CN112344213A - 一种回收气瓶内余气的装置和方法 - Google Patents
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Abstract
一种回收气瓶内余气的装置和方法，其中的回收气瓶内余气的装置具有一进气单元、一充装单元、一压缩单元、一吹扫置换单元、一承压测试单元、一抽真空单元和一排放单元，上述各单元在工艺上相连接。吹扫置换单元、承压测试单元、抽真空单元和排放单元能够在将从进气单元的多个其内存有余气的气瓶内的残留气体通过压缩单元的压缩机加压后充装到充装单元的多个空气瓶内之前，对进气单元、充装单元和压缩单元进行吹扫置换、承压测试和抽真空，保证所述单元洁净和运转安全，使得充装到多个空气瓶内的残留气体的纯度得到可靠保障。
Description
技术领域
本发明涉及废气处理，具体地说，涉及一种回收气瓶内余气的装置和方法。
背景技术
对于生产电子特种气体的企业，每日都要对大量回收气瓶内的余气进行回收。国家特种设备安全技术规范TSG 07-2019中的D2.6.3.2条款要求气瓶充装单位的充装设备必须具有回收或处理瓶内余气的装置，据此，通过大量创造性劳动，开发一种回收气瓶内余气的装置和方法
发明内容
本发明要提供一种回收气瓶内余气的装置和方法。
本发明的回收气瓶内余气的装置，其特征在于，具有：
一进气单元，该进气单元具有一进气总管路、多个进气支管路和多个其内存有余气的气瓶，该多个进气支管路的进气端与该多个其内存有余气的气瓶连接，该多个进气支管路的出气端与该进气总管路的进气端连接；
一充装单元，该充装单元具有一充气总管路、多个充气支管路和多个空气瓶，该多个充气支管路的进气端与该充气总管路的出气端连接，该多个充气支管路的出气端与该多个空气瓶连接；
一压缩单元，该压缩单元具有一压缩机、一压缩机进口管路和一压缩机出口管路，该压缩机进口管路的进气端与该进气单元的该进气总管路的出气端连接，该压缩机进口管路的出气端与该压缩机的进口连接，该压缩机出口管路的进气端与该压缩机的出口连接，该压缩机出口管路的出气端与该充装单元的该充气总管路连接；
一吹扫置换单元，该吹扫置换单元具有一吹扫气总管路和一第一吹扫气支管路，该吹扫气总管路的出气端与该第一吹扫气支管路的进气端连接，该第一吹扫气支管路的出气端与该进气单元的该进气总管路连接；
一承压测试单元，该承压测试单元具有一承压气总管路和一第一承压气支管路，该承压气总管路的出气端与该第一承压气支管路的进气端连接，该第一承压气支管路的出气端与该进气单元的该进气总管路连接；
一抽真空单元，该抽真空单元具有一真空泵和一第一吸气管路，该第一吸气管路的进气端与该进气单元的该进气总管路连接，该第一吸气管路的出气端与该真空泵的进口连接；
一排放单元，该排放单元具有一第一排放支管路、一第二排放支管路和一排放总管路，该第一排放支管路的进气端与该抽真空单元的该真空泵的出口连接，该第一排放支管路的出气端与该排放总管路的进气端连接，该第二排放支管路的进气端与该进气单元的该进气总管路连接，该第二排放支管路的出气端与该排放总管路的进气端连接。
通过本发明的回收气瓶内余气的装置回收气瓶内余气的方法，其特征在于，具有下列顺序步骤：
(1)检查进气单元、压缩单元和充装单元内的余气的压力，若该余气的压力大于2PSIG，则：
(2)排出该进气单元、该压缩单元和该充装单元内的余气，在该余气的压力小于2PSIG时，停止排出；
(3)向该进气单元、该压缩单元和该充装单元内充入压力为35-50PSIG的低压惰性气体，持续一定时间，停止充入；
(4)排出该进气单元、该压缩单元和该充装单元内的该低压惰性气体，检查该进气单元、该压缩单元和该充装单元内该低压惰性气体的压力，在该低压惰性气体的压力小于2PSIG时，停止排出；
将步骤(3)和步骤(4)重复两次；
(5)向该进气单元、该压缩单元和该充装单元内充入压力为1800-2100PSIG的高压惰性气体，使该进气单元、该压缩单元和该充装单元内该高压惰性气体的压力达到不小于1800PSIG，待压力稳定后停止充入该高压惰性气体，并确保在3分钟内该高压惰性气体的压力降小于10PSIG；
(6)排出该进气单元、该压缩单元和该充装单元内的该高压惰性气体，检查该进气单元、该压缩单元和该充装单元内该高压惰性气体的压力，在该高压惰性气体的压力小于2PSIG时，停止排出；
(7)对该进气单元、该压缩单元和该充装单元内抽真空，在5分钟内该进气单元、该压缩单元和该充装单元内的真空度达到小于50mtorr，然后停止抽真空，然后在1分钟内该进气单元、该压缩单元和该充装单元内的真空度降小于10mtorr时，则：
(8)启动该压缩单元的压缩机，将来自进气单元的多个其内具有余气的气瓶内的残留余气加压后充装到该充装单元的多个空气瓶内。
