CN112259693A - 显示面板及其制作方法 - Google Patents

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CN112259693A CN202011093563.1A CN202011093563A CN112259693A CN 112259693 A CN112259693 A CN 112259693A CN 202011093563 A CN202011093563 A CN 202011093563A CN 112259693 A CN112259693 A CN 112259693A
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microcrystalline
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Abstract

本发明公开了一种显示面板及其制作方法,包括:显示基底,所述显示基底包括基板、以及依次设置于所述基板上的薄膜晶体管器件层以及发光功能层;封装层,设置于所述显示基底上,并至少覆盖所述发光功能层,所述封装层包括至少一水汽阻挡层;以及微晶薄膜,设置于所述至少一水汽阻挡层上,且所述微晶薄膜内具有呈微晶堆叠状态的纳米颗粒;相较于现有技术,本发明降低了显示面板内的微腔效应和全反射作用,提高了显示面板的光提取效率和视角范围,改善了显示面板的显示效果。

Description

显示面板及其制作方法
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种显示面板及其制作方法。
背景技术
OLED(Organic Light-Emitting Diode,有机发光二极管)显示面板由于具备自发光、不需要背光源、对比度高、色域宽、厚度薄、反应速度快和可用于柔性面板等优点,特别是顶发射的OLED显示面板由于具有开口率高等优势,被认为是下一代平面显示新型技术。
但是,由于顶发射的OLED显示面板存在较严重的微腔效应和全反射作用,使得光线在显示面板内来回反射,只有特定波长的光可以出射到显示面板外,进而使得顶发射的OLED显示面板的光取出效率和视角范围受到较大的影响。
发明内容
本发明实施例提供一种显示面板及其制作方法,能够解决现有技术中,由于顶发射的OLED显示面板具有较严重的微腔效应和全反射作用,使得顶发射的OLED显示面板的光取出效率和视角范围受到较大的影响,进而影响显示面板的显示效果的技术问题。
为解决上述技术问题,本发明实施例提供一种显示面板,包括:
显示基底,所述显示基底包括基板、以及依次设置于所述基板上的薄膜晶体管器件层以及发光功能层;
封装层,设置于所述显示基底上,并至少覆盖所述发光功能层,所述封装层包括至少一水汽阻挡层;以及
微晶薄膜,设置于所述至少一水汽阻挡层上,且所述微晶薄膜内具有呈微晶堆叠状态的纳米颗粒。
在本发明的一种实施例中,所述封装层包括多个水汽阻挡层,且所述微晶薄膜设置于所述多个水汽阻挡层中的任意一者上。
在本发明的一种实施例中,所述封装层包括依次设置于所述显示基底上的第一水汽阻挡层、应力缓冲层以及第二水汽阻挡层,且所述微晶薄膜设置于所述第一水汽阻挡层与所述应力缓冲层之间,或所述微晶薄膜设置于所述第二水汽阻挡层上。
在本发明的一种实施例中,所述纳米颗粒包括金属氧化物纳米颗粒。
在本发明的一种实施例中,所述金属氧化物纳米颗粒包括氧化锌纳米颗粒、二氧化钛纳米颗粒中的至少一种。
在本发明的一种实施例中,所述微晶薄膜在所述基板上的投影面积大于或等于所述发光功能层在所述基板上的投影面积。
根据本发明的上述目的,提供一种显示面板的制作方法,所述方法包括以下步骤:
依次制备薄膜晶体管器件层、发光功能层于基板上,以形成显示基底;
制备封装层于所述显示基底上,所述封装层包括至少一水汽阻挡层;以及
制备微晶薄膜于所述至少一水汽阻挡层上,且所述微晶薄膜内具有呈微晶堆叠状态的纳米颗粒。
在本发明的一种实施例中,所述制备微晶薄膜于所述至少一水汽阻挡层上包括:
将纳米颗粒溶液制于所述至少一水汽阻挡层上形成纳米颗粒薄膜;以及
对所述纳米颗粒薄膜进行退火处理或等离子处理,以形成所述微晶薄膜。
在本发明的一种实施例中,所述纳米颗粒溶液包括氧化锌纳米颗粒溶液、二氧化钛纳米颗粒溶液中的至少一种。
在本发明的一种实施例中,所述封装层包括第一水汽阻挡层,且所述微晶薄膜制备于所述第一水汽阻挡层上;
且所述方法还包括:
制备应力缓冲层于所述微晶薄膜上;以及
制备第二水汽阻挡层于所述应力缓冲层上。
