CN112345785A - 晶圆转速检测装置 - Google Patents
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Abstract
本申请涉及晶圆清洗设备领域，尤其是涉及一种晶圆转速检测装置。晶圆转速检测装置包括定座筒体和从动轴，定座筒体的的一端的端盖上开设有安装孔，从动轴通过安装孔伸入到定座筒体内，并通过第一轴承和第二轴承与定座筒体转动连接。定座筒体上在第一轴承和第二轴承之间形成有进气口，从动轴的侧壁上形成有第一流道，第一流道的一端位于第一轴承和第二轴承之间，第一流道的另一端延伸至从动轴与定座筒体的安装孔的内壁相对的侧壁处，从而使进入定座筒体内的气体能够经由第一流道流动至安装孔处，进而将气体经由安装孔与从动轴之间的缝隙导入刷洗箱内，以通过气体起到阻隔效果，避免刷洗箱内的清洗液经由定座筒体的内腔发生泄露。
Description
技术领域
本申请涉及晶圆清洗设备领域，尤其是涉及一种晶圆转速检测装置。
背景技术
晶圆在清洗过程中需要对晶圆的转速进行测量，通常是在晶圆刷洗箱上设置一个测速装置，测速装置通过定座筒体穿设安装于刷洗箱的箱体板上，从动轴与定座筒体通过轴承转动连接，且从动轴通过从动轮辅助承载晶圆转动，并依托晶圆转动实现随转，通过测量从动轴的转速即可得到晶圆的转速。由于定座筒体和从动轴的一端均位于刷洗箱内，为了防止刷洗箱内的清洗液经由测试装置的内腔发生泄流，需要对从动轴与定座筒体的连接处进行密封，即测速装置的内腔的密封。目前，测速装置内腔结构的密封，是通过采用气体流经轴承最后经由从动轴与定座筒体的连接处导入刷洗箱内的防护放置，当选用不带防尘盖的轴承时，气流能够很好的通过，但轴承磨损产生的杂质会被带入到刷洗箱内，造成刷洗箱内颗粒度超标；但如果选用带防尘盖的轴承，气流通过率低，很难起到有效地阻隔密封效果。
发明内容
本发明的目的在于提供一种晶圆转速检测装置，以在一定程度上解决现有技术中测速装置的内腔结构密封效果差的技术问题。
本发明提供了一种晶圆转速检测装置，包括定座筒体和从动轴；所述定座筒体内设置有第一轴承和第二轴承，所述第一轴承和所述第二轴承沿所述定座筒体的长度方向间隔设置；所述定座筒体靠近第一轴承的一端形成有安装孔，所述从动轴与所述安装孔相适配，以使所述从动轴的一端能够伸入所述定座筒体内，且所述从动轴通过所述第一轴承和所述第二轴承与所述定座筒体转动连接；所述定座筒体形成进气口，所述进气口位于所述第一轴承和所述第二轴承之间；所述从动轴上形成第一流道，所述第一流道的一端位于所述第一轴承和所述第二轴承之间；所述第一流道的另一端位于所述从动轴与所述安装孔的侧壁相对的侧壁处。
进一步地，所述的晶圆转速检测装置还包括支撑件；所述定座筒体靠近所述第二轴承的一端为敞口端，所述敞口端设置有盖板；所述第一轴承与所述定座筒体的端盖相抵靠，所述第二轴承与所述盖板相抵靠；所述支撑件设置于所述第一轴承和所述第二轴承之间，且所述支撑件的两端分别与所述第一轴承和所述第二轴承相抵靠；所述支撑件形成第二流道，所述第二流道的一端与所述进气口相连通，所述第二流道的另一端与所述第一流道相连通。
