CN112368071A - 流体处理装置及流体处理系统 - Google Patents

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Abstract

流体处理装置具有：第一旋转部件，具有用于按压阀的隔膜而使阀关闭的第一凸部，能够以旋转轴为中心旋转；第二旋转部件，以包围第一旋转部件的方式配置，具有用于按压阀的隔膜而使阀关闭的第二凸部，能够以旋转轴为中心而独立于第一旋转部件地旋转；以及多个滚动体，配置于第一旋转部件与第二旋转部件之间，与第一旋转部件和第二旋转部件接触。

Description

流体处理装置及流体处理系统
技术领域
本发明涉及流体处理装置及流体处理系统。
背景技术
近年来，为了高精度且高速地进行蛋白质、核酸等微量的物质的分析而使用了流路片。流路片具有分析所需要的试剂及试样的量可为较少的量的优点，可期待其在临床检查、食物检查、或环境检查等各种各样的用途中的使用。例如，在专利文献1中，公开了微阀单元，该微阀单元具有：具有多个微阀的流路片；以及用于对多个微阀的开闭进行控制的加压部。在流路片中，多个微阀配置于同一圆周上。另外，加压部具有俯视形状为圆弧状的抵接面。通过使加压部旋转，从而使加压部的抵接面移动。由此，微阀的隔膜被加压部按压，或不被按压。微阀在被加压部按压时关闭，在不被加压部按压时打开。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2007-085537号公报
发明内容
发明要解决的问题
如上所述，在专利文献1所记载的装置(微阀单元)中，通过使具有俯视形状为圆弧状的凸部(端面)的旋转部件(加压部)旋转，来对多个阀(微阀)的开闭进行控制。在这样的装置中，在流路片具有多个阀的情况下，有时不能按照期望的顺序使阀开闭。关于这个问题，参照图1A～图2B进行说明。
图1A是用于对现有技术的问题进行说明的流路片的俯视图。图1B是与图1A所示的流路片组合使用的旋转部件的仰视图。如图1A所示，流路片具有第一导入口10、第一导入流路11、第一阀12、第二导入口20、第二导入流路21、第二阀22、第三导入口30、第三导入流路31、第三阀32、共同流路40及取出口41。第一导入流路11的上游端与第一导入口10连接，第一导入流路11的下游端与共同流路40的上游端连接。第二导入流路21的上游端与第二导入口20连接，第二导入流路21的下游端与共同流路40的上游端连接。第三导入流路31的上游端与第三导入口30连接，第三导入流路31的下游端与共同流路40的上游端连接。第一导入流路11、第二导入流路21及第三导入流路31中分别设置有第一阀12、第二阀22及第三阀32。共同流路40的下游端与取出口41连接。
另外，如图1B所示，旋转部件具有：凸部50，其俯视形状为圆弧状，用于按压第一阀12、第二阀22及第三阀32；以及凹部51，其与凸部50配置于同一圆周上。在图1B中，对凸部50的底面(与流路片接触的面)添加了阴影线。第一阀12、第二阀22及第三阀32在被凸部50按压时关闭，在不被凸部50按压时打开。
例如，如图2A所示，旋转旋转部件，以使凹部51位于第一阀12上，且凸部50位于第二阀22和第三阀32上。在该情况下，第一阀12打开，第一导入口10内的流体能够在第一导入流路11和共同流路40中通过而流动到取出口41。另一方面，由于第二阀22和第三阀32关闭，因此，第二导入口20内的液体和第三导入口30内的流体不能向取出口41流动。
之后，在想要使第三导入口30内的流体向取出口41流动的情况下，旋转旋转部件，以使凹部51位于第三阀32上，且凸部50位于第一阀12和第二阀22上。但是，如图2B所示，在使旋转部件旋转的期间，暂时性地，凹部51位于第二阀22上，凸部50位于第一阀12和第三阀32上。因此，有可能虽然并不想使第二导入口20内的流体流动，然而第二导入口20内的流体却向取出口41流动。
