CN112296830A - 研磨装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种研磨装置，包含基座、二承载组、第一砂轮组及第二砂轮组。二承载组分别设置于基座上并包含下主轴及载盘。载盘设置于下主轴上以承载待磨组件。第一砂轮组及第二砂轮组分别可位移地设置于基座上。第一砂轮组包含第一Z轴滑台及第一砂轮轴。第二砂轮组包含第二Z轴滑台及第二砂轮轴。第一砂轮轴可位移地设置于第一Z轴滑台上，并受第一Z轴滑台带动于二载盘上方位移。第二砂轮轴可位移地设置于第二Z轴滑台上，并受第二Z轴滑台带动于二载盘上方位移。借此，可提升研磨装置的作业速度及加工精度，并提升产品良率。

Description

研磨装置

技术领域

本发明涉及一种研磨装置，且尤其涉及一种具有稳固的承载组及可多方向位移的砂轮组研磨装置。

背景技术

在半导体产业中，为了有效率的对产品(如晶片或玻璃基板)进行加工，工艺设备上会将多个下主轴及工件承载平台设置于大回转盘上。借由大回转盘的公转将下主轴及工件承载平台调整至加工装置下方，以对待作业组件进行加工，然而将下主轴设置于大回转盘上的结构，由于该下主轴亦有自转功能，且需配置相关的水、气、电等必要的管线，致使容易因下主轴与大回转盘的连接结构导致大回转盘于公转时，影响下主轴及工件承载平台的稳定性，进而使产品的良率降低，且无法进行高精密度的加工。再者，若前述待加工的产品尺寸增大则其对应的工件承载平台、大回转盘等诸多构件也将随之而变大，且不利于其制造的精度及组配，如此除有前述的缺点，尚会造成工作空间变大，而降低其厂房利用率。

有鉴于此，一种可同时有效率地且稳定地对于多个产品进行加工的半导体工艺设备为业界目前亟需研究开发的目标。

发明内容

本发明的目的在于提供一种研磨装置，通过将下主轴稳固地设置于基座上及可多方向位移的砂轮组的配置以提升研磨装置的加工精度，进而提升产品的良率。

依据本发明的一实施方式提供一种研磨装置，其特征在于，包含基座、二承载组、第一砂轮组及第二砂轮组。承载组设置于基座上，其中各承载组包含下主轴及载盘。载盘设置于下主轴上以承载待磨组件。第一砂轮组设置于基座上，且位于各承载组的一侧，并可相对该基座位移。第一砂轮组包含第一Z轴滑台及第一砂轮轴。第一砂轮轴可位移地设置于第一Z轴滑台上，并受第一Z轴滑台带动以于二载盘上方位移。第二砂轮组设置于基座上，且位于各承载组的另一侧，并可相对该基座位移。第二砂轮组包含第二Z轴滑台及第二砂轮轴。第二砂轮轴可位移地设置于第二Z轴滑台上，并受第二Z轴滑台带动于二载盘上方位移。借此，研磨装置的下主轴可稳固地设置于基座上以提升研磨装置的加工精度，进而提升产品良率。

根据前段所述实施方式的研磨装置，其中各承载组分别沿承载枢转轴心进行枢转，且各载盘为吸附平台。

根据前段所述实施方式的研磨装置，还包含机架。机架设置于基座上并与第一砂轮组连接。

根据前段所述实施方式的研磨装置，其中第一Z轴滑台包含第一Z轴滑台马达、第一Z轴滑台螺杆及第一Z轴滑台线轨。第一Z轴滑台螺杆与第一砂轮轴连接，并受第一Z轴滑台马达带动，进而带动第一砂轮轴，以调整第一砂轮轴于Z轴方向的位置。第一Z轴滑台线轨与第一砂轮轴连接。第二Z轴滑台包含第二Z轴滑台马达、第二Z轴滑台螺杆及第二Z轴滑台线轨。第二Z轴滑台螺杆与第二砂轮轴连接，并受第二Z轴滑台马达带动，进而带动第二砂轮轴，以调整第二砂轮轴于Z轴方向的位置。第二Z轴滑台线轨与第二砂轮轴连接。

根据前段所述实施方式的研磨装置，其中基座包含X轴滑台及Y轴滑台。X轴滑台设置于基座上。Y轴滑台可位移地设置于X轴滑台上以承载第二砂轮组。

根据前段所述实施方式的研磨装置，其中X轴滑台包含X轴滑台马达、X轴滑台螺杆及X轴滑台线轨。X轴滑台马达设置于基座上。X轴滑台螺杆与Y轴滑台连接并受X轴滑台马达带动，以调整Y轴滑台于X轴方向的位置。X轴滑台线轨设置于X轴滑台上并配合X轴滑台螺杆而与Y轴滑台连接。

根据前段所述实施方式的研磨装置，其中Y轴滑台包含Y轴滑台马达、Y轴滑台螺杆及Y轴滑台线轨。Y轴滑台马达设置于基座上。Y轴滑台螺杆与第二Z轴滑台连接并受Y轴滑台马达带动，以调整第二Z轴滑台于Y轴方向的位置。Y轴滑台线轨设置于Y轴滑台上并配合Y轴滑台螺杆而与第二Z轴滑台连接。

根据前段所述实施方式的研磨装置，其中机架包含X轴机架马达、X轴机架螺杆及X轴机架线轨。X轴机架马达设置于机架上。X轴机架螺杆与第一Z轴滑台连接并受X轴机架马达带动，以调整第一Z轴滑台于X轴方向的位置。X轴机架线轨设置于机架上并配合X轴机架螺杆而与第一Z轴滑台连接。

