CN112198982B - 触控面板及其制作方法和显示装置 - Google Patents

触控面板及其制作方法和显示装置 Download PDF

Info

Publication number
CN112198982B
CN112198982B CN202011043348.0A CN202011043348A CN112198982B CN 112198982 B CN112198982 B CN 112198982B CN 202011043348 A CN202011043348 A CN 202011043348A CN 112198982 B CN112198982 B CN 112198982B
Authority
CN
China
Prior art keywords
touch electrode
lap joint
boundary
substrate
groove
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202011043348.0A
Other languages
English (en)
Other versions
CN112198982A (zh
Inventor
吕志甲
房腾
蔡瑶
杜晓君
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hefei Visionox Technology Co Ltd
Original Assignee
Hefei Visionox Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hefei Visionox Technology Co Ltd filed Critical Hefei Visionox Technology Co Ltd
Priority to CN202011043348.0A priority Critical patent/CN112198982B/zh
Publication of CN112198982A publication Critical patent/CN112198982A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN112198982B publication Critical patent/CN112198982B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/041Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
    • G06F3/0416Control or interface arrangements specially adapted for digitisers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Position Input By Displaying (AREA)

Abstract

本发明实施例公开了一种触控面板及其制作方法和显示装置,该触控面板包括衬底、第一导电层、绝缘层和第二导电层,第一导电层包括多个桥接部;第二导电层包括多个第一触控电极块和多个第二触控电极块,绝缘层包括搭接孔和与搭接孔连通的搭接槽,第一触控电极块通过搭接孔和搭接槽与桥接部电连接。本发明实施例提供的技术方案通过搭接孔和与搭接孔连通的搭接槽,在搭接槽处去除搭接孔邻近第一触控电极块的一侧覆盖于桥接部上的绝缘层,能够减小在搭接孔邻近第一触控电极块的一侧绝缘层与桥接部之间形成的台阶,可以使得在绝缘层上形成第二导电层时,消除第二导电层和桥接部之间的膜层空洞,从而能够提高触控面板的良率和触控性能。

Description

触控面板及其制作方法和显示装置
技术领域
本发明实施例涉及触控技术领域,尤其涉及一种触控面板及其制作方法和显示装置。
背景技术
随着显示技术的发展,对触控面板的要求也越来越高。
触控面板通常包括触控电极,通过触控电极实现触控功能。然而现有技术中触控面板容易产生断路,影响触控性能。
发明内容
本发明实施例提供一种触控面板及其制作方法和显示装置,以实现提高触控面板的良率和可靠性。
第一方面,本发明实施例提供了一种触控面板,包括:
衬底;
第一导电层,位于衬底上,所述第一导电层包括多个桥接部;
绝缘层,至少部分所述绝缘层位于所述衬底上,与所述第一导电层同层设置;