如上所述，在现有的装置中，在流路片具有多个阀的情况下，若仅通过一个旋转部件进行控制，则难以使阀按期望的顺序开闭。因此，期望一种配置有多个旋转部件的流体处理装置，且该旋转部件具有俯视形状为圆弧状的凸部。
本发明人对具有多个旋转部件的流体处理装置进行了研究，得知：由于多个旋转部件以旋转轴为中心配置成同心圆状，因此在旋转时，在配置于内侧的旋转部件(第一旋转部件)与配置于外侧的旋转部件(第二旋转部件)之间产生摩擦，导致旋转性较差，由此，阀难以在所希望的位置被按压。
于是，为了减轻两个旋转部件之间的摩擦，本发明人在形成于一个旋转部件的凹部中安装了市面上的滚珠轴承，得知，虽然能够减轻旋转部件间的摩擦，但两个旋转部件之间的间隔会产生偏差。例如，在想要使内侧的第一旋转部件的第一凸部和外侧的第二旋转部件的第二凸部这两者均与一个阀接触的情况下，优选第一凸部与第二凸部之间的间隔窄。但是，若如上述那样安装滚珠轴承而使得两个旋转部件之间的间隔产生偏差，则有可能无法使第一凸部和第二凸部这两者均适当地与一个阀接触，进而无法适当地控制阀的开闭。
本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供即使具有多个旋转部件，也能够精度良好地控制阀的开闭的流体处理装置及流体处理系统。
解决问题的方案
本发明的流体处理装置用于对具有第一流路、第二流路以及配置于所述第一流路与所述第二流路之间的阀的流路片内的流体进行控制，该流体处理装置具有：第一旋转部件，具有用于按压所述阀的隔膜而使所述阀关闭的第一凸部，能够以旋转轴为中心旋转；第二旋转部件，以包围所述第一旋转部件的方式配置，具有用于按压所述阀的隔膜而使所述阀关闭的第二凸部，能够以所述旋转轴为中心而独立于所述第一旋转部件地旋转；以及多个滚动体，配置于所述第一旋转部件与所述第二旋转部件之间，与所述第一旋转部件和所述第二旋转部件接触。
本发明的流体处理系统具有：流路片，该流路片具有第一流路、第二流路以及配置于所述第一流路与所述第二流路之间的阀；以及本发明的流体处理装置。
发明效果
根据本发明，能够提供即使具有多个旋转部件，也能够精度良好地控制阀的开闭的流体处理装置及流体处理系统。
附图说明
图1A是用于对以往技术的问题进行说明的流路片的俯视图。图1B是与图1A所示的流路片组合使用的旋转部件的仰视图。
图2A和图2B是表示图1A所示的流路片和图1B所示的旋转部件的使用例的示意图。
图3是表示实施方式的流体处理装置和流路片的结构的剖面图。
图4是表示实施方式的流路片的结构的俯视图。
图5是实施方式的旋转部件的俯视图。
图6是用于对实施方式的流体处理装置的动作进行说明的示意图。
图7是用于对实施方式的流体处理装置的动作进行说明的示意图。
图8是用于对实施方式的流体处理装置的动作进行说明的示意图。
图9A和图9B是表示实施方式的流体处理装置的其他结构的剖面图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式详细地进行说明。
[实施方式]
(流体处理装置和流路片的结构)
图3是表示实施方式的流体处理系统(流体处理装置100和流路片200)的结构的剖面图(图4的A-A线的剖面图)。如图3所示，流体处理装置100具有第一旋转部件110和以包围第一旋转部件110的方式配置的第二旋转部件120。第一旋转部件110和第二旋转部件120在未图示的外部的驱动机构的驱动下以中心轴CA为中心旋转。在第一旋转部件110和第二旋转部件120上形成有用于收纳多个滚动体130的凹部140，多个滚动体130以与第一旋转部件110和第二旋转部件120接触的方式配置。流路片200具有基板210和薄膜220，以使薄膜220与第一旋转部件110和第二旋转部件120接触的方式设置于流体处理装置100。此外，在图3中，为了使流体处理装置100和流路片200的结构易于理解，以将两者间隔开的方式进行图示。
