CN112147774B - 一种扫描致动器及光纤扫描器 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种扫描致动器，包括依次连接的第一致动部、隔离部和第二致动部，第一致动部和第二致动部的两端均分别为固定端和自由端，第二致动部的固定端和第一致动部的自由端分别与隔离部固定连接；所述的隔离部的弯曲刚度高于第一致动部的弯曲刚度和第二致动部弯曲刚度；还公开了一种光纤扫描器。通过提高隔离部的弯曲刚度能够很好的避免隔离部因第一致动部和/或第二致动部的振动而产生形变，避免了不易控制和/或杂乱振动分量的产生，提高了扫描质量。隔离部可以更好地分离快慢轴的运动，同时减弱甚至抑制了隔离部发生扭曲、形变以及产生杂乱的振动波的现象，即隔离部的振动形变减弱甚至不会受快慢轴影响而产生振动形变。

Description

一种扫描致动器及光纤扫描器

技术领域

本发明涉及光纤扫描装置技术领域，尤其涉及一种扫描致动器及光纤扫描器。

背景技术

光纤扫描器是一种利用扫描致动器控制光纤摆动从而出射一幅图案的显示技术，该技术所照射的图案的色彩锐利饱和、对比度高、亮度高，且结构体积非常小，其主要用在光纤扫描显示(FSD)技术和光纤扫描内窥镜(FSE)技术中。

格栅式光纤扫描器的致动器主要包括作为快轴的第二致动部和作为慢轴的第一致动部，第二致动部和第一致动部的两端均分别为固定端和自由端，第二致动部的固定端与第一致动部的自由端固定连接。要想获得稳定的扫描范围、并精确操控扫描轨迹，需要致动器的末端的扫描轨迹与第一致动部的扫描轨迹和第二致动部的扫描轨迹具有精确的一致性，任何安装结构的不牢固、位置误差都会使得致动器的振动变得不易控制或产生杂乱的振动分量。如何避免不受控或杂乱的振动分量是提高扫描质量的重要因素之一。

发明内容

本发明实施例提供一种扫描致动器及光纤扫描器，用以减少甚至消除不受控或杂乱的振动分量的产生。

发明人在研究中发现第二致动部的固定端与第一致动部的自由端的连接部会同时到第二致动部和第一致动部振动的影响，因而会产生一定的扭曲形变，同时会产生一些杂乱的振动波，这会反作用于第二致动部和第一致动部，使得第二致动部和第一致动部的振动受影响，变得不易控制或产生杂乱的振动分量。

为了解决上述缺陷，本发明第一方面提供一种扫描致动器，包括依次连接的第一致动部、隔离部和第二致动部，第一致动部和第二致动部的两端均分别为固定端和自由端，第二致动部的固定端和第一致动部的自由端分别与隔离部固定连接；所述的隔离部的弯曲刚度高于第一致动部的弯曲刚度和第二致动部弯曲刚度。

进一步的，所述的第一致动部的自由端相对于其固定端沿垂直于第一方向的至少一个方向振动，第二致动部的自由端相对于其固定端沿垂直于所述第一方向的至少一个方向振动，第一致动部的自由端相对于其固定端的振动方向与第二致动部的自由端相对于其固定端的振动方向不同。

通过提高隔离部的弯曲刚度能够很好的避免隔离部因第一致动部和/或第二致动部的振动而产生形变，避免了不易控制和/或杂乱振动分量的产生，提高了扫描质量。具体的，隔离部可以更好地分离快慢轴的运动，同时减弱甚至抑制了隔离部发生扭曲、形变以及产生杂乱的振动波的现象，即隔离部的振动形变减弱甚至不会受快慢轴影响而产生振动形变。这样快轴所受的慢轴提供的致动力是通过刚性更大的隔离部直接传导而来，快轴不会接受到隔离部因振动形变而产生的额外杂乱的振动波，这样快轴轨迹的杂乱分量更少，其轨迹更易矫正。同样，慢轴也不会接收到隔离部因振动形变而产生的额外杂乱的振动波，慢轴轨迹的杂乱分量更少，其轨迹更易矫正。

