CN112020635B - 静电型换能器及其制造方法 - Google Patents

静电型换能器及其制造方法 Download PDF

Info

Publication number
CN112020635B
CN112020635B CN201980003731.2A CN201980003731A CN112020635B CN 112020635 B CN112020635 B CN 112020635B CN 201980003731 A CN201980003731 A CN 201980003731A CN 112020635 B CN112020635 B CN 112020635B
Authority
CN
China
Prior art keywords
sheet
insulator sheet
electrode
electrode sheets
insulator
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201980003731.2A
Other languages
English (en)
Other versions
CN112020635A (zh
Inventor
长谷川浩一
田原新也
中野克彦
滨田真彰
那须将树
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Riko Co Ltd
Original Assignee
Sumitomo Riko Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Riko Co Ltd filed Critical Sumitomo Riko Co Ltd
Publication of CN112020635A publication Critical patent/CN112020635A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN112020635B publication Critical patent/CN112020635B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
    • B81C1/00—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
    • B81C1/00015—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems
    • B81C1/00134—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems comprising flexible or deformable structures
    • B81C1/00182—Arrangements of deformable or non-deformable structures, e.g. membrane and cavity for use in a transducer
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00—Measuring force or stress, in general
    • G01L1/14—Measuring force or stress, in general by measuring variations in capacitance or inductance of electrical elements, e.g. by measuring variations of frequency of electrical oscillators
    • G01L1/142—Measuring force or stress, in general by measuring variations in capacitance or inductance of electrical elements, e.g. by measuring variations of frequency of electrical oscillators using capacitors
    • G01L1/146—Measuring force or stress, in general by measuring variations in capacitance or inductance of electrical elements, e.g. by measuring variations of frequency of electrical oscillators using capacitors for measuring force distributions, e.g. using force arrays