图4是表示实施方式的流路片200的结构的俯视图。流路片200具有基板210和薄膜220，以使薄膜220与第一旋转部件110的第一凸部111和第二旋转部件120的第二凸部121接触的方式设置于流体处理装置100。在图4中，用虚线表示形成于基板210的薄膜220侧的面的槽(流路)和形成于薄膜220的隔膜。
如上所述，流路片200具有基板210和薄膜220(参照图4)。在基板210上形成有作为流路的槽以及作为导入口或取出口的通孔。薄膜220以封闭形成于基板210的凹部和通孔的开口部的方式与基板210的一个面接合。薄膜220的一部分区域作为隔膜发挥功能。由薄膜220封闭的基板210的槽作为供试剂、液体试料、气体、粉体等的流体流动的流路。
不特别地限定基板210的厚度。例如，基板210的厚度为1mm以上且10mm以下。另外，也不特别地限定基板210的材料。例如，对于基板210的材料，可以从公知的树脂和玻璃中适当选择。基板210的材料的例子包括：聚对苯二甲酸乙二酯、聚碳酸酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚氯乙烯、聚丙烯、聚乙醚、聚乙烯、聚苯乙烯、硅树脂及弹性体。
薄膜220的厚度只要是能够作为隔膜发挥功能的厚度即可，不特别地进行限定。例如，薄膜220的厚度为30μm以上且300μm以下。另外，薄膜220的材料只要是能够作为隔膜发挥功能的材料即可，也不特别地进行限定。例如，可以从公知的树脂中适当选择薄膜220的材料。薄膜220的材料的例子包括：聚对苯二甲酸乙二酯、聚碳酸酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚氯乙烯、聚丙烯、聚乙醚、聚乙烯、聚苯乙烯、硅树脂及弹性体。例如通过热熔敷或激光熔敷、粘接剂等使薄膜220与基板210接合。
如图4所示，本实施方式的流路片200具有第一导入口230、第一导入流路231、第一阀232、第二导入口240、第二导入流路241、第二阀242、第三导入口250、第三导入流路251、第三阀252、共同流路260及取出口270。第一导入流路231、第二导入流路241及第三导入流路251相当于权利要求书中的第一流路，共同流路260相当于权利要求书中的第二流路。
第一导入口230、第二导入口240及第三导入口250是用于导入流体的有底的凹部。在本实施方式中，第一导入口230、第二导入口240及第三导入口250分别由形成于基板210的通孔和将该通孔的一个开口部封闭的薄膜220构成。对于这些导入口的形状及大小，不特别地进行限定，可以根据需要适当设定。这些导入口的形状例如是大致圆柱形状。这些导入口的宽度例如是2mm左右。对于这些导入口所收纳的流体的种类，可以根据流路片200的用途适当选择。该流体是试剂、液体试料、粉体等的流体。
第一导入流路231、第二导入流路241及第三导入流路251是可供流体在其内部移动的流路。第一导入流路231、第二导入流路241及第三导入流路251的上游端分别与第一导入口230、第二导入口240及第三导入口250连接。第一导入流路231、第二导入流路241及第三导入流路251的下游端分别在不同的位置与共同流路260连接。在本实施方式中，第一导入流路231、第二导入流路241及第三导入流路251分别由形成于基板210的槽和将该槽的开口部封闭的薄膜220构成。不特别地限定这些流路的剖面面积和剖面形状。在本说明书中，“流路的剖面”是指与流体流动的方向正交的流路的剖面。这些流路的剖面形状例如是一边的长度(宽度及深度)为数十μm左右的大致矩形形状。这些流路的剖面面积可以是在流体的流动方向上固定的，也可以是不固定的。在本实施方式中，这些流路的剖面面积是固定的。
