CN112080730A - 一种用于柔性基底沉积薄膜的弹性夹具及其使用方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种用于柔性基底沉积薄膜的弹性夹具，包括底板，底板上设置有凹槽，凹槽一端设置有固定装置，另一端设置有螺杆，并且凹槽内设置有可自由移动的滑动装置；滑动装置一侧通过弹簧与固定装置连接，螺杆通过螺孔接入凹槽内，与滑动装置另一侧固定连接；固定装置包括第一滑块、上固定板和下固定板，第一滑块设置于凹槽内，螺栓依次穿过上固定板、下固定板、第一滑块实现上固定板与下固定板之间的紧固连接；上固定板底面与下固定板顶面相对位置均设置有胶带贴敷区，胶带贴敷区位于远离弹簧一侧。本发明公开的一种用于柔性基底沉积薄膜的弹性夹具，用于固定与拉伸柔性基底，提高柔性基底均匀性。

Description

一种用于柔性基底沉积薄膜的弹性夹具及其使用方法

技术领域

本发明涉及柔性基底薄膜沉积技术领域，更具体的说是涉及一种用于柔性基底沉积薄膜的弹性夹具及其使用方法。

背景技术

柔性基底多为聚合物，因此其表面较软容易因外界摩擦导致表面损伤，目前国内对于柔性基底的保护主要通过旋涂加硬液或通过溅射法沉积硬质薄膜，但沉积膜层的红外透射率普遍较差。而在柔性基底表面沉积介质膜和功能薄膜，不但可以对薄膜进行保护，还可以提高薄膜的红外透射率、提高薄膜表面的耐磨性。

目前沉积介质膜主要采用物理气相沉积方法，包括：电阻蒸发、电子束蒸发、溅射镀膜等，沉积过程中蒸发源会释放热量，由于生成的高温等离子体直接作用于样品表面，不仅会由于快速升温导致样品变形，还会使薄膜放出大量气体在底部产生气泡，使得局部不均匀。

因此，如何提供一种能够提高柔性基底沉积介质膜和功能膜薄膜均匀度的夹具是本领域技术人员亟需解决的问题。

发明内容

有鉴于此，本发明克服现有方法在沉积时均匀性较差的问题，提供了一种用于柔性基底沉积薄膜的弹性夹具，用于固定与拉伸柔性基底，提高柔性基底均匀性。

为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

一种用于柔性基底沉积薄膜的弹性夹具，包括底板，所述底板上设置有凹槽，所述凹槽一端设置有固定装置，另一端设置有螺杆，并且所述凹槽内设置有可自由移动的滑动装置；

所述滑动装置一侧通过弹簧与所述固定装置连接，所述螺杆通过螺孔接入所述凹槽内，与所述滑动装置另一侧固定连接；

所述固定装置包括第一滑块、上固定板和下固定板，所述第一滑块设置于所述凹槽内，螺栓依次穿过所述上固定板、所述下固定板、所述第一滑块实现所述上固定板与所述下固定板之间的紧固连接；所述上固定板底面与所述下固定板顶面相对位置均设置有胶带贴敷区，用以贴敷高温胶带以防止基底脱落，所述胶带贴敷区位于远离所述弹簧一侧。

优选的，在上述一种用于柔性基底沉积薄膜的弹性夹具中，所述滑动装置包括第二滑块，以及通过螺栓固定在所述第二滑块顶部的连接板，并且所述第二滑块与所述第一滑块的高度相等。