本发明的有益效果:本发明通过在显示面板的封装层内设置一微晶薄膜,由于微晶薄膜内具有呈微晶堆叠状态的纳米颗粒,使得微晶薄膜在纳米尺寸上具有有序的微结构,能够降低显示面板内的微腔效应和全反射作用,进而提高了显示面板的光提取效率和视角范围,改善了显示面板的显示效果。
附图说明
下面结合附图,通过对本发明的具体实施方式详细描述,将使本发明的技术方案及其它有益效果显而易见。
图1为本发明实施例提供的一种显示面板的结构示意图。
图2为本发明实施例提供的另一种显示面板的结构示意图。
图3为本发明实施例提供的又一种显示面板的结构示意图。
图4为本发明实施例提供的显示面板制作方法的流程图。
图5为本发明实施例提供的显示面板制作流程的结构示意图。
图6为本发明实施例提供的显示面板制作流程的结构示意图。
图7为本发明实施例提供的显示面板制作流程的结构示意图。
图8为本发明实施例提供的显示面板制作流程的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本发明的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。
在本发明的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接或可以相互通讯;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本发明中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触,也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本发明的不同结构。为了简化本发明的公开,下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然,它们仅仅为示例,并且目的不在于限制本发明。此外,本发明可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母,这种重复是为了简化和清楚的目的,其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外,本发明提供了的各种特定的工艺和材料的例子,但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。
本发明实施例针对现有技术中,由于顶发射的OLED显示面板具有较严重的微腔效应和全反射作用,使得顶发射的OLED显示面板的光取出效率和视角范围受到较大的影响,进而影响显示面板的显示效果的技术问题。
为解决上述技术问题,本发明实施例提供一种显示面板,请参照图1,所述显示面板包括:显示基底101,所述显示基底101包括基板1011、以及依次设置于所述基板1011上的薄膜晶体管器件层1012以及发光功能层1013;封装层102,设置于所述显示基底101上,并至少覆盖所述发光功能层1013,所述封装层102包括至少一水汽阻挡层;以及微晶薄膜103,设置于所述至少一水汽阻挡层上,且所述微晶薄膜103内具有呈微晶堆叠状态的纳米颗粒。
在实施应用过程中,由于现有的顶发射的OLED显示面板存在较严重的微腔效应和全反射作用,使得光线在显示面板内来回反射,只有特定波长的光可以出射到显示面板外,进而使得顶发射的OLED显示面板的光取出效率和视角范围受到较大的影响,而本发明实施例通过在所述显示面板的所述封装层102内或上设置一所述微晶薄膜103,由于所述微晶薄膜103内具有呈微晶堆叠状态的纳米颗粒,使得所述微晶薄膜103在纳米尺寸上具有有序的微结构,能够降低所述显示面板内的微腔效应和全反射作用,进而提高了所述显示面板的光提取效率,改善了所述显示面板的视角范围,提高了所述显示面板的显示效果,且所述微晶薄膜103设置于所述水汽阻挡层上,并不影响所述封装层102的封装效果。
更进一步地,所述至少一水汽阻挡层可包括一水汽阻挡层或多个水汽阻挡层,当所述封装层102仅包括一水汽阻挡层时,所述微晶薄膜103设置于所述水汽阻挡层上,当所述封装层102包括多个水汽阻挡层时,所述微晶薄膜103设置于所述多个水汽阻挡层中的任意一者上。
具体地,下面结合具体实施例详述本发明提供的所述显示面板。
在本发明的一种实施例中,请参照图1,所述显示面板包括显示基底101、设置于所述显示基底101上的封装层102、设置于所述封装层102内的微晶薄膜103、设置于所述封装层102上的粘附层104以及通过所述粘附层104与所述封装层102相贴合的盖板105。