第二致动部的自由端相对于第一致动部的固定端的运动轨迹为第一致动部和第二致动部的振动轨迹的合成。优选的，第一致动部的自由端相对于其固定端的振动方向与第二致动部的自由端相对于其固定端的振动方向相互垂直，从而光纤悬臂可在压电致动器的驱动下做李萨茹式扫描或栅格式扫描。优选的，第二致动部的固有频率远大于第一致动部的固有频率，以满足栅格式扫描的要求，同时也避免第一致动部和第二致动部之间的谐振干扰。

所述的隔离部的弯曲刚度高于第一致动部的弯曲刚度和第二致动部弯曲刚度是指，隔离部的弯曲刚度既高于第一致动部的弯曲刚度，也高于第二致动部弯曲刚度。本文中的其他类似表述同理。

可选的，当所述的隔离部的弹性模量大于第一致动部的弹性模量和第二致动部的弹性模量时，所述的隔离部任意位置被垂直于第一方向的平面截得的截面面积不小于第一致动部的自由端被垂直于第一方向的平面截得的截面面积和第二致动部的固定端被垂直于第一方向的平面截得的截面面积。即隔离部任意位置被垂直于第一方向的平面截得的截面面积既不小于第一致动部的自由端被垂直于第一方向的平面截得的截面面积，也不小于第二致动部的固定端被垂直于第一方向的平面截得的截面面积。

也可优选的，当所述的隔离部的弹性模量不小于第一致动部的弹性模量和第二致动部的弹性模量时，所述的隔离部任意位置被垂直于第一方向的平面截得的截面面积既大于第一致动部的自由端被垂直于第一方向的平面截得的截面面积，也大于第二致动部的固定端被垂直于第一方向的平面截得的截面面积。

也可选的，隔离部的外部设置有用于提高弯曲刚度的附加件。

所述的附加件为紧密套装于隔离部外部的套管。套管的内孔的形状与隔离部的外形相匹配。隔离部的形状可以为圆管型、方管型、方棒型等。可选的，所述的套管通过焊接、胶粘、一体成型等工艺与隔离部固定连接。优选的，套管完全包覆隔离部，进一步优选的套管的两端分别套装于第一致动器和第二致动器的外部。当套管通过粘结剂与隔离部粘结时，所述的套管为采用透明材料制成的透明套管，在向套管与隔离部的缝隙中填胶后，将仪器设备之类的工具伸入缝隙再将胶涂抹使填充均匀，由于套管为透明，所以可实时观测到胶的均匀情况并随时做出调整；涂抹均匀后，若是紫外固化胶，则紫外光可从任意方向对准套管内的胶进行照射，也可以聚焦后进行针对性的照射，这样可以使胶的固化过程更均匀更全面。

所述的附加件为设置于隔离部外表面的加强筋和/或加强板。加强筋和加强板的数量均可以为任意数量，当设置有至少两个加强筋和/或加强板时，各加强筋和/或加强板在隔离部外表面相互间隔设置。优选的，所述的加强筋和/或加强板沿自第一致动部的自由端向第二致动部的固定端的方向延伸，可选的，所述的加强筋和/或加强板的两端分别固定连接第一致动部的自由端和第二致动部的固定端。优选的，所述的加强筋和/或加强板均为透明材料制成的透明加强筋和/或透明加强板，当采用紫外固化胶粘结透明加强筋和/或透明加强板与隔离部时，紫外光可从任意方向对加强筋和/或透明加强板内的胶进行照射，也可以聚焦后进行针对性的照射，这样可以使胶的固化过程更均匀更全面。

所述的第一致动部和第二致动部均可为双压电晶片致动器、压电材料管致动器或压电片驱动致动器。

本发明实施例第二方面提供了一种光纤扫描器，包括所述的扫描致动器和光纤，光纤以悬臂支撑的方式与第二致动部的自由端固定连接，以光纤的出光端为前端，光纤的前部超出第二致动部的自由端形成光纤悬臂，光纤位于光纤悬臂后侧的部分与第二致动部固定连接。

本发明实施例中的一个或者多个技术方案，至少具有如下技术效果或者优点：

通过提高隔离部的弯曲刚度能够很好的避免隔离部因第一致动部和/或第二致动部的振动而产生形变，避免了不易控制和/或杂乱振动分量的产生，提高了扫描质量。隔离部可以更好地分离快慢轴的运动，同时减弱甚至抑制了隔离部发生扭曲、形变以及产生杂乱的振动波的现象，即隔离部的振动形变减弱甚至不会受快慢轴影响而产生振动形变。

