CN112278862A - 无摩擦气动式玻璃面板载具机械手 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种无摩擦气动式玻璃面板载具机械手，包括连接板、右边板、左边板、右旋转架、左旋转架、旋转驱动件及气浮载具；气浮载具轴接在右旋转架和左旋转架之间，气浮载具包括气腔、吹气孔、挡料销、正压阀件和负压阀件，吹气孔与气腔连通，吹气孔倾斜设置，正压阀件、负压阀件分别设于气浮载具的一侧的左右两端，挡料销设于正压阀件与负压阀件之间；右旋转架与左旋转架偏心设置，右骨架和气浮载具的第一轴接点与左骨架和气浮载具的第二轴接点偏心设置，右骨架的中心与左骨架的中心之间的偏心距离和第一轴接点与第二轴接点之间的偏心距离相等；本发明使得玻璃面板实现无摩擦转移，避免玻璃面板的外观面划伤，提升产品良率。

Description

无摩擦气动式玻璃面板载具机械手

技术领域

本发明涉及一种无摩擦气动式玻璃面板载具机械手。

背景技术

目前，用于转移或传送高精度玻璃面板的载具均为接触定位方式，使得高精度玻璃面板的表面在移动过程中与载具间发生滑动摩擦，导致高精度玻璃面板的表面划伤，影响玻璃面板的外观，造成产品良率下降。

发明内容

本发明的目的在于克服以上所述的缺点，提供一种无摩擦气动式玻璃面板载具机械手。

为实现上述目的，本发明的具体方案如下：

一种无摩擦气动式玻璃面板载具机械手，包括连接板、右边板、左边板、右旋转架、左旋转架、旋转驱动件以及多个气浮载具；

所述连接板呈“凵”形；

所述右边板呈圆形，所述右边板的上端固定在所述连接板的一端的内侧；

所述左边板呈圆形，所述右边板的上端固定在所述连接板的另一端的内侧，所述右边板与所述左边板相对称设置、且两者之间相互连接在一起；

所述右旋转架具有多个呈中心发射状分别的右骨架，所述右旋转架转动连接于所述右边板的内侧；

所述左旋转架具有多个呈中心发射状分布的左骨架，所述左旋转架转动连接于所述左边板的内侧，所述左骨架的数量与所述右骨架的数量一一对应；

所述旋转驱动件设于所述右边板的外侧，其输出端与所述右旋转架连接；

所述多个气浮载具的两端分别一一对应轴接在右旋转架的多个右骨架和左旋转架的多个左骨架之间，每个所述气浮载具均水平设置，所述气浮载具包括有气腔、多个阵列分布的吹气孔、挡料销、正压阀件和负压阀件，多个所述吹气孔均与所述气腔连通，每个所述吹气孔均倾斜设置、且与玻璃面板的进料方向之间的夹角为锐角，所述正压阀件、负压阀件分别设于所述气浮载具的一侧的左右两端，所述挡料销设于所述正压阀件与所述负压阀件之间；

其中，所述气浮载具包括进料状态和出料状态，其中，在所述进料状态时，所述正压阀件先开启并使所述气腔内进气以及使所述挡料销顶起，在进料完成后，所述负压阀件开启并使所述气腔处于真空状态；在所述出料状态时，所述正压阀件使所述气腔内进气以及使所述挡料销收回，所述负压阀件关闭；其中，所述右旋转架与所述左旋转架偏心设置，所述右骨架和所述气浮载具的第一轴接点与所述左骨架和所述气浮载具的第二轴接点偏心设置，所述右骨架的中心与所述左骨架的中心之间的偏心距离和所述第一轴接点与所述第二轴接点之间的偏心距离相等，且所述右骨架的中心、左骨架的中心、第一轴接点、第二轴接点投影到xz平面上形成平行四边形结构。

进一步地，所述气浮载具还包括有载具支架、载具本体、内正压磁体和内负压磁体，所述载具支架的两端分别对应轴接在所述右骨架和左骨架上，所述载具本体水平固定在所述载具支架的顶端，所述气腔设于所述载具本体内，多个所述吹气孔分布于所述载具本体的顶端，所述载具本体的一侧的两端分别设有正压阀腔和负压阀腔，所述正压阀腔的一端与所述气腔连通，所述载具本体的一侧在所述正压阀腔与所述负压阀腔之间还设有限位腔，所述限位腔与所述正压阀腔的另一端连通，所述正压阀件的一端设于所述正压阀腔内，所述负压阀件的一端设于所述负压阀腔内，所述载具本体的一侧还设有挡料腔，所述挡料腔的底部与所述限位腔连通，所述挡料腔的中部还与所述气腔连通，所述挡料销密封设于所述挡料腔内，所述内正压磁体固定在所述正压阀件的另一端，所述内负压磁体固定在所述负压阀件的另一端；