进一步地，所述支撑件包括内隔圈和外隔圈；所述内隔圈和所述外隔圈依次套设于所述从动轴上，且所述内隔圈的两端分别与所述第一轴承和所述第二轴承的内圈的端部相抵靠，所述外隔圈的两端分别与所述第一轴承和所述第二轴承的外圈的端部相抵靠；所述内隔圈和所述外隔圈之间具有预定间隙，以形成环形腔室；所述外隔圈的外壁上形成第一环槽，所述第一环槽与所述进气口相连通；所述外隔圈的侧壁上开设有第一连通孔，所述第一连通孔用于连通所述第一环槽和所述环形腔室；所述内隔圈的侧壁上开设有第二连通孔，所述第二连通孔用于连通所述环形腔室和所述第一流道。
进一步地，所述第一连通孔的数量为多个，多个所述第一连通孔沿所述外隔圈的周向间隔分布；所述第二连通孔的数量为多个，多个所述第二连通孔沿所述内隔圈的周向间隔分布。
进一步地，所述第一流道包括第二环槽和条形槽；所述第二环槽沿所述从动轴的周向形成于所述从动轴的侧壁上，且所述第二环槽与所述第二连通孔相连通；所述条形槽沿所述从动轴的长度方向形成与所述从动轴的侧壁上，且所述条形槽的一端与所述第二环槽相连通，所述条形槽的另一端延伸至所述从动轴与所述安装孔相贴合的侧壁处。
进一步地，所述条形槽的数量为多个，多个所述条形槽沿所述从动轴的周向间隔分布。
进一步地，所述的晶圆转速检测装置还包括计数盘和传感器；所述传感器与所述盖板相连接；所述盖板开设有连通孔，所述从动轴的一端能够伸入所述连通孔内，且所述从动轴与所述计数盘相连接；所述计数盘的边缘能够伸入所述传感器的感应区，且所述计数盘的边缘开设有多个豁口，多个所述豁口沿所述计数盘的周向间隔分布。
进一步地，所述第二轴承与所述计数盘之间设置有支撑隔圈；所述盖板上形成第一抵靠部，所述第一抵靠部能够伸入所述定座筒体内，并与所述第二轴承的外圈的端部相抵靠；所述计数盘朝向所述定座筒体的一端形成第二抵靠部，所述第二抵靠部伸入所述连通孔并套设于所述从动轴上；所述支撑隔圈套设于所述从动轴上，且所述支撑隔圈的两端分别与所述第二轴承的内圈的端部和所述第二抵靠部相抵靠。
进一步地，所述定座筒体用于插接于所述晶圆刷洗箱的箱体板上；所述定座筒体的侧壁上形成有安装板，所述安装板通过基板与所述箱体板相连接；所述定座筒体上套设有密封件，所述密封件夹紧于所述基板和所述箱体板之间。
进一步地，所述的晶圆转速检测装置还包括从动轮；所述从动轴位于所述定座筒体外的一端伸入所述晶圆刷洗箱内，并与所述从动轮相连接；所述从动轮用于承载所述晶圆，且所述从动轮能够随所述晶圆转动。
与现有技术相比，本发明的有益效果为：
本发明提供的一种晶圆转速检测装置包括定座筒体和从动轴，定座筒体内设置有第一轴承和第二轴承，且第一轴承和第二轴承沿定座筒体的长度方向相对间隔设置；定座筒体的长度方向的一端形成有端盖，端盖上开设有安装孔，从动轴与安装孔相适配，使从动轴的一端能够经由安装孔伸入到定座筒体内，同时从动轴通过第一轴承和第二轴承与定座筒体转动连接，使从动轴能够与定座筒体发生相对转动。定座筒体上形成有与定座筒体的内腔相连通进气口，进气口用于与外部气源相连通，用于将外部气体通入定座筒体内；且进气口位于第一轴承和第二轴承之间。从动轴的侧壁上形成有第一流道，第一流道的一端位于第一轴承和第二轴承之间，第一流道的另一端延伸至从动轴与定座筒体的安装孔的内壁相对的侧壁处，从而使进入定座筒体内的气体能够经由第一流道流动至安装孔处，进而将气体经由安装孔与从动轴之间的缝隙导入刷洗箱内，以通过气体起到阻隔效果，避免刷洗箱内的清洗液经由定座筒体的内腔发生泄露；同时，通过设置第一流道，气体到达安装孔处无需经过第一轴承，第一轴承和第二轴承可采用带防护盖的轴承，避免其在使用过程中由于磨损产生的杂质被气体带入刷洗箱内而影响对晶圆的清洗效果。