上述技术方案的有益效果是：滑动装置中的第二滑块带动滑动装置整体在凹槽内自由移动，连接板的两端分别通过弹簧与固定装置连接。

优选的，在上述一种用于柔性基底沉积薄膜的弹性夹具中，所述第二滑块侧边设置有螺纹孔，所述螺杆旋入所述螺纹孔内，实现所述螺杆与所述滑动装置的固定连接。

上述技术方案的有益效果是：通过螺杆旋入的长度实现滑动装置的自由移动，并且可根据实际情况对螺杆的型号进行改变。

优选的，在上述一种用于柔性基底沉积薄膜的弹性夹具中，所述连接板与所述底板之间、所述下固定板与所述底板之间均留有间隙，便于第一滑块和第二滑块在凹槽内的移动。

优选的，在上述一种用于柔性基底沉积薄膜的弹性夹具中，所述弹簧可拆卸固定于所述连接板与所述下固定板之间，可根据实际情况对弹簧型号进行替换。

优选的，在上述一种用于柔性基底沉积薄膜的弹性夹具中，所述底板远离所述固定装置一侧对称设置有固定孔，用于固定所述底板。

优选的，在上述一种用于柔性基底沉积薄膜的弹性夹具中，所述上固定板、所述下固定板与所述连接板均向外延伸至靠近所述底板边缘，并且所述上固定板、所述下固定板与所述连接板的长度方向与所述凹槽的长度方向垂直；

所述连接板与所述下固定板之间可拆卸设置有多根所述弹簧，并且多根所述弹簧之间平行设置。

上述技术方案的有益效果是：可以使得薄膜铺放更加平整，有利于后续沉积或者溅射过程的顺利进行。

优选的，在上述一种用于柔性基底沉积薄膜的弹性夹具中，所述上固定板与所述下固定板为铝制或钢制材料。

本发明还公开了一种用于柔性基底沉积薄膜的弹性夹具的使用方法，包括以下步骤：

(1)首先固定底板，将上固定板与下固定板的胶带贴敷区上贴敷双面耐高温胶带，将柔性基底边缘对准胶带贴敷区边缘，然后将上固定板与下固定板通过螺栓固定，通过弹簧将下固定板与滑动装置连接；

(2)在所述柔性基底对侧安装另一弹性夹具，重复步骤(1)；

(3)通过调节所述弹性夹具的螺杆带动滑动装置移动，直至所述柔性基底被拉紧，利用弹簧将所述柔性基底拉起，在沉积中保持平整；

(4)将所述柔性基底固定完全后即可进行薄膜的沉积。

优选的，在上述一种用于柔性基底沉积薄膜的弹性夹具的使用方法中，所述弹性夹具放置的形状为多边形，包括十字型、星型、六边形，根据柔性基底的形状对弹性夹具进行位置的摆放并固定。

优选的，在上述一种用于柔性基底沉积薄膜的弹性夹具的使用方法中，所述薄膜包括用于热沉积和溅射一定面积的介质薄膜、功能薄膜。

经由上述的技术方案可知，与现有技术相比，本发明公开提供了一种用于柔性基底沉积薄膜的弹性夹具，结构简单、使用便捷，能够在沉积时为薄膜提供足够的拉力以保证其处于平整状态，效果良好。

在使用时将柔性基底快速装卡在固定装置上，通过弹簧与固定装置的作用可以将柔性基底伸展至平坦状态，将底板固定后即可进行沉积，通过调整弹性夹具的位置可以实现不同大小和种类柔性基底的固定，克服柔性基底在沉积介质薄膜和功能薄膜时弯曲变形的问题，相对于传统贴敷法很好的提高了薄膜的均匀性。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1附图为本发明弹性夹具的俯视图；

图2附图为本发明垂直于A方向的正剖视图；

图3附图为本发明沿A方向的侧视图；

图4附图为本发明固定装置的俯视图；

图5附图为本发明固定装置的正视图。

在图中：

1为底板、2为凹槽、3为固定装置、31为第一滑块、32为上固定板、33为下固定板、4为螺杆、5为滑动装置、51为第二滑块、52为连接板、6为弹簧、7为胶带贴敷区、8为固定孔。

具体实施方式

下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

一种用于柔性基底沉积薄膜的弹性夹具，包括底板1，底板1上设置有凹槽2，凹槽2一端设置有固定装置3，另一端设置有螺杆4，并且凹槽2内设置有可自由移动的滑动装置5；

滑动装置5一侧通过弹簧6与固定装置3连接，螺杆4通过螺孔接入凹槽2内，与滑动装置5另一侧固定连接；

固定装置3包括第一滑块31、上固定板32和下固定板33，第一滑块31设置于凹槽2内，螺栓依次穿过上固定板32、下固定板33、第一滑块31实现上固定板32与下固定板33之间的紧固连接；上固定板32底面与下固定板33顶面相对位置均设置有胶带贴敷区7，胶带贴敷区7位于远离弹簧6一侧。

