CN112342424A - 一种内网式金属陶瓷基板材料的制备方法 - Google Patents

一种内网式金属陶瓷基板材料的制备方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种内网式金属陶瓷基板材料的制备方法，属于陶瓷制备技术领域，本发明可以通过成网微球与陶瓷原料的混合，在半固化阶段通过加热触发其分解动作，进而与残留的水分进行接触，进一步触发气体生成，一方面气体在陶瓷原料内形成致密均匀的孔道，另一方面气体在水中形成的微小气泡在加热状态下迅速膨胀炸裂，利用持续不断的冲击力在陶瓷原料内中心区域进行扩孔，从而形成中间宽两端窄的孔道，采用液相浸渗时金属或者合金可以与陶瓷形成高强度的结合，并且可以迅速将热量直接散发出去，另外成网微球在陶瓷成型的过程中通过磁力可以自主形成致密的二维网状结构，再与金属形成空间三维散热结构，极大的增强金属陶瓷基板材料的散热性及强度。

Description

一种内网式金属陶瓷基板材料的制备方法
技术领域
本发明涉及陶瓷制备技术领域，更具体地说，涉及一种内网式金属陶瓷基板材料的制备方法。
背景技术
陶瓷材料化学性能稳定、电绝缘性好，线膨胀系数与电子元器件非常相近，是电子元器件中常用的基板材料之一。但是陶瓷材料的热导率相对较低，难以满足大功率集成电路或大功率LED的散热要求。
金属材料因为具有高的热导率、机械强度和良好的加工性能等优点，至今仍是人们继续开发和推广的主要材料之一。但是金属材料的线性膨胀系数与微电子芯片不匹配，在使用过程中将产生热应力而发生翘曲，更严重的是引起芯片的脱落而使电子元器件失效。
金属陶瓷是一种复合材料，它的定义在不同时期略有不同，如，有的定义为由陶瓷和金属组成的一种材料，或由粉末冶金方法制成的陶瓷与金属的复合材料。《辞海》定义为：由金属和陶瓷原料制成的材料，兼有金属和陶瓷的某些优点，如前者的韧性和抗弯性，后者的耐高温、高强度和抗氧化性能等。美国ASTM专业委员会定义为：一种由金属或合金与一种或多种陶瓷相组成的非均质的复合材料，其中后者约占15％-85％体积分数，同时在制备的温度下，金属和陶瓷相之间的溶解度相当小。从狭义的角度定义的金属陶瓷是指复合材料中金属和陶瓷相在三维空间上都存在界面的一类材料。
近年来，金属陶瓷复合材料以其高热导率、膨胀系数可调、比刚度大、密度小，使封装结构具有功率密度高、芯片寿命长、可靠性高和质量轻等特点，在电子封装材料领域展现出了良好的应用前景。传统金属陶瓷复合材料多采用粉末冶金的方法制备，陶瓷与金属两相互相隔离，陶瓷的低膨胀系数和金属高导热能力没有很好的发挥。
发明内容
1.要解决的技术问题
针对现有技术中存在的问题，本发明的目的在于提供一种内网式金属陶瓷基板材料的制备方法，可以通过成网微球与陶瓷原料的混合，在半固化阶段通过加热触发其分解动作，进而与残留的水分进行接触，进一步触发气体生成，一方面气体在陶瓷原料内形成致密均匀的孔道，另一方面气体在水中形成的微小气泡在加热状态下迅速膨胀炸裂，利用持续不断的冲击力在陶瓷原料内中心区域进行扩孔，从而形成中间宽两端窄的孔道，采用液相浸渗时金属或者合金可以与陶瓷形成高强度的结合，并且可以迅速将热量直接散发出去，另外成网微球在陶瓷成型的过程中通过磁力可以自主形成致密的二维网状结构，在对陶瓷进行补强的同时，可以充分聚集陶瓷中的热量，再与金属形成空间三维散热结构，极大的增强金属陶瓷基板材料的散热性及强度。
2.技术方案
为解决上述问题，本发明采用如下的技术方案。
一种内网式金属陶瓷基板材料的制备方法，包括以下步骤：