附图说明
为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例提供的晶圆转速检测装置与箱体板装配的第一视角下的结构示意图；
图2为本发明实施例提供的晶圆转速检测装置与箱体板装配的第二视角下的结构示意图；
图3为本发明实施例提供的晶圆转速检测装置与箱体板装配的剖面结构示意图；
图4为本发明实施例提供的晶圆转速检测装置的剖面结构示意图；
图5为本发明实施例提供的定座筒体的结构示意图；
图6为本发明实施例提供的从动轴的结构示意图；
图7为本发明实施例提供的内隔圈的结构示意图；
图8为本发明实施例提供的外隔圈的结构示意图。
附图标记：
1-箱体板，11-密封件，2-基板，3-定座筒体，31-安装板，32-第一轴承，33-第二轴承，34-安装孔，35-进气口，36-盖板，37-支撑隔圈，4-从动轴，41-第二环槽，42-条形槽，43-从动轮，5-内隔圈，51-第二连通孔，6-外隔圈，61-第一环槽，62-第一连通孔，7-环形腔室，8-计数盘，9-传感器。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
通常在此处附图中描述和显示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。
基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
下面参照图1至图8描述根据本申请一些实施例所述的晶圆转速检测装置。
本申请提供了一种晶圆转速检测装置，如图4所示，包括定座筒体3、从动轴4、从动轮43、盖板36、计数盘8和传感器9。
定座筒体3内设置有第一轴承32和第二轴承33，且第一轴承32和第二轴承33沿定座筒体3的长度方向相对间隔设置；定座筒体3的长度方向的一端形成有端盖，端盖上开设有安装孔34，从动轴4与安装孔34相适配，使从动轴4的一端能够经由安装孔34伸入到定座筒体3内，同时从动轴4通过第一轴承32和第二轴承33与定座筒体3转动连接，使从动轴4能够与定座筒体3发生相对转动。
从动轴4位于定座筒体3外部的一端即从动轴4的头端用于与从动轮43相连接。如图1至图3所示，当晶圆转速检测装置与用于清洗晶圆的晶圆刷洗箱进行装配时，定座筒体3穿设安装于晶圆刷洗箱的箱体板1上，且从动轴4的头端和从动轮43位于刷洗箱内；刷洗箱内设置有驱动单元，能够驱动晶圆转动，从动轮43用于对晶圆进行辅助承载，且当晶圆转动时，从动轮43能够随晶圆转动，并带动从动轴4随之转动。
如图4和5所示，定座筒体3位于刷洗箱外部的一端为敞口端，盖板36与定座筒体3的敞口端相连接，且盖板36上开设有连通孔，连通孔与从动轴4位于同一轴线上，从动轴4位于定座筒体3内的一端即从动轴4的尾端能够通过连通孔穿过盖板36并与计数盘8相连接，使计数盘8能够随从动轴4同步转动。
传感器9与盖板36相连接，优选地，如图3和图4所示，传感器9为光电式感应传感器，计数盘8的边缘能够伸入到传感器9的感应区内；计数盘8的边缘形成多个豁口，多个豁口沿计数盘8的周向间隔分布，且任意相邻的两个豁口之间具有预定间隔角度。因此，当计数盘8随从动轴4转动时，通过传感器9能够测得计数盘8转动的角度，进而得到计数盘8的转速，即晶圆的转速。
