CN112362256A - 一种管芯的检漏设备及工艺 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种管芯的检漏设备及工艺，包括如下步骤：预选，将外形不合格的管芯挑出；将待检的管芯放入检漏设备，排气管组件插入下夹具，并启动检漏设备；上夹具覆盖阴极组件和阳极组件，所述检漏设备执行检漏操作，所述检漏操作依次包括大漏检测、小漏检测和氦漏检测三个阶段，筛选出不合格工件，将密封性好的管芯送入下一个操作阶段。通过三个阶段的检测手段，依次提高检测条件，对管芯进行逐步深入检漏，最终筛选出无裂缝、无漏孔且焊接严密的管芯。相比于现有技术中依靠人工筛选或是一级检测的方式，提高检测效率和检测精确度，减少浪费。

Description

一种管芯的检漏设备及工艺

技术领域

本发明涉及检漏技术领域，特别涉及一种管芯的检漏设备及工艺。

背景技术

微波炉是一种应用广泛的烹调家电，可以快速方便的加热烹调食物。微波炉在生产制造过程中，以及在出厂前需要进行多项检测，特别是对微波炉的管芯组件进行检漏测试。管芯是将微波炉的阴极组件、阳极组件和排气管组件焊接组装到一起。组装完成后，需要把管芯变成真空状态，因此需要检测管芯是否有裂缝、漏孔以及各个组件之间焊接的是否严密。管芯气密性的好坏会直接影响到微波炉的质量。如果单纯依靠人工肉眼去检查，不仅效率低，且对于极其微小的裂缝不易检查到。因此需要快速且精确的对管芯进行检漏。

发明内容

有鉴于此，本发明旨在提出一种管芯检漏工艺，以解决现有技术中管芯检漏准确度低、工作效率低的问题。

为达到上述目的，本发明的技术方案是这样实现的：

一种管芯检漏工艺，通过检漏设备对管芯进行检漏操作，所述管芯包括从下到上依次组装连接到一起的阴极组件、阳极组件和排气管组件，所述检漏设备包括上夹具和下夹具，将所述排气管组件插入到下夹具中，上夹具覆盖阴极组件和阳极组件，所述检漏操作依次包括：大漏检测工序、小漏检测工序和氦漏检测工序。通过三个阶段的检漏操作，逐渐提高检漏条件，可以筛选出不同泄露程度的管芯，并减少资源的浪费。

进一步的，所述氦漏检测包括对阴极组件焊接处、阳极组件焊接处和排气管组件焊接处进行喷氦的氦漏检测。氦气体积小，穿透能力强，可以检测出焊接不严的情况。

进一步的，所述管芯检漏工艺具体包括如下步骤：

S1.预选，将有氧化、虚焊、裂缝、变形、刮伤及黑痕脏污现象的管芯挑出；

S2.启动检漏设备，在检漏设备自启完成、运行稳定的条件下启动检漏仪的检测状态；

S3.将待检的管芯放入检漏设备，排气管组件插入下夹具内，上夹具覆盖阴极组件和阳极组件，所述检漏设备依次执行大漏检测、小漏检测和氦漏检测，并筛选出不合格工件，将密封性好的管芯送入下一个操作阶段；

进一步的，所述S3包括如下步骤：

S31.执行大漏检测工序，在管芯内部真空度达到第一预设值P1时，继续执行小漏检测工序；

S32.执行小漏检测工序，在管芯内部真空度达到第二预设值P2时，继续执行氦漏检测工序；

S33.执行氦漏检测工序，在管芯内部没有检测到氦气，说明管芯无氦漏现象，可以继续执行后续操作。

进一步的，所述S31包括：

S311.将待测管芯的排气管组件插入下夹具内部，操作控制台，使得上夹具扣压在阴极组件和阳极组件的外部，真空装置通过真空管道对管芯内部抽真空，同时获取管芯内部的真空度；

S312.判断管芯内部真空度是否达到第一预设值P1，若是，说明管芯无大漏现象，继续执行小漏检测工序，进入步骤S32；若否，说明待测的管芯有大漏现象，同时在显示装置上显示不合格工件的位置，操作控制台使与出现大漏的管芯对应的真空管道关闭，并继续执行步骤S32。

