CN112289720B - 一种复合型子母载板及使用方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种复合型子母载板及其使用方法,所述子母载板包括母载板(1)和子载板(2),所述母载板(1)呈中间凸起四周下沉的凸台结构,所述母载板(1)在中间凸起区域沿竖向设置有多个通孔(3),所述通孔(3)贯穿整个母载板(1),所述子载板(2)呈框体中间镂空的框体结构,所述母载板(1)的中间凸起嵌置于子载板(2)的中间镂空区域内,所述子载板(2)顶部外边缘设置有一圈挡墙(4),所述子载板(2)顶部在挡墙(4)内侧设置有多个定位针(5)。本发明一种复合型子母载板及使用方法,它能够改善倒装水洗过程基板的烘烤效果,确保从水洗机烘干后的产品无水渍残留。
Description
技术领域
本发明涉及一种复合型子母载板及使用方法,应用于倒装回流焊工序和回流焊后的水洗工序,属于半导体封装设备技术领域。
背景技术
半导体倒装贴片及回流焊过程中使用专用载板治具来承载产品,目的在于防止产品翘曲,对产品起到保护作用,治具的选用对过程尤其重要。
现有的载板治具采用多孔结构,通过盖板覆盖固定基板。在倒装设备上,载板上的通孔可通过连接轨道上垫块真空来吸附基板,防止产品表面翘曲,确保作业性;在回流焊及水洗过程,载板对产品又可以起到保护作用,可以避免产品与轨道及链条间摩擦造成的损伤。
传统的载板治具便于拆装使用,但是载板与基板接触面积较大,即载板通孔外的部分与基板始终有接触。
上述传统治具存在以下缺点:
在现有水平下,在载板水洗基板残留助焊剂的水洗过程中,载板与基板背部总是有接触部分存在,接触部分残余水渍不易烘干,容易造成基板背面不规则的发黄现象,影响产品品质。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是针对上述现有技术提供一种复合型子母载板及使用方法,它能够改善倒装水洗过程基板的烘烤效果,确保从水洗机烘干后的产品无水渍残留。
本发明解决上述问题所采用的技术方案为:一种复合型子母载板,它包括母载板和子载板,所述母载板呈中间凸起四周下沉的凸台结构,所述母载板在中间凸起区域沿竖向设置有多个通孔,所述通孔贯穿整个母载板,所述子载板呈框体中间镂空的框体结构,所述母载板的中间凸起嵌置于子载板的中间镂空区域内,所述子载板框体顶部外边缘设置有一圈挡墙,所述子载板框体顶部在挡墙内侧设置有多个定位针。
可选的,挡墙的高度大于定位针的高度。
可选的,所述定位针呈凸起的圆柱结构。
可选的,所述定位针的位置与基板边框上的定位孔的位置相对应。
可选的,所述母载板的中间凸起的高度与子载板的框体高度相同。
可选的,所述母载板的中间凸起的长宽高尺寸与子载板中间镂空区域的长宽高尺寸一致。
可选的,所述子载板上方还配置有一框体结构的盖板,所述盖板嵌置在定位针上。
可选的,所述盖板框体结构中间镂空区域的长宽尺寸与子载板中间镂空区域的长宽尺寸一致;
可选的,所述母载板在四角位置嵌置有第一磁块。
可选的,所述子载板在四角位置嵌置有第二磁块。
一种复合型子母载板的使用方法,所述方法包括以下步骤:
S1:组装复合型子母载板与基板;
S2:组装完毕后,进行倒装及回流焊工序。
S3:回流焊工序完成后,将子母载板分离,直接将母载板取下;
S4:子载板与基板、盖板组合进入水洗工序,将基板表面残留的助焊剂洗去。
可选的,S1中组装复合型子母载板与基板时,先将子载板套设在母载板上,再将基板和盖板先后对应子载板上的定位针安装在子载板上。
与现有技术相比,本发明的优点在于:
1、本发明将原有载板拆分成母载板和子载板两部分,在回流焊过程后子母载板分离,仅使用子载板进行水洗,子载板与产品区背面不接触,水洗过程和烘干效率得到提升,有效的解决了水渍残留问题;
2、本发明复合型子母载板使用方便,便于拆装,能够满足目前工艺条件的生产要求。
附图说明
图1为本发明一种复合型子母载板的结构示意图。
图2为图1的俯视图。
图3为图1中母载板的结构示意图。
图4为图3的俯视图。
图5为图1中子载板的结构示意图。
图6为图5的俯视图。
图7为复合型子母载板与基板的组装结构示意图。
图8为图7的俯视图。
其中:
母载板1
子载板2