所述右边板上对称设置有两个极性相反的外正压磁性件，两个所述外正压磁性件分别用于在所述进料状态和出料状态时与所述内正压磁体相互配合，所述左边板上对称设置有两个极性相同的外负压磁性件，两个所述外负压磁性件用于在所述进料状态和出料状态时与所述内负压磁体相互配合，所述外负压磁性件与所述外正压磁性件之间具有高度差。

进一步地，所述载具本体的一侧间隔设置有三个挡料腔，每个所述挡料腔内均密封配合有挡料销。

进一步地，所述正压阀件包括正压阀芯、第一复位弹簧和第二复位弹簧，所述第一复位弹簧、第二复位弹簧均位于所述正压阀腔内，所述第一复位弹簧套设于所述正压阀芯靠近内正压磁体的一端，所述第一复位弹簧的两端分别与所述正压阀腔一端的腔壁和所述正压阀芯的塞部抵接，所述第二复位弹簧的两端分别抵接在所述正压阀腔另一端的腔壁和所述正压阀芯的塞部上。

进一步地，所述负压阀件包括负压阀芯和第三复位弹簧，所述第三复位弹簧套设于所述负压阀芯的外壁，所述第三复位弹簧的两端分别与所述负压阀腔的腔壁和所述负压阀芯的塞部抵接。

进一步地，所述载具本体的两端均形成有限位台阶。

进一步地，多个所述吹气孔呈矩阵阵列分布。

进一步地，所述右边板与所述左边板之间通过多个呈圆周阵列分布的支撑杆固定连接在一起。

进一步地，所述多个气浮载具的数量为六个，所述右旋转架具有六个右骨架，所述左旋转架具有六个左骨架。

本发明的有益效果为：本发明通过设置各个气浮载具在旋转运动过程中始终保持水平状态，配合气动方式使得玻璃面板实现无摩擦转移，避免玻璃面板的外观面划伤，提升产品良率。

附图说明

图1是本发明的立体图；

图2是本发明另一视角的立体图；

图3是本发明部分结构的右视图；

图4是本发明的气浮载具的立体图；

图5是本发明的气浮载具一视角的剖视图；

图6是图5中I处的局部放大示意图；

图7是图5中II处的局部放大示意图；

图8是本发明的载具本体的结构示意图；

附图标记说明：1、连接板；2、右边板；21、外正压磁性件；3、左边板；31、外负压磁性件；4、右旋转架；41、右骨架；5、左旋转架；51、左骨架；6、旋转驱动件；7、气浮载具；71、载具支架；72、载具本体；721、气腔；722、吹气孔；723、正压阀腔；724、负压阀腔；725、限位腔；726、挡料腔；73、挡料销；74、正压阀件；741、正压阀芯；742、第一复位弹簧；743、第二复位弹簧；75、负压阀件；751、负压阀芯；752、第三复位弹簧；76、内正压磁体；77、内负压磁体。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步详细的说明，并不是把本发明的实施范围局限于此。

如图1至图8所示，本实施例所述的一种无摩擦气动式玻璃面板载具机械手，包括连接板1、右边板2、左边板3、右旋转架4、左旋转架5、旋转驱动件6以及多个气浮载具7；所述连接板1呈“凵”形；所述右边板2呈圆形，所述右边板2的上端固定在所述连接板1的一端的内侧；所述左边板3呈圆形，所述右边板2的上端固定在所述连接板1的另一端的内侧，所述右边板2与所述左边板3相对称设置、且两者之间相互连接在一起；所述右旋转架4具有多个呈中心发射状分别的右骨架41，所述右旋转架4转动连接于所述右边板2的内侧；所述左旋转架5具有多个呈中心发射状分布的左骨架51，所述左旋转架5转动连接于所述左边板3的内侧，所述左骨架51的数量与所述右骨架41的数量一一对应；所述旋转驱动件6设于所述右边板2的外侧，其输出端与所述右旋转架4连接；