本发明的回收气瓶内余气的装置，由于具有吹扫置换单元、承压测试单元、抽真空单元和排放单元，能够在将从进气单元的多个其内存有余气的气瓶内的残留气体通过压缩单元的压缩机加压后充装到充装单元的多个空气瓶内之前，对进气单元、充装单元和压缩单元进行吹扫置换、承压测试和抽真空，保证所述单元洁净和运转安全，使得充装到多个空气瓶内的残留气体的纯度得到可靠保障。
本发明的回收气瓶内余气的装置，该吹扫置换单元还具有一第二吹扫气支管路，该吹扫气总管路的出气端与该第二吹扫气支管路的进气端连接，该第二吹扫气支管路的出气端与该充装单元的该充气总管路连接。
这样，增加一第二吹扫气支管路，能够提高对进气单元、充装单元和压缩单元进行吹扫置换的速度。
本发明的回收气瓶内余气的装置，该承压测试单元还具有一第二承压气支管路，该承压气总管路的出气端与该第二承压气支管路的进气端连接，该第二承压气支管路的出气端与该充装单元的该充气总管路的进气端连接。
这样，增加一第二承压气支管路，能够提高对进气单元、充装单元和压缩单元进行承压测试的速度。
本发明的回收气瓶内余气的装置，该抽真空单元还具有一第二吸气管路和一第三吸气管路，该第二吸气管路的进气端与该压缩单元的该压缩机出口管路连接，该第二吸气管路的出气端与该抽真空单元的该真空泵的进口连接，该第三吸气管路的进气端与该充装单元的该充气总管路连接，该第三吸气管路的出气端与该抽真空单元的该真空泵的进口连接。
这样，增加一第二吸气管路和一第三吸气管路，能够提高对进气单元、充装单元和压缩单元进行抽真空的速度。
本发明的回收气瓶内余气的装置，该排放单元还具有一第三排放支管路，该第三排放支管路的进气端与该充装单元的该充气总管路连接，该第三排放支管路的出气端与该排放总管路的进气端连接。
这样，增加一第三排放支管路，能够提高对进气单元、充装单元和压缩单元进行排放的速度。
本发明的回收气瓶内余气的装置，还具有一低温回收单元，该低温回收单元具有一空铝制气瓶、一旁路充气管道、一开放式杜瓦罐和一冷媒注入管路，该空铝制气瓶在该开放式杜瓦罐内，该旁路充气管道的进气端与该充装单元的该充气总管路连接，该旁路充气管道的出气端与该空铝制气瓶连接，该冷媒注入管路的出液端伸入该开放式杜瓦罐内。
这样，空铝制气瓶受到低温冷却，内腔形成高真空，能够最大限度地抽吸回收该进气单元的该多个其内具有余气的气瓶内的残留气体和进气单元、充装单元和压缩单元内的残留气体，特别是附加值高的气体，例如氙气。
本发明的回收气瓶内余气的装置，该排放单元还具有一高点排放管路和一旁路排放管道，该高点排放管路的进气端与该进气单元的该进气总管路连接，该旁路排放管道的进气端与该高点排放管路连接，该旁路排放管道的出气端与洗涤塔连接。
这样，在进气单元的多个其内具有余气的气瓶内的残留可燃气体或惰性气体压力较低时，不进行回收，直接通过高点排放管路排放，能够节省回收费用；在多个其内具有余气的气瓶内的残留气体为有毒有害气体时，通过洗涤塔消除毒性，然后安全排放。
本发明的回收气瓶内余气的装置，该吹扫置换单元还具有一旁路管道，该旁路管道的进气端与该第一吹扫气支管路连接，该旁路管道的出气端与该进气单元的该进气总管路连接。
这样，在多个其内具有余气的气瓶内的残留气体为有毒有害气体时，通过吹扫置换单元的第一吹扫气支管路和旁路管道向进气单元的进气总管路输送低压惰性气体，例如氮气，与进气单元的进气总管路内的有毒有害气体混合，有毒有害气体被稀释，减小有毒有害气体对管路和设备的腐蚀；在更换进气单元的多个气瓶时，向进气单元的进气总管路和多个进气支管路充入低压惰性气体，例如氮气，防止空气或其它污染物进入进气单元的多个进气支管路。
本发明的回收气瓶内余气的方法，在步骤(8)之后，还具有步骤(9)将该进气单元的该多个其内具有余气的气瓶内的少量残留余气和该进气单元、该压缩单元和该充装单元内的残留余气抽吸到被低温冷却的铝制空气瓶内。
附图说明
图1是本发明的回收气瓶内余气的装置的示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的回收气瓶内余气的装置和方法的具体实施方式作进一步的说明，本发明的回收气瓶内余气的装置和方法的特征和优点将变得更加明显。
本发明的回收气瓶内余气的装置如图1所示，具有一进气单元1、一压缩单元2、一充装单元3、一吹扫置换单元4、一承压测试单元5、一抽真空单元6、一低温回收单元7和一排放单元8。
进气单元1具有多个其内存有余气的气瓶10、一进气总管路11和多个进气支管路12。
多个进气支管路12的进气端与相应的多个气瓶10的瓶口出气阀的出口连接，出气端与进气总管路11的进气端连接。进气总管路11上从进气端到出气端顺次安装一手动隔膜阀111、一气动开关阀112和一自力式压力调节阀114。
压缩单元2具有一压缩机20、一压缩机入口气体缓冲罐23、一压缩机进口管路21和一压缩机出口管路22。压缩机20为L型具有内冷器的两级隔膜压缩机。
压缩机进口管路21的进气端与压缩机入口气体缓冲罐23的出口连接。压缩机进口管路21上安装一气动开关阀211。压缩机出口管路22上安装一气动开关阀221。