进一步的，所述S32包括：

S321.继续对无大漏现象的管芯抽真空，同时获取管芯内部的真空度；

S322.判断管芯内部真空度是否能达到第二预设值P2，若是，说明管芯无小漏现象，进入步骤S33执行氦漏检测工序；若否，说明管芯有小漏现象，同时在显示装置上显示不合格工件的位置，通过操作控制台，使与出现小漏的管芯对应的氦气管道关闭，并继续执行步骤S33。

进一步的，所述S33包括：

S331.对无小漏现象的管芯，关闭真空管道，通过氦气气源对管芯的外部喷氦气；

S332.判断管芯的内部是否有氦气进入；若是，说明对应的管芯有氦漏现象，若否，说明对应的氦气无氦漏现象，管芯气密性良好，符合标准，结束检漏操作，并可以进行后续操作。

进一步的，第一预设值P1＞第二预设值P2。

相对于现有技术，本发明所述的管芯检漏工艺，具有以下优势：

通过大漏、小漏和氦漏三个阶段的检测手段，依次提高检测条件，对管芯逐步深入的检漏，最终筛选出无裂缝、无漏孔且焊接严密的合格产品，且能够判断出泄漏的程度，分类筛选出不同泄露程度的管芯。对于裂缝或漏孔较大的管芯，最先被检测到，筛选出大漏现象的管芯，再继续进行小漏和氦漏检测，直到筛选出符合要求的管芯。与现有技术中仅通过一级检测筛选的方式相比，检测精确度更高，降低真空装置的载荷，避免造成氦气浪费。

本发明还提供了一种管芯检漏设备，包括检漏仪、真空管道、氦气管道、真空装置、氦气气源和控制台，所述检漏仪和控制台相连，待测管芯放置于检漏仪内。

进一步的，所述检漏设备的上夹具和下夹具均为一端开口的筒状结构，所述上夹具和下夹具的开口相对设置。执行检漏操作时，管芯的排气管组件插入到下夹具中，阴极组件和阳极组件位于上夹具中。开口相对设置的上下夹具可以容纳管芯，便于对管芯进行检漏操作。

进一步的，所述筒状结构的上夹具的内径尺寸大于管芯的外径尺寸。在进行检漏操作的时候，上夹具可以套设扣压在阴极组件和阳极组件的外部，为管芯的检漏提供一个密封的空间。

进一步的，所述检漏设备还包括第一支撑板、第二支撑板、底座和伸缩轴，所述伸缩轴通过气缸控制，并和第一支撑板连接，上夹具分布在第一支撑板上，通过伸缩轴带动上夹具升降。上夹具上下移动，从而实现与下夹具的连接和断开。

进一步的，所述下夹具开口一侧穿过第二支撑板，另一侧固定在底座上。当上夹具向下移动，覆盖下夹具的开口时，管芯位于上下夹具内，可以执行检漏操作。

所述检漏设备与上述管芯检漏工艺相对于现有技术所具有的优势相同，在此不再赘述。

附图说明

构成本发明的一部分的附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1为本发明所述的管芯结构示意图；

图2为本发明所述的阳极组件和阴极组件的结构示意图；

图3为本发明所述的检漏设备的轴视图；

图4为本发明所述的检漏设备的另一视角轴视图；

图5为本发明所述的检漏设备的前视图；

图6为图3中A部位的局部放大图；

图7为本发明所述的检漏设备的结构简单；

图8为本发明所述的管芯检漏流程图；

图9为本发明所述的管芯检漏流程细节图。

附图标记说明：

1、管芯，2、阴极组件，3、阳极组件，31、凸台，4、排气管组件，41、天线封盖，5、检漏仪，6、上夹具，7、下夹具，71、密封圈，8、第一支撑板，9、第二支撑板，10、底座，11、伸缩轴，12、支撑杆，13、真空装置，14、真空管道，15、第一氦气管道，16、第二氦气管道，17、氦气气源。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

另外，在本发明的实施例中所提到的“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本发明要求的保护范围之内。

下面将参考附图并结合具体实施例来详细说明本发明。

如图1-2所示，本实施例的待检工件为微波炉的管芯1。所述管芯1作为磁控管的一部分，是将阴极组件2和阳极组件3焊接到一起后，在将阳极组件3和排气管组件4组装焊接到一起。所述管芯1的一侧为阴极组件2，另外一侧为排气管组件4，且所述排气管组件4的管尾为开放口。所述阳极组件3包括凸台31，所述排气管组件4包括天线封盖41。通过将凸台31和天线封盖41组装焊接到一起从而实现将阳极组件3和排气管组件4焊接固定到一起。

