CN112061948B - 真空系统 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及真空系统，包括正压气路、负压气路和吸附气路，正压气路与负压气路均与吸附气路连通，正压气路在连通吸附气路的一端设置第一阀体，负压气路在连通吸附气路的一端设置第二阀体，第一阀体与第二阀体分别用于控制正压气路与负压气路的通断，以使正压气路和负压气路的其中一路开启，另一路自动关闭。通过负压与正压气体的配合能够实现吸附气路的真空吸附压力的精确调节，真空系统正常工作时，首选使用正压气路，厂务正压气体比厂务负压耗能耗资少，因此能够节约厂务耗能耗资。

Description

真空系统
技术领域
本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及真空系统。
背景技术
自动搬运系统在半导体、太阳能、液晶面板和电子领域广泛应用，主要搬运的物料为晶圆、硅片、液晶面板等。在生产或运输过程中，通常采用真空吸盘对物料进行抓取。目前的真空系统通常采用单一的厂务负压或厂务正压气体，任一供给方式出现问题则系统无法正常工作，厂务负压耗能耗资较大，而且真空吸附压力无法精确调节。
发明内容
本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种真空系统，通过负压与正压气体的配合能够实现吸附气路的真空吸附压力的精确调节，真空系统正常工作时，首选使用正压气路，厂务正压气体比厂务负压耗能耗资少，因此能够节约厂务耗能耗资。
根据本发明第一方面实施例的真空系统，包括正压气路、负压气路和吸附气路，所述正压气路与所述负压气路均与所述吸附气路连通，所述正压气路在连通所述吸附气路的一端设置第一阀体，所述负压气路在连通所述吸附气路的一端设置第二阀体，所述第一阀体与所述第二阀体分别用于控制所述正压气路与所述负压气路的通断，以使所述正压气路和所述负压气路的其中一路开启，另一路自动关闭。
根据本发明的一个实施例，所述正压气路还设有真空发生器。
根据本发明的一个实施例，所述正压气路还设有第三阀体，所述第三阀体与所述真空发生器沿正压气体的流向依次设置。
根据本发明的一个实施例，所述正压气路还设有第一压力开关，所述第一压力开关设置于所述第三阀体与所述真空发生器之间。
根据本发明的一个实施例，所述真空发生器与消音器连接。
根据本发明的一个实施例，所述吸附气路的另一端设有吸盘。
根据本发明的一个实施例，所述吸附气路还设有第四阀体，所述第四阀体与设置于所述吸附气路与所述正压气路和所述负压气路连通的一端。
根据本发明的一个实施例，所述吸附气路还包括第二压力开关，所述第二压力开关设置于所述第四阀体与所述吸盘之间。
根据本发明的一个实施例，所述负压气路上设有第五阀体，所述第二阀体与所述第五阀体沿负压气体的流向依次设置。
本发明实施例中的上述一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果：本发明实施例的真空系统，由负压和正压两条气路共同连接吸附气路组成，正压气路通过第一阀体与吸附气路分隔，负压齐鲁通过第二阀体与吸附气路分隔，使用其中一个气路时另一个去路会通过阀体自动关闭。即使用正压气路时，第一阀体常开，第二阀体常闭；使用负压气路时，第二阀体常开，第一阀体常闭。本发明兼容正压气体和负压的真空系统，任一供给方式出现问题时，真空系统仍可正常工作。通过负压与正压气体的配合能够实现吸附气路的真空吸附压力的精确调节，真空系统正常工作时，首选使用正压气路，厂务正压气体比厂务负压耗能耗资少，因此能够节约厂务耗能耗资。
除了上面所描述的本发明解决的技术问题、构成的技术方案的技术特征以及有这些技术方案的技术特征所带来的优点之外，本发明的其他技术特征及这些技术特征带来的优点，将结合附图作出进一步说明，或通过本发明的实践了解到。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明实施例真空系统的的结构示意图。
附图标记：
1：正压气路；11：第一阀体；12：真空发生器；13：第三阀体；14：第一压力开关；15：消音器；
2：负压气路；21：第二阀体；22：第五阀体；
3：吸附气路；31：吸盘；32：第四阀体；33：第二压力开关。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不能用来限制本发明的范围。
在本发明实施例的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明实施例的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明实施例中的具体含义。
在本发明实施例中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明实施例的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
如图1所示，本发明实施例提供的真空系统，包括正压气路1、负压气路2和吸附气路3，正压气路1与负压气路2均与吸附气路3连通，正压气路1在连通吸附气路3的一端设置第一阀体11，负压气路2在连通吸附气路3的一端设置第二阀体21，第一阀体11与第二阀体21分别用于控制正压气路1与负压气路2的通断，以使正压气路1和负压气路2的其中一路开启，另一路自动关闭。
本发明实施例的真空系统，由负压和正压两条气路共同连接吸附气路3组成，正压气路1通过第一阀体11与吸附气路3分隔，负压齐鲁通过第二阀体21与吸附气路3分隔，使用其中一个气路时另一个去路会通过阀体自动关闭。即使用正压气路1时，第一阀体11常开，第二阀体21常闭；使用负压气路2时，第二阀体21常开，第一阀体11常闭。本发明兼容正压气体和负压的真空系统，任一供给方式出现问题时，真空系统仍可正常工作。通过负压与正压气体的配合能够实现吸附气路3的真空吸附压力的精确调节，真空系统正常工作时，首选使用正压气路1，厂务正压气体比厂务负压耗能耗资少，因此能够节约厂务耗能耗资。
本实施例中，第一阀体11与第二阀体21选用二通阀。
根据本发明的一个实施例，正压气路1还设有真空发生器12。本实施例中，真空发生器12将正压气路1的压缩空气转化为真空吸力，从而作用于吸附气路3，当使用正压气路1过程中需要破坏真空时，则关闭真空发生器12，正压气路1连通洁净大气系统自动破坏真空。
根据本发明的一个实施例，正压气路1还设有第三阀体13，第三阀体13与真空发生器12沿正压气体的流向依次设置。本实施例中，第三阀体13采用减压阀，厂务正压压缩气体经过减压阀的调节至吸附气路3所需的气压压力，进入真空发生器12，实现真空发生器12的吸力调节。
根据本发明的一个实施例，正压气路1还设有第一压力开关14，第一压力开关14设置于第三阀体13与真空发生器12之间。本实施例中，第三阀体13与真空发生器12之间的正压气路1上设有旁路，第一压力开关14设置在旁路上，由第一压力开关14实时监测正压气路1的压力，当正压压力出现异常时，真空系统自动关闭第一阀体11，打开第二阀体21切换至厂务负压的负压气路2。
根据本发明的一个实施例，真空发生器12与消音器15连接。本实施例中，真空发生器12将厂务正压压缩气体转化为真空吸力，排出的气体通过消音器15排出大气系统，同时减少噪音。
根据本发明的一个实施例，吸附气路3的另一端设有吸盘31。本实施例中，吸附气路3的末端连接吸盘31，负压气路2或正压气路1提供的真空吸附力通过吸盘31作用在待吸附物体上。
根据本发明的一个实施例，吸附气路3还设有第四阀体32，第四阀体32与设置于吸附气路3与正压气路1和负压气路2连通的一端。本实施例中，第四阀体32采用真空减压阀，由真空减压阀进一步精确调节吸附气路3末端吸盘31的吸附力。正压气路1和负压气路2汇合后连接的吸附气路3上首先设置真空减压阀，正压气路1或负压气路2提供的真空吸附力均需通过真空减压阀进行相应的精确调节，再作用于吸盘31上，以确保对真空吸附力的精确调控。
根据本发明的一个实施例，吸附气路3还包括第二压力开关33，第二压力开关33设置于第四阀体32与吸盘31之间。本实施例中，第四阀体32与吸盘31之间的吸附气路3上设置旁路，第二压力开关33设置在旁路上，第二压力开关33实时监测吸附气路3的真空压力。当真空压力出现异常时，真空系统发出警报进行安全防护或紧急停止。
根据本发明的一个实施例，负压气路2上设有第五阀体22，第二阀体21与第五阀体22沿负压气体的流向依次设置。本实施例中，第五阀体22选用三通阀，负压气路2连通吸附气路3时，三通阀处于打开状态，当使用负压气路2的过程中需要破坏真空时，三通阀处于关闭状态，气路连通大气系统自动破坏真空。
使用时，不限定上述阀体是电动阀、电磁阀或其他形式可通断的阀类。
最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (7)