为了进一步优化上述技术方案，滑动装置5包括第二滑块51，以及通过螺栓固定在第二滑块顶部的连接板52，并且第二滑块51与第一滑块31的高度相等。

为了进一步优化上述技术方案，第二滑块51侧边设置有螺纹孔，螺杆4旋入螺纹孔内，实现螺杆4与滑动装置5的固定连接。

为了进一步优化上述技术方案，连接板52与底板1之间、下固定板33与底板1之间均留有间隙。

为了进一步优化上述技术方案，弹簧6可拆卸固定于连接板52与下固定板33之间。

为了进一步优化上述技术方案，底板1远离固定装置3一侧对称设置有固定孔8，用于固定底板1。

为了进一步优化上述技术方案，上固定板32、下固定板33与连接板52均向外延伸至靠近底板1边缘，并且上固定板32、下固定板33与连接板52的长度方向与凹槽2的长度方向垂直；

连接板52与下固定板33之间可拆卸设置有多根弹簧6，并且多根弹簧6之间平行设置。

本发明还公开了一种用于柔性基底沉积薄膜的弹性夹具的使用方法，包括以下步骤：

(1)首先固定底板1，将上固定板32与下固定板33的胶带贴敷区7上贴敷双面耐高温胶带，将柔性基底边缘对准胶带贴敷区7边缘，然后将上固定板32与下固定板33通过螺栓固定，通过弹簧6将下固定板33与滑动装置5连接；

(2)在柔性基底对侧安装另一弹性夹具，重复步骤(1)；

(3)通过调节弹性夹具的螺杆4带动滑动装置5移动，直至柔性基底被拉紧，利用弹簧6将柔性基底拉起，在沉积中保持平整；

(4)将柔性基底固定完全后即可进行薄膜的沉积。

为了进一步优化上述技术方案，弹性夹具放置的形状包括十字型、星型、六边形。

为了进一步优化上述技术方案，薄膜包括介质薄膜、功能薄膜。

如图1-5所示，本发明实施例为一种用于柔性基底沉积DLC薄膜的弹性夹具，包括长方体底板1，底板上开有凹槽2，凹槽2内设有可沿着凹槽2滑动的滑动装置5，滑动装置5一侧与弹簧6相连，另一侧与螺杆4相连；凹槽2一侧设有固定装置3，固定装置3由第一滑块31、上固定板32、下固定板33组成，上下固定板之间留有胶带贴敷区7用于贴敷耐高温胶带，固定装置3与弹簧6相连，弹簧6连接固定装置3和滑动装置5，凹槽2另一侧设有螺杆4，螺杆4通过螺孔接入凹槽2内并旋入第二滑块51内。底板1上开有固定孔8。

图2-3中凹槽2内一端开有螺孔，通过螺孔旋入螺杆4，螺杆4与第二滑块51相连，用来固定滑动装置5的位置，螺杆4可依据所固定柔性基底的类型进行更换，螺杆4长度可在一定范围内调节，若距离合适则可直接进行调节，若位置差较大则可进行更换；连接板52与弹簧6相连，弹簧6提供足够拉力以保持柔性基底在沉积过程中平整，弹簧6可进行更换以适应不同类型柔性基底。

图4与图5固定装置通过螺孔由螺杆将上下固定板固定，上固定板螺孔开在近弹簧侧，同时在远离弹簧6侧为胶带贴敷区7，胶带贴敷区7贴敷双面高温胶带以提高固定装置3对柔性基底基底摩擦，防止脱落。

本发明使用过程如下：以长方形柔性基底为例，

(1)首先固定底板1，将上固定板32与下固定板33的胶带贴敷区7上贴敷双面耐高温胶带，将柔性基底边缘对准胶带贴敷区7边缘，然后将上固定板32与下固定板33通过螺栓固定，通过弹簧6将下固定板33与滑动装置5连接；

