栅极绝缘层102设置在第一栅极层124上，第二栅极层125设置在第二栅极绝缘层102上，无机绝缘层103设置在第二栅极绝缘层102上。
在本揭示实施例中，在设置驱动电路层10内的多个薄膜晶体管器件时，至少两个薄膜晶体管的第二栅极层125设置在第一栅极层124的一侧，如图1A中所示，第一薄膜晶体管11的第二栅极层125设置在第一薄膜晶体管11和第二薄膜晶体管12之间的位置处，以便与其他膜层形成电容结构。
进一步的，显示面板还包括多个第一过孔30以及图案化的第一电极层104。第一电极层104设置在无机绝缘层103上，其中，第一电极层104包括薄膜晶体管的源极121和漏极122，源极121和漏极122通过对应的第一过孔30与薄膜晶体管的有源层123电连接。
优选的，在本揭示实施例中，设置在第二栅极层125对应区域上方的第一电极层1041与所述第二栅极层125构成第一电容13结构。即第一电极层1041、无机绝缘层103以及第二栅极层125形成第一电容13，以对电荷进行存储。
同时，本揭示实施例的显示面板还包括第一平坦化层105、第二电极层106以及第一钝化层107。
第一平坦化层105设置在第一电极层104上，且覆盖第一电极层104。图案化的第二电极层106设置在第一平坦化层105上，同时，第一钝化层107设置在第二电极层106上并覆盖第二电极层106。
其中，在与第一电极层104对应的第一平坦化层105位置处设置第二过孔31，使得第二电极层106通过对应的第二过孔31与第一电极层104电连接。
同时，在第一平坦化层105的一侧还设置有第一开口41。在第一开口41区域处设置有指纹识别模组20。
具体的，指纹识别模组20包括依次设置的第一膜层201、第二膜层202和第三膜层203。其中，在设置第一膜层201时，第一膜层201与第一开口41内对应的第二电极层106连接，且第一膜层201的边缘膜层延伸至第一开口41区域外侧，即边缘处的膜层部分设置在第一钝化层107上。
指纹识别模组20通过第二电极层106与驱动电路层10内的第一电极层104电连接，并且，所述指纹识别模组20可接收外界反射回显示面板内的光线，并在指纹识别模组20内产生光生载流子，同时被模组分离形成光生电子-空穴对，并被第一电容13存储。
本揭示实施例中，指纹识别模组可包括PIN光电二极管，或其他可接收光讯号并对光讯号进行处理产生光生载流子的器件。
进一步的，显示面板还包括氧化铟锡膜层111以及设置在氧化铟锡膜层111上的第二钝化层108。第二钝化层108覆盖氧化铟锡膜层111，由于氧化铟锡膜层111可透光，因此，光线可最大程度的到达指纹识别模组20上，以有效地保证显示面板的指纹识别效果。
以及第三过孔32结构，第三过孔32贯穿第一钝化层107和第二钝化层108，使对应的第二电极层106露出，氧化铟锡膜层111通过第三过孔32与第二电极层106电连接。
其中，在制备第二钝化层108时，使第二钝化层108的高度小于指纹识别模组20的高度，即可使第三膜层203的高度超出第二钝化层108的表面高度。
进一步的，本揭示实施例的显示面板还包括第二平坦化层109、第三电极层112以及像素定义层110。
其中，第二平坦化层109设置在氧化铟锡膜层111上，第三电极层112设置在第二平坦化层109上，像素定义层110设置在第二平坦化层109上。
在显示面板的像素定义层110的一侧还设置有第二开口42，第二开口42设置在第三电极层112对应区域内。同时，在显示面板的另一侧还设置有第四过孔33，第四过孔33贯穿第一钝化层107、第二钝化层108、以及第二平坦化层109，并使对应的第二电极层106暴露出。第三电极层112通过第四过孔33与第二电极层106连接，同时对应的第二电极106再通过第二过孔31与第一电极层104电连接，从而实现第三电极层112与驱动电路层10内的薄膜晶体管的漏极122电连接，以驱动显示面板发光层的发光。
