CN112326692A - 一种高世代玻璃基板微波纹度的在线测量方法 - Google Patents
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- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract description 49
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 41
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 title claims description 4
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims abstract description 51
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 14
- 238000006124 Pilkington process Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims abstract description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 4
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 15
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 239000005329 float glass Substances 0.000 description 1
- 238000005816 glass manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/958—Inspecting transparent materials or objects, e.g. windscreens
-
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/28—Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
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- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
本发明公开一种高世代玻璃基板微波纹度的在线测量方法,包括以下步骤:a、沿玻璃基板的浮法流向,将玻璃基板分隔标记成一组取样矩形块,取样矩形块按照矩形阵列分布;b、每个取样矩形块的中心线作为取样线,取样线与浮法流向垂直;c、采用光学微波纹度检查机对玻璃基板所有的取样线进行扫描,每个取样线的微波纹度代表对应取样矩形块的微波纹度;d、计算所有取样矩形块微波纹度的平均值,该平均值作为玻璃基板的微波纹度平均值;所有取样矩形块中的最大微波纹度,作为玻璃基板的最大微波纹度;所有取样矩形块中的最小微波纹度,作为玻璃基板的最小微波纹度;该方法能够在线、且无损地对玻璃基板的微波纹度进行全面测量,测量效率高,准确度高。
Description
技术领域
本发明涉及玻璃基板检测技术领域,具体是一种高世代玻璃基板微波纹度的在线测量方法。
背景技术
浮法工艺生产的玻璃基板垂直于浮法方向存在微波纹,玻璃制造过程需检测微波纹度以分级,玻璃面加工后需检测微波纹度以验证面加工质量。现有手段一般垂直于浮法玻璃流向取一条玻璃带用于抽测微波纹度和粗糙度。使用探针仪扫描取样玻璃带中线得到垂直与浮法流向一条线的微波纹度数值。因探针仪扫描的长度局限,扫描前通常根据探针仪的扫描长度把玻璃带切割成一组样品,样品1、样品2、样品3等。
现有的微波纹度检测手段存在如下的局限性:
1、抽测样本量数量少。只能抽测某一个时间点或某个点的检测数据,不能如实反应整板玻璃的微波纹度。
2、抽测样本长度小。抽测时使用探针扫描法检测微波纹度,测试样本不大于50cmx50cm,扫描长度≤20cm,只能测量1小段的平面度,不可知整板的微波纹度。
3、抽测过程需要对玻璃做破坏性实验,导致不能过多抽检玻璃。
4、抽测使用探针扫描法检测微波纹度,测试时间长,等到测试结果出来,可能已经产生很多不良品。
发明内容
本发明的目的在于提供一种高世代玻璃基板微波纹度的在线测量方法,该方法能够在线、且无损地对玻璃基板的微波纹度进行全面测量,测量效率高,准确度高。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:
一种高世代玻璃基板微波纹度的在线测量方法,包括以下步骤:
a、沿玻璃基板的浮法流向,将玻璃基板分隔标记成一组取样矩形块,取样矩形块按照矩形阵列分布;
b、每个取样矩形块的中心线作为取样线,取样线与浮法流向垂直;
c、采用光学微波纹度检查机对玻璃基板所有的取样线进行扫描,每个取样线的微波纹度代表对应取样矩形块的微波纹度;
d、计算所有取样矩形块微波纹度的平均值,该平均值作为玻璃基板的微波纹度平均值;所有取样矩形块中的最大微波纹度,作为玻璃基板的最大微波纹度;所有取样矩形块中的最小微波纹度,作为玻璃基板的最小微波纹度。
进一步的,每个取样线采用取样线的中点坐标进行定义。
本发明的有益效果是,舍弃传统的对玻璃基板进行切割破坏的方法,将玻璃基板标记分隔成一组取样矩形块,然后对每个取样矩形块采用光学微波纹度检查机进行测量,测量的样本极大地提高,能够全面地对玻璃基板的微波纹度进行测量,且为无损非接触式测量,提高测量的精度和准确性,并且效率高。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明:
图1是本发明的示意图。
具体实施方式
如图1所示,本发明提供一种高世代玻璃基板微波纹度的在线测量方法,包括以下步骤:
a、沿玻璃基板1的浮法流向,将玻璃基板分隔标记成一组取样矩形块2,取样矩形块2按照矩形阵列分布;取样矩形块2将整片玻璃基板完全分隔标记;
取样矩形块2的尺寸可以根据玻璃基板的尺寸进行调整,取样矩形块的尺寸也可以不一致,只要保证将整片玻璃板全面的分隔标记即可;
b、每个取样矩形块的中心线作为取样线3,取样线3与浮法流向垂直;
每个取样线采用取样线的中心点坐标进行定义,例如(X1、Y1),(X1、Y2),(X1、Y3)分别指代三根取样线,继而表示与取样线相对应的取样矩形块;
当浮法方向不同时,相应的改变坐标系来对中心点进行定义即可;
c、采用光学微波纹度检查机对玻璃基板所有的取样线进行扫描,每个取样线的微波纹度代表对应取样矩形块的微波纹度;
d、计算所有取样矩形块微波纹度的平均值,该平均值作为玻璃基板的微波纹度平均值;所有取样矩形块中的最大微波纹度,作为玻璃基板的最大微波纹度;所有取样矩形块中的最小微波纹度,作为玻璃基板的最小微波纹度。
以上所述,仅是本发明的较佳实施例而已,并非对本发明作任何形式上的限制;任何熟悉本领域的技术人员,在不脱离本发明技术方案范围情况下,都可利用上述揭示的方法和技术内容对本发明技术方案做出许多可能的变动和修饰,或修改为等同变化的等效实施例。因此,凡是未脱离本发明技术方案的内容,依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同替换、等效变化及修饰,均仍属于本发明技术方案保护的范围内。
Claims (2)
1.一种高世代玻璃基板微波纹度的在线测量方法,其特征在于,包括以下步骤:
a、沿玻璃基板的浮法流向,将玻璃基板分隔标记成一组取样矩形块,取样矩形块按照矩形阵列分布;
b、每个取样矩形块的中心线作为取样线,取样线与浮法流向垂直;
c、采用光学微波纹度检查机对玻璃基板所有的取样线进行扫描,每个取样线的微波纹度代表对应取样矩形块的微波纹度;
d、计算所有取样矩形块微波纹度的平均值,该平均值作为玻璃基板的微波纹度平均值;所有取样矩形块中的最大微波纹度,作为玻璃基板的最大微波纹度;所有取样矩形块中的最小微波纹度,作为玻璃基板的最小微波纹度。
2.根据权利要求1所述的一种高世代玻璃基板微波纹度的在线测量方法,其特征在于,每个取样线采用取样线的中心点坐标进行定义。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202011427500.5A CN112326692A (zh) | 2020-12-09 | 2020-12-09 | 一种高世代玻璃基板微波纹度的在线测量方法 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202011427500.5A CN112326692A (zh) | 2020-12-09 | 2020-12-09 | 一种高世代玻璃基板微波纹度的在线测量方法 |
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---|---|
CN112326692A true CN112326692A (zh) | 2021-02-05 |
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ID=74302339
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202011427500.5A Pending CN112326692A (zh) | 2020-12-09 | 2020-12-09 | 一种高世代玻璃基板微波纹度的在线测量方法 |
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Country | Link |
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CN (1) | CN112326692A (zh) |
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