(2)在柔性基底对侧安装另一弹性夹具，重复步骤(1)；

(3)通过调节弹性夹具的螺杆4带动滑动装置5移动，直至柔性基底被拉紧，利用弹簧6将柔性基底拉起，在沉积中保持平整；

(4)将柔性基底固定完全后即可进行薄膜的沉积。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对于实施例公开的方案而言，由于其与实施例公开的方法相对应，所以描述的比较简单，相关之处参见方法部分说明即可。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (10)

1.一种用于柔性基底沉积薄膜的弹性夹具，其特征在于，包括底板，所述底板上设置有凹槽，所述凹槽一端设置有固定装置，另一端设置有螺杆，并且所述凹槽内设置有可自由移动的滑动装置；

所述滑动装置一侧通过弹簧与所述固定装置连接，所述螺杆通过螺孔接入所述凹槽内，与所述滑动装置另一侧固定连接；

所述固定装置包括第一滑块、上固定板和下固定板，所述第一滑块设置于所述凹槽内，螺栓依次穿过所述上固定板、所述下固定板、所述第一滑块实现所述上固定板与所述下固定板之间的紧固连接；所述上固定板底面与所述下固定板顶面相对位置均设置有胶带贴敷区，所述胶带贴敷区位于远离所述弹簧一侧。

2.根据权利要求1所述的一种用于柔性基底沉积薄膜的弹性夹具，其特征在于，所述滑动装置包括第二滑块，以及通过螺栓固定在所述第二滑块顶部的连接板，并且所述第二滑块与所述第一滑块的高度相等。

3.根据权利要求2所述的一种用于柔性基底沉积薄膜的弹性夹具，其特征在于，所述第二滑块侧边设置有螺纹孔，所述螺杆旋入所述螺纹孔内，实现所述螺杆与所述滑动装置的固定连接。

4.根据权利要求2所述的一种用于柔性基底沉积薄膜的弹性夹具，其特征在于，所述连接板与所述底板之间、所述下固定板与所述底板之间均留有间隙。

5.根据权利要求2所述的一种用于柔性基底沉积薄膜的弹性夹具，其特征在于，所述弹簧可拆卸固定于所述连接板与所述下固定板之间。

6.根据权利要求1所述的一种用于柔性基底沉积薄膜的弹性夹具，其特征在于，所述底板远离所述固定装置一侧对称设置有固定孔，用于固定所述底板。

7.根据权利要求2所述的一种用于柔性基底沉积薄膜的弹性夹具，其特征在于，所述上固定板、所述下固定板与所述连接板均向外延伸至靠近所述底板边缘，并且所述上固定板、所述下固定板与所述连接板的长度方向与所述凹槽的长度方向垂直；

所述连接板与所述下固定板之间可拆卸设置有多根所述弹簧，并且多根所述弹簧之间平行设置。

8.一种权利要求1-7任一项所述的用于柔性基底沉积薄膜的弹性夹具的使用方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)首先固定底板，将上固定板与下固定板的胶带贴敷区上贴敷双面耐高温胶带，将柔性基底边缘对准胶带贴敷区边缘，然后将上固定板与下固定板通过螺栓固定，通过弹簧将下固定板与滑动装置连接；

(2)在所述柔性基底对侧安装另一弹性夹具，重复步骤(1)；

(3)通过调节所述弹性夹具的螺杆带动滑动装置移动，直至所述柔性基底被拉紧，利用弹簧将所述柔性基底拉起，在沉积中保持平整；

(4)将所述柔性基底固定完全后即可进行薄膜的沉积。

9.根据权利要求8所述的一种用于柔性基底沉积薄膜的弹性夹具的使用方法，其特征在于，所述弹性夹具放置的形状为多边形，包括十字型、星型、六边形。

10.根据权利要求8所述的一种用于柔性基底沉积薄膜的弹性夹具的使用方法，其特征在于，所述薄膜包括介质薄膜、功能薄膜。

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