在本申请的一个实施例中，优选地，如图4和图5所示，定座筒体3上形成有与定座筒体3的内腔相连通进气口35，进气口35用于与外部气源相连通，用于将外部气体通入定座筒体3内，且进气口35位于第一轴承32和第二轴承33之间。如图4和图6所示，从动轴4的侧壁上形成有第一流道，第一流道的一端位于第一轴承32和第二轴承33之间，第一流道的另一端延伸至从动轴4与定座筒体3的安装孔34的内壁相对的侧壁处，从而使进入定座筒体3内的气体能够经由第一流道流动至安装孔34处，进而将气体经由安装孔34与从动轴4之间的缝隙导入刷洗箱内，以通过气体起到阻隔效果，避免刷洗箱内的清洗液经由定座筒体3的内腔发生泄露；同时，通过设置第一流道，气体到达安装孔34处无需经过第一轴承32，第一轴承32和第二轴承33可采用带防护盖的轴承，避免其在使用过程中由于磨损产生的杂质被气体带入刷洗箱内而影响对晶圆的清洗效果。
需要说明的是，进气口35的位置也可以是定座筒体3的任何位置，如进气口35可以位于第一轴承32和定座筒体3的端盖之间，进气口35也可以位于第二轴承33与盖板36之间；相应地，第一流道用于与进气口35相连通的一端延伸至从动轴4位于第一轴承32与端盖之间的侧壁上，或者延伸至从动轴4位于第二轴承33与盖板36之间的侧壁上。
在本申请的一个实施例中，优选地，如图4和图6所示，从动轴4位于第一轴承32和第二轴承33之间的侧壁上沿从动轴4的周向形成有第二环槽41；从动轴4的侧壁上沿从动轴4的长度方向形成有条形槽42，条形槽42的一端与第二环槽41相连通，条形槽42的另一端延伸至从动轴4与安装孔34的内壁相对的侧壁处；优选地，条形槽42的数量为多个，多个条形槽42沿从动轴4的周向间隔分布；从而通过第二环槽41和条形槽42构成第一流道，使气体能够经由第一流道流动至安装孔34处。
由于第一轴承32和第二轴承33在定座筒体3内间隔预定距离，为了避免第一轴承32和第二轴承33沿从动轴4的轴线方向发生窜动而影响从动轴4转动的稳定性，在本申请的一个实施例中，优选地，如图4所示，定座筒体3内还设置有支撑件，使第一轴承32和第二轴承33分别位于定座筒体3的内腔的两端，即使第一轴承32与定座筒体3的端盖相抵靠，第二轴承33与盖板36相抵靠，支撑件设置于第一轴承32和第二轴承33之间，且支撑件的长度方向的两端分别与第一轴承32和第二轴承33相抵靠，从而通过支撑件对第一轴承32和第二轴承33进行支撑定位。进气口35位于定座筒体3在第一轴承32和第二轴承33之间的侧壁上，支撑件上形成有第二流道，第二流道的一端与进气口35相连通，第二流道的另一端与第一流道位于第一轴承32和第二轴承33之间的端口相连通，从而使外部气体能够经由支撑件上的第二流道进入第一流道。
在该实施例中，优选地，如图4所示，支撑件包括内隔圈5和外隔圈6，内隔圈5能够套设于从动轴4的外侧，且内隔圈5的长度方向的一端能够与第一轴承32的内圈的端部相抵靠，内隔圈5的长度方向的另一端与第二轴承33的内圈的端部相抵靠。外隔圈6套设于内隔圈5上，外隔圈6的长度方向的一端与第一轴承32的外圈的端部相抵靠，外隔圈6的长度方向的另一端与第二轴承33的外圈的端部相抵靠。从而通过内隔圈5和外隔圈6实现对第一轴承32和第二轴承33的支撑定位。