进气单元1的进气总管路11的出气端与压缩单元2的压缩机入口气体缓冲罐23的进口连接。
充装单元3具有多个气瓶30、一充气总管路31和多个充气支管路32。
多个充气支管路32的出气端与相应的多个气瓶30的瓶口进气阀的进口连接，进气端与充气总管路31的出气端连接。充气总管路31上安装一气动开关阀311。气瓶30的内壁经过严格的清洁处理。
压缩单元2的压缩机出口管路22的出气端与充装单元3的充气总管路31连接，连接的部位在气动开关阀311的上游。
吹扫置换单元4具有一吹扫气总管路40、一第一吹扫气支管路41、一第二吹扫气支管路42和一旁路管道43。
第一吹扫气支管路41的进气端与吹扫气总管路40的出气端连接，出气端与进气单元1的进气总管路11连接，连接的部位在气动开关阀112和自力式压力调节阀114之间。第一吹扫气支管路41上从进气端到出气端顺次安装一手动隔膜阀411、一单向阀412和一气动开关阀413。第二吹扫气支管路42的进气端与吹扫气总管路40的出气端连接，出气端与充装单元3的充气总管路31连接，连接的部位在压缩单元2的压缩机出口管路22的出气端与充装单元3的充气总管路31相连接的部位的上游。第二吹扫气支管路42上从进气端到出气端顺次安装一手动隔膜阀421、一单向阀422和一气动开关阀423。旁路管道43的进气端与第一吹扫气支管路41连接，连接的部位在单向阀412与气动开关阀413之间，出气端与进气单元1的进气总管路11连接，连接的部位在手动隔膜阀111的上游。旁路管道43上从进气端到出气端顺次安装一单向阀431和一气动开关阀432。
承压测试单元5具有一承压气总管路50、一第一承压气支管路51和一第二承压气支管路52。
第一承压气支管路51的进气端与承压气总管路50的出气端连接，出气端与进气单元1的进气总管路11连接，连接的部位在气动开关阀112和自力式压力调节阀114之间，位于吹扫置换单元4的第一吹扫气支管路41的出气端与进气单元1的进气总管路11相连接的部位的下游。第一承压气支管路51上从进气端到出气端顺次安装一手动隔膜阀511、一单向阀512、一孔板流量计513和一气动开关阀514。第二承压气支管路52的进气端与承压气总管路50的出气端连接，出气端与充装单元3的充气总管路31的进气端连接，连接的部位在吹扫置换单元4的第二吹扫气支管路42的出气端与充装单元3的充气总管路31相连接的部位的上游。第二承压气支管路52上从进气端到出气端顺次安装一手动隔膜阀521、一单向阀522、一孔板流量计523和一气动开关阀524。
抽真空单元6具有一真空泵60、一第一吸气管路61、一第二吸气管路62和一第三吸气管路63。
第一吸气管路61的进气端与进气单元1的进气总管路11连接，连接的部位在气动开关阀112和自力式压力调节阀114之间，同吹扫置换单元4的第一吹扫气支管路41的出气端与进气单元1的进气总管路11相连接的部位相应，出气端与真空泵60的进口连接。第一吸气管路61上安装一气动开关阀611。
第二吸气管路62的进气端与压缩单元2的压缩机出口管路22连接，连接的部位在气动开关阀221的上游，出气端与真空泵60的进口连接。第二吸气管路62上安装一气动开关阀621
第三吸气管路63的进气端与充装单元3的充气总管路31连接，连接的部位与压缩单元2的压缩机出口管路22的出气端与充装单元3的充气总管路31相连接的部位相应，出气端与真空泵60的进口连接。第三吸气管路63上从进气端到出气端顺次安装一气动开关阀631、一单向阀632和一手动隔膜阀633。
低温回收单元7具有一气瓶70、一旁路充气管道71、一开放式杜瓦罐76和一冷媒注入管路72。
旁路充气管道71的进气端与充装单元3的充气总管路31连接，连接的部位在气动开关阀311与压缩单元2的压缩机出口管路22与充装单元3的充气总管路31相连接的部位之间，出气端与气瓶70的瓶口进气阀的进口连接。气瓶70用铝材制造，它的内壁经过严格的清洁处理。旁路充气管道71上安装一气动开关阀711。冷媒注入管路72的进液端与一冷媒储罐(未示出)连接，出液端伸入开放式杜瓦罐76内。冷媒注入管路72上安装一电磁开关阀721。
排放单元8具有一第一排放支管路81、一第二排放支管路82、一第三排放支管路83、一排放总管路86、一高点排放管路84和一旁路排放管道85。
第一排放支管路81的进气端与抽真空单元6的真空泵60的出口连接，出气端与排放总管路86的进气端连接。第一排放支管路81上从进气端到出气端顺次安装一单向阀811和一手动隔膜阀812。第二排放支管路82的进气端与进气单元1的进气总管路11连接，连接的部位与承压测试单元5的第一承压气支管路51的出气端与进气单元1的进气总管路11相连接的部位相应，出气端与排放总管路86的进气端连接。第二排放支管路82上从进气端到出气端顺次安装一气动开关阀821、一单向阀822和一手动隔膜阀823。第三排放支管路83的进气端与充装单元3的充气总管路31连接，连接的部位与吹扫置换单元4的第二吹扫气支管路42的出气端与充装单元3的充气总管路31相连接的部位相应，出气端与排放总管路86的进气端连接。第三排放支管路83上从进气端到出气端顺次安装一