第一阀232、第二阀242及第三阀252分别是对第一导入流路231、第二导入流路241及第三导入流路251内的流体的流动进行控制的隔膜阀。第一阀232配置于第一导入流路231内或第一导入流路231与共同流路260的合流部。第二阀242配置于第二导入流路241内或第二导入流路241与共同流路260的合流部。第三阀252配置于第三导入流路251内或第三导入流路251与共同流路260的合流部。在本实施方式中，第一阀232配置于第一导入流路231与共同流路260的合流部，第二阀242配置于第二导入流路241与共同流路260的合流部，第三阀252配置于第三导入流路251与共同流路260的合流部。另外，第一阀232、第二阀242及第三阀252配置于以中心轴CA为中心的圆的圆周上。
第一阀232具有第一隔壁233和第一隔膜234。同样地，第二阀242具有第二隔壁243和第二隔膜244，第三阀252具有第三隔壁253和第三隔膜254。在本实施方式中，第一隔壁233配置于第一导入流路231与共同流路260之间。同样地，第二阀242配置于第二导入流路241与共同流路260之间，第三阀252配置于第三导入流路251与共同流路260之间。另外，第一隔膜234以与第一隔壁233对置的方式配置。同样地，第二隔膜244以与第二隔壁243对置的方式配置，第三隔膜254以与第三隔壁253对置的方式配置。
第一隔壁233作为使第一导入流路231与共同流路260之间打开或关闭的隔膜阀的阀座发挥功能。同样地，第二隔壁243作为使第二导入流路241与共同流路260之间打开或关闭的隔膜阀的阀座发挥功能，第三隔壁253作为使第三导入流路251与共同流路260之间打开或关闭的隔膜阀的阀座发挥功能。这些隔壁的形状及高度只要是能够发挥上述功能的形状及高度即可，不特别地进行限定。这些隔壁的形状例如是四棱柱形状。这些隔壁的高度例如与导入流路和共同流路260的深度相同。
第一隔膜234、第二隔膜244及第三隔膜254是具有挠性的薄膜220的一部分，具有大致球冠形状(参照图3)。薄膜220以各个隔膜与对应的隔壁非接触地对置的方式配置于基板210上。各个隔膜在被第一旋转部件110的第一凸部111(后述)或第二旋转部件120的第二凸部121(后述)按压时向对应的隔壁弯曲。即，隔膜作为隔膜阀的阀体发挥功能。例如，在第一凸部111和第二凸部121未按压第一隔膜234时，第一导入流路231和共同流路260处于经由第一隔膜234与第一隔壁233之间的间隙而彼此连通的状态。另一方面，在第一凸部111或第二凸部121以使第一隔膜234与第一隔壁233接触的方式按压第一隔膜234时，第一导入流路231和共同流路260处于彼此不连通的状态。
共同流路260是可供流体在其内部移动的流路。共同流路260经由第一阀232与第一导入流路231连接，经由第二阀242与第二导入流路241连接，经由第三阀252与第三导入流路251连接。因此，在第一导入口230所导入的流体、在第二导入口240所导入的流体、以及在第三导入口250所导入的流体在共同流路260中流动。共同流路260的下游端与取出口270连接。在本实施方式中，共同流路260由形成于基板210的槽和将该槽的开口部封闭的薄膜220构成。不特别地限定共同流路260的剖面面积和剖面形状。共同流路260的剖面形状例如是一边的长度(宽度及深度)为数十μm左右的大致矩形形状。共同流路260的剖面面积可以是在流体的流动方向上固定的，也可以是不固定的。在本实施方式中，共同流路260的剖面面积是固定的。
取出口270是有底的凹部。取出口270作为空气孔发挥功能，或作为用于将共同流路260内的流体取出的取出口发挥功能。在本实施方式中，取出口270由形成于基板210的通孔和将该通孔的一个开口部封闭的薄膜220构成。对于取出口270的形状及大小，不特别地进行限定，可以根据需要适当设定。取出口270的形状例如是大致圆柱形状。取出口270的宽度例如是2mm左右。