第二导电层,至少部分所述第二导电层位于所述绝缘层远离所述衬底的一侧,所述第二导电层包括多个第一触控电极块和多个第二触控电极块,沿第一方向相邻的所述第一触控电极块通过所述桥接部电连接形成第一触控电极条,沿第二方向相邻的所述第二触控电极块电连接形成第二触控电极条;
所述绝缘层包括搭接孔和与所述搭接孔连通的搭接槽,所述第一触控电极块通过所述搭接孔和所述搭接槽与所述桥接部电连接;其中,所述搭接槽设置于所述搭接孔的邻近所述搭接孔对应所述第一触控电极块的一侧,且所述搭接槽在所述衬底的垂直投影包括第一边界,所述第一边界为所述搭接槽邻近所述搭接槽对应的第一触控电极块的边界;所述桥接部在所述衬底的垂直投影包括第二边界,所述第二边界为所述桥接部邻近所述桥接部对应的第一触控电极块的边界;所述第一边界设置于所述第二边界邻近所述搭接槽对应的所述第一触控电极块的一侧,且所述第一边界与所述第二边界之间的距离大于或等于预设距离阈值。通过搭接孔和与搭接孔连通的搭接槽,在搭接槽处至少部分去除搭接孔邻近第一触控电极块的一侧覆盖于桥接部上的绝缘层,能够减小在搭接孔邻近第一触控电极块的一侧绝缘层与桥接部之间形成的台阶,可以使得在绝缘层上形成第二导电层时,消除第二导电层和桥接部之间的膜层空洞,避免造成架桥通道断开或者通道的阻抗变大,从而能够提高触控面板的良率和触控性能。
可选地,所述搭接槽的深度等于搭接孔的深度,且等于所述绝缘层的厚度,可以保证完全消除在搭接孔邻近第一触控电极块的一侧绝缘层与桥接部之间的台阶。
可选地,所述第一触控电极块包括桥接端,所述桥接端通过所述搭接孔和所述搭接槽与所述桥接部电连接;所述搭接孔和所述搭接槽在所述衬底上的垂直投影覆盖所述桥接端在所述衬底上的垂直投影,使得台阶底部存在刻蚀残留的第二导电层不与第一触控电极块接触,避免第一触控电极块与第二触控电极块出现微短路的现象。
可选地,所述第一触控电极块和所述第二触控电极块采用网格结构。
可选地,所述搭接槽的宽度大于或等于所述第一触控电极块的网格线的宽度。
可选地,所述第一触控电极块和所述第二触控电极块的材料为金属或金属氧化物。
第二方面,本发明实施例还提供了一种显示装置,该显示装置包括本发明任意实施例所提供的触控面板。
可选地,所述显示装置还包括层叠设置的基板、发光结构、封装层和偏光片;
所述封装层的任一膜层复用为所述触控面板的衬底,或者所述偏光片复用为所述触控面板的衬底。
第三方面,本发明实施例还提供了一种触控面板的制作方法,该触控面板的制作方法包括:
提供衬底;
在所述衬底上形成第一导电层,所述第一导电层包括多个桥接部;
至少在所述衬底上形成部分绝缘层,与所述第一导电层同层设置;
至少在所述绝缘层远离所述衬底的一侧形成部分第二导电层,所述第二导电层包括多个第一触控电极块和多个第二触控电极块,沿第一方向相邻的所述第一触控电极块通过所述桥接部电连接形成第一触控电极条,沿第二方向相邻的所述第二触控电极块电连接形成第二触控电极条;
所述绝缘层包括搭接孔和与所述搭接孔连通的搭接槽,所述第一触控电极块通过所述搭接孔和所述搭接槽与所述桥接部电连接;其中,所述搭接槽设置于所述搭接孔的邻近所述搭接孔对应所述第一触控电极块的一侧,且所述搭接槽在所述衬底的垂直投影包括第一边界,所述第一边界为所述搭接槽邻近所述搭接槽对应的第一触控电极块的边界;所述桥接部在所述衬底的垂直投影包括第二边界,所述第二边界为所述桥接部邻近所述桥接部对应的第一触控电极块的边界;所述第一边界设置于所述第二边界邻近所述搭接槽对应的所述第一触控电极块的一侧,且所述第一边界与所述第二边界之间的距离大于或等于预设距离阈值。通过搭接孔和与搭接孔连通的搭接槽,在搭接槽处至少部分去除搭接孔邻近第一触控电极块的一侧覆盖于桥接部上的绝缘层,能够减小在搭接孔邻近第一触控电极块的一侧绝缘层与桥接部之间形成的台阶,可以使得在绝缘层上形成第二导电层时,消除第二导电层和桥接部之间的膜层空洞,避免造成架桥通道断开或者通道的阻抗变大,从而能够提高触控面板的良率和触控性能。
可选地,至少在所述绝缘层远离所述衬底的一侧形成部分第二导电层,包括:
采用物理气相沉积法在所述绝缘层上形成导电膜;
采用干刻工艺刻蚀所述导电膜形成所述第二导电层。
本发明实施例提供一种触控面板及其制作方法和显示装置,该触控面板包括衬底、绝缘层、第一导电层,第一导电层包括多个桥接部,触控面板还包括第二导电层,第二导电层包括多个第一触控电极块和多个第二触控电极块,绝缘层包括搭接孔和与搭接孔连通的搭接槽,第一触控电极块通过搭接孔和搭接槽与桥接部电连接。通过搭接孔和与搭接孔连通的搭接槽,在搭接槽处至少部分去除搭接孔邻近第一触控电极块的一侧覆盖于桥接部上的绝缘层,能够减小在搭接孔邻近第一触控电极块的一侧绝缘层与桥接部之间形成的台阶,可以使得在绝缘层上形成第二导电层时,消除第二导电层和桥接部之间的膜层空洞,避免造成架桥通道断开或者通道的阻抗变大,从而能够提高触控面板的良率和触控性能。