所述显示基底101包括基板1011、以及依次设置于所述基板1011上的薄膜晶体管器件层1012以及发光功能层1013,其中,所述薄膜晶体管器件层1012中包括金属氧化物薄膜晶体管器件,具体可包括IGZO-TFT,所述发光功能层1013包括顶发射有机发光器件,使得所述显示面板的出光面朝向所述微晶薄膜103一侧。
所述封装层102包括依次设置于所述显示基底101上的第一水汽阻挡层1021、应力缓冲层1022以及第二水汽阻挡层1023,更进一步地,所述微晶薄膜103设置于所述第一水汽阻挡层1021与所述应力缓冲层1022之间,且所述微晶薄膜103设置于所述第一水汽阻挡层1021上,并不会影响所述第一水汽阻挡层1021对所述发光功能层1013的封装效果。
所述微晶薄膜103在所述基板1011上的投影面积大于或等于所述发光功能层1013在所述基板1011上的投影面积,即所述微晶薄膜103可覆盖所述显示面板的显示区及所述显示面板的全部非显示区。
所述微晶薄膜103内的所述纳米颗粒包括金属氧化物纳米颗粒,具体地,所述纳米颗粒可包括氧化锌纳米颗粒、二氧化钛纳米颗粒中的至少一种,更进一步地,所述纳米颗粒的粒径范围包括1nm-100nm。
另外,于所述封装层102背向所述显示基底101一侧设置盖板105,且所述盖板105通过粘附层104贴附于所述封装层102背向所述显示基底101的一侧。
在本实施例中,所述微晶薄膜103内具有呈微晶堆叠状态的纳米颗粒,使得所述微晶薄膜103在纳米尺寸上具有有序的微结构,能够降低显示面板内的微腔效应和全反射作用,进而提高了显示面板的光提取效率和视角范围,改善了显示面板的显示效果,且所述微晶薄膜103设置于所述第一水汽阻挡层1021上,并不影响所述封装层102的封装效果。
在本发明的另一种实施例中,请参照图2,所述显示面板包括显示基底201、设置于所述显示基底201上的封装层202、设置于所述封装层202上的微晶薄膜203、设置于所述微晶薄膜203上的粘附层204以及通过所述粘附层204与所述微晶薄膜203相贴合的盖板205。
所述显示基底201包括基板2011、以及依次设置于所述基板2011上的薄膜晶体管器件层2012以及发光功能层2013,其中,所述薄膜晶体管器件层2012中包括金属氧化物薄膜晶体管器件,具体可包括IGZO-TFT,所述发光功能层2013包括顶发射有机发光器件,使得所述显示面板的出光面朝向所述微晶薄膜203一侧。
所述封装层202包括依次设置于所述显示基底201上的第一水汽阻挡层2021、应力缓冲层2022以及第二水汽阻挡层2023,更进一步地,所述微晶薄膜203设置于所述第二水汽阻挡层2023上,且所述微晶薄膜203设置于所述第二水汽阻挡层2023上,并不会影响所述封装层202对所述发光功能层2013的封装效果。
所述微晶薄膜203在所述基板2011上的投影面积大于或等于所述发光功能层2013在所述基板2011上的投影面积,即所述微晶薄膜203可覆盖所述显示面板的显示区及所述显示面板的全部非显示区。
所述微晶薄膜203内的所述纳米颗粒包括金属氧化物纳米颗粒,具体地,所述纳米颗粒可包括氧化锌纳米颗粒、二氧化钛纳米颗粒中的至少一种,更进一步地,所述纳米颗粒的粒径范围包括1nm-100nm。
另外,于所述微晶薄膜203背向所述显示基底201一侧设置盖板205,且所述盖板205通过粘附层204贴附于所述微晶薄膜203背向所述显示基底201的一侧。
在本实施例中,所述微晶薄膜203内具有呈微晶堆叠状态的纳米颗粒,使得所述微晶薄膜203在纳米尺寸上具有有序的微结构,能够降低显示面板内的微腔效应和全反射作用,进而提高了显示面板的光提取效率和视角范围,改善了显示面板的显示效果,且所述微晶薄膜203设置于所述第二水汽阻挡层2023上,并不影响所述封装层202的封装效果。
在本发明的又一种实施例中,请参照图3,所述显示面板包括显示基底301、设置于所述显示基底301上的封装层302、设置于所述封装层302上的微晶薄膜303、设置于所述微晶薄膜303上的粘附层304以及通过所述粘附层304与所述微晶薄膜303相贴合的盖板305。
所述显示基底301包括基板3011、以及依次设置于所述基板3011上的薄膜晶体管器件层3012以及发光功能层3013,其中,所述薄膜晶体管器件层3012中包括金属氧化物薄膜晶体管器件,具体可包括IGZO-TFT,所述发光功能层3013包括顶发射有机发光器件,使得所述显示面板的出光面朝向所述微晶薄膜303一侧。