S1、按配比称取陶瓷粉体60-80份、水10-20份、粘结剂10-20份、增塑剂2-5份和分散剂1-3份均匀混合后得到陶瓷浆料；
S2、将陶瓷浆料分为等分的两份，取其中一份与质量占比10-20％的成网微球均匀混合；
S3、将混合后成网微球的陶瓷浆料注入至成网模具内，然后施加磁场作用迫使成网微球进行均匀分布，随后注入剩余的陶瓷浆料；
S4、静置2-3h后待陶瓷浆料半固化后开始加热至60-80℃，触发成网微球的分解动作，从而在半固化的陶瓷浆料形成竖直贯通的孔道；
S5、加热持续3-5min后停止加热并自然冷却，静置4-6h后待完全固化取出得到陶瓷坯体；
S6、将陶瓷坯体送入烧结设备内，在1000-1800℃的温度下烧结2-6h，取出陶瓷基体后与熔融的金属或合金浸渗，冷却后得到内网式金属陶瓷基板材料。
进一步的，步骤S1中的所述粘结剂为聚乙烯醇缩丁醛，所述增塑剂为聚乙二醇，所述分散剂为三油酸甘油酯。
进一步的，所述成网微球包括分解节点球，所述分解节点球一端覆盖有磁吸层，所述分解节点球上镶嵌连接有多个环形阵列分布的导热碳纤维，所述导热碳纤维远离分解节点球一端连接有磁性端头，所述磁性端头远离导热碳纤维一端镶嵌连接有重熔颗粒，分解节点球用来在触发分解动作后在陶瓷原料内部形成孔道，磁吸层则与外界施加的磁场作用相配合，从而在陶瓷原料内进行均匀分布，同时有利于将导热碳纤维进行定位，从而有助于后续的成网动作，磁性端头可以利用相互之间的磁吸力迫使相邻的导热碳纤维建立连接，而重熔颗粒在一定的高温下会熔融并在冷却后对一对磁性端头一体连接，从而提高导热碳纤维成网连接时的强度。
进一步的，所述分解节点球包括热解外衣、水解层和导热芯球，所述导热芯球设于热解外衣内，且水解层填充于热解外衣和导热芯球之间，所述导热碳纤维依次贯穿热解外衣和水解层与导热芯球连接，热解外衣起到保护水解层的作用，避免其提前与水分接触，在加热条件下会逐渐分解暴露出水解层，水解层与水分接触后触发气体的生成，一方面气体在陶瓷原料内形成致密均匀的孔道，另一方面气体在水中形成的微小气泡在加热状态下迅速膨胀炸裂，利用持续不断的冲击力在陶瓷原料内中心区域进行扩孔，从而形成中间宽两端窄的孔道，采用液相浸渗时金属或者合金可以与陶瓷形成高强度的结合，导热芯球作为成网节点起到补强和聚集热量的作用。
进一步的，所述热解外衣和导热碳纤维均采用硬性导热材料制成，所述水解层采用泡腾崩解剂制成，所述导热芯球采用遇热分解的物质制成。
进一步的，所述导热碳纤维的长度与分解节点球的直径比为1:0.8-1.2，所述重熔颗粒采用低熔点合金材料制成，导热碳纤维的长度过长导致成网强度低，也会干扰热量的散发效率，长度过短则会干扰到陶瓷本身性质，且材料成本也进一步增加，重熔颗粒在陶瓷烧结的过程中会熔融，然后在冷却后固化将磁性端头实现高强度的连接。
进一步的，所述成网模具包括相匹配的定模板和动模板，所述定模板上端开设有型槽，所述动模板下端开设有移动槽，所述移动槽内滑动连接有与型槽相匹配的电加热板，所述电加热板上端安装有多个均匀分布的电磁铁，所述电加热板与移动槽底壁之间连接有一对升降油缸，电加热板起到临时充当模板的作用，然后在电磁铁的磁力作用下先将成网微球吸引至下端面进行均匀分布，然后电加热板上升到指定位置，再注入剩下的陶瓷原料，从而使得成网微球预埋在陶瓷原料内的中部。
进一步的，步骤S6中所述熔融的金属或合金为Al、Ag、Cu及其合金。
进一步的，步骤S6中陶瓷坯体先在200-300℃的温度下烧结30-40min，再升温到600-800℃烧结40-60min，然后升温至1000℃以上烧结60-90min，接着降温至600-800℃保温30-40min，最后自然冷却至室温。