附图说明
图1为本发明实施例提供的一种触控面板的俯视图;
图2为本发明实施例提供的一种触控面板的局部放大图;
图3为本发明实施例提供的一种触控面板的剖面图;
图4为本发明实施例提供的一种搭接孔未开槽的触控面板的剖面图;
图5为本发明实施例提供的另一种触控面板的局部放大图;
图6是图5中触控面板沿剖面线BB’的剖面图;
图7为本发明实施例提供的一种显示装置的剖面结构示意图;
图8为本发明实施例提供的另一种显示装置的剖面结构示意图;
图9为本发明实施例提供的一种触控面板的制作方法。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明,而非对本发明的限定。另外还需要说明的是,为了便于描述,附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。
正如背景技术所述,现有技术中的触控面板容易出现导电通道断开的问题。经发明人长期研究发现,出现上述问题的原因在于,现有技术中触控面板上的触控电极通常需要搭接桥进行连接,一般制作时在触控电极和搭接桥之间的绝缘层上开孔,触控电极通常通过孔与搭接桥电连接,然而在开孔处造成绝缘层与搭接桥之间形成台阶。而现有技术中通常采用物理气相沉积法(Physical Vapor Deposition,PVD)溅射成膜,而PVD溅射成膜对膜层的搭接孔以及台阶非常敏感,针对架桥结构的触控电极,在搭接孔处容易出现膜层空洞的现象,造成架桥通道断开或者通道的阻抗变大。
基于上述原因,本发明实施例提供一种触控面板,图1为本发明实施例提供的一种触控面板的俯视图,图2为本发明实施例提供的一种触控面板的局部放大图,图3为本发明实施例提供的一种触控面板的剖面图,其中,图2可以对应图1中aa区域的放大图,图3所示的剖面图可以对应图2沿剖面线A-A’剖切得到。参考图1、图2和图3,本发明实施例提供的触控面板10包括:衬底101;第一导电层102,位于衬底101上,第一导电层102包括多个桥接部120;绝缘层103,至少部分绝缘层103位于衬底101上,与第一导电层102同层设置;第二导电层104,至少部分第二导电层104位于绝缘层103远离衬底101的一侧,第二导电层104包括多个第一触控电极块110和多个第二触控电极块130,沿第一方向(如图1中X方向)相邻的第一触控电极块110通过桥接部120电连接形成第一触控电极条210,沿第二方向(如图1中Y方向)相邻的第二触控电极块130电连接形成第二触控电极条220;
绝缘层103包括搭接孔131和与搭接孔131连通的搭接槽132,第一触控电极块110通过搭接孔131和搭接槽132与桥接部120电连接;其中,搭接槽132设置于搭接孔131的邻近搭接孔131对应第一触控电极块110的一侧,且搭接槽132在衬底101的垂直投影包括第一边界B,第一边界B为搭接槽132邻近搭接槽132对应的第一触控电极块110的边界;桥接部120在衬底101的垂直投影包括第二边界C,第二边界C为桥接部120邻近桥接部120对应的第一触控电极块110的边界;第一边界B设置于第二边界C邻近搭接槽132对应的第一触控电极块110的一侧,且第一边界B与第二边界C之间的距离大于或等于预设距离阈值。
具体地,触控面板10用于实现触控功能,参考图1,在触控面板10上包括多个相互交叉排列的第一触控电极块110和第二触控电极块130,第一触控电极块110和第二触控电极块130相互绝缘,为了避免第一触控电极块110和第二触控电极块130在交叉的位置短接,本发明实施例将相邻的第一触控电极块110以架桥的方式进行连接。其中,沿第一方向,如X方向,相邻的第一触控电极块110之间通过桥接部120电连接形成第一触控电极条210;沿第二方向,如Y方向,相邻的第二触控电极块130电连接形成第二触控电极条220,其中第一方向和第二方向相互交叉。在第一触控电极条210和第二触控电极条220在衬底101上的投影交叉点可以形成电容,当人手触控该触控面板10时,对应触控位置的第一触控电极条210和第二触控电极条220交叉点处的电容会发生变化,触控面板10可根据触控位置执行相应的操作。