图5是实施方式的流体处理装置100的第一旋转部件110和第二旋转部件120的俯视图。在图5中，为了易于观察，对第一旋转部件110的第一凸部111的顶面和第二旋转部件120的第二凸部121的顶面添加了阴影线。
如上所述，流体处理装置100具有第一旋转部件110和以包围第一旋转部件110的方式配置的第二旋转部件120。第一旋转部件110具有用于按压阀(第一阀232、第二阀242或第三阀252)的隔膜而使阀关闭的第一凸部111，能够以旋转轴(中心轴CA)为中心旋转。第一旋转部件110的形状为大致圆柱形状。第二旋转部件120以包围第一旋转部件110的方式配置，具有用于按压阀(第一阀232、第二阀242或第三阀252)的隔膜而使阀关闭的第二凸部121，能够以旋转轴(中心轴CA)为中心而独立于第一旋转部件110地旋转。
第一旋转部件110的第一凸部111和第一凹部112配置于以中心轴CA为中心的第一圆的圆周上。在本实施方式中，第一凸部111的俯视形状是与以中心轴CA为中心的第一圆的一部分对应的圆弧状。第一圆的圆周上的、不存在第一凸部111的区域则是第一凹部112。
此外，第一凸部111只要相对于第一凹部112相对地突出即可，第一凹部112只要相对于第一凸部111相对地凹陷即可。即，第一凸部111只要能够作为按压部发挥功能即可，第一凹部112只要能够作为非按压部发挥功能即可。
另外，第二旋转部件120的第二凸部121和第二凹部122配置于以中心轴CA为中心的第二圆的圆周上。在本实施方式中，第二凸部121的俯视形状是与以中心轴CA为中心的第二圆的一部分对应的圆弧状。第二圆的圆周上的、不存在第二凸部121的区域则是第二凹部122。
此外，第二凸部121只要相对于第二凹部122相对地突出即可，第二凹部122只要相对于第二凸部121相对地凹陷即可。即，第二凸部121只要能够作为按压部发挥功能即可，第二凹部122只要能够作为非按压部发挥功能即可。
由于第一旋转部件110的第一凸部111和第二旋转部件120的第二凸部121按压相同的阀(第一阀232、第二阀242或第三阀252)的隔膜，因此优选第一凸部111与第二凸部121之间的间隔小。在本实施方式中，第一凸部111与第二凸部121之间的间隔在5～150μm的范围内。
在本实施方式中，在第一旋转部件110的外侧面(第二旋转部件120侧的面)113和第二旋转部件120的内侧面(第一旋转部件110侧的面)123上形成有用于收纳多个滚动体130的凹部140。对于凹部140的沿着中心轴CA方向的剖面形状，只要能够适当地收纳多个滚动体130即可，不特别地进行限定。在本实施方式中，凹部140的剖面形状为大致正方形(参照图3)。另外，凹部140的大小也同样地，只要能够使多个滚动体130与第一旋转部件110和第二旋转部件120这两者适当地接触即可，不特别地进行限定。
多个滚动体130配置于第一旋转部件110与第二旋转部件120之间，起到使第一旋转部件110与第二旋转部件120之间的摩擦降低的功能。多个滚动体130不收纳于第一旋转部件110和第二旋转部件120以外的部件(例如轴承套圈)，而直接配置于第一旋转部件110与第二旋转部件120之间。因此，多个滚动体130与第一旋转部件110和第二旋转部件120直接接触。在本实施方式中，多个滚动体130收纳于上述的凹部140。此外，若多个滚动体130以与第一旋转部件110和第二旋转部件120直接接触的方式配置，则也可以通过用于在多个滚动体130间保持相等的间隔的保持架对多个滚动体130进行保持。多个滚动体130的大小相同且比凹部140稍大。因此，通过将多个滚动体130配置在凹部140内，使得第一旋转部件110与第二旋转部件120稍微间隔开。在本实施方式中，第一旋转部件110与第二旋转部件120之间的间隔在5～150μm的范围内。