附图说明

图1为本发明扫描致动器的一种实施例的结构示意图；

图2为本发明扫描致动器的另一种实施例的结构示意图；

图3为图2所示实施例的拆分结构示意图；

图4为本发明扫描致动器的第三种实施例的结构示意图；

图5为本发明扫描致动器的第四种实施例的结构示意图；

图6为本发明压电材料管致动器被垂直于轴线的截面截得的截面图；

图7为本发明压电片驱动致动器被垂直于第一方向的截面截得的截面图；

图8为本发明双压电晶片致动器被垂直于第一方向的截面截得的截面图；

图9为本发明光纤扫描器的一种实施例的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明实施例提供一种扫描致动器及光纤扫描器，用以减少甚至消除避免不受控或杂乱的振动分量的产生。

如图1-5所示，本发明第一方面提供一种扫描致动器，包括依次连接的第一致动部1、隔离部3和第二致动部2，第一致动部1和第二致动部2的两端均分别为固定端和自由端，第二致动部2的固定端21和第一致动部1的自由端12分别与隔离部3固定连接；第一致动部1的自由端12相对于其固定端11沿垂直于第一方向的至少一个方向振动，第二致动部2的自由端22相对于其固定端21沿垂直于所述第一方向的至少一个方向振动，第一致动部1的自由端12相对于其固定端11的振动方向与第二致动部2的自由端22相对于其固定端21的振动方向不同，所述的隔离部3的弯曲刚度高于第一致动部1的弯曲刚度和第二致动部2的弯曲刚度。

通过提高隔离部3的弯曲刚度能够很好的避免隔离部3因第一致动部1和/或第二致动部2的振动而产生形变，避免了不易控制和/或杂乱振动分量的产生，提高了扫描质量。具体的，隔离部3可以更好地分离快慢轴的运动，同时减弱甚至抑制了隔离部3发生扭曲、形变以及产生杂乱的振动波的现象，即隔离部3的振动形变减弱甚至不会受快慢轴影响而产生振动形变。这样快轴所受的慢轴提供的致动力是通过刚性更大的隔离部3直接传导而来，快轴不会接受到隔离部3因振动形变而产生的额外杂乱的振动波，这样快轴轨迹的杂乱分量更少，其轨迹更易矫正。同样，慢轴也不会接收到隔离部3因振动形变而产生的额外杂乱的振动波，慢轴轨迹的杂乱分量更少，其轨迹更易矫正。

第二致动部2的自由端22相对于第一致动部1的固定端11的运动轨迹为第一致动部1和第二致动部2的振动轨迹的合成。优选的，第一致动部1的自由端12相对于其固定端11的振动方向与第二致动部2的自由端22相对于其固定端21的振动方向相互垂直，从而光纤悬臂可在压电致动器的驱动下做李萨茹式扫描或栅格式扫描。优选的，第二致动部2的固有频率远大于第一致动部1的固有频率，以满足栅格式扫描的要求，同时也避免第一致动部1和第二致动部2之间的谐振干扰。

所述的隔离部3的弯曲刚度高于第一致动部1的弯曲刚度和第二致动部2弯曲刚度是指，隔离部3的弯曲刚度既高于第一致动部1的弯曲刚度，也高于第二致动部2弯曲刚度。

具体可选的，所述的隔离部3的弯曲刚度大于第一致动部1的弯曲刚度和第二致动部2的弯曲刚度。本文中的A大于B和C是指A既大于B，也大于C；A不小于B和C是指A既不小于B，也不小于C，其他类似表述同理。

进一步优选的，如图1所示，当所述的隔离部的弹性模量大于第一致动部1的弹性模量和第二致动部2的弹性模量时，所述的隔离部3任意位置被垂直于第一方向的平面截得的截面面积不小于第一致动部1的自由端12被垂直于第一方向的平面截得的截面面积和第二致动部2的固定端21被垂直于第一方向的平面截得的截面面积。即隔离部3任意位置被垂直于第一方向的平面截得的截面面积既不小于第一致动部1的自由端12被垂直于第一方向的平面截得的截面面积，也不小于第二致动部2的固定端21被垂直于第一方向的平面截得的截面面积。