参考图2和图3,本发明实施例提供的触控面板包括衬底101、第一导电层102、绝缘层103和第二导电层104,相邻第一触控电极块110之间通过桥接部120连接。第一触控电极块110与桥接部120连接处设置有搭接孔131,其中搭接孔131可以在绝缘层103上开孔形成,同时绝缘层103还包括与搭接孔131连通的搭接槽132,第一触控电极块110通过搭接槽132以及搭接孔131与桥接部120电连接。现有技术通常采用直接在绝缘层103上开孔的方式将第一触控电极块110与桥接部120连接,示例性地,图4为本发明实施例提供的一种搭接孔未开槽的触控面板的剖面图,在衬底101上通过PVD方式溅射第一导电层102,并刻蚀第一导电层102以形成桥接部120,在第一导电层102远离衬底101的一侧采用化学气相沉积方法形成绝缘层103,在绝缘层103上打孔形成搭接孔131,在绝缘层103远离衬底101的一侧溅射第二导电层104。由于绝缘层103上包括搭接孔131,使得绝缘层103在搭接孔131处与桥接部120形成台阶,在溅射第二导电层104时,由于台阶的存在,容易导致形成第二导电层104时在台阶处出现膜层空洞,造成第一触控电极块110与桥接部120断开,影响触控面板的良率。本发明实施例提供的技术方案通过在搭接孔131上开槽的方式来减小搭接孔131处绝缘层103与桥接部120之间的台阶,也即,绝缘层103包括搭接孔131和与搭接孔131连通的搭接槽132,第一触控电极块110通过搭接孔131和搭接槽132与桥接部120电连接,从而提高触控面板的性能。
其中,参考图2和图3,搭接槽132邻近搭接孔131对应的第一触控电极块110的一侧在衬底101上的垂直投影包括第一边界B,桥接部120邻近桥接部120对应的第一触控电极块110的一侧在衬底101上的垂直投影包括第二边界C。为了确保将第一触控电极块110与桥接部120连接接通路上的膜层台阶均减小或消除,第一边界B与第二边界C之间的距离需要大于或等于预设距离阈值,其中,预设距离阈值为绝缘层103在桥接部120的边缘的成膜坡度角的余切值与绝缘层103的膜厚的乘积。示例性地,参考图4,在绝缘层103未开槽之前,绝缘层103在桥接部120的边缘成膜时存在坡度角φ,绝缘层103与第一导电层102之间形成有较高的台阶。设绝缘层103覆盖桥接部120的部分邻近第一触控电极块110的边界为第三边界D,第三边界D和第二边界C之间的距离等于绝缘层103的厚度与坡度角φ的余切值的乘积。如图3和图4所示,对绝缘层103开槽形成与搭接孔131连通的搭接槽132时,搭接槽132的第一边界B与桥接部120的第二边界C之间的距离至少满足预设距离阈值,才能将第一触控电极块110与桥接部120连接通路上的膜层台阶均减小或消除,从而消除第二导电层104与桥接部120之间的膜层空洞。
本发明实施例提供的触控面板,包括衬底、绝缘层、第一导电层,第一导电层包括多个桥接部,触控面板还包括第二导电层,第二导电层包括多个第一触控电极块和多个第二触控电极块,绝缘层包括搭接孔和与搭接孔连通的搭接槽,第一触控电极块通过搭接孔和搭接槽与桥接部电连接。通过搭接孔和与搭接孔连通的搭接槽,在搭接槽处至少部分去除搭接孔邻近第一触控电极块的一侧覆盖于桥接部上的绝缘层,能够减小在搭接孔邻近第一触控电极块的一侧绝缘层与桥接部之间形成的台阶,可以使得在绝缘层上形成第二导电层时,消除第二导电层和桥接部之间的膜层空洞,避免造成架桥通道断开或者通道的阻抗变大,从而能够提高触控面板的良率和触控性能。
可以理解的是,参考图4,搭接孔131邻近第一触控电极块110的一侧覆盖于桥接部120上的绝缘层103的厚度越小,即搭接槽的深度越小,搭接孔131邻近第一触控电极块110的一侧绝缘层103与桥接部120之间的台阶越小。进一步地,搭接槽132的深度等于搭接孔131的深度,且等于绝缘层103的厚度时,可以保证完全消除在搭接孔131邻近第一触控电极块110的一侧绝缘层103与桥接部120之间的台阶。
可选地,图5为本发明实施例提供的另一种触控面板的局部放大图,图6是图5中触控面板沿剖面线BB’的剖面图,图5与图2区别是,图5所示的触控面板刻蚀掉了搭接孔131和搭接槽132周围的第二导电层104。参考图5和图6,在上述技术方案的基础上,第一触控电极块110包括桥接端111,桥接端111通过搭接孔131和搭接槽132与桥接部120电连接;搭接孔131和搭接槽132在衬底101上的垂直投影覆盖桥接端111在衬底101上的垂直投影。
具体地,参考图5和图6,由于绝缘层103覆盖于桥接部120上的部分与未覆盖桥接部120的部分的存在高度差,使得覆盖于桥接部120上的绝缘层103与未覆盖桥接部120的绝缘层103形成台阶,在刻蚀第二导电层104时,台阶的底部(图6中虚线圈出的部分)容易存在刻蚀残留,进而造成第一触控电极块110与第二触控电极块130之间微短路,从而影响触控面板的触控性能。通过设置搭接孔131和搭接槽132在衬底101上的垂直投影覆盖桥接端111在衬底101上的垂直投影,即桥接端111位于搭接孔131和搭接槽132内,使得刻蚀第二导电层时第一触控电极块110在搭接孔131和搭接槽132处截止,使得台阶底部存在刻蚀残留的第二导电层不与第一触控电极块110接触,避免第一触控电极块110与第二触控电极块130出现微短路的现象。