如图3-7所示，本发明还提供了一种管芯检漏设备，用于对管芯1进行检漏。具体的，所述检漏设备包括检漏仪5、真空管道14、第一氦气管道15、第二氦气管道16、真空装置13、氦气气源17和控制台。所述管芯1位于检漏仪5内。所述检漏仪5和控制台相连接，可以通过操作所述控制台来开启或是关闭整个检漏设备。

所述控制台设置有显示装置，操作者通过显示装置输入操作指令，根据输入的操作指令控制整个检漏设备，同时通过显示装置显示的参数判断被测的管芯1是否合格，及时筛选出不合格管芯1。

所述检漏仪5包括上夹具6、下夹具7、第一支撑板8、第二支撑板9、底座10、伸缩轴11和支撑杆12。所述上夹具6和下夹具7均为一侧开口的筒状结构，且二者的轴心重合。上夹具6的开口和下夹具7的开口相对设置。所述上夹具6固定于第一支撑板8上，所述下夹具7固定于底座10上，开口处穿过第二支撑板9。

所述伸缩轴11和第一支撑板8是一体成型连接的，伸缩轴11能够在气缸的驱动作用下沿着支撑杆12移动，从而带动第一支撑板8以及上夹具6运动，实现上夹具6和下夹具7之间的连接或断开。

所述第一支撑板8、第二支撑板9和底座10通过支撑杆12连接固定。所述支撑杆12和底座10稳定支撑整个检漏仪5。所述支撑杆12垂直设置，可以保证上夹具6上下移动的垂直度，能够精准扣压在下夹具7位于第二支撑板9处的外部，防止在检漏仪5工作时上夹具6和下夹具7之间错位，影响检漏操作。

所述上夹具6和下夹具7配合使用。所述上夹具6和下夹具7可以设置多个，数量越多，能放置的管芯1越多，可以一次性完成对多个管芯1的检漏，提高检测效率。多个上夹具6均匀分布在第一支撑板8上，多个下夹具7均匀分布在第二支撑板9上，上夹具6和下夹具7一一对应。

具体的，所述筒状的上夹具6的内径尺寸大于管芯1的外径尺寸，可以容纳阴极组件2和阳极组件3。当进行检漏的时候，所述检漏仪5开始工作的时候，所述上夹具6和下夹具7之间是远离的，便于将管芯1放置或取出。可以通过机械手臂自动化的将多个管芯1放置于检漏仪5中。具体的操作是，将所述排气管组件4插入到下夹具7中，排气管组件4从天线封盖41处到管尾处插入到下夹具7内，此时天线封盖41抵靠在下夹具7的上表面。然后气缸驱动所述伸缩轴11向下移动，并带动第一支撑板8和上夹具6向下移动。在向下移动靠近管芯1的过程中，阴极组件2和阳极组件3插入到上夹具6中，直到上夹具6的开口和第二支撑板9贴合。

进一步的，在下夹具7的上表面设置有密封圈71。所述密封圈71为向上凸起的弹性材料，设置于下夹具7的上表面与内侧筒壁的连接处。当排气管组件4插入到下夹具7内时，所述密封圈71被压紧，迫使密封圈71横向扩散，和排气管组件4相互配合，使得下夹具7和排气管组件4密封严实，且避免天线封盖41直接和下夹具7的上表面直接接触，造成磨损，并可以实现排气管组件4的竖直固定。

进一步的，所述上夹具6的下部可以设置为与下夹具7的上部相同的结构，即在上夹具6的开口处设置有密封圈，所述密封圈为向下凸起的弹性材料，设置于上夹具开口处与内侧筒壁的连接处。当上夹具6的开口和第二支撑板9贴合时候，能密封更严实。

