CN112344021B - 一种腔体密封连接结构、镀膜生产线及腔体组装方法 - Google Patents

一种腔体密封连接结构、镀膜生产线及腔体组装方法 Download PDF

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Abstract

本发明涉及镀膜设备技术领域，尤其涉及一种腔体密封连接结构、镀膜生产线及腔体组装方法。其中，所述腔体密封连接结构，包括第一对接法兰、第二对接法兰、密封圈和压条，第一对接法兰和第二对接法兰分别设置在两个腔室腔室相对的一端，一个腔室的第一对接法兰能够与另一个腔室的第二对接法兰固定连接；第一对接法兰内圈凹陷形成有台阶，台阶的侧壁与第二对接法兰形成密封槽；密封圈设置在密封槽中，且位于第一对接法兰和第二对接法兰的对接处；压条设置在密封槽中，用于压紧密封圈。该腔体密封连接结构，便于腔室的密封连接，且在更换密封圈时，腔室保持不动，无需拆除脱开，作业效率高，节约时间及成本。

Description

一种腔体密封连接结构、镀膜生产线及腔体组装方法
技术领域
本发明涉及镀膜设备技术领域，尤其涉及一种腔体密封连接结构、镀膜生产线及腔体组装方法。
背景技术
在真空镀膜生产线中，需要有多个真空镀膜室首尾相连组成可连续镀膜的生产线，以增加产能，提高生产效率。由于镀膜是在高真空环境下进行的，多个首尾相连的镀膜室之间需要安装橡胶圈进行密封。然而橡胶密封圈的使用寿命是有限的，当寿命达到后需要更换，否则会影响密封性能，造成漏气。
现有的镀膜室之间放置密封圈，然后将镀膜室彼此间固定连接。当更换密封圈时，需要将这些相连的镀膜室脱开，以便取出旧密封圈并更换新的密封圈。在生产线中，镀膜室往往比较大且比较重，装机时是定好位且调平的，脱开会造成大量的工作量，且镀膜室移动后二次安装需要重新定位调平，内部传动机构需要重新调试，增加大量额外的工作，生产成本增高。
因此，亟待需要一种镀膜生产线以解决上述问题。
发明内容
本发明的第一个目的在于提供一种腔体密封连接结构，便于腔室的密封连接，且在更换密封圈时，腔室保持不动，无需拆除脱开，作业效率高，节约时间及成本。
本发明的第二个目的在于提供一种镀膜生产线，更换密封圈时，腔室保持不动，无需拆除脱开，且便于操作，作业效率高，节约时间及成本。
本发明的第三个目的在于提供一种腔体组装方法，便于组装腔室，更换密封圈时，腔室保持不动，无需拆除脱开，且便于操作，作业效率高。
为实现上述目的，提供以下技术方案：
第一方面，提供了一种腔体密封连接结构，包括：
第一对接法兰和第二对接法兰，分别设置在两个腔室相对的一端，一个所述腔室的第一对接法兰能够与另一个所述腔室的第二对接法兰固定连接；所述第一对接法兰内圈凹陷形成有台阶，所述台阶的侧壁与所述第二对接法兰形成密封槽；
密封圈，设置在所述密封槽中，且位于所述第一对接法兰和所述第二对接法兰的对接处；
压条，设置在所述密封槽中，用于压紧所述密封圈。
作为所述腔体密封连接结构的可选方案，所述压条朝向所述密封圈的一侧倒角形成有压条挤压面，所述压条挤压面与所述密封槽的内壁形成容纳空间，所述密封圈被所述压条压缩在所述容纳空间内。
作为所述腔体密封连接结构的可选方案，所述压条由多个子压条分段围设形成环状。
作为所述腔体密封连接结构的可选方案，多个所述子压条中包括带转角段和条形段，所述带转角段设置在所述密封槽的转角处，所述条形段设置在所述密封槽的平直段。
作为所述腔体密封连接结构的可选方案，所述压条与所述第一对接法兰通过螺栓固定连接。
第二方面，提供了一种镀膜生产线，包括如上所述的腔体密封连接结构，所述镀膜生产线还包括至少两个所述腔室，所述腔室之间通过所述腔体密封连接结构密封连接。
作为所述镀膜生产线的可选方案，每个所述腔室的两端分别一体成型有所述第一对接法兰和所述第二对接法兰。
第三方面，提供了一种腔体组装方法，基于如上所述的镀膜生产线，包括如下步骤：
S1、通过第一对接法兰和第二对接法兰将至少两个腔室固定连接，所述第一对接法兰内圈凹陷形成有台阶，所述台阶的侧壁与所述第二对接法兰形成密封槽；
S2、将密封圈安装到所述密封槽中并位于所述第一对接法兰和所述第二对接法兰的对接处；
S3、将压条压入所述密封槽中以压紧所述密封圈，使所述密封圈密封所述第一对接法兰和所述第二对接法兰的对接处。
作为所述腔体组装方法的可选方案，所述腔体组装方法还包括如下步骤：
S4、当需要更换密封圈时，保持腔室静止，然后拆除所述压条，取出旧的密封圈换上新的密封圈，最后重新装入所述压条。
作为所述腔体组装方法的可选方案，利用螺栓将所述压条固定连接在所述第一对接法兰上，并使所述压条挤压密封圈。
与现有技术相比，本发明的有益效果为：
本发明提供的腔体密封连接结构，包括第一对接法兰、第二对接法兰、密封圈和压条，第一对接法兰和第二对接法兰分别设置在两个腔室相对的一端，一个腔室的第一对接法兰能够与另一个腔室的第二对接法兰固定连接；第一对接法兰内圈凹陷形成有台阶，台阶的侧壁与第二对接法兰形成密封槽；密封圈设置在密封槽中，且位于第一对接法兰和第二对接法兰的对接处；压条设置在密封槽中，用于压紧密封圈。该腔体密封连接结构，便于腔室的密封连接，且在更换密封圈时，腔室保持不动，无需拆除脱开，作业效率高，节约时间及成本。