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/0292—Electrostatic transducers, e.g. electret-type
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
    • B81C1/00—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
    • B81C1/00015—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems
    • B81C1/00134—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems comprising flexible or deformable structures
    • B81C1/00166—Electrodes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L5/00—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes
    • G01L5/22—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring the force applied to control members, e.g. control members of vehicles, triggers
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N1/00—Electrostatic generators or motors using a solid moving electrostatic charge carrier
    • H02N1/002—Electrostatic motors
    • H02N1/006—Electrostatic motors of the gap-closing type
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N1/00—Electrostatic generators or motors using a solid moving electrostatic charge carrier
    • H02N1/06—Influence generators
    • H02N1/08—Influence generators with conductive charge carrier, i.e. capacitor machines

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Lining Or Joining Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Surface Heating Bodies (AREA)
  • Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)

Abstract

本发明提供一种静电型换能器，能够在减少部件数量的同时在多个位置发挥功能并且能够不使用挥发型粘接剂以及有机溶剂地进行制造。静电型换能器1具备由弹性体形成的绝缘体片11、多个第一电极片12、13、14以及一个第二电极片15，所述多个第一电极片排列于绝缘体片11的表面侧，通过绝缘体片11自身的熔接而固接于绝缘体片11，且在绝缘体片11的面方向上相互具有距离地排列，所述一个第二电极片配置于绝缘体片11的背面侧，通过绝缘体片11自身的熔接而固接于绝缘体片11，且一体地形成有与多个第一电极片12、13、14对置的部位以及与在面方向上相邻的各个第一电极片12、13、14之间的区域对置的部位。

Description

静电型换能器及其制造方法
技术领域
本发明涉及一种静电型换能器及其制造方法。
背景技术
在日本专利第4814594号公报中，公开了埋入于方向盘的把持部的多个力量传感器。多个力量传感器在环状的把持部的周向上独立地排列。各力量传感器在方向盘的把持部的圆形剖面中具备芯部、粘贴于芯部的外周面的第一导体箔(电极)、配置于该第一导体箔的外周面的树脂部、配置于树脂部的外周面的第二导体箔(电极)、以及粘贴于第二导体箔的外周面的外筒部。