排气管组件4的管尾开口端和真空管道14连接，且所述真空管道14和真空装置13连接。通过真空装置13对管芯1内部进行抽真空操作，并可以通过真空压强检测获取管芯1内部的真空度。根据真空度来判断管芯1是否有裂缝、漏孔或焊接不严密等问题。且真空装置13与控制台连接，通过操作控制台控制真空装置13的开启或关闭。下夹具7还通过第一氦气管道15和氦气气源17连接，氦气气源17与控制台连接，通过操作控制台控制氦气气源17的开启或关闭。且与多个排气管组件4的开口端连接的真空管道14相互并联，使得真空装置13可以同时对其中的一个或多个管芯1抽真空。与多个下夹具7相连的第一氦气管道15相互并联，使得氦气气源17可以同时控制对一个或多个下夹具7的筒状空间吹氦气，进而实现同时对多个管芯1进行检漏。氦气的化学性质稳定，不易发生反应和爆炸，体积较小，穿透能力较强，可以检测出细微的漏孔。通过氦气检测管芯1上的细小裂缝，灵敏度和检测精度非常高。

优选的，所述第一氦气管道15连接在下夹具7靠近上表面处，此时氦气气源17通过第一氦气管道15喷氦气时候，氦气首先包围在阳极组件3和排气管组件4的焊接处，并充满整个下夹具7。

上夹具6通过第二氦气管道16和氦气气源17连接。与多个上夹具6相连的第二氦气管道16相互并联，使得氦气气源17可以同时控制对一个或多个上夹具6的筒状空间吹氦气，进而实现同时对多个管芯1进行检漏。如果在阴极组件2、阳极组件3和排气管组件4的焊接处有细微的焊接不严密情况，氦气可以穿透并进入到焊接不严密的地方，进而被检测到。

如图所示，作为本发明实施例的一部分，还提供了一种管芯检漏方法，具体包括如下步骤：

S1.预选

首先，将有氧化、虚焊、裂缝、变形、刮伤及黑痕脏污现象的管芯1挑出，避免污染检漏设备，同时提高后续检漏效率。

操作人员应带好手套，用酒精擦拭工装及工作台面，避免在检漏时污染管芯1，同时防止有杂物进入检漏仪5内部，保证检测的精确度。

S2.启动检漏设备，在检漏设备自启完成、运行稳定的条件下启动检漏仪的检测状态；

S3.将待检的管芯1放入检漏设备，具体的，将排气管组件4插入到下夹具7中，伸缩轴11带动第一支撑板8向下移动，使得上夹具6扣压在阴极组件2和阳极组件3外部，上夹具6的开口端和第二支撑板9贴合。

开始检漏操作，筛选出不合格工件，将密封性好的管芯1送入下一个操作阶段。

具体的，检漏操作依次包括大漏检测工序、小漏检测工序和氦漏检测工序。

S31.执行大漏检测工序时，即判断管芯1内部是否达到第一预设值P1，若是，则继续执行小漏检测工序。

S32.执行小漏检测工序时，即判断管芯1内部真空度是否达到第二预设值P2，若是，则继续执行氦漏检测工序。

S33.执行氦漏检测工序时，若检测到管芯1内部有氦气，说明对应的管芯1有氦漏现象，若没有检测到氦气，说明管芯无氦漏现象，可进行后续的操作。

其中，第二预设值P2＜第一预设值P1。

具体的，步骤S31包括：

S311.将待测管芯1的排气管组件4插入到下夹具7内部，天线封盖41抵靠在下夹具7的上表面，使得排气管组件4保持垂直状态，通过密封圈71密封排气管组件4和下夹具7的连接处，按下启动开关；伸缩轴11在气缸的驱动下带动第一支撑板8向下移动，使得上夹具6扣压覆盖在阴极组件2和阳极组件3的外部，并且上夹具6的开口和第二支撑板9接触贴合。

排气管组件4插入到下夹具7内，和真空管道14相连的排气管组件4通过真空装置13对管芯1的内部抽真空，同时通过真空压强检测获取管芯1内部的真空度。

S312.判断管芯1内部的真空度是否达到第一预设值P1，若是，说明管芯1无大漏现象，继续执行小漏检测工序，进入步骤S32。

判断在3-5s时间内管芯1内部真空度是否达到第一预设值P1，若是，说明管芯1无大漏现象，进入步骤S32，继续执行小漏检测工序；若否，说明待测的管芯1有大漏现象，同时在显示装置上显示不合格工件的位置，通过操作控制台，使与出现大漏的管芯1对应的真空管道14关闭，对于无大漏现象的管芯1，对应的真空管道14保持连通状态，并继续执行步骤S32。