。高点排放管路84的进气端与进气单元1的进气总管路11连接，连接的部位在手动隔膜阀111的上游。高点排放管路84上从进气端到出气端顺次安装一第一手动隔膜阀841、一气动开关阀842、一自力式压力调节阀843、一单向阀844和一第二手动隔膜阀845。旁路排放管道85的进气端与高点排放管路84连接，连接的部位在单向阀844和第二手动隔膜阀845之间，出气端与一洗涤塔(未示出)的进气口连接。旁路排放管道85上安装一手动隔膜阀851。
本发明的回收气瓶内余气的方法如下：
一.用低压氮气对进气单元1、压缩单元2、充装单元3和低温回收单元7进行吹扫置换
1.将多个其内存有余气的气瓶10的瓶口出气阀的出口与进气单元1的多个相应进气支管路12的进气端连接，确认多个其内存有余气的气瓶10的瓶口出气阀已经关闭；
2.将多个气瓶30的瓶口进气阀的进口与充装单元3的多个相应充气支管路32的出气端连接，确认多个气瓶30的瓶口进气阀已经关闭；
3.将一气瓶70置于开放式杜瓦罐76内，将气瓶70的瓶口进气阀的进口与低温回收单元7的旁路充气管道71的出气端连接，确认气瓶70的瓶口进气阀已经关闭；
4.关闭吹扫置换单元4的旁路管道43上的气动开关阀432；
5.关闭承压测试单元5的第一承压气支管路51上的手动隔膜阀511和气动开关阀514；
6.关闭承压测试单元5的第二承压气支管路52上的手动隔膜阀521和气动开关阀524；
7.关闭抽真空单元6的第一吸气管路61上的气动开关阀611；
8.关闭抽真空单元6的第二吸气管路62上的气动开关阀621；
9.关闭抽真空单元6的第三吸气管路63上的气动开关阀631和手动隔膜阀633；
10.关闭排放单元8的第一排放支管路81上的手动隔膜阀812；
11.关闭排放单元8的第二排放支管路82上的气动开关阀821和手动隔膜阀823；
12.关闭排放单元8的第三排放支管路83上的气动开关阀831和手动隔膜阀833；
13.关闭排放单元8的高点排放管路84上的第一手动隔膜阀841、气动开关阀842、自力式压力调节阀843和第二手动隔膜阀845；
14.关闭排放单元8的旁路排放管道85上的手动隔膜阀851；
15.打开进气单元1的进气总管路11上的手动隔膜阀111、气动开关阀112和自力式压力调节阀114；
16.打开压缩单元2的压缩机进口管路21上的气动开关阀211和压缩机出口管路22上的气动开关阀221；
17.打开充装单元3的充气总管路31上的气动开关阀311；
18.打开低温回收单元7的旁路充气管道71上的气动开关阀711；
查看与进气单元1的进气总管路11连接的第一压力显示器16和与充装单元3的充气总管路31连接的压力显示器36，若所示压力大于2PSIG，则：
19.打开排放单元8的第二排放支管路82上的气动开关阀821和手动隔膜阀823以及第三排放支管路83上的气动开关阀831和手动隔膜阀833；
这样通过排放单元8的第二排放支管路82和第三排放支管路83将进气单元1、压缩单元2、充装单元3和低温回收单元7内的余气排入排放单元8的排放总管路86，然后排放到大气。当第一压力显示器16和压力显示器36所示压力小于2PSIG时，则：
20.关闭排放单元8的第二排放支管路82上的气动开关阀821和手动隔膜阀823以及第三排放支管路83上的气动开关阀831和手动隔膜阀833；然后：
21.打开吹扫置换单元4的第一吹扫气支管路41上的手动隔膜阀411和气动开关阀413以及第二吹扫气支管路42上的手动隔膜阀421和气动开关阀423，来自低压氮气储罐(未示出)的35-50PSIG的低压氮气经吹扫置换单元4的吹扫气总管路40、第一吹扫气支管路41和第二吹扫气支管路42进入进气单元1、压缩单元2、充装单元3和低温回收单元7内，持续4至8秒，然后：
22.关闭吹扫置换单元4的第一吹扫气支管路41上的手动隔膜阀411和气动开关阀413以及第二吹扫气支管路42上的手动隔膜阀421和气动开关阀423，然后：
23.打开排放单元8的第二排放支管路82上的气动开关阀821和手动隔膜阀823以及第三排放支管路83上的气动开关阀831和手动隔膜阀833，持续5至10秒；
这样通过排放单元8的第二排放支管路82和第三排放支管路83将进气单元1、压缩单元2、充装单元3和低温回收单元7内的低压氮气排入排放单元8的排放总管路86，然后排放到大气。然后：
将步骤21至23再重复两次，在第三次通过排放单元8的第二排放支管路82和第三排放支管路83将进气单元1、压缩单元2、充装单元3和低温回收单元7内的氮气排入排放单元8的排放总管路86，然后排放到大气，第一压力显示器16和压力显示器36所示压力小于2PSIG时，则：
