CN112362170A - 一种红外探测器 - Google Patents

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蔡光艳
黄立
陈丹
马占锋
汪超
王春水
高健飞
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Abstract

本发明涉及一种红外探测器，包括阵列布置的多个桥面层以及一一对应配置的多个读出电路接口，各读出电路接口均与读出电路连接；还包括多个公共桥腿，每一公共桥腿通过两个上锚柱分别与列向相邻的两个桥面层连接，并且该公共桥腿通过下连接结构分别与对应的两个读出电路接口电连接。本发明通过两个桥面层共用同一个公共桥腿，也即列向相邻的两个像元共用一个公共桥腿，能显著地增大桥腿长度，进而使热导大幅降低，显著地提升探测器的性能；在不影响探测器性能的情况下，可调节公共桥腿的宽度和间距，在机台有效的冗余范围内使得桥腿刻蚀和长膜工艺不受机台偏差的影响，能有效地提高探测器的工艺均匀性、重复性和可控性，提高探测器的产品良率。

Description

一种红外探测器
技术领域
本发明涉及一种红外探测器。
背景技术
在像素越来越小的趋势下，非制冷红外器件的空间也会越来越小，因此需要在有限的空间内提高探测器性能。在非制冷红外焦平面探测器阵列中，读出电路的读取和输出方式为逐行选取逐列输出，即当选通某行像素后，将此行的像素点采集逐个输出为有用的信号；而此时，与此行相邻的上下两行像素是不工作的，因此有一定的空间闲置。
发明内容
本发明涉及一种红外探测器，至少可解决现有技术的部分缺陷。
本发明涉及一种红外探测器，包括阵列布置的多个桥面层以及一一对应配置的多个读出电路接口，各所述读出电路接口均与读出电路连接，还包括多个公共桥腿，每一所述公共桥腿通过两个上锚柱分别与列向相邻的两个桥面层连接，并且该公共桥腿通过下连接结构分别与对应的两个读出电路接口电连接。
作为实施方式之一，每两个列向相邻的桥面层配置一个所述公共桥腿。
作为实施方式之一，每个桥面层所连接的两个上锚柱分别靠近该桥面层的两个行向端部。
作为实施方式之一，所述下连接结构包括下锚柱和金属连接层，所述金属连接层分别与对应的两个读出电路接口电连接，所述下锚柱设于所述金属连接层的上表面并且支撑起对应的公共桥腿。
作为实施方式之一，所述公共桥腿呈蛇形结构，对应的两个上锚柱组成的上连接结构与所述下连接结构分别位于所述公共桥腿的头尾两侧。
本发明至少具有如下有益效果：
本发明提供的红外探测器，通过两个桥面层共用同一个公共桥腿，也即列向相邻的两个像元共用一个公共桥腿，能显著地增大桥腿长度，进而使热导大幅降低，显著地提升探测器的性能。而在不影响探测器性能的情况下，可调节公共桥腿的宽度和间距，在机台有效的冗余范围内使得桥腿刻蚀和长膜工艺不受机台偏差的影响，因此能有效地提高探测器的工艺均匀性、重复性和可控性，从而提高探测器的产品良率。并且，由于一个桥腿有多个支撑点及2个桥面拉升，探测器的器件结构会非常稳定。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
图1为本发明实施例提供的红外探测器的结构示意图；
图2为本发明实施例提供的单个桥面层与公共桥腿的分布结构示意图；
图3为本发明实施例提供的列向相邻的桥面层与公共桥腿的分布结构示意图。
具体实施方式
下面对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
如图1-图3，本发明实施例提供一种红外探测器，包括阵列布置的多个桥面层1以及一一对应配置的多个读出电路接口3，各所述读出电路接口3均与读出电路(未图示)连接，还包括多个公共桥腿2，每一所述公共桥腿2通过两个上锚柱5分别与列向相邻的两个桥面层1连接，并且该公共桥腿2通过下连接结构分别与对应的两个读出电路接口3电连接。
桥面层1、读出电路及读出电路接口3、锚柱等均为本领域常规器件，具体结构此处不作赘述。可以理解地，桥面层1与读出电路接口3的数量相同并且一一对应配置，一般将读出电路接口3设于对应的桥面层1的正下方。
非制冷红外焦平面探测器阵列中，读出电路的读取和输出方式为逐行选取逐列输出，即当选通某行像素后，将此行的像素点采集逐个输出为有用的信号。因此，本实施例中涉及的行向、列向即为阵列布置的桥面层1中的行排列方向和列排列方向，这是本领域技术人员易于理解的。
上述公共桥腿2可采用本领域常规的桥腿结构，例如采用常规的桥腿材料；优选地，该公共桥腿2呈蛇形结构，能大幅增加该公共桥腿2的长度，有利于探测器性能的提升。本实施例中，优选地，如图2和图3，每一公共桥腿2所对应的两个上锚柱5组成上连接结构，该上连接结构与上述下连接结构分别位于对应公共桥腿2的头尾两侧，能相应地增大公共桥腿2的长度，延长信号的传导距离，有效地减小热导，该公共桥腿2的结构稳定性也较高。
在其中一个实施例中，如图1，所述下连接结构包括下锚柱61和金属连接层62，所述金属连接层62分别与对应的两个读出电路接口3电连接，所述下锚柱61设于所述金属连接层62的上表面并且支撑起对应的公共桥腿2；其中，如图1，金属连接层62可分别通过过渡锚柱63与对应的两个读出电路接口3连接。该下连接结构能实现公共桥腿2与对应的两个读出电路接口3之间的可靠连接；由于一个桥腿有3个支撑点(即与读出电路接口3相接的下锚柱62和两个相邻的上锚柱5)及2个桥面拉升，探测器的器件结构会非常稳定。
在上述探测器中，可对部分的列向相邻的两个桥面层1进行上述公共桥腿2支撑设计，但更优选为每两个列向相邻的桥面层1配置一个所述公共桥腿2。更具体地，如图1-图3，以列向依次布置的三个桥面层1为例，三个桥面层1依次定义为第一桥面层1、第二桥面层1和第三桥面层1，每个桥面层1通过两个上锚柱5支撑，该两个上锚柱5分别连接在两个公共桥腿2上；其中，第二桥面层1由第一公共桥腿2和第二公共桥腿2支撑，该第一公共桥腿2所配置的另一个上锚柱5即支撑第一桥面层1，该第一公共桥腿2部分位于第一桥面层1正下方而部分位于第二桥面层1正下方，该第二公共桥腿2所配置的另一个上锚柱5即支撑第三桥面层1，该第二公共桥腿2部分位于第二桥面层1正下方而部分位于第三桥面层1正下方。在其中一个实施例中，如图1，各公共桥腿2布置于同一水平面内，布置结构简单，能保证对桥面层1的支撑可靠性。