也可进一步优选的，当所述的隔离部3的弹性模量不小于第一致动部1的弹性模量和第二致动部2的弹性模量时，所述的隔离部3任意位置被垂直于第一方向的平面截得的截面面积既大于第一致动部1的自由端12被垂直于第一方向的平面截得的截面面积，也大于第二致动部2的固定端21被垂直于第一方向的平面截得的截面面积。

也可选的，如图2-图5所示，隔离部3的外部设置有用于提高弯曲刚度的附加件4。

如图2-图4所示，所述的附加件4为紧密套装于隔离部3外部的套管41。套管41的内孔的形状与隔离部3的外形相匹配。如图4所示，隔离部3的形状可以为圆管型，也可如图2、图3所示，隔离部3的形状为方管型、方棒型等。可选的，所述的套管41通过焊接、胶粘、一体成型等工艺与隔离部3固定连接。优选的，套管41完全包覆隔离部3，进一步优选的套管41的两端分别套装于第一致动器和第二致动器的外部。当套管41通过粘结剂与隔离部3粘结时，所述的套管41为采用透明材料制成的透明套管41，在向套管41与隔离部3的缝隙中填胶后，将仪器设备之类的工具伸入缝隙再将胶涂抹使填充均匀，由于套管41为透明，所以可实时观测到胶的均匀情况并随时做出调整；涂抹均匀后，若是紫外固化胶，则紫外光可从任意方向对准套管41内的胶进行照射，也可以聚焦后进行针对性的照射，这样可以使胶的固化过程更均匀更全面。

如图5所示，所述的附加件4为设置于隔离部3外表面的加强筋42和/或加强板43。加强筋42和加强板43的数量均可以为任意数量，当设置有至少两个加强筋42和/或加强板43时，各加强筋42和/或加强板43在隔离部3外表面相互间隔设置。优选的，所述的加强筋42和/或加强板43沿自第一致动部1的自由端12向第二致动部2的固定端21的方向延伸，可选的，所述的加强筋42和/或加强板43的两端分别固定连接第一致动部1的自由端12和第二致动部2的固定端21。优选的，所述的加强筋42和/或加强板43均为透明材料制成的透明加强筋42和/或透明加强板43，当采用紫外固化胶粘结透明加强筋42和/或透明加强板43与隔离部3时，紫外光可从任意方向对加强筋42和/或透明加强板43内的胶进行照射，也可以聚焦后进行针对性的照射，这样可以使胶的固化过程更均匀更全面。

所述的第一致动部1和第二致动部2均可为双压电晶片致动器、压电材料管致动器或压电片驱动致动器。

如图6所示，所述的压电材料管致动器包括压电材料管111，压电材料管111的外表面设置有至少两对关于压电材料管111的轴心线对称的外电极112，压电材料管111的内表面设置有与所述外电极112相配合的内电极113。以实现当内电极113和外电极112连接外部驱动器件后，该致动部的前端沿其对应的轴振动。

压电材料管111的各个外电极112和内电极113均连接外部驱动电路，以通过各对相配合外电极112和内电极113向压电材料管111施加交变电场。压电材料管111沿径向极化，每对关于压电材料管111的轴心线对称的外电极112及与之对应的内电极113，在同一时刻驱动该压电材料管111做相反方向的伸缩，即每对外电极112中的一个外电极112及其内电极113驱动位于其范围内的压电材料管111伸长时，另一个外电极112及其内电极113驱动位于其范围内的压电材料管111同步缩短；反之亦然。当压电材料管111一端固定时，压电材料管111的另一端为自由端，上述同步伸长和伸缩的动作使得压电材料管111的自由端相对于固定端沿垂直于轴线的一个方向振动。当压电材料管111的外表面设置有n对关于压电材料管111的轴心线对称的外电极112时，压电材料管111的自由端相对于固定端可沿n个垂直于所述轴心线的方向振动。作为此类实施例的一个优选实施例，所述的n为1或2，且当n为2时，其中一对关于压电材料管111的轴心线对称的外电极112及与之对应的内电极113驱动压电材料管111的自由端相对于其固定端沿一个垂直于所述轴心线的方向振动，而另一对关于压电材料管111的轴心线对称的外电极112及与之对应的内电极113驱动压电材料管111的自由端沿另一个垂直于所述轴心线的方向振动，从而使得压电材料管致动器具备矫正功能，能够对其最终的振动方向进行自由调整，以克服因安装、加工等工序存在的误差而导致的扫描轨迹存在的畸变。

此时，将压电材料管111的弯曲刚度视为该致动部的弯曲刚度。

如图7所示，所述的压电片驱动致动器包括轴心方向为第一方向的基体121，基体121的表面沿周向间隔贴覆有至少一个沿第一方向伸缩的第一压电片122，当基体121的表面沿周向间隔贴覆有至少两个第一压电片122时，任意两个第一压电片122可关于基体121的中心对称也可不关于基体121的中心对称，基体121沿第一方向的两端分别为固定端和自由端，第一压电片122的伸缩驱动基体121的自由端相对于固定端沿垂直于第一方向的方向振动。当两个第一压电片122关于基体121的中心对称时，在任一时刻关于基体121的中心对称的两个第一压电片122的伸缩方向相反，从而该两个第一压电片122共同驱动基体121沿一个垂直于第一方向的方向振动；不关于基体121的中心对称的第一压电片122各自驱动基体121沿一个相应的、垂直于第一方向的方向振动。基体121的表面既可以仅设置一个第一压电片122或仅设置两个关于基体121的中心的第一压电片122，从而使得基体121的自由端可沿一个垂直于第一方向的方向振动；也可以设置至少两个不关于基体121的中心对称的第一压电片122，从而可以使得基体121的自由端沿多个垂直于第一方向的方向振动，从而使得压电片驱动致动器具备矫正功能，能够对其最终的振动方向进行自由调整，以克服因安装、加工等工序存在的误差而导致的扫描轨迹存在的畸变。

所述的第一压电片122包括压电材料片，压电材料片接触基体121的表面和与该表面相对的表面均设置有电极，压电材料片沿垂直于所述两个表面的方向极化，即压电材料片沿厚度方向极化。

所述的基体121的截面可以为任意由直线和/或曲线构成的闭合图形；例如优选的，所述的基体121的截面可以为方形、圆形、椭圆形。

此时，可计算各致动器的等效弯曲刚度，或比较基体121和两个压电材料片的被垂直于第一方向的平面截得的截面面积，当其中一个材料的截面面积显著大于其他材料的截面面积时，可将此材料的弯曲刚度视为该致动部的弯曲刚度，或将基体121和两个压电材料片的材料中，弯曲刚度最大材料的弯曲刚度视为该致动部的弯曲刚度。

如图8所示，所述的双压电晶片致动器包括沿第一方向延伸的中部隔离片131，中部隔离片131的一侧设置有平行于中部隔离片131的第一压电材料片132，中部隔离片131的另一侧设置有平行于中部隔离片131的第二压电材料片133，第一压电材料片132和第二压电材料片133均具有两个平行于中部隔离片131的第一表面，第一压电材料片132和第二压电材料片133的第一表面均布设有一层电极134。此时可将第一压电材料片132和第二压电材料片133的电极134均连接外部驱动电路，以通过电极134向压电材料片施加交变电场。第一压电材料片132在自电极134施加的交变电场的作用下伸长或缩短，第二压电材料片133在自电极134施加的交变电场的作用下伸长或缩短，且在任一时刻第一压电材料片132和第二压电材料片133的伸缩方向相反。

由于第一致动部1和第二致动部2的一端为固定端，第一压电材料片132和第二压电材料片133的同步反向伸缩会驱动该致动部的自由端相对于其固定端沿垂直于中部隔离片131的方向振动。

由于中部隔离片和电极的体积、截面面积都很小，故可将压电材料片的弯曲刚度视为该致动部的弯曲刚度。

本发明实施例第二方面提供了一种光纤扫描器，如图9所示，包括所述的扫描致动器和光纤5，光纤5以悬臂支撑的方式与第二致动部2的自由端22固定连接，以光纤5的出光端为前端，光纤5的前部超出第二致动部2的自由端22形成光纤悬臂51，光纤位于光纤悬臂51后侧的部分与第二致动部2固定连接

应该注意的是上述实施例对本发明进行说明而不是对本发明进行限制，并且本领域技术人员在不脱离所附权利要求的范围的情况下可设计出替换实施例。在权利要求中，不应将位于括号之间的任何参考符号构造成对权利要求的限制。单词“包含”或“包括”不排除存在未列在权利要求中的元件或步骤。位于元件之前的单词“一”或“一个”不排除存在多个这样的元件。单词第一、第二、以及第三等的使用不表示任何顺序，可将这些单词解释为名称。

本发明实施例中的一个或者多个技术方案，至少具有如下技术效果或者优点：

通过提高隔离部3的弯曲刚度能够很好的避免隔离部3因第一致动部1和/或第二致动部2的振动而产生形变，避免了不易控制和/或杂乱振动分量的产生，提高了扫描质量。具体的，隔离部3可以更好地分离快慢轴的运动，同时减弱甚至抑制了隔离部3发生扭曲、形变以及产生杂乱的振动波的现象，即隔离部3的振动形变减弱甚至不会受快慢轴影响而产生振动形变。

本说明书中公开的所有特征，除了互相排斥的特征，均可以以任何方式组合。

本说明书(包括任何附加权利要求、摘要和附图)中公开的任一特征，除非特别叙述，均可被其他等效或具有类似目的的替代特征加以替换。即，除非特别叙述，每个特征只是一系列等效或类似特征中的一个例子而已。

本发明并不局限于前述的具体实施方式。本发明扩展到任何在本说明书中披露的新特征或任何新的组合，以及披露的任一新的方法或过程的步骤或任何新的组合。

Claims (10)

1.一种扫描致动器，其特征在于，包括依次连接的第一致动部、隔离部和第二致动部，第一致动部和第二致动部的两端均分别为固定端和自由端，第二致动部的固定端和第一致动部的自由端分别与隔离部固定连接；所述的隔离部的弯曲刚度高于第一致动部的弯曲刚度和第二致动部的弯曲刚度，以避免因隔离部的形变而产生不易控制和/或杂乱的振动分量。

2.如权利要求1所述的一种扫描致动器，其特征在于，所述的第一致动部的自由端相对于其固定端沿垂直于第一方向的至少一个方向振动，第二致动部的自由端相对于其固定端沿垂直于所述第一方向的至少一个方向振动，第一致动部的自由端相对于其固定端的振动方向与第二致动部的自由端相对于其固定端的振动方向不同。

3.如权利要求2所述的一种扫描致动器，其特征在于，所述的隔离部的弹性模量大于第一致动部的弹性模量和第二致动部的弹性模量，且隔离部任意位置被垂直于第一方向的平面截得的截面面积不小于第一致动部的自由端被垂直于第一方向的平面截得的截面面积和第二致动部的固定端被垂直于第一方向的平面截得的截面面积。

4.如权利要求2所述的一种扫描致动器，其特征在于，所述的隔离部的弹性模量不小于第一致动部的弹性模量和第二致动部的弹性模量，且隔离部任意位置被垂直于第一方向的平面截得的截面面积大于第一致动部的自由端被垂直于第一方向的平面截得的截面面积和第二致动部的固定端被垂直于第一方向的平面截得的截面面积。

5.如权利要求1-4中任意一项所述的一种扫描致动器，其特征在于，所述的隔离部的外部设置有用于提高弯曲刚度的附加件。

6.如权利要求5中任意一项所述的一种扫描致动器，其特征在于，所述的附加件为紧密套装于隔离部外部的套管。

7.如权利要求6所述的一种扫描致动器，其特征在于，所述的套管完全包覆隔离部，套管的两端分别套装于第一致动器和第二致动器的外部。

8.如权利要求5中任意一项所述的一种扫描致动器，其特征在于，所述的附加件为设置于隔离部外表面的加强筋和/或加强板。

9.如权利要求8所述的一种扫描致动器，其特征在于，所述的加强筋和/或加强板沿自第一致动部的自由端向第二致动部的固定端的方向延伸，所述的加强筋和/或加强板的两端分别固定连接第一致动部的自由端和第二致动部的固定端。

10.一种光纤扫描器，其特征在于，包括如权利要求1-9中任意一项所述的扫描致动器和光纤，光纤以悬臂支撑的方式与第二致动部的自由端固定连接，以光纤的出光端为前端，光纤的前部超出第二致动部的自由端形成光纤悬臂。

Images