24.关闭排放单元8的第二排放支管路82上的气动开关阀821和手动隔膜阀823以及第三排放支管路83上的气动开关阀831和手动隔膜阀833；然后：
二.用高压氮气对进气单元1、压缩单元2、充装单元3和低温回收单元7进行承压测试
25.打开承压测试单元5的第一承压气支管路51上的手动隔膜阀511和气动开关阀514以及第二承压气支管路52上的手动隔膜阀521和气动开关阀524，来自高压氮气储罐(未示出)的1800-2100PSIG的高压氮气经承压测试单元5的承压气总管路50、第一承压气支管路51和第二承压气支管路52进入进气单元1、压缩单元2、充装单元3和低温回收单元7内，第一压力显示器16和压力显示器36所示压力不小于1800PSIG，待压力稳定后停止充入高压氮气，若在3分钟内压力降小于10PSIG，则承压测试通过，否则，停止承压测试，待泄漏问题解决后重复上述步骤，直到压力达到要求，然后：
26.关闭承压测试单元5的第一承压气支管路51上的手动隔膜阀511和气动开关阀514以及第二承压气支管路52上的手动隔膜阀521和气动开关阀524；然后：
27.打开排放单元8的第二排放支管路82上的气动开关阀821和手动隔膜阀823以及第三排放支管路83上的气动开关阀831和手动隔膜阀833；
这样通过排放单元8的第二排放支管路82和第三排放支管路83将进气单元1、压缩单元2、充装单元3和低温回收单元7内的氮气排入排放单元8的排放总管路86，然后排放到大气，第一压力显示器16和压力显示器36所示压力小于2PSIG时，则：
28.关闭排放单元8的第二排放支管路82上的气动开关阀821和手动隔膜阀823以及第三排放支管路83上的气动开关阀831和手动隔膜阀833；然后：
三.对进气单元1、压缩单元2、充装单元3和低温回收单元7进行抽真空
29.打开抽真空单元6的第一吸气管路61上的气动开关阀611；
30.打开抽真空单元6的第二吸气管路62上的气动开关阀621；
31.打开抽真空单元6的第三吸气管路63上的气动开关阀631和手动隔膜阀633；
32.打开排放单元8的第一排放支管路81上的手动隔膜阀812；
33.启动真空泵60，将进气单元1、压缩单元2、充装单元3和低温回收单元7内的氮气经抽真空单元6的第一吸气管路61、第二吸气管路62和第三吸气管路63吸入真空泵60内，被加压后经排放单元8的第一排放支管路81排入排放单元8的排放总管路86，然后排放到大气，查看与抽真空单元6的第一吸气管路61连接的第一真空度显示器66、与压缩单元2的压缩机入口气体缓冲罐23连接的第二真空度显示器231和与抽真空单元6的第三吸气管路63连接的第三真空度显示器68，必须在5分钟内达到真空度小于50mtorr，否则，停止抽真空，待泄漏问题解决后重复上述步骤，直到真空度达到要求，然后：
34.关闭抽真空单元6的第一吸气管路61上的气动开关阀611；
35.关闭抽真空单元6的第二吸气管路62上的气动开关阀621；
36.关闭抽真空单元6的第三吸气管路63上的气动开关阀631和手动隔膜阀633；
37.停止真空泵60；
查看与抽真空单元6的第一吸气管路61连接的第一真空度显示器66、与压缩单元2的压缩机入口气体缓冲罐23连接的第二真空度显示器231和与抽真空单元6的第三吸气管路63连接的第三真空度显示器68，必须在1分钟内真空度降小于10mtorr，否则，待泄漏问题解决后重复上述步骤，直到真空度变化达到要求，然后：
38.打开抽真空单元6的第一吸气管路61上的气动开关阀611；
39.打开抽真空单元6的第二吸气管路62上的气动开关阀621；
40.打开抽真空单元6的第三吸气管路63上的气动开关阀631和手动隔膜阀633；
41.启动真空泵60，持续1分钟，然后：
42.停止真空泵60；
43.关闭抽真空单元6的第一吸气管路61上的气动开关阀611；
44.关闭抽真空单元6的第二吸气管路62上的气动开关阀621；
45.关闭抽真空单元6的第三吸气管路63上的气动开关阀631和手动隔膜阀633；
46.关闭排放单元8的第一排放支管路81上的手动隔膜阀812；然后：
四.充装
47.关闭低温回收单元7的旁路充气管道71上的气动开关阀711；
(1)当气瓶10内的余气为高附加值气体，例如氙气时，则：
48.打开进气单元1的多个其内有残留氙气的气瓶10的瓶口出气阀；
49.打开充装单元3的多个气瓶30的瓶口进气阀；
50.启动压缩单元2的压缩机20；
气瓶10内的残余氙气经进气单元1的进气总管路11、压缩单元2的压缩机入口气体缓冲罐23和压缩机进口管路21进入压缩机20，加压至2100PSIG后经压缩单元2的压缩机出口管路22、充装单元3的充气总管路31和多个充气支管路32，充装到相应的多个气瓶30内，当多个气瓶30的压力表显示瓶内压力为2100PSIG时，则：
51.关闭充装单元3的多个气瓶30的瓶口进气阀；