根据前段所述实施方式的研磨装置，其中基座还包含第一X轴滑台、第一Y轴滑台、第二X轴滑台及第二Y轴滑台。第一X轴滑台设置于基座上，且位于各承载组的一侧。第一Y轴滑台可位移地设置于第一X轴滑台上，且第一砂轮组设置于第一Y轴滑台。第二X轴滑台设置于基座上，且位于各承载组的另一侧。第二Y轴滑台可位移地设置于第二X轴滑台上，且第二砂轮组设置于第二Y轴滑台。

根据前段所述实施方式的研磨装置，其中第一X轴滑台包含第一X轴滑台马达、第一X轴滑台螺杆及第一X轴滑台线轨。第一X轴滑台马达设置于基座上。第一X轴滑台螺杆与第一Y轴滑台连接并受第一X轴滑台马达带动，以调整第一Y轴滑台于X轴方向的位置。第一X轴滑台线轨设置于第一X轴滑台上并配合第一X轴滑台螺杆而与第一Y轴滑台连接。第二X轴滑台包含第二X轴滑台马达、第二X轴滑台螺杆及第二X轴滑台线轨。第二X轴滑台马达设置于基座上。第二X轴滑台螺杆与第二Y轴滑台连接，并受第二X轴滑台马达带动，以调整第二Y轴滑台于X轴方向的位置。第二X轴滑台线轨设置于第二X轴滑台上并配合第二X轴滑台螺杆而与第二Y轴滑台连接。

根据前段所述实施方式的研磨装置，其中第一Y轴滑台包含第一Y轴滑台马达、第一Y轴滑台螺杆及第一Y轴滑台线轨。第一Y轴滑台马达设置于第一Y轴滑台上。第一Y轴滑台螺杆与第一Z轴滑台连接并受第一Y轴滑台马达带动，以调整第一Z轴滑台于Y轴方向的位置。第一Y轴滑台线轨设置于第一Y轴滑台上并配合第一Y轴滑台螺杆而与第一Z轴滑台连接。第二Y轴滑台包含第二Y轴滑台马达、第二Y轴滑台螺杆及第二Y轴滑台线轨。第二Y轴滑台马达设置于第二Y轴滑台上。第二Y轴滑台螺杆与第二Z轴滑台连接并受第二Y轴滑台马达带动，以调整第二Z轴滑台于Y轴方向的位置。第二Y轴滑台线轨设置于第二Y轴滑台上并配合第二Y轴滑台螺杆而与第二Z轴滑台连接。

根据前段所述实施方式的研磨装置，还包含第一砂轮枢转台及第二砂轮枢转台。第一砂轮枢转台设置于基座，其中第一砂轮组设置于第一砂轮枢转台。第二砂轮枢转台设置于基座，其中第二砂轮组设置于第二砂轮枢转台。

附图说明

图1A绘示依照本发明一实施方式的研磨装置的上视图；

图1B绘示依照图1A实施方式的研磨装置的立体图；

图1C绘示依照图1A实施方式的研磨装置的侧视图；

图1D绘示依照图1A实施方式的研磨装置另一状态的侧视图；

图2A绘示依照本发明另一实施方式的研磨装置的上视图；

图2B绘示依照图2A实施方式的研磨装置的侧视图；

图3A绘示依照本发明又一实施方式的研磨装置的上视图；

图3B绘示依照图3A实施方式的研磨装置的立体图；以及

图3C绘示依照图3A实施方式的研磨装置的侧视图。

附图标记说明如下：

100、200、300：研磨装置

110、210、310：基座

120、220、320：承载组

121、221、321：下主轴

122、222、322：载盘

130a、230a、330a：第一砂轮组

130b、230b、330b：第二砂轮组

131a、231a、331a：第一Z轴滑台

131b、231b、331b：第二Z轴滑台

132a、232a、332a：第一砂轮轴

132b、232b、332b：第二砂轮轴

133a、233a、333a：第一Z轴滑台马达

133b、233b、333b：第二Z轴滑台马达

134a、234a、334a：第一Z轴滑台线轨

134b、234b、334b：第二Z轴滑台线轨

135a、235a、335a：第一Z轴滑台螺杆

135b、235b、335b：第二Z轴滑台螺杆

136a、237a、337a：第一工作组件

136b、237b、337b：第二工作组件

140：机架

141：X轴机架马达

142：X轴机架线轨

143：X轴机架螺杆

150：Y轴滑台

250a：第一Y轴滑台

250b：第二Y轴滑台

151：Y轴滑台马达

251a：第一Y轴滑台马达

251b：第二Y轴滑台马达

152：Y轴滑台线轨

252a：第一Y轴滑台线轨

252b：第二Y轴滑台线轨

153：Y轴滑台螺杆

253a：第一Y轴滑台螺杆

253b：第二Y轴滑台螺杆

160：X轴滑台

260a：第一X轴滑台

260b：第二X轴滑台

161：X轴滑台马达

261a：第一X轴滑台马达

261b：第二X轴滑台马达

162：X轴滑台线轨

262a：第一X轴滑台线轨

262b：第二X轴滑台线轨

163：X轴滑台螺杆

263a：第一X轴滑台螺杆

263b：第二X轴滑台螺杆

170：凹槽

270a：第一凹槽

270b：第二凹槽

336a：第一砂轮枢转台

336b：第二砂轮枢转台

Z1、Z2：承载枢转轴心

Z3、Z4：砂轮枢转轴心

具体实施方式

以下将参照附图说明本发明的多个实施例。为明确说明起见，许多实务上的细节将在以下叙述中一并说明。然而，应了解到，这些实务上的细节不应用以限制本发明。也就是说，在本发明部分实施例中，这些实务上的细节是非必要的。此外，为简化附图起见，一些现有技术惯用的结构与组件在附图中将以简单示意的方式绘示之；并且重复的组件将可能使用相同的编号表示之。