本发明提供的镀膜生产线，更换密封圈时，腔室保持不动，无需拆除脱开，且便于操作，作业效率高，节约时间及成本。
本发明提供的腔体组装方法，便于组装腔室，更换密封圈时，腔室保持不动，无需拆除脱开，且便于操作，作业效率高。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对本发明实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本发明实施例的内容和这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例提供的镀膜生产线的结构示意图；
图2为本发明实施例提供的腔室的结构示意图；
图3为本发明实施例提供的两个腔室连接处的剖视图；
图4为图3中A处的局部放大图。
附图标记：
100-腔室；101-第一对接法兰；102-第二对接法兰；103-密封槽；
200-密封圈；
300-压条；301-带转角段；302-条形段；
400-螺栓。
具体实施方式
为了使本领域技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。
在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
如图1-图4所示，本实施例提供了一种腔体密封连接结构，包括第一对接法兰101、第二对接法兰102、密封圈200和压条300。其中，第一对接法兰101和第二对接法兰102分别设置在两个腔室100相对的一端，且一个腔室100的第一对接法兰101能够与另一个腔室100的第二对接法兰102固定连接；第一对接法兰101内圈凹陷形成有台阶，台阶的侧壁与第二对接法兰102形成密封槽103；密封圈200设置在密封槽103中，并位于第一对接法兰101和第二对接法兰102的对接处；压条300设置在密封槽103中，用于压紧密封圈200。
该腔体密封连接结构，便于腔室100的密封连接，且在更换密封圈200时，腔室100保持不动，无需拆除脱开，作业效率高，节约时间及成本。
示例性地，腔室100可以是镀膜室、装载腔或清洗室。
可选地，压条300朝向密封圈200的一侧倒角形成有压条挤压面，压条挤压面与密封槽103的内壁形成容纳空间，密封圈200被压条300压缩在容纳空间内。
示例性地，所述压条挤压面可以为平面，则压条挤压面与密封槽103的内壁形成三条形的容纳空间，密封圈200被压条300挤压在三条形的容纳空间中。在其他实施例中，所述压条挤压面还可以为弧面或其他形状，只要能够将密封圈200挤压在容纳空间中，实现对第一对接法兰101和第二对接法兰102对接处的密封即可。
优选地，压条300由多个子压条分段围设形成环状，以便于压条300拆装。
在本实施例中，第一对接法兰101和第二对接法兰102为矩形法兰，为了便于在矩形法兰转角处安装压条，多个子压条中包括带转角段301和条形段302，带转角段301设置在密封槽103的转角处，条形段302设置在密封槽103的平直段。将压条300分成多个带转角段301和条形段302，便于在拆装带转角段301。当然，在其他实施例中，当第一对接法兰101和第二对接法兰102为圆形法兰时，压条300由多个弧形段拼合而成。
优选地，压条300与第一对接法兰101通过螺栓400固定连接。通过螺栓400将压条300挤压锁紧在第一对接法兰101上，并对密封圈200进行挤压，保证密封效果。
如图1所示，本实施例还提供了一种镀膜生产线，包括上述腔体密封连接结构和至少两个腔室100。多个腔室100通过其上设置第一对接法兰101和第二对接法兰102固定密封连接。
可选地，每个腔室100的两端分别一体成型有第一对接法兰101和第二对接法兰102，一方面能够保证腔室100与第一对接法兰101和第二对接法兰102之间的密封性，另一方面能够提高腔室100与第一对接法兰101和第二对接法兰102之间的连接强度。
本实施例还提供了一种腔体组装方法，基于上述的镀膜生产线，包括如下步骤：
S1、通过第一对接法兰101和第二对接法兰102将至少两个腔室100固定连接，第一对接法兰101内圈凹陷形成有台阶，台阶的侧壁与第二对接法兰102形成密封槽103；
S2、将密封圈200安装到密封槽103中并位于第一对接法兰101和第二对接法兰102的对接处；
S3、将压条300压入密封槽103中以压紧密封圈200，使密封圈200密封第一对接法兰101和第二对接法兰102的对接处。
进一步地，腔体组装方法还包括如下步骤：S4、当需要更换密封圈200时，保持腔室100静止，然后拆除压条300，取出旧的密封圈200换上新的密封圈200，最后重新装入压条300。在更换密封圈200时，腔室100保持不动，无需拆除脱开，从而无需重新对腔室100进行定位调平，且便于操作，作业效率高。
可选地，利用螺栓400将压条300固定连接在第一对接法兰101上，并使压条300挤压密封圈200。
注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所说的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (9)