所述封装层302包括设置于所述显示基底301上的水汽阻挡层3021,更进一步地,所述微晶薄膜303设置于所述水汽阻挡层3021上,且所述微晶薄膜303设置于所述水汽阻挡层3021上,并不会影响所述封装层302对所述发光功能层3013的封装效果。
所述微晶薄膜303在所述基板3011上的投影面积大于或等于所述发光功能层3013在所述基板3011上的投影面积,即所述微晶薄膜303可覆盖所述显示面板的显示区及所述显示面板的全部非显示区。
所述微晶薄膜303内的所述纳米颗粒包括金属氧化物纳米颗粒,具体地,所述纳米颗粒可包括氧化锌纳米颗粒、二氧化钛纳米颗粒中的至少一种,更进一步地,所述纳米颗粒的粒径范围包括1nm-100nm。
另外,于所述微晶薄膜303背向所述显示基底301一侧设置所述盖板305,且所述盖板305通过所述粘附层304贴附于所述微晶薄膜303背向所述显示基底301的一侧。
在本实施例中,所述微晶薄膜303内具有呈微晶堆叠状态的纳米颗粒,使得所述微晶薄膜303在纳米尺寸上具有有序的微结构,能够降低显示面板内的微腔效应和全反射作用,进而提高了显示面板的光提取效率和视角范围,改善了显示面板的显示效果,且所述微晶薄膜303设置于所述水汽阻挡层3021上,并不影响所述封装层302的封装效果。
另外,本发明实施例还提供上述实施例所述的显示面板的制作方法,请参照图1、图4、图5、图6、图7以及图8,本发明实施例仅以图1所示显示面板的结构为例,以作说明,所述方法包括以下步骤:
S10、依次制备薄膜晶体管器件层1012、发光功能层1013于基板1011上,以形成显示基底101。
提供所述基板1011,且不限于柔性基板或刚性基板。
在所述基板1011上制备薄膜晶体管器件层1012,所述薄膜晶体管器件层1012可包括金属氧化物薄膜晶体管器件,具体可包括IGZO-TFT。
在所述薄膜晶体管器件层1012上制备发光功能层1013,所述发光功能层1013包括顶发射有机发光器件,使得所述显示面板的出光面朝向所述微晶薄膜103一侧。
S20、制备封装层102于所述显示基底101上,所述封装层102包括至少一水汽阻挡层。
S30、制备微晶薄膜103于所述至少一水汽阻挡层上,且所述微晶薄膜103内具有呈微晶堆叠状态的纳米颗粒。
制备所述封装层102至少覆盖所述发光功能层1013,且所述封装层102包括设置于所述显示基底101上的第一水汽阻挡层1021,所述微晶薄膜103设置于所述第一水汽阻挡层1021上。
具体地,可采用气相沉积法或原子层沉积法制备所述第一水汽阻挡层1021于所述显示基底101上,其中,所述第一水汽阻挡层1021的材料包括Al2O3、TiO2、SiNx、SiCNx以及SiOx中的一种或一种以上的组合材料。
且所述步骤S30包括:
S301、将纳米颗粒溶液制于所述第一水汽阻挡层1021上形成纳米颗粒薄膜,其中,可采用旋涂、涂布或打印工艺将所述纳米颗粒溶液制于所述第一水汽阻挡层1021上。
S302、对所述纳米颗粒薄膜进行加热退火处理或等离子处理,以使得所述纳米颗粒薄膜可以形成稳定的膜层形貌,以形成具有呈微晶堆叠状态的纳米颗粒的所述微晶薄膜103。
所述方法还包括:在所述微晶薄膜103上制备应力缓冲层1022,以及在所述应力缓冲层1022上制备第二水汽阻挡层1023,需要说明的是,在本实施例中,由于所述微晶薄膜103制备于所述第一水汽阻挡层1021上,因此,所述步骤S20中制备的所述封装层102仅包括所述第一水汽阻挡层1021,而剩余的所述应力缓冲层1022与所述第二水汽阻挡层1023皆在所述微晶薄膜103制备完成之后,再制备于所述微晶薄膜103上。
在本发明的其他实施例中,当所述微晶薄膜103制备于所述第二水汽阻挡层1023上时,则所述步骤S20中制备的所述封装层102包括所述第一水汽阻挡层1021、所述应力缓冲层1022以及所述第二水汽阻挡层1023,根据实际需求可先制备部分所述封装层102,然后制备所述微晶薄膜103,或先制备全部所述封装层102,然后制备所述微晶薄膜103,在此不作限定。
更进一步地,可采用气相沉积法在所述微晶薄膜103上制备应力缓冲层1022,且所述应力缓冲层1022的材料包括亚克力、六甲基二甲硅醚、聚丙烯酸酯类、聚碳酸酯类以及聚苯乙烯中的一种或一种以上的组合材料。
然后采用气相沉积法或原子层沉积法制备所述第二水汽阻挡层1023于所述应力缓冲层1022上,以形成所述封装层102,其中,所述第二水汽阻挡层1023的材料包括Al2O3、TiO2、SiNx、SiCNx以及SiOx中的一种或一种以上的组合材料。