52.关闭充装单元3的充气总管路31上的气动开关阀311；
当进气单元1的多个其内存有氙气的气瓶10的压力表显示瓶内压力小于50PSIG时，则：
53.停止压缩单元2的压缩机20；然后：
54.打开低温回收单元7冷媒注入管路72上的电磁开关阀721，来自冷媒储罐(未示出)内的压力为96-100PSIG温度为-176℃的液氮经冷媒注入管路72注入开放式杜瓦罐76内，当与开放式杜瓦罐76内壁相接触的热电偶78所显示的温度达到-50℃时，则：
55.打开低温回收单元7的气瓶70的瓶口进气阀；
56.打开低温回收单元7的旁路充气管道71上的气动开关阀711；
气瓶70内的气体受到低温冷却而液化，在气瓶70内形成高真空，进气单元1的气瓶10内残留的氙气和进气单元1、压缩单元2和充装单元3相关的设备和管路内残留的氙气进入气瓶70内，使高附加值的氙气得到最大限度的回收，当热电偶78所显示的温度稳定在-170℃左右，压力显示器36所示压力降至0PSIG时，则：
57.关闭低温回收单元7的气瓶70的瓶口进气阀；
58.关闭冷媒注入管路72上的电磁开关阀721；
59.关闭低温回收单元7的旁路充气管道71上的气动开关阀711；
60.关闭压缩单元2的压缩机进口管路21上的气动开关阀211和压缩机出口管路22上的气动开关阀221；
61.关闭进气单元1的进气总管路11上的手动隔膜阀111、气动开关阀112和自力式压力调节阀114；
62.关闭进气单元1的多个其内已经基本上没有残留氙气的气瓶10的瓶口出气阀。
(2)当气瓶10内的余气为氟化氢或氯化氢有毒有害气体时，则：
48.关闭进气单元1的进气总管路11上的手动隔膜阀111、气动开关阀112和自力式压力调节阀114；
49.关闭压缩单元2的压缩机进口管路21上的气动开关阀211和压缩机出口管路22上的气动开关阀221；
50.关闭充装单元3的充气总管路31上的气动开关阀311；
51.关闭低温回收单元7的旁路充气管道71上的气动开关阀711
52.打开排放单元8的高点排放管路84上的第一手动隔膜阀841、气动开关阀842和自力式压力调节阀843；
53.打开排放单元8的旁路排放管道85上的手动隔膜阀851；
54.打开置换单元4的第一吹扫气支管路41上的手动隔膜阀411；
55.打开置换单元4的旁路管道43上的气动开关阀432；
56.打开进气单元1的多个其内有残留氟化氢或氯化氢有毒有害气体的气瓶10的瓶口出气阀；
气瓶10内的残留氟化氢或氯化氢有毒有害气体经进气单元1的多个进气支管路12进入进气单元1的进气总管路11，与此同时，来自低压氮气储罐(未示出)的35-50PSIG的低压氮气经吹扫置换单元4的吹扫气总管路40、第一吹扫气支管路41和旁路管道43进入进气单元1的进气总管路11，氟化氢或氯化氢有毒有害气体与低压氮气在进气单元1的进气总管路11内混合，然后经排放单元8的高点排放管路84和排放单元8的旁路排放管道85进入洗涤塔(未示出)，在塔内PH值为12的碱性溶液与氟化氢或氯化氢有毒有害气体与低压氮气的混合气逆向接触，碱性溶液中的碱与混合气中的氟化氢或氯化氢有毒有害气体进行化学反应，消除毒性后与低压氮气一起排放到大气；
这样，使具有极强的腐蚀性的氟化氢或氯化氢有毒有害气体在进入排放单元8的高点排放管路84内前被稀释，减小氟化氢或氯化氢有毒有害气体对其所接触的排放单元8的高点排放管路84和旁路排放管道85及洗涤塔的腐蚀；
当进气单元1的多个内有残留氟化氢或氯化氢有毒有害气体的气瓶10的压力表显示瓶内压力为5PSIG时，则：
57.关闭进气单元1的多个其内只有少量残留氟化氢或氯化氢有毒有害气体的气瓶10的瓶口出气阀。
58.关闭排放单元8的高点排放管路84上的第一手动隔膜阀841、气动开关阀842和自力式压力调节阀843；
59.关闭排放单元8的旁路排放管道85上的手动隔膜阀851。
(3)当气瓶10内的余气为可燃气体或纯惰性气体时，则：
48.打开进气单元1的多个其内有残留可燃气体或纯惰性气体的气瓶10的瓶口出气阀，查看与进气单元1的进气总管路11连接的第二压力显示器18：
①若所示压力小于50PSIG，则：
49.关闭进气单元1的进气总管路11上的手动隔膜阀111、气动开关阀112和自力式压力调节阀114；
50.关闭压缩单元2的压缩机进口管路21上的气动开关阀211和压缩机出口管路22上的气动开关阀221；
51.关闭充装单元3的充气总管路31上的气动开关阀311；
52.关闭低温回收单元7的旁路充气管道71上的气动开关阀711
53.打开排放单元8的高点排放管路84上的第一手动隔膜阀841、气动开关阀842、自力式压力调节阀843和第二手动隔膜阀845，气瓶10内的残留可燃气体或纯惰性气体经排放单元8的高点排放管路84排放到大气，当进气单元1的多个其内残留可燃气体或纯惰性气体的气瓶10的压力表显示瓶内压力为5PSIG时，然后：