出现大漏现象说明管芯1有较明显的裂缝或漏孔，本轮检测使得存在大漏现象的管芯1首先被筛选出来，避免存在大漏现象的管芯1继续执行小漏检测时增加真空装置13的负载，节省工作效率，减少资源的浪费。

具体的，步骤S32包括：

S321.继续对无大漏现象的管芯1抽真空，同时通过压强检测获取管芯1内部的真空度；

S322.判断在3-5s时间内，管芯1内部真空度是否能达到第二预设值P2，若是，说明管芯1无小漏现象，进入步骤S33执行氦漏检测工序；若否，说明管芯1有小漏现象，同时在显示装置上显示不合格工件的位置，通过操作控制台，使与出现小漏的管芯1对应的第一氦气管道15和第二氦气管道16关闭，对于无小漏现象的管芯1，对应的氦气管道保持连通状态，并继续执行步骤S33。

出现小漏现象的管芯1说明存在轻微的裂缝，本轮检测使得存在小漏现象的管芯1被筛选出来，避免继续对其进行后续的氦漏检测，节省工作效率，减少资源的浪费。

具体的，步骤S33包括：

S331.对无小漏现象的管芯1，关闭真空管道14，此时排气管组件4的开口端被真空管道14密封，防止氦气由此进入管芯1内部，通过氦气气源17对管芯1的外部喷氦气；

由于上夹具6和第二氦气管道16相连，下夹具7和第一氦气管道15相连。启动氦气气源17的时候，氦气流经第一氦气管道15向下夹具7的空间充氦气，氦气包围在阳极组件3与排气管组件4的焊接连接处以及排气管组件4的外部。氦气流经第二氦气管道16向上夹具6与第二支撑板9形成的密封空间充氦气，氦气包围在阴极组件2和阳极组件3的外部及二者的焊接处。

由于管芯1的内部为真空状态，且氦气的体积小。当管芯1存在及其微小的裂缝或是焊接不严密的时候，部分氦气会进入管芯1的内部。

S332.判断管芯1的内部是否有氦气进入。

可以通过氦气检测仪检测管芯1内部是否有氦气，若检测到氦气的存在，则说明对应的管芯1有氦漏现象，若否，则说明对应的管芯1无氦漏现象，管芯1气密性良好，不存在裂缝、漏孔或焊接不严密，符合标准，结束检漏操作，可以进行后续的操作。

还可以通过真空度来判断管芯1的内部是否有氦气进入。如果管芯1气密性不好，在管芯1外部喷氦气，氦气会进入管芯1内部，并破坏管芯1内部的真空度，使真空度变大。反之，则说明管芯1无氦漏现象，可以结束检漏操作，进行后续的操作。

对于无氦漏的管芯1，检测完毕后，关闭氦气气源17，然后伸缩轴11在气缸的驱动下向上移动，并带动第一支撑板8和上夹具6向上移动。所述上夹具6与第二支撑板9分开，将检测完毕的管芯1取出，并送入下一个操作程序。

本发明提供的检测方法，通过大漏、小漏和氦漏三层检测手段，层层递进，依次提高检测条件，对管芯1逐步深入的检漏，有利于提高检测速度，最终筛选出不同泄漏程度的管芯1。对于裂缝或漏孔较大的管芯1，最先被检测到，筛选出存在大漏现象的管芯1，对无大漏现象的管芯1继续进行小漏和氦漏检测，直到筛选出符合要求的管芯1。如果不进行三个阶段的逐步筛选，而是直接对所有的管芯1进行小漏或氦漏，虽然也可以达到目的，但是会造成浪费，增加投入成本。例如不经过大漏检测和小漏检测，直接对管芯1进行氦漏检测，会造成氦气的浪费，特别是当存在较大裂缝或漏孔的管芯1，管芯1的内部会涌入大量的氦气，资源浪费。如果不经过大漏检测，直接进行小漏检测和氦漏检测，在抽真空的过程中，由于存在较大的裂缝、漏孔或焊接不严密，很难抽到设定值的真空度，增加真空装置的载荷。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种管芯检漏工艺，通过检漏设备对管芯(1)进行检漏操作，其特征在于，所述管芯(1)包括从下到上依次组装连接到一起的阴极组件(2)、阳极组件(3)和排气管组件(4)，所述检漏设备包括上夹具(6)和下夹具(7)，将所述排气管组件插入到下夹具(7)中，上夹具(6)覆盖阴极组件(2)和阳极组件(3)，所述检漏设备对管芯依次进行大漏检测、小漏检测和氦漏检测。