1.一种腔体密封连接结构，其特征在于，包括：
第一对接法兰(101)和第二对接法兰(102)，分别设置在两个腔室(100)相对的一端，一个所述腔室(100)的第一对接法兰(101)能够与另一个所述腔室(100)的第二对接法兰(102)固定连接；所述第一对接法兰(101)内圈凹陷形成有台阶，所述台阶的侧壁与所述第二对接法兰(102)形成密封槽(103)；
密封圈(200)，设置在所述密封槽(103)中，且位于所述第一对接法兰(101)和所述第二对接法兰(102)的对接处；
压条(300)，设置在所述密封槽(103)中，用于压紧所述密封圈(200)，所述压条(300)朝向所述密封圈(200)的一侧倒角形成有压条挤压面，所述压条挤压面与所述密封槽(103)的内壁形成容纳空间，所述密封圈(200)被所述压条(300)压缩在所述容纳空间内。
2.根据权利要求1所述的腔体密封连接结构，其特征在于，所述压条(300)由多个子压条分段围设形成环状。
3.根据权利要求2所述的腔体密封连接结构，其特征在于，多个所述子压条中包括带转角段(301)和条形段(302)，所述带转角段(301)设置在所述密封槽(103)的转角处，所述条形段(302)设置在所述密封槽(103)的平直段。
4.根据权利要求1-3任一项所述的腔体密封连接结构，其特征在于，所述压条(300)与所述第一对接法兰(101)通过螺栓(400)固定连接。
5.一种镀膜生产线，其特征在于，包括如权利要求1-4任意一项所述的腔体密封连接结构，所述镀膜生产线还包括至少两个所述腔室(100)，所述腔室(100)之间通过所述腔体密封连接结构密封连接。
6.根据权利要求5所述的镀膜生产线，其特征在于，每个所述腔室(100)的两端分别一体成型有所述第一对接法兰(101)和所述第二对接法兰(102)。
7.一种腔体组装方法，其特征在于，基于如权利要求5-6任一项所述的镀膜生产线，包括如下步骤：
S1、通过第一对接法兰(101)和第二对接法兰(102)将至少两个腔室(100)固定连接，所述第一对接法兰(101)内圈凹陷形成有台阶，所述台阶的侧壁与所述第二对接法兰(102)形成密封槽(103)；
S2、将密封圈(200)安装到所述密封槽(103)中并位于所述第一对接法兰(101)和所述第二对接法兰(102)的对接处；
S3、将压条(300)压入所述密封槽(103)中以压紧所述密封圈(200)，使所述密封圈(200)密封所述第一对接法兰(101)和所述第二对接法兰(102)的对接处。
8.根据权利要求7所述的腔体组装方法，其特征在于，所述腔体组装方法还包括如下步骤：
S4、当需要更换密封圈(200)时，保持腔室(100)静止，然后拆除所述压条(300)，取出旧的密封圈(200)换上新的密封圈(200)，最后重新装入所述压条(300)。
9.根据权利要求8所述的腔体组装方法，其特征在于，利用螺栓(400)将所述压条(300)固定连接在所述第一对接法兰(101)上，并使所述压条(300)挤压密封圈(200)。
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