54.关闭排放单元8的高点排放管路84上的第一手动隔膜阀841、气动开关阀842、自力式压力调节阀843和第二手动隔膜阀845；
55.关闭进气单元1的多个其内只有少量残留可燃气体或纯惰性气体的气瓶10的瓶口出气阀。
②若所示压力大于50PSIG，则：
49.启动压缩单元2的压缩机20，气瓶10内的残留可燃气体或纯惰性气体经进气单元1的进气总管路11、压缩单元2的压缩机入口气体缓冲罐23和压缩机进口管路21进入压缩机20，加压至2100PSIG后经压缩单元2的压缩机出口管路22、充装单元3的充气总管路31和多个充气支管路32，充装到相应的多个气瓶30内，当多个气瓶30的压力表显示瓶内压力为2100PSIG时，则：
50.关闭充装单元3的多个气瓶30的瓶口进气阀；
51.关闭充装单元3的充气总管路31上的气动开关阀311；
当进气单元1的多个其内残留可燃气体或纯惰性气体的气瓶10的压力表显示瓶内压力为5PSIG时，则：
52.停止压缩单元2的压缩机20；然后：
53.关闭进气单元1的进气总管路11上的手动隔膜阀111、气动开关阀112和自力式压力调节阀114；
54.关闭压缩单元2的压缩机进口管路21上的气动开关阀211和压缩机出口管路22上的气动开关阀221；
55.关闭进气单元1的多个其内只有少量残留可燃气体或纯惰性气体的气瓶10的瓶口出气阀。
在还有其它需要向充装单元3的多个气瓶30充装其内残留的可燃气体或纯惰性气体的多个气瓶10时，则：
56.打开置换单元4的第一吹扫气支管路41上的手动隔膜阀411；
57.打开置换单元4的旁路管道43上的气动开关阀432；
来自低压氮气储罐(未示出)的35-50PSIG的低压氮气经吹扫置换单元4的吹扫气总管路40、第一吹扫气支管路41和旁路管道43进入进气单元1的进气总管路11和多个进气支管路12；
58.使多个其内只有少量残留可燃气体或纯惰性气体的气瓶10的瓶口出气阀与进气单元1的相应多个进气支管路12脱离连接；
59.将其它需要向充装单元3的多个气瓶30充装其内残留的可燃气体或纯惰性气体的多个气瓶10的瓶口出气阀与进气单元1的相应多个进气支管路12连接。
向进气单元1的进气总管路11和多个进气支管路12充入低压氮气，能够在更换多个气瓶10时防止空气或其它污染物进入进气单元1的多个进气支管路12。
Claims (10)
1.一种回收气瓶内余气的装置，其特征在于，具有：
一进气单元，该进气单元具有一进气总管路、多个进气支管路和多个其内存有余气的气瓶，该多个进气支管路的进气端与该多个其内存有余气的气瓶连接，该多个进气支管路的出气端与该进气总管路的进气端连接；
一充装单元，该充装单元具有一充气总管路、多个充气支管路和多个空气瓶，该多个充气支管路的进气端与该充气总管路的出气端连接，该多个充气支管路的出气端与该多个空气瓶连接；
一压缩单元，该压缩单元具有一压缩机、一压缩机进口管路和一压缩机出口管路，该压缩机进口管路的进气端与该进气单元的该进气总管路的出气端连接，该压缩机进口管路的出气端与该压缩机的进口连接，该压缩机出口管路的进气端与该压缩机的出口连接，该压缩机出口管路的出气端与该充装单元的该充气总管路连接；
一吹扫置换单元，该吹扫置换单元具有一吹扫气总管路和一第一吹扫气支管路，该吹扫气总管路的出气端与该第一吹扫气支管路的进气端连接，该第一吹扫气支管路的出气端与该进气单元的该进气总管路连接；
一承压测试单元，该承压测试单元具有一承压气总管路和一第一承压气支管路，该承压气总管路的出气端与该第一承压气支管路的进气端连接，该第一承压气支管路的出气端与该进气单元的该进气总管路连接；
一抽真空单元，该抽真空单元具有一真空泵和一第一吸气管路，该第一吸气管路的进气端与该进气单元的该进气总管路连接，该第一吸气管路的出气端与该真空泵的进口连接；
一排放单元，该排放单元具有一第一排放支管路、一第二排放支管路和一排放总管路，该第一排放支管路的进气端与该抽真空单元的该真空泵的出口连接，该第一排放支管路的出气端与该排放总管路的进气端连接，该第二排放支管路的进气端与该进气单元的该进气总管路连接，该第二排放支管路的出气端与该排放总管路的进气端连接。
2.根据权利要求1所述的回收气瓶内余气的装置，其特征在于，该吹扫置换单元还具有一第二吹扫气支管路，该吹扫气总管路的出气端与该第二吹扫气支管路的进气端连接，该第二吹扫气支管路的出气端与该充装单元的该充气总管路连接。
3.根据权利要求1所述的回收气瓶内余气的装置，其特征在于，该吹扫置换单元还具有一旁路管道，该旁路管道的进气端与该第一吹扫气支管路连接，该旁路管道的出气端与该进气单元的该进气总管路连接。
4.根据权利要求1所述的回收气瓶内余气的装置，其特征在于，该承压测试单元还具有一第二承压气支管路，该承压气总管路的出气端与该第二承压气支管路的进气端连接，该第二承压气支管路的出气端与该充装单元的该充气总管路的进气端连接。