可选地,继续参考图1和图2,第一触控电极块110和第二触控电极块130采用网格结构,且搭接槽132的宽度大于或等于第一触控电极块110的网格线的宽度。
图1示出的第一触控电极条210包括多个位于第二导电层104的第一触控电极块110和位于第一导电层102的桥接部120,在第一触控电极条210与第二触控电极条220交叉的位置,第一触控电极条210的第一触控电极块110通过桥接部120进行电连接,从而能够实现第一触控电极条210与第二触控电极条220的绝缘。图1以第一触控电极块110和第二触控电极块130为网格结构进行示出,当第一触控电极块110和第二触控电极块130为网格结构时,网格结构的形状可以与像素的形状相适应,如与像素的形状相同,每个网格内可设置一个像素,从而能够避免网格对像素发光效果造成影响。将搭接槽132的宽度设置为大于或等于第一触控电极块110的网格线的宽度,使得第一触控电极块110与搭接孔131连通的网格线全部经由搭接槽132与搭接孔131连接,避免网格线部分位于绝缘层103远离第一导电层102的表面,部分位于搭接槽132底部,导致位于绝缘层103远离第一导电层102的表面的网格线进入搭接孔131时仍存在台阶,仍可能产生膜层空洞,进行影响触控面板10的触控性能。
可选地,第一触控电极块110和第二触控电极块130的材料为金属或金属氧化物,例如,第一触控电极块110和第二触控电极块130的材料可以为Ti/Al/Ti,第一触控电极块110和第二触控电极块130的材料也可以为氧化铟锡,其中氧化铟锡为透明导电材料,可以避免第一触控电极块110和第二触控电极块130对像素发光的影响。
图7为本发明实施例提供的一种显示装置的剖面结构示意图,在上述技术方案的基础上,参考图7,本发明实施例提供的显示装置包括本发明任意实施例所提供的触控面板。该显示装置可以为手机,也可以为电脑、电视机、智能穿戴显示装置等,本发明实施例对此不作限制。
可选的,该显示装置还包括层叠设置的基板310、发光结构320、封装层330和偏光片340,封装层330的任一膜层复用为触控面板10的衬底101,或者偏光片340复用为触控面板10的衬底101。
具体地,基板310为可以驱动发光器件阵列的阵列基板,阵列基板可以包括薄膜晶体管阵列,薄膜晶体管阵列包括多个阵列排布的薄膜晶体管,薄膜晶体管构成发光器件阵列的驱动电路,驱动发光器件阵列的发光器件发光。基板310可以是柔性的,可以由具有柔性的任意合适的绝缘材料形成;基板310也可以是刚性的,例如玻璃基板。在基板310上形成发光结构320,发光结构320可以为发光器件阵列,发光器件通常包括阴极、电子注入层、电子传输层、发光层、空穴传输层、空穴注入层和阳极,阴极的电子和阳极的空穴在电场的驱动作用下分别注入电子注入层和空穴注入层,再经电子传输层和空穴传输层迁移到发光层,电子和空穴在发光层结合产生激子,激子经过迁移和辐射衰减产生光子发光。在发光结构320远离基板310的一侧形成封装层330,封装层330位于发光器件阵列上,用于封装发光器件阵列,以保护发光器件的发光层和电极免受外界水汽和氧气的影响,延缓发光器件的使用寿命。封装层330至少包括一个无机薄膜层和一个有机薄膜层,无机薄膜层和有机薄膜层可以在发光器件阵列上叠加,以满足显示装置的密封性。其中,基板310、发光结构320和封装层330可以形成显示装置的显示功能层,偏光片340可以在封装层330上,也可以设置在触控面板10上。
以封装层330包括层叠设置的第一无机薄膜层和有机薄膜层为例,参考图7,图7示出的为封装层330的有机薄膜层复用为触控面板10的衬底101,形成外挂式(on cell)结构的显示装置。
当然,在其他实施例中,还可以将偏光片340复用为触控面板10的衬底101,图8为本发明实施例提供的另一种显示装置的剖面结构示意图,如图8所示,偏光片340复用为触控面板10的衬底101,在偏光片340上层叠形成第一导电层102、绝缘层103和第二导电层104,形成on cell结构的显示装置,其具体工作原理在此不再赘述。
需要说明的是,本发明实施例提供的图7和图8中示出的剖面结构均与触控面板的剖切位置相对应。
图9为本发明实施例提供的一种触控面板的制作方法,在上述各技术方案的基础上,参考图9,该触控面板的制作方法包括:
S110、提供衬底;
S120、在衬底上形成第一导电层,第一导电层包括多个桥接部;