在日本专利第5360203号公报中，公开了在座椅的座面上从臀部的左右分别检测心电信号的座面电极的构造。该座面电极具备配置于座椅构件之上的一个下部电极、配置于下部电极的上表面的绝缘层、配置于绝缘层的上表面且分别独立的两个上部电极、配置于两个上部电极的上表面的保护层、以及配置于保护层的孔的内周面的导电部。
发明内容
发明所要解决的问题
日本专利第4814594号公报所公开的多个力量传感器分别具备作为静电型传感器的电极对的第一电极(导体箔)以及第二电极(导体箔)。例如，在设置四个力量传感器的情况下，需要八个电极。进一步地，配线需要与各个电极的数量对应的数量。因而，电极数越多，配线的数量也越多，在部件数量、设计自由度的观点上存在改善的余地。
进一步地，在静电型传感器中，电极对中的一方有时设为基准电位。但是，如日本专利第4814594号公报所公开的那样，在多个电极对全部独立的情况下，基准电位有可能会产生偏差。在该情况下，作为传感器的检测精度有可能降低。另外，在应用为静电型致动器的情况下，有时也会将电极对中的一方设为基准电位。在该情况下，若在多个静电型致动器中基准电位产生偏差，则作为致动器的动作精度有可能降低。
另外，在日本专利第5360203号公报所公开的座面电极中，上部电极为多个，与其相对地，下部电极被共用化。因而，从部件数量、设计自由度以及抑制基准电位的偏差的观点来看，是良好的。
另外，近年来，作为环境对策，要求抑制挥发性有机化合物(VOC)的排出。因此，要求不使用挥发型粘接剂，并且还要求不使用有机溶剂。因而，在静电型传感器、静电型致动器中，在电极与其他构成构件的接合中，也要求不使用挥发型粘接剂、有机溶剂。
进一步地，已知在利用电极间的静电电容的换能器(传感器或致动器)中，静电电容根据电介质层的材料而不同。在使用挥发型粘接剂、有机溶剂的情况下，这些成分有可能对静电电容产生影响。进一步地，挥发型粘接剂、有机溶剂对电介质层的材料本身产生影响，作为其结果，有可能会对静电电容产生影响。其结果是，由于挥发型粘接剂、有机溶剂的影响，有可能无法得到符合设计的静电电容。
本发明的目的之一在于提供一种在减少部件数量的同时在多个位置发挥功能并且能够不使用挥发型粘接剂以及有机溶剂地进行制造的静电型换能器及其制造方法。
用于解决问题的手段
本发明所涉及的静电型换能器具备由弹性体形成的绝缘体片、多个第一电极片以及一个第二电极片，所述多个第一电极片排列于所述绝缘体片的表面侧，通过所述绝缘体片自身的熔接而固接于所述绝缘体片，且在所述绝缘体片的面方向上相互具有距离地排列，所述一个第二电极片配置于所述绝缘体片的背面侧，通过所述绝缘体片自身的熔接而固接于所述绝缘体片，且一体地形成有与所述多个第一电极片对置的部位以及与在所述面方向上相邻的各个所述第一电极片之间的区域对置的部位。
本发明所涉及的静电型换能器构成为具备多个第一电极片和一个第二电极片。因而，存在多个位置作为换能器发挥功能的部位，但第二电极片为一个。即，与设置相同数量的第一电极片和第二电极片的情况相比，第二电极片的数量变少，因此作为整体部件数量变少。而且，能够减少与第二电极片连接的配线的数量。通过减少配线的数量，提高设计自由度。
而且，由于构成静电电容的电极对中的一方由一个第二电极片构成，因此在利用基准电位的情况下，能够利用稳定的基准电位。其结果是，能够提高作为传感器的检测精度、作为致动器的动作精度。
进一步地，第一电极片和绝缘体片通过绝缘体片自身的熔接而固接于绝缘体片。第二电极片和绝缘体片也是通过绝缘体片自身的熔接而固接于绝缘体片。因而，静电型换能器不使用挥发型粘接剂、有机溶剂就能够将第一电极片以及第二电极片固接于绝缘体片。这样，通过不使用挥发型粘接剂、有机溶剂，作为环境问题的对策是有效的，且不需要考虑对静电电容的影响。
另外，本发明所涉及的静电型换能器的制造方法中，在所述绝缘体片的表面侧排列所述多个第一电极片，通过加热以及加压，使所述多个第一电极片通过所述绝缘体片自身的熔接而固接于所述绝缘体片。通过该制造方法，能够容易地制造上述的静电型换能器。因而，能够降低制造成本。
附图说明
图1是第一例的换能器的剖面图。
图2是表示第一例的换能器的制造方法的图。
图3是第二例的换能器的剖面图。
图4是第三例的换能器的剖面图。
图5是表示第三例的换能器的制造方法的图。
图6是第四例的换能器的俯视图。
图7是第五例的换能器的俯视图。
图8是第六例的换能器的俯视图。
图9是第七例的换能器的俯视图。
图10是第八例的换能器的俯视图。
图11是第九例的换能器的俯视图。
图12是第十例的换能器的俯视图。
图13是第十一例的换能器的俯视图。
图14是第十二例的换能器的俯视图。
具体实施方式
(1.应用对象)
静电型换能器(以下，称为“换能器”)例如具备基材和安装于基材的安装面的静电片。基材为任意的构件，由金属、树脂、其他材料形成。
另外，基材的安装面可以形成为曲面、复合平面、平面与曲面的复合形状等三维形状，基材的表面可以形成为单一平面形状。在基材由具有挠性的材料形成的情况下，也可以在该基材的安装面安装该静电片。另外，换能器也可以不具备基材而作为该静电片单体来利用。