5.根据权利要求1所述的回收气瓶内余气的装置，其特征在于，该抽真空单元还具有一第二吸气管路和一第三吸气管路，该第二吸气管路的进气端与该压缩单元的该压缩机出口管路连接，该第二吸气管路的出气端与该抽真空单元的该真空泵的进口连接，该第三吸气管路的进气端与该充装单元的该充气总管路连接，该第三吸气管路的出气端与该抽真空单元的该真空泵的进口连接。
6.根据权利要求1所述的回收气瓶内余气的装置，其特征在于，该排放单元还具有一第三排放支管路，该第三排放支管路的进气端与该充装单元的该充气总管路连接，该第三排放支管路的出气端与该排放总管路的进气端连接。
7.根据权利要求1所述的回收气瓶内余气的装置，其特征在于，该排放单元还具有一高点排放管路和一旁路排放管道，该高点排放管路的进气端与该进气单元的该进气总管路连接，该旁路排放管道的进气端与该高点排放管路连接，该旁路排放管道的出气端与洗涤塔连接。
8.根据权利要求1至7中任一所述的回收气瓶内余气的装置，其特征在于，还具有一低温回收单元，该低温回收单元具有一空铝制气瓶、一旁路充气管道、一开放式杜瓦罐和一冷媒注入管路，该空铝制气瓶在该开放式杜瓦罐内，该旁路充气管道的进气端与该充装单元的该充气总管路连接，该旁路充气管道的出气端与该空铝制气瓶连接，该冷媒注入管路的出液端伸入该开放式杜瓦罐内。
9.一种通过按照权利要求1所述的回收气瓶内余气的装置回收气瓶内余气的方法，其特征在于，具有下列顺序步骤：
(1)检查进气单元、压缩单元和充装单元内的余气的压力，若该余气的压力大于2PSIG，则：
(2)排出该进气单元、该压缩单元和该充装单元内的余气，在该余气的压力小于2PSIG时，停止排出；
(3)向该进气单元、该压缩单元和该充装单元内充入压力为35-50PSIG的低压惰性气体，持续一定时间，停止充入；
(4)排出该进气单元、该压缩单元和该充装单元内的该低压惰性气体，检查该进气单元、该压缩单元和该充装单元内该低压惰性气体的压力，在该低压惰性气体的压力小于2PSIG时，停止排出；
将步骤(3)和步骤(4)重复两次；
(5)向该进气单元、该压缩单元和该充装单元内充入压力为1800-2100PSIG的高压惰性气体，使该进气单元、该压缩单元和该充装单元内该高压惰性气体的压力达到不小于1800PSIG，待压力稳定后停止充入该高压惰性气体，并确保在3分钟内该高压惰性气体的压力降小于10PSIG；
(6)排出该进气单元、该压缩单元和该充装单元内的该高压惰性气体，检查该进气单元、该压缩单元和该充装单元内该高压惰性气体的压力，在该高压惰性气体的压力小于2PSIG时，停止排出；
(7)对该进气单元、该压缩单元和该充装单元内抽真空，在5分钟内该进气单元、该压缩单元和该充装单元内的真空度达到小于50mtorr，然后停止抽真空，然后在1分钟内该进气单元、该压缩单元和该充装单元内的真空度降小于10mtorr时，则：
(8)启动该压缩单元的压缩机，将来自进气单元的多个其内具有余气的气瓶内的残留余气加压后充装到该充装单元的多个空气瓶内。
10.一种通过按照权利要求8所述的回收气瓶内余气的装置回收气瓶内余气的方法，其特征在于，具有下列顺序步骤：
(1)检查进气单元、压缩单元和充装单元内的余气的压力，若该余气的压力大于2PSIG，则：
(2)排出该进气单元、该压缩单元和该充装单元内的余气，在该余气的压力小于2PSIG时，停止排出；
(3)向该进气单元、该压缩单元和该充装单元内充入压力为35-50PSIG的低压惰性气体，持续一定时间，停止充入；
(4)排出该进气单元、该压缩单元和该充装单元内的该低压惰性气体，检查该进气单元、该压缩单元和该充装单元内该低压惰性气体的压力，在该低压惰性气体的压力小于2PSIG时，停止排出；
将步骤(3)和步骤(4)重复两次；
(5)向该进气单元、该压缩单元和该充装单元内充入压力为1800-2100PSIG的高压惰性气体，使该进气单元、该压缩单元和该充装单元内该高压惰性气体的压力达到不小于1800PSIG，待压力稳定后停止充入该高压惰性气体，并确保在3分钟内该高压惰性气体的压力降小于10PSIG；
(6)排出该进气单元、该压缩单元和该充装单元内的该高压惰性气体，检查该进气单元、该压缩单元和该充装单元内该高压惰性气体的压力，在该高压惰性气体的压力小于2PSIG时，停止排出；
(7)对该进气单元、该压缩单元和该充装单元内抽真空，在5分钟内该进气单元、该压缩单元和该充装单元内的真空度达到小于50mtorr，然后停止抽真空，然后在1分钟内该进气单元、该压缩单元和该充装单元内的真空度降小于10mtorr时，则：
(8)启动该压缩单元的压缩机，将来自进气单元的多个其内具有余气的气瓶内的残留余气加压后充装到该充装单元的多个空气瓶内。
(9)将该进气单元的该多个其内具有余气的气瓶内的少量残留余气和该进气单元、该压缩单元和该充装单元内的残留余气抽吸到被低温冷却的铝制空气瓶内。
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