所述多个气浮载具7的两端分别一一对应轴接在右旋转架4的多个右骨架41和左旋转架5的多个左骨架51之间，每个所述气浮载具7均水平设置，所述气浮载具7包括有气腔721、多个阵列分布的吹气孔722、挡料销73、正压阀件74和负压阀件75，多个所述吹气孔722均与所述气腔721连通，每个所述吹气孔722均倾斜设置、且与玻璃面板的进料方向之间的夹角为锐角，所述正压阀件74、负压阀件75分别设于所述气浮载具7的一侧的左右两端，所述挡料销73设于所述正压阀件74与所述负压阀件75之间；

其中，所述气浮载具7包括进料状态和出料状态，其中，在所述进料状态时，所述正压阀件74先开启并使所述气腔721内进气以及使所述挡料销73顶起，在进料完成后，所述负压阀件75开启并使所述气腔721处于真空状态；在所述出料状态时，所述正压阀件74使所述气腔721内进气以及使所述挡料销73收回，所述负压阀件75关闭；其中，所述右旋转架4与所述左旋转架5偏心设置，所述右骨架41和所述气浮载具7的第一轴接点与所述左骨架51和所述气浮载具7的第二轴接点偏心设置，所述右骨架41的中心与所述左骨架51的中心之间的偏心距离和所述第一轴接点与所述第二轴接点之间的偏心距离相等，且所述右骨架41的中心、左骨架51的中心、第一轴接点、第二轴接点投影到xz平面上形成平行四边形结构。

本实施例中，进一步地，所述多个气浮载具7的数量为六个，所述右旋转架4具有六个右骨架41，所述左旋转架5具有六个左骨架51；如此便于批量转移，效率更高。本实施例中，旋转驱动件6为电机。

本实施例的工作方式是：玻璃面板通过外界送料传送台传送至机械手的进料工位，气浮载具7的另一侧与外界送料传送台的传送前端靠近，使得玻璃面板在外界送料传送台的带动下朝向气浮载具7移动，并在惯性作用下，逐渐过渡到气浮载具7上，同时气浮载具7上的正压阀件74打开，气腔721内进气，同时气体使挡料销73伸出，气体进入气腔721内后经由各个吹气孔722吹出，由于每个吹气孔722的倾斜方向与玻璃面板的移动方向之间的夹角为锐角，因此气体经由吹气孔722吹出后，对玻璃面板施加有一个与玻璃面板传送方向相同（即在x方向）的作用力，使得玻璃面板过渡到气浮载具7上，同时对玻璃面板施加一个向上（即在z方向）的浮力，使得玻璃面板悬浮于气浮载具7表面，从而使得玻璃面板完全从外界送料传送台上漂浮、水平过渡到气浮载具7上，直至玻璃面板与挡料销73接触，挡料销73限位玻璃面板继续移动，避免玻璃面板偏移出气浮载具7，如此完成玻璃面板的进料过程；

进料完成后，正压阀件74关闭，负压阀件75开启，然后对气腔721内进行抽真空处理，使得气腔721内保持真空状态，如此在真空吸附力作用下，经由各个吹起孔吸附住玻璃面板，放置面板掉落，完成后，旋转驱动件6驱动右旋转架4顺时针旋转，右旋转架4带动各个气浮载具7和左旋转架5旋转运动，而由于所述右旋转架4与所述左旋转架5偏心设置、所述右骨架41和所述气浮载具7的第一轴接点与所述左骨架51和所述气浮载具7的第二轴接点偏心设置、所述右骨架41的中心与所述左骨架51的中心之间的偏心距离和所述第一轴接点与所述第二轴接点之间的偏心距离相等以及所述右骨架41的中心、左骨架51的中心、第一轴接点、第二轴接点投影到xz平面上形成平行四边形结构，使得气浮载具7在旋转运动过程始终保持水平状态，保障玻璃面板在旋转运动过程中不会偏移、移位，当承载有玻璃面板上的气浮载具7顺时针旋转180度后，该气浮载具7运动到机械手的出料工位，此时气浮载具7的一侧靠近外界出料传送台上，而气浮载具7的另一侧远离外界出料传送台，然后正压阀件74打开，气腔721内进气，经由各个吹气孔722后将玻璃面板吹起悬浮，并且挡料销73在气体的压强作用下收回，使得玻璃面板以悬浮状态过渡至外界出料传送台上，从而完成玻璃面板无摩擦转移。