在该实施例中，外隔圈6的外壁能够与定座筒体3的内壁相贴合，同时外隔圈6的内壁与内隔圈5的外壁之间间隔预定距离，从而在内隔圈5和外隔圈6之间形成环形腔室7。如图4和图8所示，外隔圈6的外壁上沿外隔圈6的周向形成有第一环槽61，且第一环槽61正对进气口35的位置处，使第一环槽61与进气口35相连通，外部气体能够进入到第一环槽61内。第一环槽61的底壁上沿外隔圈6的径向开设有贯穿外隔圈6侧壁的第一连通孔62，从而通过第一连通孔62连通第一环槽61和环形腔室7；优选地，第一连通孔62的数量为多个，多个第一连通孔62沿外隔圈6的周向间隔分布；从而使第一环槽61内的气体能够经由第一连通孔62进入到环形腔室7内。
如图4和图7所示，内隔圈5的侧壁上开设有贯穿内隔圈5侧壁的第二连通孔51，且第二连通孔51朝向从动轴4的一端正对从动轴4上的第二环槽41，从而通过第二连通孔51连通环形腔室7和第二环槽41，使环形腔室7内的气体经由第二连通孔51进入到从动轴4上的第一流道内。优选地，第二连通孔51的数量为多个，多个第二连通孔51沿内隔圈5的周向间隔设置，使得多个第二连通孔51均能够与第二环槽41相连通。
因此，外隔圈6上的第一环槽61和第一连通孔62、环形腔室7和内隔圈5上的第二连通孔51共同形成第二流道，用于将外部气体引入到第一流道并最终使气体流动至安装孔34处，通过安装孔34流入刷洗箱内，以阻隔刷洗箱内的清洗液经由安装孔34泄露。
在本申请的一个实施例中，优选地，如图4所示，盖板36朝向定座筒体3内的一端形成第一抵靠部，第一抵靠部能够插入到定座筒体3内，且第一抵靠部与第二轴承33的外圈的端部相抵靠。计数盘8朝向定座筒体3的一端形成第二抵靠部，第二抵靠部能够插入盖板36的连通孔内并套设在从动轴4上，第二抵靠部与第二轴承33之间设置有支撑隔圈37，支撑隔圈37的一端与第二轴承33的内圈的端部相抵靠，支撑隔圈37的另一端与第二抵靠部相抵靠。
在本申请的一个实施例中，关于晶圆转速检测装置与晶圆刷洗箱的箱体板1的装配，如图1至图3所示，晶圆刷洗箱的箱体板1的侧壁上开设有通孔，将基板2和密封件11依次套设于定座筒体3上，定座筒体3的侧壁形成有安装板31，安装板31与基板2通过紧固件相连接。将定座通过通过箱体板1上的通孔穿入晶圆刷洗箱内，直至基板2与箱体板1相抵靠，并将基板2与箱体板1进行连接，使基板2和箱体板1夹紧位于二者之间的密封件11，从而实现定座筒体3与箱体板1之间的密封。优选地，密封件11为O型密封圈，通孔朝向基板2的一端开设有斜槽，O型密封圈能够嵌入斜槽内。
最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。
Claims (10)
1.一种晶圆转速检测装置，其特征在于，包括定座筒体和从动轴；
所述定座筒体内设置有第一轴承和第二轴承，所述第一轴承和所述第二轴承沿所述定座筒体的长度方向间隔设置；
所述定座筒体靠近所述第一轴承的一端形成有安装孔，所述从动轴与所述安装孔相适配，以使所述从动轴的一端能够伸入所述定座筒体内，且所述从动轴通过所述第一轴承和所述第二轴承与所述定座筒体转动连接；
所述定座筒体形成进气口，所述进气口位于所述第一轴承和所述第二轴承之间；
所述从动轴上形成有连通所述进气口的第一流道，所述第一流道的一端位于所述第一轴承和所述第二轴承之间；
所述第一流道的另一端位于所述从动轴的与所述安装孔的侧壁相对的侧壁处。
2.根据权利要求1所述的晶圆转速检测装置，其特征在于，还包括支撑件；