S130、至少在衬底上形成部分绝缘层,与第一导电层同层设置;
S140、至少在绝缘层远离衬底的一侧形成部分第二导电层,第二导电层包括多个第一触控电极块和多个第二触控电极块,沿第一方向相邻的第一触控电极块通过桥接部电连接形成第一触控电极条,沿第二方向相邻的第二触控电极块电连接形成第二触控电极条;
绝缘层包括搭接孔和与搭接孔连通的搭接槽,第一触控电极块通过搭接孔和搭接槽与桥接部电连接;其中,搭接槽设置于搭接孔的邻近搭接孔对应第一触控电极块的一侧,且搭接槽在衬底的垂直投影包括第一边界,第一边界为搭接槽邻近搭接槽对应的第一触控电极块的边界;桥接部在衬底的垂直投影包括第二边界,第二边界为桥接部邻近桥接部对应的第一触控电极块的边界;第一边界设置于第二边界邻近搭接槽对应的第一触控电极块的一侧,且第一边界与第二边界之间的距离大于或等于预设距离阈值。
在上述技术方案的基础上,至少在绝缘层远离衬底的一侧形成部分第二导电层,包括:
采用物理气相沉积法在绝缘层上形成导电膜;
采用干刻工艺刻蚀导电膜形成第二导电层。
具体地,参考图3,在绝缘层103上形成第二导电层104时,先采用物理气相沉积法在绝缘层103上形成导电膜,导电膜的材料可以为金属或金属氧化物等导电材料。然后采用干刻工艺刻蚀导电膜形成第二导电层104,其中第二导电层104包括多个第一触控电极块110和多个第二触控电极块130。由于绝缘层103包括搭接孔131和与搭接孔131连通的搭接槽132,第一触控电极块110通过搭接孔131和搭接槽132与桥接部120电连接,因此,在刻蚀第二导电层104时,不会在第一电极块110和桥接部120连接处出现膜层空洞的现象,从而能够提高触控面板的良率和触控性能。
本实施例提供的触控面板的制作方法与本发明任意实施例提供的触控面板属于相同的发明构思,具有相应的有益效果,未在本实施例详尽的技术细节详见本发明任意实施例提供的触控面板。
注意,上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解,本发明不限于这里所述的特定实施例,对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此,虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明,但是本发明不仅仅限于以上实施例,在不脱离本发明构思的情况下,还可以包括更多其他等效实施例,而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (10)

1.一种触控面板,其特征在于,包括:
衬底;
第一导电层,位于衬底上,所述第一导电层包括多个桥接部;
绝缘层,至少部分所述绝缘层位于所述衬底上,与所述第一导电层同层设置;
第二导电层,至少部分所述第二导电层位于所述绝缘层远离所述衬底的一侧,所述第二导电层包括多个第一触控电极块和多个第二触控电极块,沿第一方向相邻的所述第一触控电极块通过所述桥接部电连接形成第一触控电极条,沿第二方向相邻的所述第二触控电极块电连接形成第二触控电极条;
所述绝缘层包括搭接孔和与所述搭接孔连通的搭接槽,所述第一触控电极块通过所述搭接孔和所述搭接槽与所述桥接部电连接;其中,所述搭接槽设置于所述搭接孔的邻近所述搭接孔对应所述第一触控电极块的一侧,且所述搭接槽在所述衬底的垂直投影包括第一边界,所述第一边界为所述搭接槽邻近所述搭接槽对应的第一触控电极块的边界;所述桥接部在所述衬底的垂直投影包括第二边界,所述第二边界为所述桥接部邻近所述桥接部对应的第一触控电极块的边界;所述第一边界设置于所述第二边界邻近所述搭接槽对应的所述第一触控电极块的一侧,且所述第一边界与所述第二边界之间的距离大于或等于预设距离阈值。
2.根据权利要求1所述的触控面板,其特征在于,所述搭接槽的深度等于搭接孔的深度,且等于所述绝缘层的厚度。
3.根据权利要求1所述的触控面板,其特征在于,所述第一触控电极块包括桥接端,所述桥接端通过所述搭接孔和所述搭接槽与所述桥接部电连接;所述搭接孔和所述搭接槽在所述衬底上的垂直投影覆盖所述桥接端在所述衬底上的垂直投影。
4.根据权利要求1所述的触控面板,其特征在于,
所述第一触控电极块和所述第二触控电极块采用网格结构。
5.根据权利要求4所述的触控面板,其特征在于,所述搭接槽的宽度大于或等于所述第一触控电极块的网格线的宽度。
6.根据权利要求1所述的触控面板,其特征在于,所述第一触控电极块和所述第二触控电极块的材料为金属或金属氧化物。
7.一种显示装置,其特征在于,包括如权利要求1-6任一项所述的触控面板。