本实施例通过设置各个气浮载具7在旋转运动过程中始终保持水平状态，配合气动方式使得玻璃面板实现无摩擦转移，避免玻璃面板的外观面划伤，提升产品良率。

基于上述实施例的基础上，进一步地，所述气浮载具7还包括有载具支架71、载具本体72、内正压磁体76和内负压磁体77，所述载具支架71的两端分别对应轴接在所述右骨架41和左骨架51上，所述载具本体72水平固定在所述载具支架71的顶端，所述气腔721设于所述载具本体72内，多个所述吹气孔722分布于所述载具本体72的顶端，所述载具本体72的一侧的两端分别设有正压阀腔723和负压阀腔724，所述正压阀腔723的一端与所述气腔721连通，所述载具本体72的一侧在所述正压阀腔723与所述负压阀腔724之间还设有限位腔725，所述限位腔725与所述正压阀腔723的另一端连通，所述正压阀件74的一端设于所述正压阀腔723内，所述负压阀件75的一端设于所述负压阀腔724内，所述载具本体72的一侧还设有挡料腔726，所述挡料腔726的底部与所述限位腔725连通，所述挡料腔726的中部还与所述气腔721连通，所述挡料销73密封设于所述挡料腔726内，所述内正压磁体76固定在所述正压阀件74的另一端，所述内负压磁体77固定在所述负压阀件75的另一端；

所述右边板2上对称设置有两个极性相反的外正压磁性件21，两个所述外正压磁性件21分别用于在所述进料状态和出料状态时与所述内正压磁体76相互配合，所述左边板3上对称设置有两个极性相同的外负压磁性件31，两个所述外负压磁性件31用于在所述进料状态和出料状态时与所述内负压磁体77相互配合，所述外负压磁性件31与所述外正压磁性件21之间具有高度差。

实际使用时，气浮载具7处于进料工位时，与内正压磁体76相对的外正压磁性件21磁性吸附内正压磁体76，使得内正压磁体76带动正压阀件74右移，使得限位腔725经由正压阀腔723与外界连通，然后向正压阀腔723内注入气体，气体经由正压阀腔723进入限位腔725内，而挡料腔726的底部与限位腔725连通，因此气体推动挡料销73顶出，在挡料销73的底端越过挡料腔726与气腔721的交界处底端时，气腔721经由挡料腔726与限位腔725连通，从而气体进入气腔721内，再由各个吹气孔722吹出，推动玻璃面板移动以及使玻璃面板悬浮，在玻璃面板过渡完成后，旋转驱动件6带动该气浮载具7上升一定距离，使得内正压磁体76脱离外正压磁性件21的磁性吸附，正压阀件74复位至关闭正压阀腔723的入口，同时使得外负压磁性件31与内负压磁体77相对，外负压磁性件31磁性吸附内负压磁体77，使得内负压磁体77带动负压阀件75左移，从而打开负压阀腔724，然后经由负压阀腔724对气腔721内进行抽真空处理，然后气浮载具7继续旋转移动，使得内负压磁体77脱离外负压磁性件31的磁性吸附，负压阀件75再次将负压阀腔724关闭，从而使得气腔721内保持真空状态，进而真空吸附住玻璃面板，经旋转180度，该气浮载具7进入出料工位，此时，首先另一个外负压磁性件31磁性吸附内负压磁体77，使得气腔721与外界连通，然后再下降一定距离，使得另一个外正压磁性件21与内正压磁体76相对，并对内正压磁体76产生排斥力，使得正压阀件74左移，使得气腔721经由正压阀腔723直接与外界连通，然后经由正压阀腔723向气腔721内进气，气体经由气腔721进入挡料腔726的上端，从而下压挡料销73，使得挡料销73收回，然后玻璃面板在气体的吹动下，以悬浮状态过渡到外界出料传送台上；如此通过上述结构设置，使得玻璃面板实现悬浮过渡，实现无摩擦转移，更好地保护玻璃面板的外观面，同时利用气体的进入挡料腔726的方向控制挡料销73动作，结构设计巧妙以及大大节约成本，简化结构，以及设置外正压磁性件21与外负压磁性件31之间存在高度差，从而使得正压阀件74与负压阀件75在进料工位和出料工位时依次工作。

基于上述实施例的基础上，进一步地，所述载具本体72的一侧间隔设置有三个挡料腔726，每个所述挡料腔726内均密封配合有挡料销73。通过上述结构设置，使得玻璃面板受力更平衡，避免玻璃面板在单个挡料销73的阻挡作用下以及气体的推动下出现偏移。