进一步的，步骤S6中在氮气的保护下，将熔融的金属或合金在气压5-10MPa的条件下浸渍至陶瓷基体内。
3.有益效果
相比于现有技术，本发明的优点在于：
(1)本方案可以通过成网微球与陶瓷原料的混合，在半固化阶段通过加热触发其分解动作，进而与残留的水分进行接触，进一步触发气体生成，一方面气体在陶瓷原料内形成致密均匀的孔道，另一方面气体在水中形成的微小气泡在加热状态下迅速膨胀炸裂，利用持续不断的冲击力在陶瓷原料内中心区域进行扩孔，从而形成中间宽两端窄的孔道，采用液相浸渗时金属或者合金可以与陶瓷形成高强度的结合，并且可以迅速将热量直接散发出去，另外成网微球在陶瓷成型的过程中通过磁力可以自主形成致密的二维网状结构，在对陶瓷进行补强的同时，可以充分聚集陶瓷中的热量，再与金属形成空间三维散热结构，极大的增强金属陶瓷基板材料的散热性及强度。
(2)成网微球包括分解节点球，分解节点球一端覆盖有磁吸层，分解节点球上镶嵌连接有多个环形阵列分布的导热碳纤维，导热碳纤维远离分解节点球一端连接有磁性端头，磁性端头远离导热碳纤维一端镶嵌连接有重熔颗粒，分解节点球用来在触发分解动作后在陶瓷原料内部形成孔道，磁吸层则与外界施加的磁场作用相配合，从而在陶瓷原料内进行均匀分布，同时有利于将导热碳纤维进行定位，从而有助于后续的成网动作，磁性端头可以利用相互之间的磁吸力迫使相邻的导热碳纤维建立连接，而重熔颗粒在一定的高温下会熔融并在冷却后对一对磁性端头一体连接，从而提高导热碳纤维成网连接时的强度。
(3)分解节点球包括热解外衣、水解层和导热芯球，导热芯球设于热解外衣内，且水解层填充于热解外衣和导热芯球之间，导热碳纤维依次贯穿热解外衣和水解层与导热芯球连接，热解外衣起到保护水解层的作用，避免其提前与水分接触，在加热条件下会逐渐分解暴露出水解层，水解层与水分接触后触发气体的生成，一方面气体在陶瓷原料内形成致密均匀的孔道，另一方面气体在水中形成的微小气泡在加热状态下迅速膨胀炸裂，利用持续不断的冲击力在陶瓷原料内中心区域进行扩孔，从而形成中间宽两端窄的孔道，采用液相浸渗时金属或者合金可以与陶瓷形成高强度的结合，导热芯球作为成网节点起到补强和聚集热量的作用。
(4)导热碳纤维的长度与分解节点球的直径比为1:0.8-1.2，重熔颗粒采用低熔点合金材料制成，导热碳纤维的长度过长导致成网强度低，也会干扰热量的散发效率，长度过短则会干扰到陶瓷本身性质，且材料成本也进一步增加，重熔颗粒在陶瓷烧结的过程中会熔融，然后在冷却后固化将磁性端头实现高强度的连接。
(5)成网模具包括相匹配的定模板和动模板，定模板上端开设有型槽，动模板下端开设有移动槽，移动槽内滑动连接有与型槽相匹配的电加热板，电加热板上端安装有多个均匀分布的电磁铁，电加热板与移动槽底壁之间连接有一对升降油缸，电加热板起到临时充当模板的作用，然后在电磁铁的磁力作用下先将成网微球吸引至下端面进行均匀分布，然后电加热板上升到指定位置，再注入剩下的陶瓷原料，从而使得成网微球预埋在陶瓷原料内的中部。
附图说明
图1为本发明成网微球的结构示意图；
图2为本发明分解节点球正常状态下的结构示意图；
图3为本发明成网模具的结构示意图；
图4为本发明分解节点球分解状态下的结构示意图；
图5为本发明内网式金属陶瓷基板材料的结构示意图。
图中标号说明：
1分解节点球、11热解外衣、12水解层、13导热芯球、2磁吸层、3导热碳纤维、4磁性端头、5重熔颗粒、6定模板、7动模板、8升降油缸、9电加热板、10电磁铁。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“顶/底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“套设/接”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