1.一种真空系统，其特征在于：包括正压气路、负压气路和吸附气路，所述正压气路与所述负压气路均与所述吸附气路连通，所述正压气路在连通所述吸附气路的一端设置第一阀体，所述负压气路在连通所述吸附气路的一端设置第二阀体，所述第一阀体与所述第二阀体分别用于控制所述正压气路与所述负压气路的通断，以使所述正压气路和所述负压气路的其中一路开启，另一路自动关闭；所述正压气路还设有真空发生器；所述正压气路还设有第三阀体，所述第三阀体与所述真空发生器沿正压气体的流向依次设置，所述第三阀体采用减压阀，厂务正压压缩气体经过所述减压阀的调节至所述吸附气路所需的气压压力，进入所述真空发生器，实现所述真空发生器的吸力调节。
2.根据权利要求1所述的真空系统，其特征在于：所述正压气路还设有第一压力开关，所述第一压力开关设置于所述第三阀体与所述真空发生器之间。
3.根据权利要求1所述的真空系统，其特征在于：所述真空发生器与消音器连接。
4.根据权利要求1至3任意一项所述的真空系统，其特征在于：所述吸附气路的另一端设有吸盘。
5.根据权利要求4所述的真空系统，其特征在于：所述吸附气路还设有第四阀体，所述第四阀体与设置于所述吸附气路与所述正压气路和所述负压气路连通的一端。
6.根据权利要求5所述的真空系统，其特征在于：所述吸附气路还包括第二压力开关，所述第二压力开关设置于所述第四阀体与所述吸盘之间。
7.根据权利要求4所述的真空系统，其特征在于：所述负压气路上设有第五阀体，所述第二阀体与所述第五阀体沿负压气体的流向依次设置。
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