基于上述实施例的基础上，进一步地，所述正压阀件74包括正压阀芯741、第一复位弹簧742和第二复位弹簧743，所述第一复位弹簧742、第二复位弹簧743均位于所述正压阀腔723内，所述第一复位弹簧742套设于所述正压阀芯741靠近内正压磁体76的一端，所述第一复位弹簧742的两端分别与所述正压阀腔723一端的腔壁和所述正压阀芯741的塞部抵接，所述第二复位弹簧743的两端分别抵接在所述正压阀腔723另一端的腔壁和所述正压阀芯741的塞部上。通过上述结构设置，在内正压磁体76脱离与外正压磁性件21配合的情况下，正压阀芯741能够在第一复位弹簧742和第二复位弹簧743的弹性作用下复位。

基于上述实施例的基础上，进一步地，所述负压阀件75包括负压阀芯751和第三复位弹簧752，所述第三复位弹簧752套设于所述负压阀芯751的外壁，所述第三复位弹簧752的两端分别与所述负压阀腔724的腔壁和所述负压阀芯751的塞部抵接。通过上述结构设置，在内负压磁体77脱离与外负压磁性件31配合的情况下，负压阀芯751能够在第三复位弹簧752的弹性作用下复位。

基于上述实施例的基础上，进一步地，所述载具本体72的两端均形成有限位台阶。通过上述结构设置，能够限制玻璃面板左右晃动，使得玻璃面板在转移过程更平稳，同时也为玻璃面板进入载具本体72和移出载具本体72时提供导向。

基于上述实施例的基础上，进一步地，多个所述吹气孔722呈矩阵阵列分布。通过上述结构设置，使得玻璃面板受力更均衡。

基于上述实施例的基础上，进一步地，所述右边板2与所述左边板3之间通过多个呈圆周阵列分布的支撑杆固定连接在一起。采用支撑杆间隔设置的方式，以便玻璃面板的进入和移出。

以上所述仅是本发明的一个较佳实施例，故凡依本发明专利申请范围所述的构造、特征及原理所做的等效变化或修饰，包含在本发明专利申请的保护范围内。

Claims (10)

1.一种无摩擦气动式玻璃面板载具机械手，其特征在于，包括：

连接板(1)，所述连接板(1)呈“凵”形；

右边板(2)，所述右边板(2)呈圆形，所述右边板(2)的上端固定在所述连接板(1)的一端的内侧；

左边板(3)，所述左边板(3)呈圆形，所述右边板(2)的上端固定在所述连接板(1)的另一端的内侧，所述右边板(2)与所述左边板(3)相对称设置、且两者之间相互连接在一起；

右旋转架(4)，所述右旋转架(4)具有多个呈中心发射状分别的右骨架(41)，所述右旋转架(4)转动连接于所述右边板(2)的内侧；

左旋转架(5)，所述左旋转架(5)具有多个呈中心发射状分布的左骨架(51)，所述左旋转架(5)转动连接于所述左边板(3)的内侧，所述左骨架(51)的数量与所述右骨架(41)的数量一一对应；

旋转驱动件(6)，所述旋转驱动件(6)设于所述右边板(2)的外侧，其输出端与所述右旋转架(4)连接；

多个气浮载具(7)，所述多个气浮载具(7)的两端分别一一对应轴接在右旋转架(4)的多个右骨架(41)和左旋转架(5)的多个左骨架(51)之间，每个所述气浮载具(7)均水平设置，所述气浮载具(7)包括有气腔(721)、多个阵列分布的吹气孔(722)、挡料销(73)、正压阀件(74)和负压阀件(75)，多个所述吹气孔(722)均与所述气腔(721)连通，每个所述吹气孔(722)均倾斜设置、且与玻璃面板的进料方向之间的夹角为锐角，所述正压阀件(74)、负压阀件(75)分别设于所述气浮载具(7)的一侧的左右两端，所述挡料销(73)设于所述正压阀件(74)与所述负压阀件(75)之间；

其中，所述气浮载具(7)包括进料状态和出料状态，其中，在所述进料状态时，所述正压阀件(74)先开启并使所述气腔(721)内进气以及使所述挡料销(73)顶起，在进料完成后，所述负压阀件(75)开启并使所述气腔(721)处于真空状态；在所述出料状态时，所述正压阀件(74)使所述气腔(721)内进气以及使所述挡料销(73)收回，所述负压阀件(75)关闭；其中，所述右旋转架(4)与所述左旋转架(5)偏心设置，所述右骨架(41)和所述气浮载具(7)的第一轴接点与所述左骨架(51)和所述气浮载具(7)的第二轴接点偏心设置，所述右骨架(41)的中心与所述左骨架(51)的中心之间的偏心距离和所述第一轴接点与所述第二轴接点之间的偏心距离相等，且所述右骨架(41)的中心、左骨架(51)的中心、第一轴接点、第二轴接点投影到xz平面上形成平行四边形结构。