静电片能够作为利用电极间的静电电容的变化而产生振动、声音等的致动器而发挥功能。另外，静电片能够作为利用电极间的静电电容的变化来检测来自外部的压入力等的传感器、检测具有电位的导电体的接触或接近的传感器发挥功能。
在静电片作为致动器而发挥功能的情况下，通过对电极外加电压，绝缘体根据电极间的电位而变形，伴随绝缘体的变形而产生振动。在静电片作为压入力检测传感器而发挥功能的情况下，绝缘体因来自外部的压入力、振动、声音等的输入而变形，由此电极间的静电电容发生变化，通过检测与电极间的静电电容相应的电压来检测来自外部的压入力等。另外，在静电片作为接触接近传感器而发挥功能的情况下，具有电位的导电体的接触或接近，由此电极间的静电电容发生变化，通过检测与发生了变化的电极间的静电电容相应的电压来检测该导电体的接触或接近。
换能器例如能够应用于作为定点设备的鼠标、操纵杆的表面、车辆部件的表面等。作为车辆部件，包括扶手、门把手、变速杆、方向盘、车门内饰、中央内饰、中控台、顶棚等。多数情况下，基材由金属、硬质树脂等不具有挠性的材料形成。而且，换能器能够进行对象者的状态的检测、针对对象者的振动等的赋予。
另外，换能器也可以配置于座椅座面的表层侧。在该情况下，换能器也可以构成为在由树脂薄膜等具有挠性的材料形成的基材上安装静电片。另外，换能器也可以不具备基材而由静电片单体构成。
另外，换能器的静电片可以采用具有加热器功能的结构。在该情况下，换能器除了进行对象者的状态的检测、针对对象者的振动等的施加以外，还能够进行针对对象者的热量的赋予。
(2.第一例)
(2-1.第一例的换能器1的结构)
参照图1对第一例的换能器1的结构进行说明。如图1所示，换能器1至少具备静电片10。在第一例中，以换能器1具备基材20以及基材侧熔接片30的情况为例，但也可以采用不具备基材20以及基材侧熔接片30的结构。基材20由金属、树脂等任意的材料形成。
静电片10作为整体能够弹性变形。静电片10安装于基材20的安装面。而且，即使基材20的安装面为三维曲面，静电片10也能够沿着基材20的曲面状的安装面安装。特别是，通过一边使静电片10沿面方向伸长一边安装于基材20的安装面，能够抑制在静电片10上产生褶皱。
静电片10至少具备绝缘体片11、多个第一电极片12、13、14以及一个第二电极片15。绝缘体片11由弹性体形成。因而，绝缘体片11能够弹性变形。绝缘体片11例如由热塑性弹性体形成。绝缘体片11可以由热塑性弹性体自身形成，也可以由通过将热塑性弹性体作为原材料进行加热交联而成的弹性体形成。
在此，绝缘体片11可以从苯乙烯系、烯烃系、氯乙烯系、聚氨酯系、酯系、酰胺系等的弹性体中选择一种以上。例如，作为苯乙烯系弹性体，可列举为SBS、SEBS、SEPS等。作为烯烃系弹性体，除了EEA、EMA、EMMA等以外，还可以列举为乙烯与α烯烃的共聚物(乙烯-辛烯共聚物)等。
绝缘体片11也可以含有热塑性弹性体以外的橡胶、树脂。例如，在含有乙烯-丙烯橡胶(EPM、EPDM)等橡胶的情况下，绝缘体片11的柔软性提高。从提高绝缘体片11的柔软性的观点出发，可以使绝缘体片含有增塑剂等柔软性赋予成分。
第一电极片12、13、14排列在绝缘体片11的表面(图1的上表面)侧。即，第一电极片12、13、14在绝缘体片11的表面侧沿绝缘体片11的面方向相互具有距离地排列。第一电极片12、13、14的各自的部位作为传感器的检测区域或致动器的动作区域而独立地发挥功能。
另外，第一电极片12、13、14具有导电性，并且具有柔软性以及在面方向上的伸缩性。第一电极片12、13、14例如由导电性布、导电性弹性体、具有贯通孔的金属片等形成。另外，在第一电极片12、13、14是具有柔软性以及伸缩性的材料的情况下，可以适用具有贯通孔的片材、不具有贯通孔的片材中的任一种。在第一电极片12、13、14是不具有柔软性以及伸缩性的材料的情况下，通过具有贯通孔，能够使其具有该性质。在第一例中，作为第一电极片12、13、14，以导电性布为例。
导电性布是由导电性纤维形成的织物或无纺布。在此，导电性纤维通过利用导电性材料包覆具有柔软性的纤维的表面而形成。导电性纤维例如通过在聚乙烯等树脂纤维的表面镀敷铜、镍等而形成。
进一步地，第一电极片12、13、14分别通过绝缘体片11自身的熔接(热熔接)固接于绝缘体片11。即，绝缘体片11的表面侧的一部分作为用于分别与第一电极片12、13、14固接的熔接材料而发挥功能。因而，第一电极片12、13、14和绝缘体片11不使用挥发型粘接剂、有机溶剂地固接。
在此，第一电极片12、13、14各自的至少一部分埋设于绝缘体片11中。因而，绝缘体片11在沿绝缘体片11的面方向相邻的各个第一电极片12、13、14之间具备由绝缘体片11的表面侧的一部分构成的电极间绝缘层11a、11b。电极间绝缘层11a位于第一电极片12、13之间，电极间绝缘层11b位于第一电极片13、14之间。