发光层发出的光线被触控手指反射回面板内，光线依次穿透各膜层并达到指纹识别模组20上，指纹识别模组20接收光线并产生光生载流子，同时被模组内的膜层分离并产生光生电子-空穴对，这些产生的电荷进而被存储在第一电容13内，继而，当驱动电路内的驱动薄膜晶体管开启时，第一电容13内的电荷被输出至外围电路以及处理芯片上，再被转化为特定的电信号，最终实现将触控识别等操作。
如图1B所示，图1B为本揭示实施例提供的指纹识别面板的等效电路图；结合图1中显示面板的膜层结构示意图。其中，等效电路中主要包括指纹识别模块，具体的，指纹识别模块包括光电二极管D、储存电容C以及驱动薄膜晶体管T。光电二极管D的正极与存储电容C的第一电极以及驱动薄膜晶体管T的漏极电连接，负极与储存电容C的第二电极电连接。
光电二极管D可为PIN二极管，PIN二极管由P型半导体、N型半导体以及在P型半导体和N型半导体之间的本征半导体构成，该光电二极管D用于将接受到的光信号转换成电流信号。
在本揭示实施例提供的显示面板结构中，在转换过程中，整个指纹识别阶段一般包括光电二极管D接收外界反射的光线，同时采集所接收到的光线讯号，并将光线讯号准换成光生电子-空穴对，进而再将电荷存储在储存电容C内。当驱动芯片通过开关控制线控制等效电路中的薄膜晶体管T导通时，存储电容C内的电荷在经过外围电路和外围处理芯片转化为特定的电信号，最终实现指纹信号的识别。
进一步的，本揭示实施例还提供一种显示面板的制备方法，如图2所示，图2为本揭示实施例提供的显示面板的制备方法工艺流程示意图，以及图3-图7所示，图3-图7为本揭示实施例提供的显示面板的制备工艺流程对应的膜层结构示意图。
具体的，包括如下步骤：
S10：提供衬底基板；
S11：在所述衬底基板上制备驱动电路层，其中，所述驱动电路层包括至少两个薄膜晶体管，依次沉积并蚀刻形成图案化的所述薄膜晶体管的有源层、第一栅极层、第二栅极层以及层间介质层，并在所述薄膜晶体管对应位置上蚀刻并形成多个第一过孔结构；
如图3所示，首先提供一衬底基板100，并在衬底基板100上制备驱动电路层10。具体的，驱动电路层10包括至少两个薄膜晶体管，如第一薄膜晶体管11和第二薄膜晶体管12.
同时，利用低温多晶硅技术和蚀刻工艺形成图案化的薄膜晶体管的有源层123以及其沟道区域，并采用化学气相工艺沉积第一栅极绝缘层101、继而在第一栅极绝缘层101上沉积并蚀刻形成图案化的第一栅极层124，再利用化学气相沉积工艺沉积第二栅极绝缘层102，并形成图案化的第二栅极层125，同时，在第二栅极层125上沉积无机绝缘层103，蚀刻并形成薄膜晶体管的源极121和漏极122对应的第一过孔30结构。
从而使得第一栅极层21、第二栅极绝缘层13和第二栅极层22之间形成存储电容C1结构，以对电荷进行存储。
S12：在所述驱动电路层上沉积并刻蚀形成图案化的第一电极层，并在所述第一电极层上制备第一平坦化层，在所述第一平坦化层上蚀刻形成多个第二过孔结构，并在所述第一平坦化层上沉积并蚀刻形成第二电极层；
如图4所示，驱动电路层10内各膜层制备完成后，继续沉积并蚀刻形成图案化的第一电极层104，并在第一电极层104上制备形成第一平坦化层105以及平坦化层105上的图案化的第二电极层106，同时，第二电极层106还通过第二过孔31与对应的薄膜晶体管的漏极电连接。
本揭示实施例中，第一电极层104包括薄膜晶体管的源极和漏极，源极和漏极通过其对应的第一过孔结构与薄膜晶体管的有源层电连接。同时，第一电极层104还与第一薄膜晶体管11的第二栅极层125形成第一电容13结构。
S13：在所述第二电极层上制备第一钝化层，在所述第一钝化层一侧蚀刻形成第一开口，并在所述第一开口对应区域内制备指纹识别模组；