实施例1：
一种内网式金属陶瓷基板材料的制备方法，包括以下步骤：
S1、按配比称取陶瓷粉体60份、水10份、粘结剂10份、增塑剂2份和分散剂1份均匀混合后得到陶瓷浆料；
S2、将陶瓷浆料分为等分的两份，取其中一份与质量占比10％的成网微球均匀混合；
S3、将混合后成网微球的陶瓷浆料注入至成网模具内，然后施加磁场作用迫使成网微球进行均匀分布，随后注入剩余的陶瓷浆料；
S4、静置2h后待陶瓷浆料半固化后开始加热至60℃，触发成网微球的分解动作，从而在半固化的陶瓷浆料形成竖直贯通的孔道；
S5、加热持续3min后停止加热并自然冷却，静置4h后待完全固化取出得到陶瓷坯体；
S6、将陶瓷坯体送入烧结设备内，在1000℃的温度下烧结2h，取出陶瓷基体后与熔融的金属或合金浸渗，请参阅图5，冷却后得到内网式金属陶瓷基板材料。
步骤S1中的粘结剂为聚乙烯醇缩丁醛，增塑剂为聚乙二醇，分散剂为三油酸甘油酯。
请参阅图1，成网微球包括分解节点球1，分解节点球1一端覆盖有磁吸层2，分解节点球1上镶嵌连接有多个环形阵列分布的导热碳纤维3，导热碳纤维3远离分解节点球1一端连接有磁性端头4，磁性端头4远离导热碳纤维3一端镶嵌连接有重熔颗粒5，分解节点球1用来在触发分解动作后在陶瓷原料内部形成孔道，磁吸层2则与外界施加的磁场作用相配合，从而在陶瓷原料内进行均匀分布，同时有利于将导热碳纤维3进行定位，从而有助于后续的成网动作，磁性端头4可以利用相互之间的磁吸力迫使相邻的导热碳纤维3建立连接，而重熔颗粒5在一定的高温下会熔融并在冷却后对一对磁性端头4一体连接，从而提高导热碳纤维3成网连接时的强度。
请参阅图2和图4，分解节点球1包括热解外衣11、水解层12和导热芯球13，导热芯球13设于热解外衣11内，且水解层12填充于热解外衣11和导热芯球13之间，导热碳纤维3依次贯穿热解外衣11和水解层12与导热芯球13连接，热解外衣11起到保护水解层12的作用，避免其提前与水分接触，在加热条件下会逐渐分解暴露出水解层12，水解层12与水分接触后触发气体的生成，一方面气体在陶瓷原料内形成致密均匀的孔道，另一方面气体在水中形成的微小气泡在加热状态下迅速膨胀炸裂，利用持续不断的冲击力在陶瓷原料内中心区域进行扩孔，从而形成中间宽两端窄的孔道，采用液相浸渗时金属或者合金可以与陶瓷形成高强度的结合，导热芯球13作为成网节点起到补强和聚集热量的作用。
热解外衣11和导热碳纤维3均采用硬性导热材料制成，最好与熔融的金属或合金材料保持一致，水解层12采用泡腾崩解剂制成，导热芯球13采用遇热分解的物质制成，例如高锰酸钾、碳酸氢铵等。
导热碳纤维3的长度与分解节点球1的直径比为1:0.8-1.2，重熔颗粒5采用低熔点合金材料制成，导热碳纤维3的长度过长导致成网强度低，也会干扰热量的散发效率，长度过短则会干扰到陶瓷本身性质，且材料成本也进一步增加，重熔颗粒5在陶瓷烧结的过程中会熔融，然后在冷却后固化将磁性端头4实现高强度的连接。
请参阅图3，成网模具包括相匹配的定模板6和动模板7，定模板6上端开设有型槽，动模板7下端开设有移动槽，移动槽内滑动连接有与型槽相匹配的电加热板9，电加热板9上端安装有多个均匀分布的电磁铁10，电加热板9与移动槽底壁之间连接有一对升降油缸8，电加热板9起到临时充当模板的作用，然后在电磁铁10的磁力作用下先将成网微球吸引至下端面进行均匀分布，然后电加热板9上升到指定位置，再注入剩下的陶瓷原料，从而使得成网微球预埋在陶瓷原料内的中部。