对于滚动体130的形状，只要能够使第一旋转部件110与第二旋转部件120之间的摩擦降低即可，不特别地进行限定。滚动体130例如是球(滚珠)或滚子(滚筒)。滚子的例子包括圆柱滚子、圆锥滚子、针状滚子等。另外，对于滚动体130的材料，只要具有所需的强度、耐磨性、耐腐蚀性等即可，不特别地进行限定。滚动体130的材料例如包括陶瓷、不锈钢、钠钙玻璃、黄铜、钨、高碳铬轴承钢、树脂等。在本实施方式中，滚动体130是高碳铬轴承钢制的轴承滚珠。
(流体处理装置的动作)
下面，参照图6～图8对流体处理装置100的动作进行说明。为了便于说明，在图6～图8中，关于第一凸部111和第二凸部121，在其与流路片200的薄膜220抵接的情况下，添加了阴影线进行图示，在未抵接的情况下未图示。此外，设为，在第一导入口230收纳有第一液体，在第二导入口240收纳有第二液体，在第三导入口250收纳有第三液体，第一导入口230、第二导入口240及第三导入口250是被加压的。
首先，旋转第一旋转部件110以使第一凹部112位于第一阀232之上，且第一凸部111位于第二阀242和第三阀252之上，并且旋转第二旋转部件120以使第二凹部122位于第一阀232之上，且第二凸部121位于第二阀242和第三阀252之上，从而使第一阀232打开，使第二阀242和第三阀252关闭。由此，如图6所示，第一导入口230内的第一液体在第一导入流路231、第一阀232及共同流路260中通过而移动至取出口270。此时，由于第二阀242和第三阀252关闭，因此，第二导入口240内的第二液体和第三导入口250内的第三液体不会流入共同流路260。
接着，设为想要使第三导入口250内的第三液体流动到共同流路260。在该情况下，需要使第一旋转部件110旋转，直到第一凹部112位于第三阀252之上为止，并需要使第二旋转部件120旋转，直到第二凹部122位于第三阀252之上为止。此时，通过使第一旋转部件110和第二旋转部件120向彼此相反的方向旋转等，使得在直到到达第三阀252为止的期间，第一凹部112与第二凹部122的位置不重合。例如，在使第二旋转部件120旋转的过程中，如图7所示，即使第二凹部122位于第二阀242之上，第二阀242的隔膜也还是被第一旋转部件110的第一凸部111按压着。因此，在使第一旋转部件110或第二旋转部件120旋转的过程中，即使第一凹部112或第二凹部122在第二阀242之上通过，第二导入口240内的第二液体也不会流入共同流路260。
之后，若第一凹部112已位于第三阀252之上，且第一凸部111已位于第一阀232和第二阀242之上，则使第一旋转部件110的旋转停止。另外，若第二凹部122已位于第三阀252之上，且第二凸部121已位于第一阀232和第二阀242之上，则使第二旋转部件120的旋转停止。由此，只有第三阀252打开。从而，如图8所示，第三导入口250内的第三液体在第三导入流路251、第三阀252及共同流路260中通过而移动至取出口270。此时，由于第一阀232和第二阀242关闭，因此，第一导入口230内的第一液体和第二导入口240内的第二液体不会流入共同流路260。
通过以上的步骤，能够通过使第一旋转部件110或第二旋转部件120旋转来控制多个阀的开闭，而不会在使第一旋转部件110或第二旋转部件120旋转的过程中导致非期望的阀打开。
(效果)