通孔3
挡墙4
定位针5
第一磁块6
第二磁块7
基板8
盖板9。
具体实施方式
以下结合附图实施例对本发明作进一步详细描述。
如图1~图8所示,本发明涉及的一种复合型子母载板,它包括母载板1和子载板2,所述母载板1呈中间凸起四周下沉的凸台结构,所述母载板1在中间凸起区域沿竖向设置有多个通孔3,所述通孔3贯穿整个母载板1,所述子载板2呈框体中间镂空的框体结构,所述母载板1的中间凸起嵌置于子载板2的中间镂空区域内,所述子载板2框体顶部外边缘设置有一圈挡墙4,所述子载板2框体顶部在挡墙4内侧设置有多个定位针5;
所述挡墙4高度大于定位针5高度;
所述定位针5呈凸起的圆柱结构;
所述定位针5的位置与基板边框上的定位孔的位置相对应;
所述母载板1的中间凸起的高度与子载板2的框体高度相同;
所述母载板1的中间凸起的长宽高尺寸与子载板2中间镂空区域的长宽高尺寸一致,以实现完全贴合;
所述子载板2上方还配置有一框体结构的盖板9,所述盖板9嵌置在定位针5上,用于实现将基板夹持在子载板及盖板之间;
所述盖板9框体结构中间镂空区域的长宽尺寸与子载板2中间镂空区域的长宽尺寸一致;
所述母载板1在四角位置嵌置有第一磁块6,用于实现吸附子载板的功能;
所述子载板2在四角位置嵌置有第二磁块7,用于实现吸附盖板的功能。
其使用方法如下:
S1:组装复合型子母载板与基板;
组装复合型子母载板与基板时,先将子载板套设在母载板上,再将基板和盖板先后对应子载板上的定位针安装在子载板上,如图7、图8所示;
S2:组装完毕后,进行倒装及回流焊工序。
S3:回流焊工序完成后,将子母载板分离,直接将母载板取下;
S4:子载板与基板、盖板组合进入水洗工序,基板产品区的正面和背面完全暴露,将基板表面残留的助焊剂洗去。
由于水洗过程仅使用子载板,基板背面产品区与载板处于不接触状态,仅通过基板边框被子载板、盖板夹持固定。
上述实施例外,本发明还包括有其他实施方式,凡采用等同变换或者等效替换方式形成的技术方案,均应落入本发明权利要求的保护范围之内。
Claims (11)
1.一种复合型子母载板的使用方法,其特征在于:所述方法包括以下步骤:
S1:组装复合型子母载板与基板;其中,所述复合型子母载板包括母载板(1)和子载板(2),所述母载板(1)呈中间凸起四周下沉的凸台结构,所述母载板(1)在中间凸起区域沿竖向设置有多个通孔(3),所述通孔(3)贯穿整个母载板(1),所述子载板(2)呈框体中间镂空的框体结构,所述母载板(1)的中间凸起嵌置于子载板(2)的中间镂空区域内,所述子载板(2)框体顶部外边缘设置有一圈挡墙(4),所述子载板(2)框体顶部在挡墙(4)内侧设置有多个定位针(5),所述基板通过定位针(5)安装在子载板(2)上;
S2:组装完毕后,进行倒装及回流焊工序;
S3:回流焊工序完成后,将子母载板分离,直接将母载板取下;
S4:子载板与基板、盖板组合进入水洗工序,将基板表面残留的助焊剂洗去。
2.根据权利要求1所述的一种复合型子母载板的使用方法,其特征在于:所述定位针(5)呈凸起的圆柱结构。
3.根据权利要求1所述的一种复合型子母载板的使用方法,其特征在于:所述定位针(5)的位置与基板边框上定位孔的位置相对应。
4.根据权利要求1所述的一种复合型子母载板的使用方法,其特征在于:所述母载板(1)的中间凸起的高度与子载板(2)的框体高度相同。
5.根据权利要求1所述的一种复合型子母载板的使用方法,其特征在于:所述母载板(1)的中间凸起的长宽高尺寸与子载板(2)中间镂空区域的长宽高尺寸一致。
6.根据权利要求1所述的一种复合型子母载板的使用方法,其特征在于:所述子载板(2)上方还配置有一框体结构的盖板(9),所述盖板(9)嵌置在定位针(5)上。
7.根据权利要求6所述的一种复合型子母载板的使用方法,其特征在于:所述盖板(9)框体结构中间镂空区域的长宽尺寸与子载板(2)中间镂空区域的长宽尺寸一致。
8.根据权利要求1所述的一种复合型子母载板的使用方法,其特征在于:所述母载板(1)在四角位置嵌置有第一磁块(6)。
9.根据权利要求1所述的一种复合型子母载板的使用方法,其特征在于:所述子载板(2)在四角位置嵌置有第二磁块(7)。