因而，第一电极片12、13、14各自的周面的至少一部分通过电极间绝缘层11a、11b自身的熔接而固接于电极间绝缘层11a、11b。其结果是，使得绝缘体片11和第一电极片12、13、14中的各电极片更加牢固地一体化。进一步地，即使第一电极片12、13、14以具有距离的方式配置，也能够使静电片10的表面侧不易产生凹凸。其结果是，换能器1的表面侧的外观设计性变得良好。
另外，在第一电极片12、13、14具有贯通孔的情况下，绝缘体片11的表面侧的一部分也可以进入该贯通孔。在该情况下，第一电极片12、13、14通过进入到贯通孔中的绝缘体片11的一部分而固接。因而，使得绝缘体片11和第一电极片12、13、14中的各电极片更加牢固地一体化。
另外，第一电极片12、13、14各自的至少一部分可以形成为更深地埋没于绝缘体片11的状态。例如，在第一电极片12、13、14的表面形成为凹凸状的情况下，该表面的凹状部分成为更深地埋没于绝缘体片11的状态。
在该情况下，绝缘体片11在第一电极片12、13、14的表面侧具备由绝缘体片11的表面侧的一部分构成的第一覆盖层11c。因而，第一电极片12、13、14各自的表面的至少一部分通过第一覆盖层11c自身的熔接而固接于第一覆盖层11c。其结果是，使得绝缘体片11和第一电极片12、13、14中的各电极片更加牢固地一体化。
一个第二电极片15配置于绝缘体片11的背面(图1的下表面)侧。第二电极片15与第一电极片12、13、14全部对置。即，第二电极片15具备与第一电极片12、13、14对置的部位、以及与在面方向上相邻的各个第一电极片12、13、14之间的区域对置的部位，并且这些全部的部位一体形成。
另外，第二电极片15与第一电极片12、13、14同样地具有导电性，并且具有柔软性以及在面方向上的伸缩性。第二电极片15由与第一电极片12、13、14相同的材料形成。
进一步地，第二电极片15通过绝缘体片11自身的熔接(热熔接)而固接于绝缘体片11。即，绝缘体片11的背面侧的一部分作为用于与第二电极片15固接的熔接材料而发挥功能。因而，第二电极片15和绝缘体片11不使用挥发型粘接剂、有机溶剂地固接。
另外，在第二电极片15具有贯通孔的情况下，绝缘体片11的背面侧的一部分能够进入该贯通孔。在该情况下，第二电极片15由进入到贯通孔中的绝缘体片11的一部分固接。因而，使得绝缘体片11和第二电极片15更加牢固地一体化。
另外，第二电极片15的至少一部分能够成为更深地埋没于绝缘体片11的状态。例如，在第二电极片15的背面形成为凹凸状的情况下，该背面的凹状部分成为更深地埋没于绝缘体片11的状态。
在该情况下，绝缘体片11在第二电极片15的背面侧具备由绝缘体片11的背面侧的一部分构成的第二覆盖层11d。因而，第二电极片15的背面的至少一部分通过第二覆盖层11d自身的熔接而固接于第二覆盖层11d。其结果是，使得绝缘体片11和第二电极片15更加牢固地一体化。
基材侧熔接片30由与绝缘体片11相同的材料形成。基材侧熔接片30通过其自身的熔接(热熔接)固接于基材20的安装面，并且固接于第二电极片15的背面。
(2-2.第一例的换能器1的制造方法)
参照图2对第一例的换能器1的制造方法进行说明。如图2所示，在绝缘体片11的表面侧排列第一电极片12、13、14，在绝缘体片11的背面侧配置第二电极片15(准备工序)。这样，准备层叠体。
接着，对层叠体在层叠方向上进行加热以及加压(第一加热加压工序)。于是，绝缘体片11的表面软化，第一电极片12、13、14从绝缘体片11的表面埋没。而且，绝缘体片11的表面作为熔接材料而发挥功能，第一电极片12、13、14固接于绝缘体片11。进一步地，绝缘体片11的背面软化，第二电极片15从绝缘体片11的背面埋没。而且，绝缘体片11的背面作为熔接材料而发挥功能，第二电极片15固接于绝缘体片11。
接着，在对基材侧熔接片30的表面进行加热而使其软化的状态下，对在第一加热加压工序中进行一体化后的状态下的第二电极片15的背面侧向基材侧熔接片30的表面进行加压(第二加热加压工序)。于是，通过基材侧熔接片30自身的熔接，将第二电极片15的背面侧固接于基材侧熔接片30。
接着，在对基材侧熔接片30的背面进行加热而使其软化的状态下，对基材20的安装面向基材侧熔接片30的背面进行加压(第三加热加压工序)。于是，通过基材侧熔接片30自身的熔接，将基材20的安装面固接于基材侧熔接片30。这样，制造换能器1。
在此，绝缘体片11的原材料中也可以含有交联剂。在该情况下，通过第一加热加压工序中的加热，在通过绝缘体片11的熔接进行固接的同时，还能够进行绝缘体片11的交联。在第一加热加压工序后，绝缘体片11由交联的弹性体形成。
另外，在绝缘体片11的原材料中含有交联剂的情况下，也可以在第一加热加压工序之后进行用于交联的追加加热(交联工序)。在该情况下，也可以在通过绝缘体片11的熔接进行固接之后，通过追加加热进行绝缘体片11的交联。在该情况下，在进行追加加热的交联工序后，绝缘体片11由交联的弹性体形成。