步骤S6中熔融的金属或合金为Al、Ag、Cu及其合金。
步骤S6中陶瓷坯体先在200-300℃的温度下烧结30-40min，再升温到600-800℃烧结40-60min，然后升温至1000℃以上烧结60-90min，接着降温至600-800℃保温30-40min，最后自然冷却至室温。
步骤S6中在氮气的保护下，将熔融的金属或合金在气压5-10MPa的条件下浸渍至陶瓷基体内。
实施例2：
一种内网式金属陶瓷基板材料的制备方法，包括以下步骤：
S1、按配比称取陶瓷粉体70份、水15份、粘结剂15份、增塑剂3份和分散剂2份均匀混合后得到陶瓷浆料；
S2、将陶瓷浆料分为等分的两份，取其中一份与质量占比15％的成网微球均匀混合；
S3、将混合后成网微球的陶瓷浆料注入至成网模具内，然后施加磁场作用迫使成网微球进行均匀分布，随后注入剩余的陶瓷浆料；
S4、静置2.5h后待陶瓷浆料半固化后开始加热至70℃，触发成网微球的分解动作，从而在半固化的陶瓷浆料形成竖直贯通的孔道；
S5、加热持续4min后停止加热并自然冷却，静置5h后待完全固化取出得到陶瓷坯体；
S6、将陶瓷坯体送入烧结设备内，在1400℃的温度下烧结4h，取出陶瓷基体后与熔融的金属或合金浸渗，请参阅图5，冷却后得到内网式金属陶瓷基板材料。
其余部分与实施例1保持一致。
实施例3：
一种内网式金属陶瓷基板材料的制备方法，包括以下步骤：
S1、按配比称取陶瓷粉体80份、水20份、粘结剂20份、增塑剂5份和分散剂3份均匀混合后得到陶瓷浆料；
S2、将陶瓷浆料分为等分的两份，取其中一份与质量占比20％的成网微球均匀混合；
S3、将混合后成网微球的陶瓷浆料注入至成网模具内，然后施加磁场作用迫使成网微球进行均匀分布，随后注入剩余的陶瓷浆料；
S4、静置3h后待陶瓷浆料半固化后开始加热至80℃，触发成网微球的分解动作，从而在半固化的陶瓷浆料形成竖直贯通的孔道；
S5、加热持续5min后停止加热并自然冷却，静置6h后待完全固化取出得到陶瓷坯体；
S6、将陶瓷坯体送入烧结设备内，在1800℃的温度下烧结6h，取出陶瓷基体后与熔融的金属或合金浸渗，请参阅图5，冷却后得到内网式金属陶瓷基板材料。
其余部分与实施例1保持一致。
本发明可以通过成网微球与陶瓷原料的混合，在半固化阶段通过加热触发其分解动作，进而与残留的水分进行接触，进一步触发气体生成，一方面气体在陶瓷原料内形成致密均匀的孔道，另一方面气体在水中形成的微小气泡在加热状态下迅速膨胀炸裂，利用持续不断的冲击力在陶瓷原料内中心区域进行扩孔，从而形成中间宽两端窄的孔道，采用液相浸渗时金属或者合金可以与陶瓷形成高强度的结合，并且可以迅速将热量直接散发出去，另外成网微球在陶瓷成型的过程中通过磁力可以自主形成致密的二维网状结构，在对陶瓷进行补强的同时，可以充分聚集陶瓷中的热量，再与金属形成空间三维散热结构，极大的增强金属陶瓷基板材料的散热性及强度。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式；但本发明的保护范围并不局限于此。任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其改进构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围内。

Claims (10)

1.一种内网式金属陶瓷基板材料的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：