在本发明的其他实施例中,所述封装层102包括一水汽阻挡层,且所述微晶薄膜103设置于所述水汽阻挡层上,或所述封装层102包括多个水汽阻挡层,且所述微晶薄膜103设置于所述多个水汽阻挡层中的任意一者上,当所述封装层102具有多个水汽阻挡层时,所述封装层102还包括与所述多个水汽阻挡层交替设置并由所述水汽阻挡层包覆的应力缓冲层。
需要说明的是,由于所述应力缓冲层1022的材料为有机材料,而所述微晶薄膜103不易在有机材料膜层上成膜,因此,在本发明实施例中,所述微晶薄膜103设置于所述水汽阻挡层1021或1023上,而不设置于所述应力缓冲层1022上,优选的,所述微晶薄膜103设置在最靠近所述显示基底101一侧的所述水汽阻挡层上,以提高其改善效果。
另外,在所述盖板105上涂布框胶或其他胶材形成粘附层104,并将盖板105设有所述粘附层104的一面与所述封装层102背向所述显示基底101一侧贴合,经紫外光或加热固化,以形成所述显示面板。
综上所述,本发明实施例通过在显示面板的封装层内或上设置一微晶薄膜,在不影响封装层封装效果的同时,由于微晶薄膜内具有呈微晶堆叠状态的纳米颗粒,使得微晶薄膜在纳米尺寸上具有有序的微结构,能够降低显示面板内的微腔效应和全反射作用,进而提高了显示面板的光提取效率和视角范围,改善了显示面板的显示效果。
在上述实施例中,对各个实施例的描述都各有侧重,某个实施例中没有详述的部分,可以参见其他实施例的相关描述。
以上对本发明实施例所提供的一种显示面板及其制作方法进行了详细介绍,本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述,以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的技术方案及其核心思想;本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例的技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种显示面板,其特征在于,包括:
显示基底,所述显示基底包括基板、以及依次设置于所述基板上的薄膜晶体管器件层以及发光功能层;
封装层,设置于所述显示基底上,并至少覆盖所述发光功能层,所述封装层包括至少一水汽阻挡层;以及
微晶薄膜,设置于所述至少一水汽阻挡层上,且所述微晶薄膜内具有呈微晶堆叠状态的纳米颗粒。
2.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述封装层包括多个水汽阻挡层,且所述微晶薄膜设置于所述多个水汽阻挡层中的任意一者上。
3.根据权利要求2所述的显示面板,其特征在于,所述封装层包括依次设置于所述显示基底上的第一水汽阻挡层、应力缓冲层以及第二水汽阻挡层,且所述微晶薄膜设置于所述第一水汽阻挡层与所述应力缓冲层之间,或所述微晶薄膜设置于所述第二水汽阻挡层上。
4.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述纳米颗粒包括金属氧化物纳米颗粒。
5.根据权利要求4所述的显示面板,其特征在于,所述金属氧化物纳米颗粒包括氧化锌纳米颗粒、二氧化钛纳米颗粒中的至少一种。
6.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述微晶薄膜在所述基板上的投影面积大于或等于所述发光功能层在所述基板上的投影面积。
7.一种显示面板的制作方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:
依次制备薄膜晶体管器件层、发光功能层于基板上,以形成显示基底;
制备封装层于所述显示基底上,所述封装层包括至少一水汽阻挡层;以及
制备微晶薄膜于所述至少一水汽阻挡层上,且所述微晶薄膜内具有呈微晶堆叠状态的纳米颗粒。
8.根据权利要求7所述的显示面板的制作方法,其特征在于,所述制备微晶薄膜于所述至少一水汽阻挡层上包括:
将纳米颗粒溶液制于所述至少一水汽阻挡层上形成纳米颗粒薄膜;以及
对所述纳米颗粒薄膜进行退火处理或等离子处理,以形成所述微晶薄膜。
9.根据权利要求8所述的显示面板的制作方法,其特征在于,所述纳米颗粒溶液包括氧化锌纳米颗粒溶液、二氧化钛纳米颗粒溶液中的至少一种。
10.根据权利要求7所述的显示面板的制作方法,其特征在于,所述封装层包括第一水汽阻挡层,且所述微晶薄膜制备于所述第一水汽阻挡层上;
且所述方法还包括:
制备应力缓冲层于所述微晶薄膜上;以及
制备第二水汽阻挡层于所述应力缓冲层上。
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