2.根据权利要求1所述的一种管芯检漏工艺，其特征在于，所述氦漏检测包括对阴极组件(2)焊接处、阳极组件(3)焊接处和排气管组件(4)焊接处进行喷氦的氦漏检测。

3.根据权利要求1所述的一种管芯检漏工艺，其特征在于，具体包括如下步骤：

S1.预选，将外形不合格的管芯(1)挑出；

S2.启动检漏设备，在检漏设备自启完成、运行稳定的条件下启动检漏仪的检测状态；

S3.将待检的管芯(1)放入检漏设备，排气管组件(4)插入下夹具(7)内，上夹具(6)覆盖阴极组件(2)和阳极组件(3)，所述检漏设备依次执行大漏检测、小漏检测和氦漏检测，并筛选出不合格工件，将密封性好的管芯(1)送入下一个操作阶段。

4.根据权利要求3所述的一种管芯检漏工艺，其特征在于，所述S3包括如下步骤：

S31.执行大漏检测工序，在管芯(1)内部真空度达到第一预设值P1时，继续执行小漏检测工序；

S32.执行小漏检测工序，在管芯(1)内部真空度达到第二预设值P2时，继续执行氦漏检测工序；

S33.执行氦漏检测工序，在管芯(1)内部没有检测到氦气，说明管芯无氦漏现象，可以继续执行后续操作。

5.根据权利要求4所述的一种管芯检漏工艺，其特征在于，所述S31包括：

S311.待测管芯(1)的排气管组件(4)插入下夹具(7)内部，操作控制台，使得上夹具(6)扣压在阴极组件(2)和阳极组件(3)的外部，真空装置(13)通过真空管道(14)对管芯(1)内部抽真空，同时获取管芯(1)内部的真空度；

S312.判断管芯(1)内部真空度是否达到第一预设值P1，若是，说明管芯(1)无大漏现象，继续执行小漏检测工序，进入步骤S32；若否，说明待测的管芯(1)有大漏现象，同时在显示装置上显示不合格工件的位置，操作控制台使与出现大漏的管芯(1)对应的真空管道(14)关闭，并继续执行步骤S32。

6.根据权利要求4所述的一种管芯检漏工艺，其特征在于，所述S32包括：

S321.继续对无大漏现象的管芯(1)抽真空，同时获取管芯(1)内部的真空度；

S322.判断管芯(1)内部真空度是否能达到第二预设值P2，若是，说明管芯(1)无小漏现象，进入步骤S33执行氦漏检测工序；若否，说明管芯(1)有小漏现象，同时在显示装置上显示不合格工件的位置，通过操作控制台，使与出现小漏的管芯(1)对应的氦气管道(15)关闭，并继续执行步骤S33。

7.根据权利要求4所述的一种管芯检漏工艺，其特征在于，所述S33包括：对无小漏现象的管芯(1)，关闭真空管道(14)，通过氦气气源(17)对管芯(1)的外部喷氦气，判断管芯(1)的内部是否有氦气进入；若是，说明对应的管芯(1)有氦漏现象，若否，说明对应的管芯(1)无氦漏现象，管芯(1)气密性良好，符合标准，结束检漏操作，并可以进行后续操作。

8.根据权利要求4所述的一种管芯检漏工艺，其特征在于，第一预设值P1＞第二预设值P2。

9.一种管芯检漏设备，其特征在于，所述检漏设备的上夹具(6)和下夹具(7)均为一端开口的筒状结构，所述上夹具(6)和下夹具(7)的开口相对设置；所述筒状结构的上夹具(6)的内径尺寸大于管芯(1)的外径尺寸。

10.根据权利要求9所述的一种管芯检漏设备，其特征在于，所述检漏设备还包括第一支撑板(8)、第二支撑板(9)、底座(10)和伸缩轴(11)，所述伸缩轴(11)和第一支撑板(8)连接，上夹具(6)分布在第一支撑板(8)上，通过伸缩轴(11)带动上夹具(6)升降。

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