S1、按配比称取陶瓷粉体60-80份、水10-20份、粘结剂10-20份、增塑剂2-5份和分散剂1-3份均匀混合后得到陶瓷浆料；
S2、将陶瓷浆料分为等分的两份，取其中一份与质量占比10-20％的成网微球均匀混合；
S3、将混合后成网微球的陶瓷浆料注入至成网模具内，然后施加磁场作用迫使成网微球进行均匀分布，随后注入剩余的陶瓷浆料；
S4、静置2-3h后待陶瓷浆料半固化后开始加热至60-80℃，触发成网微球的分解动作，从而在半固化的陶瓷浆料形成竖直贯通的孔道；
S5、加热持续3-5min后停止加热并自然冷却，静置4-6h后待完全固化取出得到陶瓷坯体；
S6、将陶瓷坯体送入烧结设备内，在1000-1800℃的温度下烧结2-6h，取出陶瓷基体后与熔融的金属或合金浸渗，冷却后得到内网式金属陶瓷基板材料。
2.根据权利要求1所述的一种内网式金属陶瓷基板材料的制备方法，其特征在于：步骤S1中的所述粘结剂为聚乙烯醇缩丁醛，所述增塑剂为聚乙二醇，所述分散剂为三油酸甘油酯。
3.根据权利要求1所述的一种内网式金属陶瓷基板材料的制备方法，其特征在于：所述成网微球包括分解节点球(1)，所述分解节点球(1)一端覆盖有磁吸层(2)，所述分解节点球(1)上镶嵌连接有多个环形阵列分布的导热碳纤维(3)，所述导热碳纤维(3)远离分解节点球(1)一端连接有磁性端头(4)，所述磁性端头(4)远离导热碳纤维(3)一端镶嵌连接有重熔颗粒(5)。
4.根据权利要求3所述的一种内网式金属陶瓷基板材料的制备方法，其特征在于：所述分解节点球(1)包括热解外衣(11)、水解层(12)和导热芯球(13)，所述导热芯球(13)设于热解外衣(11)内，且水解层(12)填充于热解外衣(11)和导热芯球(13)之间，所述导热碳纤维(3)依次贯穿热解外衣(11)和水解层(12)与导热芯球(13)连接。
5.根据权利要求4所述的一种内网式金属陶瓷基板材料的制备方法，其特征在于：所述热解外衣(11)和导热碳纤维(3)均采用硬性导热材料制成，所述水解层(12)采用泡腾崩解剂制成，所述导热芯球(13)采用遇热分解的物质制成。
6.根据权利要求3所述的一种内网式金属陶瓷基板材料的制备方法，其特征在于：所述导热碳纤维(3)的长度与分解节点球(1)的直径比为1:0.8-1.2，所述重熔颗粒(5)采用低熔点合金材料制成。
7.根据权利要求1所述的一种内网式金属陶瓷基板材料的制备方法，其特征在于：所述成网模具包括相匹配的定模板(6)和动模板(7)，所述定模板(6)上端开设有型槽，所述动模板(7)下端开设有移动槽，所述移动槽内滑动连接有与型槽相匹配的电加热板(9)，所述电加热板(9)上端安装有多个均匀分布的电磁铁(10)，所述电加热板(9)与移动槽底壁之间连接有一对升降油缸(8)。
8.根据权利要求1所述的一种内网式金属陶瓷基板材料的制备方法，其特征在于：步骤S6中所述熔融的金属或合金为Al、Ag、Cu及其合金。
9.根据权利要求1所述的一种内网式金属陶瓷基板材料的制备方法，其特征在于：步骤S6中陶瓷坯体先在200-300℃的温度下烧结30-40min，再升温到600-800℃烧结40-60min，然后升温至1000℃以上烧结60-90min，接着降温至600-800℃保温30-40min，最后自然冷却至室温。
10.根据权利要求1所述的一种内网式金属陶瓷基板材料的制备方法，其特征在于：步骤S6中在氮气的保护下，将熔融的金属或合金在气压5-10MPa的条件下浸渍至陶瓷基体内。
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