所述定座筒体靠近所述第二轴承的一端为敞口端，所述敞口端设置有盖板；
所述第一轴承与所述定座筒体的端盖相抵靠，所述第二轴承与所述盖板相抵靠；
所述支撑件设置于所述第一轴承和所述第二轴承之间，且所述支撑件的两端分别与所述第一轴承和所述第二轴承相抵靠；
所述支撑件形成第二流道，所述第二流道的一端与所述进气口相连通，所述第二流道的另一端与所述第一流道相连通。
3.根据权利要求2所述的晶圆转速检测装置，其特征在于，所述支撑件包括内隔圈和外隔圈；
所述内隔圈和所述外隔圈依次套设于所述从动轴上，且所述内隔圈的两端分别与所述第一轴承和所述第二轴承的内圈的端部相抵靠，所述外隔圈的两端分别与所述第一轴承和所述第二轴承的外圈的端部相抵靠；
所述内隔圈和所述外隔圈之间具有预定间隙，以形成环形腔室；
所述外隔圈的外壁上形成第一环槽，所述第一环槽与所述进气口相连通；所述外隔圈的侧壁上开设有第一连通孔，所述第一连通孔用于连通所述第一环槽和所述环形腔室；
所述内隔圈的侧壁上开设有第二连通孔，所述第二连通孔用于连通所述环形腔室和所述第一流道。
4.根据权利要求3所述的晶圆转速检测装置，其特征在于，所述第一连通孔的数量为多个，多个所述第一连通孔沿所述外隔圈的周向间隔分布；
所述第二连通孔的数量为多个，多个所述第二连通孔沿所述内隔圈的周向间隔分布。
5.根据权利要求3所述的晶圆转速检测装置，其特征在于，所述第一流道包括第二环槽和条形槽；
所述第二环槽沿所述从动轴的周向形成于所述从动轴的侧壁上，且所述第二环槽与所述第二连通孔相连通；
所述条形槽沿所述从动轴的长度方向形成与所述从动轴的侧壁上，且所述条形槽的一端与所述第二环槽相连通，所述条形槽的另一端延伸至所述从动轴的与所述安装孔相贴合的侧壁处。
6.根据权利要求5所述的晶圆转速检测装置，其特征在于，所述条形槽的数量为多个，多个所述条形槽沿所述从动轴的周向间隔分布。
7.根据权利要求2所述的晶圆转速检测装置，其特征在于，还包括计数盘和传感器；
所述传感器与所述盖板相连接；
所述盖板开设有连通孔，所述从动轴的一端能够伸入所述连通孔内，且所述从动轴与所述计数盘相连接；
所述计数盘的边缘能够伸入所述传感器的感应区，且所述计数盘的边缘开设有多个豁口，多个所述豁口沿所述计数盘的周向间隔分布。
8.根据权利要求7所述的晶圆转速检测装置，其特征在于，所述第二轴承与所述计数盘之间设置有支撑隔圈；
所述盖板上形成第一抵靠部，所述第一抵靠部能够伸入所述定座筒体内，并与所述第二轴承的外圈的端部相抵靠；
所述计数盘朝向所述定座筒体的一端形成第二抵靠部，所述第二抵靠部伸入所述连通孔并套设于所述从动轴上；
所述支撑隔圈套设于所述从动轴上，且所述支撑隔圈的两端分别与所述第二轴承的内圈的端部和所述第二抵靠部相抵靠。
9.根据权利要求1所述的晶圆转速检测装置，其特征在于，所述定座筒体用于插接于晶圆刷洗箱的箱体板上；
所述定座筒体的侧壁上形成有安装板，所述安装板通过基板与所述箱体板相连接；
所述定座筒体上套设有密封件，所述密封件夹紧于所述基板和所述箱体板之间。
10.根据权利要求9所述的晶圆转速检测装置，其特征在于，还包括从动轮；
所述从动轴位于所述定座筒体外的一端伸入所述晶圆刷洗箱内，并与所述从动轮相连接；
所述从动轮用于承载晶圆，且所述从动轮能够随所述晶圆转动。
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