10.根据权利要求1所述的一种复合型子母载板的使用方法,其特征在于:所述挡墙(4)高度大于定位针(5)。
11.根据权利要求1所述的一种复合型子母载板的使用方法,其特征在于:S1中组装复合型子母载板与基板时,先将子载板套设在母载板上,再将基板和盖板先后对应子载板上的定位针安装在子载板上。
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3142934U (ja) * | 2008-04-18 | 2008-07-03 | 日本メクトロン株式会社 | 回路基板のリフロー冶具 |
CN101384136A (zh) * | 2008-10-17 | 2009-03-11 | 林克治 | 软性线路板表面贴装工艺及其使用的磁性治具和钢网 |
CN103313527A (zh) * | 2012-03-13 | 2013-09-18 | 无锡华润安盛科技有限公司 | 一种用于回流焊接的过炉治具 |
CN110600408A (zh) * | 2019-09-27 | 2019-12-20 | 星科金朋半导体(江阴)有限公司 | 一种芯片贴装基板的清洗夹具及其使用方法 |
CN210916243U (zh) * | 2019-09-23 | 2020-07-03 | 苏州迈正科技有限公司 | 一种用于真空镀膜设备的载板 |
CN210936181U (zh) * | 2019-10-12 | 2020-07-07 | 芜湖启迪半导体有限公司 | 一种半导体元件用清洗装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2476514A1 (en) * | 2011-01-12 | 2012-07-18 | Sandvik Intellectual Property AB | A method and an apparatus for treating at least one work-piece |
US20140224281A1 (en) * | 2011-09-22 | 2014-08-14 | Acm Research (Shanghai) Inc. | Methods and apparatus for cleaning flip chip assemblies |
-
2020
- 2020-09-17 CN CN202010977652.6A patent/CN112289720B/zh active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3142934U (ja) * | 2008-04-18 | 2008-07-03 | 日本メクトロン株式会社 | 回路基板のリフロー冶具 |
CN101384136A (zh) * | 2008-10-17 | 2009-03-11 | 林克治 | 软性线路板表面贴装工艺及其使用的磁性治具和钢网 |
JP2010098320A (ja) * | 2008-10-17 | 2010-04-30 | Shu Kisei | フレキシブルプリント基板の表面実装工程と、当該工程において使用される磁性治具およびスチールメッシュ |
CN103313527A (zh) * | 2012-03-13 | 2013-09-18 | 无锡华润安盛科技有限公司 | 一种用于回流焊接的过炉治具 |
CN210916243U (zh) * | 2019-09-23 | 2020-07-03 | 苏州迈正科技有限公司 | 一种用于真空镀膜设备的载板 |
CN110600408A (zh) * | 2019-09-27 | 2019-12-20 | 星科金朋半导体(江阴)有限公司 | 一种芯片贴装基板的清洗夹具及其使用方法 |
CN210936181U (zh) * | 2019-10-12 | 2020-07-07 | 芜湖启迪半导体有限公司 | 一种半导体元件用清洗装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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