如上所述，在本实施方式的流体处理装置100中，多个滚动体130不收纳于第一旋转部件110和第二旋转部件120以外的部件(例如轴承套圈)，而直接配置于在第一旋转部件110与第二旋转部件120之间所形成的凹部140。例如，当在第一旋转部件110的外侧面113或第二旋转部件120的内侧面上形成凹部140，且在该凹部140中嵌入了具有轴承套圈等的市面上的滚珠轴承的情况下，凹部140的尺寸误差和滚珠轴承的轴承套圈的尺寸误差的合计会影响第一旋转部件110与第二旋转部件120之间的间隔(即第一凸部111与第二凸部121之间的间隔)。但是，如本实施方式那样，在将多个滚动体130直接配置于凹部140的情况下，仅凹部140的尺寸误差会影响第一旋转部件110与第二旋转部件120之间的间隔(即第一凸部111与第二凸部121之间的间隔)。因此，在本实施方式的流体处理装置100中，第一旋转部件110与第二旋转部件120的摩擦小，且第一旋转部件110与第二旋转部件120之间的间隔(即第一凸部111与第二凸部121之间的间隔)的偏差也小。其结果，本实施方式的流体处理装置100即使具有多个旋转部件，也能够精度良好地对阀的开闭进行控制。
(变形例)
此外，在上述实施方式中，对在第一旋转部件110的外侧面113和第二旋转部件120的内侧面上形成有凹部140的流体处理装置100进行了说明，但本发明不限定于此。例如，也可以是，如图9A所示，仅在第一旋转部件110的外侧面113上形成用于收纳滚动体130的凹部140，还可以是，如图9B所示，仅在第二旋转部件120的内侧面123形成用于收纳滚动体130的凹部140。
本申请主张基于在2018年7月12日提出的日本专利申请特愿2018-132249的优先权。该申请的说明书及附图中所记载的内容全部引用至本申请说明书中。
工业实用性
本发明的流体处理装置例如在临床检查、食物检查和环境检查等各种各样的用途中是有用的。
附图标记说明
10 第一导入口
11 第一导入流路
12 第一阀
20 第二导入口
21 第二导入流路
22 第二阀
30 第三导入口
31 第三导入流路
32 第三阀
40 共同流路
41 取出口
50 旋转部件的凸部
51 旋转部件的凹部
100 流体处理装置
110 第一旋转部件
111 第一凸部
112 第一凹部
113 第一旋转部件的外侧面
120 第二旋转部件
121 第二凸部
122 第二凹部
123 第二旋转部件的内侧面
130 滚动体
140 凹部
200 流路片
210 基板
220 薄膜
230 第一导入口
231 第一导入流路
232 第一阀
233 第一隔壁
234 第一隔膜
240 第二导入口
241 第二导入流路
242 第二阀
243 第二隔壁
244 第二隔膜
250 第三导入口
251 第三导入流路
252 第三阀
253 第三隔壁
254 第三隔膜
260 共同流路
270 取出口
CA 中心轴

Claims (5)

1.一种流体处理装置，用于对流路片内的流体进行控制，所述流路片具有第一流路、第二流路以及配置于所述第一流路与所述第二流路之间的阀，所述流体处理装置的特征在于，具有：
第一旋转部件，具有用于按压所述阀的隔膜而使所述阀关闭的第一凸部，能够以旋转轴为中心旋转；
第二旋转部件，以包围所述第一旋转部件的方式配置，具有用于按压所述阀的隔膜而使所述阀关闭的第二凸部，能够以所述旋转轴为中心而独立于所述第一旋转部件地旋转；以及
多个滚动体，配置于所述第一旋转部件与所述第二旋转部件之间，与所述第一旋转部件和所述第二旋转部件接触。
2.如权利要求1所述的流体处理装置，其中，
在所述第一旋转部件的所述第二旋转部件侧的面或所述第二旋转部件的所述第一旋转部件侧的面上形成有用于收纳所述多个滚动体的凹部。
3.如权利要求1或2所述的流体处理装置，其中，
所述滚动体是轴承滚珠。
4.如权利要求1～3中任意一项所述的流体处理装置，其中，
所述第一凸部与所述第二凸部之间的间隔在5～150μm的范围内。
5.一种流体处理系统，其特征在于，具有：
流路片，所述流路片具有第一流路、第二流路以及配置于所述第一流路与所述第二流路之间的阀；以及
权利要求1～4中任意一项所述的流体处理装置。
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