进一步优选地，如图2和图3，每个桥面层1所连接的两个上锚柱5分别靠近该桥面层1的两个行向端部，即其中一个上锚柱5靠近该桥面层1的其中一个行向相邻桥面层1，另一个上锚柱5靠近该桥面层1的另一个行向相邻桥面层1。两个上锚柱5分散布置，分别从两侧支撑桥面层1，能保证对桥面层1的支撑结构稳定性和可靠性，从而提高探测器的器件结构稳定性。
本实施例提供的红外探测器，通过两个桥面层1共用同一个公共桥腿2，也即列向相邻的两个像元共用一个公共桥腿2，能显著地增大桥腿长度，进而使热导大幅降低，显著地提升探测器的性能。而在不影响探测器性能的情况下，可调节公共桥腿2的宽度和间距，在机台有效的冗余范围内使得桥腿刻蚀和长膜工艺不受机台偏差的影响，因此能有效地提高探测器的工艺均匀性、重复性和可控性，从而提高探测器的产品良率。
在上述红外探测器的结构中，通过灵活改变公共桥腿2的长度和宽度，可满足不同的探测器性能指标要求。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种红外探测器，包括阵列布置的多个桥面层以及一一对应配置的多个读出电路接口，各所述读出电路接口均与读出电路连接，其特征在于：还包括多个公共桥腿，
每一所述公共桥腿通过两个上锚柱分别与列向相邻的两个桥面层连接，并且该公共桥腿通过下连接结构分别与对应的两个读出电路接口电连接。
2.如权利要求1所述的红外探测器，其特征在于：每两个列向相邻的桥面层配置一个所述公共桥腿。
3.如权利要求1所述的红外探测器，其特征在于：每个桥面层所连接的两个上锚柱分别靠近该桥面层的两个行向端部。
4.如权利要求1所述的红外探测器，其特征在于：所述下连接结构包括下锚柱和金属连接层，所述金属连接层分别与对应的两个读出电路接口电连接，所述下锚柱设于所述金属连接层的上表面并且支撑起对应的公共桥腿。
5.如权利要求1所述的红外探测器，其特征在于：所述公共桥腿呈蛇形结构，对应的两个上锚柱组成的上连接结构与所述下连接结构分别位于所述公共桥腿的头尾两侧。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113252173A (zh) * 2021-03-30 2021-08-13 武汉鲲鹏微纳光电有限公司 双模探测器像元、非制冷红外探测器及其使用方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20010003356A1 (en) * 1999-12-10 2001-06-14 Commissariat A L'energie Atomique Electromagnetic radiation detection device
CN103776546A (zh) * 2014-01-21 2014-05-07 武汉高芯科技有限公司 双层结构的非制冷红外焦平面阵列探测器
FR3016997A1 (fr) * 2014-01-30 2015-07-31 Commissariat Energie Atomique Detecteur de rayonnement photonique comportant un reseau d'antennes et un support resistif en spirale
CN204809222U (zh) * 2015-03-30 2015-11-25 中航（重庆）微电子有限公司 带有热敏电阻阵列的集成结构及像元电路
CN106052883A (zh) * 2016-05-09 2016-10-26 电子科技大学 三层微桥结构、三层非制冷微测辐射热计及其制备方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20010003356A1 (en) * 1999-12-10 2001-06-14 Commissariat A L'energie Atomique Electromagnetic radiation detection device
CN103776546A (zh) * 2014-01-21 2014-05-07 武汉高芯科技有限公司 双层结构的非制冷红外焦平面阵列探测器
FR3016997A1 (fr) * 2014-01-30 2015-07-31 Commissariat Energie Atomique Detecteur de rayonnement photonique comportant un reseau d'antennes et un support resistif en spirale
CN204809222U (zh) * 2015-03-30 2015-11-25 中航（重庆）微电子有限公司 带有热敏电阻阵列的集成结构及像元电路
CN106052883A (zh) * 2016-05-09 2016-10-26 电子科技大学 三层微桥结构、三层非制冷微测辐射热计及其制备方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
胡旭峰: "非制冷红外焦平面热成像系统硬件电路设计与实现", 中国优秀硕士学位论文全文数据库.信息科技辑, no. 5, 15 May 2007 (2007-05-15) *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113252173A (zh) * 2021-03-30 2021-08-13 武汉鲲鹏微纳光电有限公司 双模探测器像元、非制冷红外探测器及其使用方法
CN113252173B (zh) * 2021-03-30 2022-10-04 武汉鲲鹏微纳光电有限公司 双模探测器像元、非制冷红外探测器及其使用方法

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