图1A绘示依照本发明一实施方式的研磨装置100的上视图，图1B绘示依照图1A实施方式的研磨装置100的立体图，图1C绘示依照图1A实施方式的研磨装置100的侧视图，图1D绘示依照图1A实施方式的研磨装置100另一状态的侧视图。由图1A、图1B、图1C及图1D可知，研磨装置100包含基座110、二承载组120、一第一砂轮组130a以及一第二砂轮组130b。二承载组120设置于基座110上。第一砂轮组130a及第二砂轮组130b分别可位移地设置于基座110上，其中所述位移可为线位移或角位移。也就是说，第一砂轮组130a与第二砂轮组130b可于基座110上进行线位移或角位移，进而可分别变换其所应的承载组120。

详细来说，各承载组120包含下主轴121及载盘122。载盘122设置于下主轴121上以承载待磨组件。待磨组件可为晶片或玻璃基板，但不以此为限。第一砂轮组130a位于承载组120的一侧，且可相对基座110位移，并包含第一Z轴滑台131a及第一砂轮轴132a。第一砂轮轴132a可位移地设置于第一Z轴滑台131a上，并受第一Z轴滑台131a带动于二载盘122上方位移。第二砂轮组130b位于承载组120的另一侧且可相对基座110位移，并包含第二Z轴滑台131b及第二砂轮轴132b。第二砂轮轴132b可位移地设置于第二Z轴滑台131b上，并受第二Z轴滑台131b带动于二载盘122上方位移。具体来说，二载盘122分别设置于下主轴121上，并承载待磨组件。在图1B、图1C及图1D中，下主轴121是可枢转地设置于基座110中，使承载组120可稳定地定位于基座110上，且下主轴121可带动载盘122旋转，进而当第一砂轮组130a或第二砂轮组130b位移至载盘122上方并对于载盘122上的待磨组件进行研磨加工时，确保载盘122的稳定性。借此，可提升承载组120于研磨加工时的稳定度，以提升研磨装置100的加工精度，进而提升产品的良率。

在图1B中，第一砂轮轴132a是可位移地设置于第一Z轴滑台131a上，其中第一砂轮轴132a的一端与第一工作组件136a连接，以加工其所对应的承载组120上的待磨组件，第一工作组件136a可为粗砂轮，但不以此为限。第二砂轮轴132b是可位移地设置于第二Z轴滑台131b上，其中第二砂轮轴132b的一端与第二工作组件136b连接，以加工其所对应的承载组120上的待磨组件，第二工作组件136b可为细砂轮，但不以此为限。详细来说，第一砂轮轴132a可于第一Z轴滑台131a上进行位移，以靠近或远离载盘122所承载的待磨组件，当第一砂轮轴132a靠近待磨组件时，第一工作组件136a可对待磨组件进行粗磨加工，并于完成粗磨加工后，于第一Z轴滑台131a上朝远离待磨组件方向进行位移。第二砂轮轴132b可于第二Z轴滑台131b上进行位移，以靠近或远离另一载盘122所承载的待磨组件，当第二砂轮轴132b靠近另一载盘122所承载的待磨组件时，第二工作组件136b可对另一待磨组件进行细磨加工，并于完成细磨加工后，于第二Z轴滑台131b上朝远离所述另一待磨组件方向进行位移。当第一砂轮轴132a上的第一工作组件136a与第二砂轮轴132b上的第二工作组件136b分别对其所对应的载盘122上的待磨组件完成粗磨加工及细磨加工后，第一砂轮组130a与第二砂轮组130b分别可于基座110上进行位移，而可分别变换其所应的承载组120，以分别位移至另一载盘122上方，并分别对不同的待磨组件进行粗磨加工及细磨加工。因此，研磨装置100可同时针对二待磨组件分别进行粗磨加工及细磨加工，并借由第一砂轮组130a及第二砂轮组130b轮流对单一待磨组件完成粗磨及细磨的加工作业，进而提升研磨装置100的作业效率。

承载组120分别沿承载枢转轴心Z1、Z2(如图1B)进行枢转且载盘122为吸附平台。详细来说，二承载组120分别可沿承载枢转轴心Z1及承载枢转轴心Z2进行自转，且为了使待磨组件可稳固的放置于载盘122上，研磨装置100的载盘122可为吸附平台用以吸附待磨组件，使待磨组件可稳固的定位于载盘122，可避免待磨组件于加工时因外力影响而产生位移，进而可提升研磨装置100的加工精度。