8.根据权利要求7所述的显示装置,其特征在于,
所述显示装置还包括层叠设置的基板、发光结构、封装层和偏光片;
所述封装层的任一膜层复用为所述触控面板的衬底,或者所述偏光片复用为所述触控面板的衬底。
9.一种触控面板的制作方法,其特征在于,包括:
提供衬底;
在所述衬底上形成第一导电层,所述第一导电层包括多个桥接部;
至少在所述衬底上形成部分绝缘层,与所述第一导电层同层设置;
至少在所述绝缘层远离所述衬底的一侧形成部分第二导电层,所述第二导电层包括多个第一触控电极块和多个第二触控电极块,沿第一方向相邻的所述第一触控电极块通过所述桥接部电连接形成第一触控电极条,沿第二方向相邻的所述第二触控电极块电连接形成第二触控电极条;
所述绝缘层包括搭接孔和与所述搭接孔连通的搭接槽,所述第一触控电极块通过所述搭接孔和所述搭接槽与所述桥接部电连接;其中,所述搭接槽设置于所述搭接孔的邻近所述搭接孔对应所述第一触控电极块的一侧,且所述搭接槽在所述衬底的垂直投影包括第一边界,所述第一边界为所述搭接槽邻近所述搭接槽对应的第一触控电极块的边界;所述桥接部在所述衬底的垂直投影包括第二边界,所述第二边界为所述桥接部邻近所述桥接部对应的第一触控电极块的边界;所述第一边界设置于所述第二边界邻近所述搭接槽对应的所述第一触控电极块的一侧,且所述第一边界与所述第二边界之间的距离大于或等于预设距离阈值。
10.根据权利要求9所述的触控面板的制作方法,其特征在于,至少在所述绝缘层远离所述衬底的一侧形成部分第二导电层,包括:
采用物理气相沉积法在所述绝缘层上形成导电膜;
采用干刻工艺刻蚀所述导电膜形成所述第二导电层。
CN202011043348.0A 2020-09-28 2020-09-28 触控面板及其制作方法和显示装置 Active CN112198982B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202011043348.0A CN112198982B (zh) 2020-09-28 2020-09-28 触控面板及其制作方法和显示装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202011043348.0A CN112198982B (zh) 2020-09-28 2020-09-28 触控面板及其制作方法和显示装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN112198982A CN112198982A (zh) 2021-01-08
CN112198982B true CN112198982B (zh) 2023-11-07

Family

ID=74007076

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202011043348.0A Active CN112198982B (zh) 2020-09-28 2020-09-28 触控面板及其制作方法和显示装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN112198982B (zh)

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103294242A (zh) * 2012-02-25 2013-09-11 宸鸿科技(厦门)有限公司 触控面板及其制作方法
CN104991679A (zh) * 2015-07-31 2015-10-21 合肥鑫晟光电科技有限公司 触摸基板及其制作方法、触摸显示装置
CN105514125A (zh) * 2016-02-02 2016-04-20 京东方科技集团股份有限公司 一种阵列基板、其制备方法及显示面板
CN105528122A (zh) * 2014-09-29 2016-04-27 宸鸿科技(厦门)有限公司 触控面板及其制造方法
CN106547405A (zh) * 2016-11-04 2017-03-29 上海天马微电子有限公司 一种有机发光显示面板、装置及制作方法
CN109062431A (zh) * 2018-07-17 2018-12-21 京东方科技集团股份有限公司 一种触控模组、其制作方法及显示装置
CN109710106A (zh) * 2018-12-12 2019-05-03 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 触控面板以及显示装置