如图5所示，在第二电极层106上沉积第一钝化层107，同时，在第一钝化层107的一侧蚀刻形成第一开口41，并在第一开口41内设置指纹识别模组20，具体的，在制备指纹识别模组20时，在第一开口41对应区域内的第二电极层106上沉积第一膜层201，在第一膜层201上沉积第二膜层202，最后在第二膜层202上沉积第三膜层203。在沉积第一膜层201时，使第一膜层201的两侧延伸至所述第一开口41区域外，以便使第一开口41内填充满指纹识别模组20，提高指纹识别的效率。
本揭示实施例中，指纹识别模组20可为PIN光电二极管，具体的，第一膜层201、第二膜层202以及第三膜层203可依次为n+:a-Si膜层、a-Si膜层以及p+:a-Si。
S14：在所述第一钝化层上制备第二钝化层，并在所述第一钝化层和第二钝化层上蚀刻形成第三过孔结构，在所述第二钝化层和所述指纹识别模组上沉积氧化铟锡膜层；
如图6所示，在第一钝化层107上沉积第二钝化层108，在沉积第二钝化层108时，其膜层高度小于指纹识别模组的高度。同时，蚀刻形成多个第三过孔32结构，并在指纹识别模组上沉积氧化铟锡膜层111，并蚀刻形成图案化的氧化铟锡膜层111，氧化铟锡膜层111通过第三过孔32与对应的第二电极电连接。
S15：在所述第二钝化层上沉积第二平坦化层，在所述第二平坦化层上沉积像素定义层，并在所述像素定义层的一侧蚀刻形成第二开口，在所述第二开口区域内蚀刻并形成第四过孔33结构。
如图7所示，继续在氧化铟锡膜层上沉积第二平坦化层109，然后在第二平坦化层109上沉积并蚀刻形成图案化的第三电极层112，其中，第三电极层112可为阳极走线层，第三电极层112通过第四过孔33与第二电极层电连接。进而实现驱动电路层的驱动功能，同时，在第二平坦化层109上沉积像素定义层110，并利用半色调掩膜板光罩技术蚀刻并形成图案化的支撑柱结构，最终形成如图7中所述的显示面板结构。
进一步的，本揭示实施例中提供的显示面板还可包括发光层，发光层可设置在第三电极层112上，并在发光层上设置封装层，形成完整的显示面板。
本揭示实施例中，显示面板的结构简单，并且在制备显示面板时，只需要14道光罩制程即可完成所有膜层的制备，制备工艺流程少，生产成本低。
进一步的，如图8所示，图8为本揭示实施例提供的显示面板的两种不同的像素排布方式示意图。每个像素单元80内包括有红色子像素82、蓝色子像素83和绿色子像素84，以及指纹识别单元81，在布局空间足够的情况下，指纹识别单元81可与绿色子像素84共用同一发光器件。对于图8中的a图和b图，b图内的指纹识别单元81比a图内的指纹识别单元的像素密度更小，以此能够尽可能的降低指纹识别单元81对整个设计空间的占比，从而本揭示实施例中的显示面板可有效的提高显示的分辨率。以此类推，本揭示实施例中的指纹识别单元81在能够满足指纹识别的精度需求的前提下不限于上述两种排布密度和排布的方式。
以上对本揭示实施例所提供的一种显示面板的制备方法及显示面板进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本揭示的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本揭示的技术方案及其核心思想；本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本揭示各实施例的技术方案的范围。
Claims (10)
1.一种显示面板的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
S10：提供衬底基板；
S11：在所述衬底基板上制备驱动电路层，其中，所述驱动电路层包括至少两个薄膜晶体管，依次沉积并蚀刻形成图案化的所述薄膜晶体管的有源层、第一栅极层、第二栅极层以及层间介质层，并在所述薄膜晶体管对应位置上蚀刻并形成多个第一过孔结构；