第一Z轴滑台131a包含第一Z轴滑台马达133a、第一Z轴滑台螺杆135a及第一Z轴滑台线轨134a，而第二Z轴滑台131b包含第二Z轴滑台马达133b、第二Z轴滑台螺杆135b及第二Z轴滑台线轨134b。第一Z轴滑台螺杆135a与第一砂轮轴132a连接，并受第一Z轴滑台马达133a带动，以调整第一砂轮轴132a于Z轴方向的位置。第二Z轴滑台螺杆135b与第二砂轮轴132b连接，并受第二Z轴滑台马达133b带动，以调整第二砂轮轴132b于Z轴方向的位置。第一Z轴滑台线轨134a与第一砂轮轴132a连接。第二Z轴滑台线轨134b与第二砂轮轴132b连接。具体来说，在图1A中，第一Z轴滑台线轨134a、第二Z轴滑台线轨134b的数量分别为二，但不以此为限。第一Z轴滑台螺杆135a设置于二第一Z轴滑台线轨134a间，第二Z轴滑台螺杆135b设置于二第二Z轴滑台线轨134b间。详细来说，第一Z轴滑台马达133a可带动第一Z轴滑台螺杆135a以调整第一砂轮轴132a于Z轴方向的位置，并借由第一Z轴滑台线轨134a的设置，可提升第一砂轮轴132a于Z轴方向位移的稳定性。第二Z轴滑台马达133b可带动第二Z轴滑台螺杆135b以调整第二砂轮轴132b于Z轴方向的位置，并借由第二Z轴滑台线轨134b的设置，可提升第二砂轮轴132b于Z轴方向位移的稳定性。借此，当第一Z轴滑台马达133a、第二Z轴滑台马达133b分别带动第一Z轴滑台螺杆135a、第二Z轴滑台螺杆135b使第一砂轮轴132a及第二砂轮轴132b于Z轴方向上接近待磨组件，并使第一工作组件136a、第二工作组件136b接触其所对应的待磨组件，第一工作组件136a、第二工作组件136b可分别对其对应的待磨组件进行加工。当加工完成时，第一Z轴滑台马达133a、第二Z轴滑台马达133b可分别带动第一Z轴滑台螺杆135a、第二Z轴滑台螺杆135b以连动第一砂轮轴132a及第二砂轮轴132b于Z轴方向上朝远离待磨组件的方向带动第一工作组件136a、第二工作组件136b位移。

基座110可还包含X轴滑台160及Y轴滑台150。研磨装置100还包含机架140。X轴滑台160设置于基座110上。Y轴滑台150可位移地设置于X轴滑台160上以承载第二砂轮组130b，并可于X轴滑台160上进行位移，以调整第二砂轮组130b于基座110上的位置，使第二砂轮轴132b可于二载盘122上方位移。机架140设置于基座110上并与第一砂轮组130a连接，以调整第一砂轮组130a于基座110上的位置，使第一砂轮轴132a可于二载盘122上方位移。也就是说，第一砂轮组130a可借由机架140而间接设置于基座110，而第二砂轮组130b则可直接设置于该基座110。借此，第一砂轮组130a可被机架140带动而于基座110上进行位移，第二砂轮组130b可被Y轴滑台150带动而于基座110上进行位移，使第一砂轮轴132a及第二砂轮轴132b于二载盘122上位移，以对待磨组件进行加工。另外，在第1B、1C及1D图中，基座110可还包含凹槽170，X轴滑台160可设置于凹槽170中，使Y轴滑台150位于凹槽170中并可位移的设置于X轴滑台160上，但不以此为限。借此，研磨装置100可通过凹槽170的设置避免Y轴滑台150受到外力碰撞而损坏。

X轴滑台160包含X轴滑台马达161、X轴滑台螺杆163及X轴滑台线轨162。X轴滑台马达161设置于基座110上。X轴滑台螺杆163与Y轴滑台150连接，X轴滑台螺杆163受X轴滑台马达161带动，以调整Y轴滑台150于X轴方向的位置。X轴滑台线轨162设置于X轴滑台160上并配合X轴滑台螺杆163而与Y轴滑台150连接。

机架140包含X轴机架马达141、X轴机架螺杆143及X轴机架线轨142。X轴机架马达141设置于机架140上。X轴机架螺杆143与第一Z轴滑台131a连接并受X轴机架马达141带动，以调整第一Z轴滑台131a于X轴方向的位置。X轴机架线轨142设置于机架140上并配合X轴机架螺杆143而与第一Z轴滑台131a连接。具体来说，在图1B中，第一Z轴滑台131a与机架140连接。X轴滑台线轨162及X轴机架线轨142的数量均为二，且X轴滑台螺杆163设置于二X轴滑台线轨162间，X轴机架螺杆143设置于二X轴机架线轨142间，但不以此为限。详细来说，X轴滑台马达161可带动X轴滑台螺杆163使Y轴滑台150在X轴滑台160上于X轴方向进行位移，并借由X轴滑台线轨162，提升Y轴滑台150于X轴方向的位移的稳定性。X轴机架马达141可带动X轴机架螺杆143使第一Z轴滑台131a于机架140上于X轴方向进行位移，并借由X轴机架线轨142，提升第一Z轴滑台131a于X轴方向的位移的稳定性。借此，Y轴滑台150可于X轴滑台160上稳定的于X轴方向进行位移，以调整第二砂轮组130b于基座110上的位置，并对放置于二相异的载盘122上的待磨组件进行加工。第一Z轴滑台131a可于X轴机架140上稳定的于X轴方向进行位移，进而调整第一砂轮组130a于基座110上的位置，以对放置于二相异的载盘122上的待磨组件进行加工。

Y轴滑台150包含Y轴滑台马达151、Y轴滑台螺杆153及Y轴滑台线轨152。Y轴滑台马达151设置于基座110上。Y轴滑台螺杆153与第二Z轴滑台131b连接并受Y轴滑台马达151带动，以调整第二Z轴滑台131b于Y轴方向的位置。Y轴滑台线轨152设置于Y轴滑台150上并配合Y轴滑台螺杆153而与第二Z轴滑台131b连接。具体来说，在图1B中，Y轴滑台150与第二Z轴滑台131b连接，Y轴滑台线轨152的数量为二，且Y轴滑台螺杆153设置于二Y轴滑台线轨152间，但不以此为限。详细来说，Y轴滑台马达151可带动Y轴滑台螺杆153以调整第二Z轴滑台131b于Y轴方向的位置，并使第二Z轴滑台131b可定位于Y轴滑台150的进位位置或退位位置。Y轴滑台150可借由设置Y轴滑台线轨152，提升第二Z轴滑台131b于Y轴方向的位移的稳定性。借此，第二Z轴滑台131b可稳定的于Y轴滑台150上于Y轴方向稳定的进行位移，即自进位位置位移至退位位置或自退位位置位移至进位位置。请配合参照图1C及图1D，当研磨装置100将进行加工时，Y轴滑台150会调整第二Z轴滑台131b于Y轴上的位置，使第二砂轮组130b朝接近承载组120的方向进行位移，并将第二Z轴滑台131b定位于进位位置，以对待磨组件进行加工，即如图1D所示。由图1D可知，当Y轴滑台150将第二Z轴滑台131b定位于进位位置时，第一砂轮轴132a与第二砂轮轴132b于X轴方向的路径上会有干涉，因此当研磨装置100交换第一砂轮组130a、第二砂轮组130b于X轴方向的位置以分别对另一待磨组件进行加工时，Y轴滑台马达151会带动Y轴滑台螺杆153，将第二Z轴滑台131b自进位位置调整至退位位置，即如图1C所示，以避免第一砂轮组130a、第二砂轮组130b于X轴方向进行位移时发生碰撞，而导致损坏。值得注意的是，两个承载组120的设置方式可排列为一直线，而第一砂轮组130a、第二砂轮组130b分别设置于其二侧，如此便可减少研磨装置100在Y方向的尺寸，而有益于厂房利用率。又，当单一待磨组件依序完成粗磨及细磨加工后，其被移载离开载盘122，而载盘122再重载另一待磨组件。

图2A绘示依照本发明另一实施方式的研磨装置200的上视图，图2B绘示依照图2A实施方式的研磨装置200的侧视图。由图2A及的2B图可知，研磨装置200包含基座210、二承载组220、第一砂轮组230a、第二砂轮组230b、第一X轴滑台260a、第二X轴滑台260b、第一Y轴滑台250a及第二Y轴滑台250b。承载组220设置于基座210上并包含下主轴221及载盘222，研磨装置200的基座210与承载组220的设置关系与图1A、图1B、图1C及图1D的基座110与承载组120的设置关系相同，在此不另赘述。第一砂轮组230a包含第一Z轴滑台231a、第一砂轮轴232a；第二砂轮组230b包含第二Z轴滑台231b、第二砂轮轴232b。第一Z轴滑台231a包含第一Z轴滑台马达233a、第一Z轴滑台螺杆235a及第一Z轴滑台线轨234a；第二Z轴滑台231b包含第二Z轴滑台马达233b、第二Z轴滑台螺杆235b及第二Z轴滑台线轨234b。第一Z轴滑台231a、第二Z轴滑台231b的结构配置与图1A、图1B、图1C及图1D的第二Z轴滑台131b相同，在此不另赘述。第一X轴滑台260a设置于基座210上，且位于承载组220的一侧、第二X轴滑台260b设置于基座210上，且位于该承载组120的另一侧。第一Y轴滑台250a可位移地设置于第一X轴滑台260a上，且第一砂轮组230a设置于第一Y轴滑台250a上。第二Y轴滑台250b可位移地设置于第二X轴滑台260b上，且第二砂轮组230b设置于第二Y轴滑台250b上。也就是说，第一Y轴滑台250a及第二Y轴滑台250b分别承载第一砂轮组230a、第二砂轮组230b。

详细来说，研磨装置200与研磨装置100的差异在于研磨装置200具有第一X轴滑台260a、第二X轴滑台260b及第一Y轴滑台250a、第二Y轴滑台250b。具体来说，在图2A及图2B的实施方式中，第一Z轴滑台231a与第一砂轮轴232a连接，第二Z轴滑台231b与第二砂轮轴232b连接。第一砂轮轴232a的一端与第一工作组件237a连接，第一工作组件237a可为粗砂轮，以对待磨组件进行粗磨加工，但不以此为限。第二砂轮轴232b的一端与第二工作组件237b连接，第二工作组件237b可为细砂轮，以对磨组件进行细磨加工，但不以此为限。详细来说，第一砂轮轴232a可于第一Z轴滑台231a上进行位移，以靠近待磨组件或远离待磨组件。当第一砂轮轴232a靠近待磨组件时，第一工作组件237a可对待磨组件进行粗磨加工，并于完成粗磨加工后，于第一Z轴滑台231a上朝远离待磨组件方向进行位移。第二砂轮轴232b可于第二Z轴滑台231b上进行位移，以靠近另一待磨组件或远离另一待磨组件，当第二砂轮轴232b靠近另一待磨组件时，第二工作组件237b可对另一待磨组件进行细磨加工，并于完成细磨加工后，于第二Z轴滑台231b上朝远离所述另一待磨组件方向进行位移。当第一砂轮轴232a上的第一工作组件237a与第二砂轮轴232b上的第二工作组件237b分别完成粗磨加工及细磨加工后，分别可于基座210上进行位移，以分别位移至另一载盘222上方，并分别对不同的待磨组件进行粗磨加工及细磨加工。借此，研磨装置200可分别对二待磨组件分别进行粗磨加工及细磨加工，以提升研磨装置200的作业效率。

请参阅图2A及图2B，研磨装置200的第一X轴滑台260a包含第一X轴滑台马达261a、第一X轴滑台螺杆263a及第一X轴滑台线轨262a，而位于承载组220另一侧的第二X轴滑台260b包含第二X轴滑台马达261b、第二X轴滑台螺杆263b及第二X轴滑台线轨262b。第一X轴滑台马达261a、第二X轴滑台马达261b分别设置于基座210上。第一X轴滑台螺杆263a与第一Y轴滑台250a连接并受第一X轴滑台马达261a带动以调整第一Y轴滑台250a于X轴方向的位置。第二X轴滑台螺杆263b与第二Y轴滑台250b连接并受第二X轴滑台马达261b带动，以调整第二Y轴滑台250b于X轴方向的位置。第一X轴滑台线轨262a设置于第一X轴滑台260a上并配合第一X轴滑台螺杆263a而与第一Y轴滑台250a连接。第二X轴滑台线轨262b设置于第二X轴滑台260b上并配合第二X轴滑台螺杆263b而与第二Y轴滑台250b连接。换句话说，第一X轴滑台马达261a、第二X轴滑台马达261b可分别带动第一X轴滑台螺杆263a、第二X轴滑台螺杆263b，使第一Y轴滑台250a、第二Y轴滑台250b分别在第一X轴滑台260a、第二X轴滑台260b上于X轴方向进行位移，并借由第一X轴滑台线轨262a、第二X轴滑台线轨262b的设置提升第一Y轴滑台250a、第二Y轴滑台250b分别于第一X轴滑台260a、第二X轴滑台260b上位移的稳定性。具体来说，在图2A及图2B实施方式中，第一X轴滑台螺杆263a与第一Y轴滑台250a连接并受第一X轴滑台马达261a带动，第一X轴滑台线轨262a的数量为二，且分别设置于第一X轴滑台螺杆263a的两侧，但不以此为限。第二X轴滑台螺杆263b与第二Y轴滑台250b连接并受第二X轴滑台马达261b带动，第二X轴滑台线轨262b的数量为二，且分别设置于第二X轴滑台螺杆263b的两侧，但不以此为限。借此，第一Y轴滑台250a、第二Y轴滑台250b可分别稳定地于其所对应的第一X轴滑台260a、第二X轴滑台260b上进行位移，如此第一Y轴滑台250a、第二Y轴滑台250b可分别调整其所对应的第一砂轮组230a、第二砂轮组230b于基座210上的位置。另外，基座210可还包含第一凹槽270a及第二凹槽270b。第一X轴滑台260a可设置于第一凹槽270a中，第二X轴滑台260b可设置于第二凹槽270b中，使第一Y轴滑台250a、第二Y轴滑台250b分别位于第一凹槽270a、第二凹槽270b中，可避免第一Y轴滑台250a、第二Y轴滑台250b突出于基座210而受到外力碰撞而损坏。具体来说，在图2A及图2B中，第一X轴滑台260a及第一Y轴滑台250a设置于第一凹槽270a中，第二X轴滑台260b及第二Y轴滑台250b设置于第二凹槽270b中，但不以此为限。

请再参阅图2A及图2B，研磨装置200的第一Y轴滑台250a包含第一Y轴滑台马达251a、第一Y轴滑台螺杆253a及第一Y轴滑台线轨252a；而位于承载组220另一侧的第二Y轴滑台250b包含第二Y轴滑台马达251b、第二Y轴滑台螺杆253b及第二Y轴滑台线轨252b。第一Y轴滑台马达251a设置于第一Y轴滑台250a上。第二Y轴滑台马达251b设置于第二Y轴滑台250b上。第一Y轴滑台螺杆253a与第一Z轴滑台231a连接并受第一Y轴滑台马达251a带动，以调整第一Z轴滑台231a于Y轴方向的位置。第二Y轴滑台螺杆253b与第二Z轴滑台231b连接并受第二Y轴滑台马达251b带动，以调整第二Z轴滑台231b于Y轴方向的位置。第一Y轴滑台线轨252a设置于第一Y轴滑台250a上，并配合第一Y轴滑台螺杆253a而与第一Z轴滑台231a连接。第二Y轴滑台线轨252b设置于第二Y轴滑台250b上，并配合第二Y轴滑台螺杆253b而与第二Z轴滑台231b连接。具体来说，在图2A及的图2B中，第一Y轴滑台马达251a设置于第一Y轴滑台250a上，第一Y轴滑台螺杆253a与第一Z轴滑台231a连接并受第一Y轴滑台马达251a带动。第二Y轴滑台马达251b设置于第二Y轴滑台250b上，第二Y轴滑台螺杆253b与第二Z轴滑台231b连接并受第二Y轴滑台马达251b带动。第一Y轴滑台线轨252a、第二Y轴滑台线轨252b的数量分别为二，且第一Y轴滑台螺杆253a设置于二第一Y轴滑台线轨252a间，第二Y轴滑台螺杆253b设置于二第二Y轴滑台线轨252b间，但不以此为限。为了避免第一砂轮组230a、第二砂轮组230b于基座210上进行X轴方向位移时发生碰撞而损坏，第一Y轴滑台250a、第二Y轴滑台250b与第一Z轴滑台231a、第二Z轴滑台231b的设置关系与图1A、图1B、图1C及图1D的Y轴滑台150及第二Z轴滑台131b相同，在此不另赘述。由于研磨装置200具有第一X轴滑台260a、第二X轴滑台260b、第一Y轴滑台250a及第二Y轴滑台250b。因此，当研磨装置200调整第一砂轮组230a、第二砂轮组230b于X轴方向的位移以分别对另一载盘122上的待磨组件进行加工时，可借由第一Y轴滑台250a调整第一Z轴滑台231a于Y轴方向的位置或借由第二Y轴滑台250b调整第二Z轴滑台231b于Y轴方向的位置，又或者借由第一Y轴滑台250a及第二Y轴滑台250b分别调整第一Z轴滑台231a及第二Z轴滑台231b于Y轴方向的位置，以避免第一砂轮组230a、第二砂轮组230b于X轴方向进行位移时发生碰撞而损坏。

图3A绘示依照本发明又一实施方式的研磨装置300的上视图，图3B绘示依照图3A实施方式的研磨装置300的立体图，图3C绘示依照图3A实施方式的研磨装置300的侧视图。由图3A、图3B及图3C可知，研磨装置300包含基座310、二承载组320及第一砂轮组330a、第二砂轮组330b。每一承载组320设置于基座310上，并包含下主轴321及载盘322，其中二下主轴321分别沿承载枢转轴心Z1、Z2(如图3B)进行自转。研磨装置300的基座310与承载组320的设置关系与图1A实施方式的基座110与承载组120的设置关系相同，在此不另赘述。第一砂轮组330a包含第一Z轴滑台331a、第一砂轮轴332a，而设置于承载组320另一侧的第二砂轮组330b包含第二Z轴滑台331b、第二砂轮轴332b。第一Z轴滑台331a包含第一Z轴滑台马达333a、第一Z轴滑台螺杆335a及第一Z轴滑台线轨334a，而第二Z轴滑台331b包含第二Z轴滑台马达333b、第二Z轴滑台螺杆335b及第二Z轴滑台线轨334b。第一Z轴滑台331a、第二Z轴滑台331b的结构配置与图1A实施方式的第一Z轴滑台131a、第二Z轴滑台131b相同，在此不另赘述。第一砂轮轴332a及第二砂轮轴332b分别包含第一工作组件337a、第二工作组件337b以对待磨组件进行加工。

研磨装置300还包含第一砂轮枢转台336a与第二砂轮枢转台336b。第一砂轮枢转台336a设置于基座310上，且第一砂轮组330a设置于第一砂轮枢转台336a上。第二砂轮枢转台336b设置于基座310上，且第二砂轮组330b设置于第二砂轮枢转台336b上。第一砂轮枢转台336a及第二砂轮枢转台336b分别沿砂轮枢转轴心Z3、Z4进行枢转，且第一砂轮组330a、第二砂轮组330b分别经由第一砂轮枢转台336a、第二砂轮枢转台336b而设置于基座310。详细来说，第一砂轮枢转台336a、第二砂轮枢转台336b分别可用以承载第一Z轴滑台331a、第二Z轴滑台331b并沿砂轮枢转轴心Z3、Z4进行枢转，以使第一砂轮轴332a、第二砂轮轴332b可分别于基座310上进行角位移(如枢转)，使第一砂轮轴332a及第二砂轮轴332b分别于二载盘322上进行位移，以带动第一工作组件337a、第二工作组件337b对设置于载盘322的待磨组件进行加工。具体来说，在图3A、图3B及图3C实施方式中，第一砂轮枢转台336a用以承载第一Z轴滑台331a并沿砂轮枢转轴心Z3进行枢转，第二砂轮枢转台336b用以承载第二Z轴滑台331b并沿砂轮枢转轴心Z4进行枢转。当第一砂轮轴332a与第二砂轮轴332b完成加工后，第一砂轮枢转台336a、第二砂轮枢转台336b可于基座310上进行角位移以分别将第一砂轮轴332a与第二砂轮轴332b调整至另一载盘322上方，并使第一工作组件337a、第二工作组件337b分别对载盘322的待磨组件进行加工。第一砂轮枢转台336a、第二砂轮枢转台336b于基座310上的角位移方向不相同，但不以此为限。借此，可避免第一砂轮轴332a与第二砂轮轴332b于二载盘322上进行角位移时发生碰撞而损坏。

虽然本发明已以实施方式公开如上，然其并非用以限定本发明，任何本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作各种的更动与润饰，因此本发明的保护范围当视后附的权利要求所界定者为准。

Claims (12)

1.一种研磨装置，其特征在于，包含：

一基座；

二承载组，设置于该基座上，其中各该承载组包含：

一下主轴；及

一载盘，设置于该下主轴上，以承载一待磨组件；

一第一砂轮组，设置于该基座上，且位于各该承载组的一侧，并可相对该基座位移，其包含：

一第一Z轴滑台；及

一第一砂轮轴，可位移地设置于该第一Z轴滑台上，并受该第一Z轴滑台带动于二该载盘上方位移；以及

一第二砂轮组，设置于该基座上，且位于各该承载组的另一侧，并可相对该基座位移，其包含：

一第二Z轴滑台；及

一第二砂轮轴，可位移地设置于该第二Z轴滑台上，并受该第二Z轴滑台带动于二该载盘上方位移。

2.如权利要求1所述的研磨装置，其中各该承载组分别沿一承载枢转轴心进行枢转，且各该载盘为一吸附平台。

3.如权利要求1所述的研磨装置，还包含：

一机架，其设置于该基座上，并与该第一砂轮组连接。

4.如权利要求3所述的研磨装置，其中，

该第一Z轴滑台包含：

一第一Z轴滑台马达；

一第一Z轴滑台螺杆，与该第一砂轮轴连接，并受该第一Z轴滑台马达带动，进而带动该第一砂轮轴，以调整该第一砂轮轴于一Z轴方向的位置；及

一第一Z轴滑台线轨，其与该第一砂轮轴连接；

该第二Z轴滑台包含：

一第二Z轴滑台马达；

一第二Z轴滑台螺杆，与该第二砂轮轴连接，并受该第二Z轴滑台马达带动，进而带动该第二砂轮轴，以调整该第二砂轮轴于该Z轴方向的位置；及

一第二Z轴滑台线轨，其与该第二砂轮轴连接。

5.如权利要求3所述的研磨装置，其中该基座包含：

一X轴滑台，设置于该基座上；

一Y轴滑台，可位移地设置于该X轴滑台上，以承载该第二砂轮组。

6.如权利要求5所述的研磨装置，其中该X轴滑台包含：

一X轴滑台马达，设置于该基座上；

一X轴滑台螺杆，与该Y轴滑台连接，并受该X轴滑台马达带动，以调整该Y轴滑台于一X轴方向的位置；及

一X轴滑台线轨，设置于该X轴滑台上并配合该X轴滑台螺杆而与该Y轴滑台连接。

7.如权利要求5所述的研磨装置，其中该Y轴滑台包含：

一Y轴滑台马达，设置于该基座上；

一Y轴滑台螺杆，与该第二Z轴滑台连接，并受该Y轴滑台马达带动，以调整该第二Z轴滑台于一Y轴方向的位置；及

一Y轴滑台线轨，设置于该Y轴滑台上，并配合该Y轴滑台螺杆而与该第二Z轴滑台连接。

8.如权利要求3所述的研磨装置，其中该机架包含：

一X轴机架马达，设置于该机架上；

一X轴机架螺杆，与该第一Z轴滑台连接，并受该X轴机架马达带动，以调整该第一Z轴滑台于一X轴方向的位置；及

一X轴机架线轨，设置于该机架上，并配合该X轴机架螺杆而与该第一Z轴滑台连接。

9.如权利要求1所述的研磨装置，其中该基座包含：

一第一X轴滑台，设置于该基座上，且位于各该承载组的一侧；

一第一Y轴滑台，可位移地设置于该第一X轴滑台上，且该第一砂轮组设置于该第一Y轴滑台；

一第二X轴滑台，设置于该基座上，且位于各该承载组的另一侧；及

一第二Y轴滑台，可位移地设置于该第二X轴滑台上，且该第二砂轮组设置于该第二Y轴滑台。

10.如权利要求9所述的研磨装置，其中，

该第一X轴滑台包含：

一第一X轴滑台马达，设置于该基座上；

一第一X轴滑台螺杆，与该第一Y轴滑台连接，并受该第一X轴滑台马达带动，以调整该第一Y轴滑台于一X轴方向的位置；及

一第一X轴滑台线轨，设置于该第一X轴滑台上并配合该第一X轴滑台螺杆而与该第一Y轴滑台连接；及

该第二X轴滑台包含：

一第二X轴滑台马达，设置于该基座上；

一第二X轴滑台螺杆，与该第二Y轴滑台连接，并受该第二X轴滑台马达带动，以调整该第二Y轴滑台于该X轴方向的位置；及

一第二X轴滑台线轨，设置于该第二X轴滑台上并配合该第二X轴滑台螺杆而与该第二Y轴滑台连接。

11.如权利要求9所述的研磨装置，其中，

该第一Y轴滑台包含：

一第一Y轴滑台马达，设置于该第一Y轴滑台上；

一第一Y轴滑台螺杆，与该第一Z轴滑台连接，并受该第一Y轴滑台马达带动，以调整该第一Z轴滑台于一Y轴方向的位置；及

一第一Y轴滑台线轨，设置于该第一Y轴滑台上，并配合该第一Y轴滑台螺杆而与该第一Z轴滑台连接；及

该第二Y轴滑台包含：

一第二Y轴滑台马达，设置于该第二Y轴滑台上；

一第二Y轴滑台螺杆，与该第二Z轴滑台连接，并受该第二Y轴滑台马达带动，以调整该第二Z轴滑台于该Y轴方向的位置；及

一第二Y轴滑台线轨，设置于该第二Y轴滑台上，并配合该第二Y轴滑台螺杆而与该第二Z轴滑台连接。

12.如权利要求1所述的研磨装置，还包含：

一第一砂轮枢转台，设置于该基座，其中该第一砂轮组设置于该第一砂轮枢转台；及

一第二砂轮枢转台，设置于该基座，其中该第二砂轮组设置于该第二砂轮枢转台。

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