CN111552407A (zh) * 2020-04-29 2020-08-18 业成科技(成都)有限公司 电子设备、触控模组及其制备方法

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103294242A (zh) * 2012-02-25 2013-09-11 宸鸿科技(厦门)有限公司 触控面板及其制作方法
CN105528122A (zh) * 2014-09-29 2016-04-27 宸鸿科技(厦门)有限公司 触控面板及其制造方法
CN104991679A (zh) * 2015-07-31 2015-10-21 合肥鑫晟光电科技有限公司 触摸基板及其制作方法、触摸显示装置
CN105514125A (zh) * 2016-02-02 2016-04-20 京东方科技集团股份有限公司 一种阵列基板、其制备方法及显示面板
CN106547405A (zh) * 2016-11-04 2017-03-29 上海天马微电子有限公司 一种有机发光显示面板、装置及制作方法
CN109062431A (zh) * 2018-07-17 2018-12-21 京东方科技集团股份有限公司 一种触控模组、其制作方法及显示装置
CN109710106A (zh) * 2018-12-12 2019-05-03 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 触控面板以及显示装置
CN111552407A (zh) * 2020-04-29 2020-08-18 业成科技(成都)有限公司 电子设备、触控模组及其制备方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN112198982A (zh) 2021-01-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN108376672B (zh) 阵列基板及其制备方法,以及显示装置
CN108962947B (zh) 一种柔性显示面板和显示装置
CN110649043B (zh) 阵列基板、显示面板、显示装置及阵列基板的制备方法
CN109491550B (zh) 一种触控基板及其检测方法、显示装置
CN104716156A (zh) 一种有机发光显示装置及其制备方法
US11016624B2 (en) Touch display panel and manufacturing method thereof, display device
EP1605516B1 (en) Organic electro-luminescent display and method for manufacturing the same
US20240038773A1 (en) Display panel and display device
CN110797352B (zh) 显示面板及其制作方法、显示装置
CN113471257B (zh) 显示面板及移动终端
CN113594223B (zh) 有机发光显示装置及制作方法
CN114203778A (zh) 有源矩阵oled显示面板及其制备方法
US20240324412A1 (en) Display panel and mobile terminal
CN112198982B (zh) 触控面板及其制作方法和显示装置
CN114335018B (zh) 一种显示面板的制备方法及显示面板
CN100492653C (zh) 有机发光显示设备
CN215578571U (zh) 一种显示面板
JP2008010275A (ja) 画像表示装置
CN111682050B (zh) 触控显示装置及其制造方法
CN111708465B (zh) 触控显示装置及其制造方法
US20240244931A1 (en) Display panel, preparation method therefor, and display device
CN214226915U (zh) 一种薄膜晶体管结构及显示装置
US20240276790A1 (en) Display panel, method for manufacturing the same, and display device
CN112037651B (zh) 一种显示面板、制程方法及显示装置
CN110120410B (zh) 一种显示单元、显示面板及其制作方法和显示设备

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant