CN112110201A - 双工位半导体取料装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种双工位半导体取料装置，包括机架，机架包括第一传送模组、第二传送模组、吸料模组；吸料模组包括第一取料组件与第二取料组件，第一取料组件或第二取料组件包括第三驱动组件、第三滑轨、吸嘴组件，吸嘴组件与第三滑轨滑动连接，吸嘴组件在第三驱动组件的驱动下沿第三滑轨方向往复运动，以吸取或放下物料。本发明提供取料装置，一个吸料模组上设置有两个吸嘴组件，两个吸嘴组件独立运行，提高取料效率，降低成本并减小设备体积。

Description

双工位半导体取料装置

技术领域

本发明涉及物料传输技术领域，特别涉及一种双工位半导体取料装置。

背景技术

半导体在手机、汽车、传感器等领域有着非常广泛的运用，半导体作为手机、电脑的一种核心部件，技术日益增强，社会需求逐渐增大，半导体趋向小型化，而且制造数量巨大。

目前在对半导体的取料过程中一般通过单工位吸取后进行传输，效率低下。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种双工位半导体取料装置，能够解决单工位取料效率低下的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供一种双工位半导体取料装置。

根据本发明实施例的双工位半导体取料装置，包括机架，所述机架包括：

第一传送模组，所述第一传送模组包括第一滑座、第一驱动组件、第一滑轨、第一基座；所述第一滑轨与第一驱动组件固定安装于所述第一基座上；所述第一滑座与第一滑轨滑动连接；所述第一滑座在所述第一驱动组件的驱动下沿所述第一滑轨方向往复运动；

取料机构，所述取料机构包括：

第二传送模组，所述第二传送模组包括第二基座、第二驱动组件、第二滑座、第二滑轨；所述第二基座固定安装于第一滑座的表面，以使得所述第二传送模组跟随所述第一滑座一起运动；所述第二滑轨、第二驱动组件固定安装于所述第二基座上；所述第二滑座与第二滑轨滑动连接；所述第二滑座在第二驱动组件的驱动下沿第二滑轨方向往复运动；

吸料模组，所述吸料模组包括第一固定板、第一取料组件、第二取料组件；所述第一固定板固定连接所述第二基座，以使得所述吸料模组跟随所述第二滑座一起运动；所述第一取料组件与第二取料组件分别与所述第一固定板连接；其中，

所述第一取料组件或第二取料组件包括第三驱动组件、第三滑轨、吸嘴组件；所述第三驱动组件、第三滑轨固定安装于所述第一固定板上，所述吸嘴组件与第三滑轨滑动连接；所述吸嘴组件在所述第三驱动组件的驱动力下沿所述第三滑轨方向往复运动，以吸取或放下物料。

优选地，所述第一取料组件与第二取料组件以所述第一固定板对称设置。

优选地，所述吸料模组还包括摄像头组件与第二固定板，所述第二固定板与第一固定板固定连接，所述摄像头组件固定安装于所述第二固定板上，所述摄像头组件用于对待吸取的物料进行拍照。

优选地，所述吸嘴组件包括吸杆组件、移动组件；所述移动组件的一端固定连接所述第三驱动组件，所述移动组件的另一端与第三滑轨滑动连接；所述吸杆组件固定安装于所述移动组件上；所述吸杆组件在所述第三驱动组件的作用下沿所述第三滑轨方向往复运动，以吸取或放下物料。

优选地，所述移动组件包括吸嘴升降板、移动板、第三固定板；所述移动板固定连接所述第三驱动组件，所述吸嘴升降板与移动板固定连接，所述吸嘴升降板与所述第三滑轨滑动连接；所述吸杆组件固定安装于所述第三固定板上，所述第三固定板与吸嘴升降板固定连接。

优选地，所述吸嘴组件还包括弹性组件，所述弹性组件固定安装于所述移动组件上；所述弹性组件产生弹性力的方向与所述移动组件的运动方向相同。

优选地，所述吸嘴组件还包括旋转电机，所述旋转电机安装于所述第三固定板上；所述旋转电机接收指令驱动所述吸杆组件进行旋转，以摆正物料。

优选地，所述机架还包括磁力弹簧，所述磁力弹簧固定安装于第二基座上；所述磁力弹簧产生弹性力的方向与所述第二滑座的运动方向相同。

优选地，所述第三驱动组件为微型气缸。

优选地，所述第一驱动组件与第二驱动组件为直线电机。

本发明的上述技术方案的有益效果如下：

根据本发明实施例的双工位半导体取料装置，一个吸料模组上设置有两个吸嘴组件，两个吸嘴组件独立运行，提高取料效率，降低成本并减小设备体积。

附图说明

图1为本发明一个实施例的双工位半导体取料装置的整体结构示意图；

图2为本发明一个实施例的第一传送模组的局部结构示意图；

图3为本发明一个实施例的第二传送模组与取料机构的结构示意图；

图4为本发明一个实施例的第二传送模组与取料机构的另一个角度的结构示意图；

图5为图4的局部放大图。

附图标记：

机架2；

第一传送模组21；第一基座211；封板212；第一滑轨213；第一驱动组件214；第一滑座215；

取料机构22；

第二传送模组221；第二基座2211；磁力弹簧2212；第二滑座2215；第二驱动组件2216；第二滑轨2217；

吸料模组222；第一固定板222a；第三固定板222b；弹性组件222c；第二固定板222d；旋转电机222e；摄像头组件222f；第三滑轨222g；吸杆组件222h；移动板222m；第三驱动组件222n；吸嘴升降板222j。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本发明的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

下面首先结合附图具体描述根据本发明实施例的双工位半导体取料装置。

如图1至图5所示，根据本发明实施例的双工位半导体取料装置，包括机架2，机架2包括：第一传送模组21和取料机构22；取料机构22包括第二传送模组221与吸料模组222；其中，

第一传送模组21包括第一滑座215、第一驱动组件214和第一滑轨213、第一基座211；第一滑轨213与第一驱动组件214固定安装于第一基座211上；第一滑座215与第一滑轨213滑动连接；第一滑座215在第一驱动组件214的驱动下沿第一滑轨213方向往复运动，第一基座211的端部设置有封板212。其中，第一驱动组件214优选直线电机，直线电机驱动第一滑座215在水平方向上做往复运动。

第二传送模组221包括第二基座2211、第二驱动组件2216、第二滑座2215、第二滑轨2217；第二基座2211固定安装于第一滑座215的表面，以使得第二传送模组221跟随第一滑座215一起运动；第二滑轨2217、第二驱动组件2216固定安装于第二基座2211上；第二滑座2215与第二滑轨2217滑动连接；第二滑座2215在第二驱动组2216件的驱动下沿第二滑轨2217方向往复运动。第二传送模组221固定安装于第一传送模组21的第一滑座215上，即第二传送模组221在第一滑轨213上运动。第二传送模组221的传送方向垂直于第一传送模组21的传送方向。第二驱动组件2216优选直线电机，直线电机驱动第二滑座2215在竖直方向上往复运动。

吸料模组222，吸料模组222包括第一固定板222a、第一取料组件、第二取料组件；第一固定板222a固定连接第二基座2211，以使得吸料模组222跟随第二滑座2215一起运动；第一取料组件与第二取料组件分别与第一固定板222a连接；其中，

第一取料组件或第二取料组件包括第三驱动组件222n、第三滑轨222g、吸嘴组件；第三驱动组件222n、第三滑轨222g固定安装于第一固定板222a上，吸嘴组件与第三滑轨222g滑动连接；吸嘴组件在第三驱动组件222n的驱动力下沿第三滑轨222g方向往复运动，以吸取或放下物料。第一取料组件或第二取料组件的运动方向与第二传送模组221的运动方向一致均在竖直方向上运动。第三驱动组件222n优选微型气缸，吸嘴组件在微型气缸的驱动下在竖直方向上做往复运动。一个吸料模组上设置有两个取料组件，两个取料组件独立运行，提高取料效率，降低成本并减小设备体积。

需要说明的是：第一取料组件与第二取料组件为两个相互独立的取料组件，第一取料组件与第二取料组件以第一固定板222a对称设置，应当理解为：第一取料组件与第二取料组件都包括第三驱动组件222n、第三滑轨222g以及吸嘴组件，或者说是吸料模组222包括两个对称设置的第三驱动组件222n、第三滑轨222g以及吸嘴组件。第三驱动组件222n连接有主控板，主控板发送指令给第一取料组件或第二取料组件包括的第三驱动组件222n驱动吸嘴组件吸取或者放下物料。

本发明的实施例中的第一取料组件中的吸嘴组件与第二取料组件中的吸嘴组件单独运行，应当理解为：当第一取料组件中的吸嘴组件运动时，第二取料组件中的吸嘴组件停止运动，当第一取料组件中的吸嘴组件完成吸取或放下物料动作时，第二取料组件中的吸嘴组件开始吸取或放下物料的动作。比如：第一取料组件中的吸嘴组件在完成放下成品芯片动作后，第二取料组件中的吸嘴组件开始吸取半成本芯片。第一取料组件中的吸嘴组件与第二取料组件中的吸嘴组件分别负责吸取物料或放下物料。两个吸嘴组件独立运行，实现双工位吸附物料以增加搬运量，提高取料效率，降低取料成本。

在本发明的一个实施例中，机架2还包括磁力弹簧2212，磁力弹簧2212固定安装于第二基座2211上；磁力弹簧2212产生弹性力的方向与第二滑座2215的运动方向相同。磁力弹簧2212起到了缓冲减震的作用，使得第二滑座2215在运动的过程中更加平稳。

在本发明的一个实施例中，吸料模组222还包括摄像头组件222f与第二固定板222d，第二固定板222d与第一固定板222a固定连接，摄像头组件222f固定安装于第二固定板222d上，摄像头组件222f用于对待吸取的物料进行拍照。本实施例中的物料包括芯片，若干芯片以任意角度放置于载板上，吸嘴组件在进行吸取之前，需要通过摄像头组件222f对载板上待吸取的物料进行拍照，以使得吸嘴组件更加准确的进行吸取。另外，摄像头组件与吸嘴组件相邻设置，以方便准确采集待吸取芯片的姿态。

具体地，吸嘴组件分别包括吸杆组件222h、移动组件；移动组件的一端固定连接第三驱动组件222n，移动组件的另一端与第三滑轨222g滑动连接；吸杆组件222h固定安装于移动组件上；吸杆组件222h在第三驱动组件222n的作用下沿第三滑轨222g方向往复运动，以吸取或放下物料。

移动组件包括吸嘴升降板222j、移动板222m、第三固定板222b；移动板222m固定连接第三驱动组件222n，吸嘴升降板222j与移动板222m固定连接，吸嘴升降板222j与第三滑轨222g滑动连接；吸杆组件222h固定安装于第三固定板222b上，第三固定板222b与吸嘴升降板222j固定连接。吸嘴升降板222j、移动板222m、第三固定板222b分别固定连接不同的元件，以使得吸料模组222的结构更加灵活有利于后期维护。

具体地，吸嘴组件还包括旋转电机222e，旋转电机222e安装于第三固定板222b上；旋转电机222e接收指令驱动吸杆组件进行旋转，以摆正物料。旋转电机222e优选空心旋转电机，当气体进入空心旋转电机222e后，吸杆组件222h吸附物料。旋转电机222e连接主控板，摄像头组件222f将采集的带吸取芯片的姿态数据反馈给主控板，主控板经过数据处理后发送指令给旋转电机222e，旋转电机222e旋转一定角度后吸取物料，以使得吸杆组件222h将正确姿态的芯片进行吸取并进行传输至指定位置。旋转电机222e在吸取物料之前对吸杆组件222h进行旋转以使其吸取所需姿态的物料，提高物料的传送效率。

在本发明的一个实施例中，吸嘴组件还包括弹性组件222c，弹性组件222c固定安装于移动组件上；弹性组件222c产生弹性力的方向与移动组件的运动方向相同，弹性组件222c与吸嘴升降板222j相邻设置。该弹性组件222c优选为弹簧，弹簧用于对吸杆组件222h进行缓冲减震。为了防止吸杆组件222h在吸取物料的时候对物料造成损伤，该弹性组件222c即弹簧使得吸杆组件222h在吸取物料的时候实现柔性接触。

除非另作定义，本发明中使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本发明中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也相应地改变。

以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种双工位半导体取料装置，包括机架(2)，其特征在于，所述机架(2)包括：

第一传送模组(21)，所述第一传送模组(21)包括第一滑座(215)、第一驱动组件(214)、第一滑轨(213)、第一基座(211)；所述第一滑轨(213)与第一驱动组件(214)固定安装于所述第一基座(211)上；所述第一滑座(215)与第一滑轨(213)滑动连接；所述第一滑座(215)在所述第一驱动组件(214)的驱动下沿所述第一滑轨(213)方向往复运动；

取料机构(22)，所述取料机构(22)包括：

第二传送模组(221)，所述第二传送模组(221)包括第二基座(2211)、第二驱动组件(2216)、第二滑座(2215)、第二滑轨(2217)；所述第二基座(2211)固定安装于第一滑座(215)的表面，以使得所述第二传送模组(221)跟随所述第一滑座(215)一起运动；所述第二滑轨(2217)、第二驱动组件(2216)固定安装于所述第二基座(2211)上；所述第二滑座(2215)与第二滑轨(2217)滑动连接；所述第二滑座(2215)在第二驱动组件(2216)的驱动下沿第二滑轨(2217)方向往复运动；

吸料模组(222)，所述吸料模组(222)包括第一固定板(222a)、第一取料组件、第二取料组件；所述第一固定板(222a)固定连接所述第二基座(2211)，以使得所述吸料模组(222)跟随所述第二滑座(2215)一起运动；所述第一取料组件与第二取料组件分别与所述第一固定板连接；其中，

所述第一取料组件或第二取料组件包括第三驱动组件(222n)、第三滑轨(222g)、吸嘴组件；所述第三驱动组件、第三滑轨固定安装于所述第一固定板(222a)上，所述吸嘴组件与第三滑轨(222g)滑动连接；所述吸嘴组件在所述第三驱动组件(222n)的驱动力下沿所述第三滑轨(222g)方向往复运动，以吸取或放下物料。

2.根据权利要求1所述的双工位半导体取料装置，其特征在于，所述第一取料组件与第二取料组件以所述第一固定板(222a)对称设置。

3.根据权利要求1所述的双工位半导体取料装置，其特征在于，所述吸料模组还包括摄像头组件(222f)与第二固定板(222d)，所述第二固定板(222d)与第一固定板(222a)固定连接，所述摄像头组件(222f)固定安装于所述第二固定板(222d)上，所述摄像头组件(222f)用于对待吸取的物料进行拍照。

4.根据权利要求3所述的双工位半导体取料装置，其特征在于，所述吸嘴组件包括吸杆组件(222h)、移动组件；所述移动组件的一端固定连接所述第三驱动组件(222n)，所述移动组件的另一端与第三滑轨(222g)滑动连接；所述吸杆组件(222h)固定安装于所述移动组件上；所述吸杆组件(222h)在所述第三驱动组件(222n)的作用下沿所述第三滑轨(222g)方向往复运动，以吸取或放下物料。

5.根据权利要求4所述的双工位半导体取料装置，其特征在于，所述移动组件包括吸嘴升降板(222j)、移动板(222m)、第三固定板(222b)；所述移动板(222m)固定连接所述第三驱动组件(222n)，所述吸嘴升降板(222j)与移动板(222m)固定连接，所述吸嘴升降板(222j)与所述第三滑轨(222g)滑动连接；所述吸杆组件(222h)固定安装于所述第三固定板(222b)上，所述第三固定板(222b)与吸嘴升降板(222j)固定连接。

6.根据权利要求4所述的双工位半导体取料装置，其特征在于，所述吸嘴组件还包括弹性组件(222c)，所述弹性组件(222c)固定安装于所述移动组件上；所述弹性组件(222c)产生弹性力的方向与所述移动组件的运动方向相同。

7.根据权利要求5所述的双工位半导体取料装置，其特征在于，所述吸嘴组件还包括旋转电机(222e)，所述旋转电机(222e)安装于所述第三固定板(222b)上；所述旋转电机(222e)接收指令驱动所述吸杆组件(222h)进行旋转，以摆正物料。

8.根据权利要求1所述的双工位半导体取料装置，其特征在于，所述机架(2)还包括磁力弹簧(2212)，所述磁力弹簧(2212)固定安装于第二基座(2211)上；所述磁力弹簧(2212)产生弹性力的方向与所述第二滑座(2215)的运动方向相同。

9.根据权利要求1所述的双工位半导体取料装置，其特征在于，所述第三驱动组件(222n)为微型气缸。

10.根据权利要求1所述的双工位半导体取料装置，其特征在于，所述第一驱动组件(214)与第二驱动组件(2216)为直线电机。

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