S12：在所述驱动电路层上沉积并刻蚀形成图案化的第一电极层，并在所述第一电极层上制备第一平坦化层，在所述第一平坦化层上蚀刻形成多个第二过孔结构，并在所述第一平坦化层上沉积并蚀刻形成第二电极层；
S13：在所述第二电极层上制备第一钝化层，在所述第一钝化层一侧蚀刻形成第一开口，并在所述第一开口对应区域内制备指纹识别模组；
S14：在所述第一钝化层上制备第二钝化层，并在所述第一钝化层和第二钝化层上蚀刻形成第三过孔结构，在所述第二钝化层和所述指纹识别模组上沉积氧化铟锡膜层；
S15：在所述第二钝化层上沉积第二平坦化层，在所述第二平坦化层上沉积像素定义层，并在所述像素定义层的一侧蚀刻形成第二开口，在所述第二开口区域内蚀刻并形成第四过孔结构。
2.根据权利要求1所述的显示面板的制备方法，其特征在于，所述步骤S11中，所述薄膜晶体管包括第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管，将所述第一薄膜晶体管的第二栅极层设置在所述第一薄膜晶体管的第一栅极层的一侧，将所述第二薄膜晶体管的第二栅极层设置在所述第二薄膜晶体管的第一栅极层的正上方对应位置处。
3.根据权利要求2所述的显示面板的制备方法，其特征在于，所述第一薄膜晶体管的第二栅极层设置在所述第一薄膜晶体管和所述第二薄膜晶体管之间区域内。
4.根据权利要求1所述的显示面板的制备方法，其特征在于，所述第一电极层包括所述薄膜晶体管的源极和漏极，所述源极和漏极通过所述第一过孔与所述有源层电连接。
5.根据权利要求1所述的显示面板的制备方法，其特征在于，所述步骤S13中，所述指纹识别模组包括第一膜层、第二膜层和第三膜层；
在所述第一开口对应的所述第二电极层上沉积所述第一膜层，并使所述第一膜层的两侧延伸至所述第一开口区域外；
在所述第一膜层上沉积所述第二膜层，并在所述第二膜层上沉积所述第三膜层。
6.根据权利要求5所述的显示面板的制备方法，其特征在于，所述第二钝化层的高度小于所述指纹识别模组的高度。
7.根据权利要求1所述的显示面板的制备方法，其特征在于，还包括步骤：
在所述第二开口内沉积第三电极层；
在所述第三电极层上沉积发光层；
在所述发光层上沉积封装层。
8.一种显示面板，其特征在于，所述显示面板包括：
衬底基板；
驱动电路层，所述驱动电路层设置在所述衬底基板上，所述驱动电路层包括至少两个薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括有源层、第一栅极层、第二栅极层、第一过孔以及层间介质层；
第一电极层，所述第一电极层设置在所述驱动电路层上，所述第一电极层通过所述第一过孔与所述有源层电连接；
第一平坦化层，所述第一平坦化层设置在所述第一电极层上，所述第一平坦化层上还设置有多个第二过孔；
第二电极层，所述第二电极层设置在所述第一平坦化层上，且所述第二电极通过所述第二过孔与所述第一电极层电连接；以及
钝化层，所述钝化层设置在所述第二电极层上；
其中，所述钝化层的一侧设置有第一开口，所述第一开口对应设置在所述第二电极层上，且所述第一开口内设置有指纹识别模组，所述指纹识别模组通过所述第二电极层与所述驱动电路层电连接；所述第二栅极层与所述第一电极层形成一电容结构；
所述指纹识别模组被配置成用以接收光迅号并产生光生载流子，所述电容结构被配置成用以存储所述光生载流子，所述驱动电路层开启时，所述驱动电路层将所述电容结构内存储的电荷输出，并实现指纹识别。
9.根据权利要求8所述的显示面板，其特征在于，所述指纹识别模组包括PIN光电二极管。
10.根据权利要求8所述的显示面板，其特征在于，所述显示面板还包括氧化铟锡膜层和第三过孔，所述氧化铟锡膜层设置在所述指纹识别模组上，所述氧化铟锡膜层通过所述第三过孔与所述第二电极电连接。
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