2.根据权利要求1所述的无摩擦气动式玻璃面板载具机械手，其特征在于，所述气浮载具(7)还包括有载具支架(71)、载具本体(72)、内正压磁体(76)和内负压磁体(77)，所述载具支架(71)的两端分别对应轴接在所述右骨架(41)和左骨架(51)上，所述载具本体(72)水平固定在所述载具支架(71)的顶端，所述气腔(721)设于所述载具本体(72)内，多个所述吹气孔(722)分布于所述载具本体(72)的顶端，所述载具本体(72)的一侧的两端分别设有正压阀腔(723)和负压阀腔(724)，所述正压阀腔(723)的一端与所述气腔(721)连通，所述载具本体(72)的一侧在所述正压阀腔(723)与所述负压阀腔(724)之间还设有限位腔(725)，所述限位腔(725)与所述正压阀腔(723)的另一端连通，所述正压阀件(74)的一端设于所述正压阀腔(723)内，所述负压阀件(75)的一端设于所述负压阀腔(724)内，所述载具本体(72)的一侧还设有挡料腔(726)，所述挡料腔(726)的底部与所述限位腔(725)连通，所述挡料腔(726)的中部还与所述气腔(721)连通，所述挡料销(73)密封设于所述挡料腔(726)内，所述内正压磁体(76)固定在所述正压阀件(74)的另一端，所述内负压磁体(77)固定在所述负压阀件(75)的另一端；

所述右边板(2)上对称设置有两个极性相反的外正压磁性件(21)，两个所述外正压磁性件(21)分别用于在所述进料状态和出料状态时与所述内正压磁体(76)相互配合，所述左边板(3)上对称设置有两个极性相同的外负压磁性件(31)，两个所述外负压磁性件(31)用于在所述进料状态和出料状态时与所述内负压磁体(77)相互配合，所述外负压磁性件(31)与所述外正压磁性件(21)之间具有高度差。

3.根据权利要求2所述的无摩擦气动式玻璃面板载具机械手，其特征在于，所述载具本体(72)的一侧间隔设置有三个挡料腔(726)，每个所述挡料腔(726)内均密封配合有挡料销(73)。

4.根据权利要求2所述的无摩擦气动式玻璃面板载具机械手，其特征在于，所述正压阀件(74)包括正压阀芯(741)、第一复位弹簧(742)和第二复位弹簧(743)，所述第一复位弹簧(742)、第二复位弹簧(743)均位于所述正压阀腔(723)内，所述第一复位弹簧(742)套设于所述正压阀芯(741)靠近内正压磁体(76)的一端，所述第一复位弹簧(742)的两端分别与所述正压阀腔(723)一端的腔壁和所述正压阀芯(741)的塞部抵接，所述第二复位弹簧(743)的两端分别抵接在所述正压阀腔(723)另一端的腔壁和所述正压阀芯(741)的塞部上。

5.根据权利要求2所述的无摩擦气动式玻璃面板载具机械手，其特征在于，所述负压阀件(75)包括负压阀芯(751)和第三复位弹簧(752)，所述第三复位弹簧(752)套设于所述负压阀芯(751)的外壁，所述第三复位弹簧(752)的两端分别与所述负压阀腔(724)的腔壁和所述负压阀芯(751)的塞部抵接。

6.根据权利要求2所述的无摩擦气动式玻璃面板载具机械手，其特征在于，所述载具本体(72)的两端均形成有限位台阶。

7.根据权利要求1所述的无摩擦气动式玻璃面板载具机械手，其特征在于，多个所述吹气孔(722)呈矩阵阵列分布。

8.根据权利要求1所述的无摩擦气动式玻璃面板载具机械手，其特征在于，所述右边板(2)与所述左边板(3)之间通过多个呈圆周阵列分布的支撑杆固定连接在一起。

9.根据权利要求1-8所述的无摩擦气动式玻璃面板载具机械手，其特征在于，所述多个气浮载具(7)的数量为六个，所述右旋转架(4)具有六个右骨架(41)，所述左旋转架(5)具有六个左骨架(51)。

10.根据权利要求1所述的无摩擦气动式玻璃面板载具机械手，其特征在于，所述多个气浮载具(7)的数量为六个，所述右旋转架(4)具有六个右骨架(41)，所述左旋转架(5)具有六个左骨架(51)。

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