另外，在第一加热加压工序中，也可以分别进行第一电极片12、13、14与绝缘体片11的固接工序、第二电极片15与绝缘体片11的固接工序。另外，基材侧熔接片30也可以在固接于在第一加热加压工序中进行一体化后的状态下的第二电极片15之前固接于基材20。另外，当不存在基材20的情况下，也可以不需要基材侧熔接片30。
(2-3.第一例的换能器1所带来的效果)
第一例的换能器1构成为具备多个第一电极片12、13、14和一个第二电极片15。因而，存在多个位置作为换能器1发挥功能的部位，但第二电极片15为一个。即，与设置相同数量的第一电极片12、13、14和第二电极片15的情况相比，第二电极片15的数量变少，因此整体上部件数量变少。而且，能够减少与第二电极片15连接的配线的数量。通过减少配线的数量，提高设计自由度。
而且，由于构成静电电容的电极对的一方由一个第二电极片15构成，因此在利用基准电位的情况下，能够利用稳定的基准电位。其结果是，能够提高作为传感器的检测精度、作为致动器的动作精度。
进一步地，第一电极片12、13、14和绝缘体片11通过绝缘体片11自身的熔接而固接。第二电极片15和绝缘体片11也通过绝缘体片11自身的熔接而固接。因而，换能器1不使用挥发型粘接剂、有机溶剂就能够将第一电极片12、13、14以及第二电极片15固接于绝缘体片11。这样，通过不使用挥发型粘接剂、有机溶剂，作为环境问题的对策是有效的，并且不需要考虑对静电电容的影响。
另外，通过加热以及加压，使第一电极片12、13、14通过绝缘体片11自身的熔接而固接于绝缘体片11。另外，通过加热以及加压，使第二电极片15通过绝缘体片11自身的熔接而固接于绝缘体片11。因而，不需要进行粘接剂的涂布，就能够容易地制造换能器1。因而，能够降低制造成本。
另外，当在使绝缘体片11固接于第一电极片12、13、14的同时或在固接后使绝缘体片11交联的情况下，成为绝缘体片11与第一电极片12、13、14的一体化更加牢固的状态。对于第二电极片15而言也是同样的。
(3.第二例的换能器2)
参照图3对第二例的换能器2的结构进行说明。在第二例的换能器2中，第一电极片12、13、14以及第二电极片15相对于第一例的换能器1不同。在第二例中，以第一电极片12、13、14由导电性弹性体形成的情况为例。导电性弹性体是指在弹性体中含有导电性填料而成的导电性弹性体。
在此，用于第一电极片12、13、14的弹性体由主要成分与绝缘体片11种类相同的材料形成。即，第一电极片12、13、14可以从苯乙烯系、烯烃系、氯乙烯系、聚氨酯系、酯系、酰胺系等弹性体中选择一种以上。例如，作为苯乙烯系弹性体，可列举为SBS、SEBS、SEPS等。作为烯烃系弹性体，除了EEA、EMA、EMMA等以外，还可以列举为乙烯与α烯烃的共聚物(乙烯-辛烯共聚物)等。
但是，第一电极片12、13、14设为具有比绝缘体片11高的软化点。这是为了在通过绝缘体片11自身的熔接而固接于第一电极片12、13、14时，能够使绝缘体片11先于第一电极片12、13、14软化。
另外，第一电极片12、13、14可以具有贯通孔，也可以不具有贯通孔。在图3中，以第一电极片12、13、14具有贯通孔的情况为例。在第一电极片12、13、14具有贯通孔的情况下，使得绝缘体片11与第一电极片12、13、14牢固地一体化。
第二电极片15由与第一电极片12、13、14相同的材料形成。即，第二电极片15由导电性弹性体形成，且具有贯通孔。
第二例的换能器2按照与第一例的换能器1同样的方式制造。在此，在第一加热加压工序中，在将第一电极片12、13、14排列在绝缘体片11的表面侧的状态下进行加热以及加压。此时，由于绝缘体片11的软化点较低，因此绝缘体片11先软化。因而，绝缘体片11的表面软化，第一电极片12、13、14从绝缘体片11的表面埋没。
此时，通过使第一电极片12、13、14的外表面稍微软化，使得第一电极片12、13、14的弹性体与绝缘体片11的弹性体成为一体的结合状态。其结果是，两者成为更加牢固的结合状态。
另外，关于第二电极片15，也与第一电极片12、13、14相同。即，第二电极片15通过绝缘体片11的背面侧的一部分的熔接，以埋没于绝缘体片11的背面侧的状态固接。进一步地，通过使第二电极片15的外表面稍微软化，使得第二电极片15的弹性体与绝缘体片11的弹性体成为一体的结合状态。
另外，绝缘体片11的原材料、第一电极片12、13、14的原材料中也可以含有交联剂。在该情况下，通过由交联的弹性体形成绝缘体片11，绝缘体片11与第一电极片12、13、14的一体化成为更加牢固的状态。进一步地，通过使第一电极片12、13、14的原材料含有交联剂，成为第一电极片12、13、14的弹性体在绝缘体片11与第一电极片12、13、14之间交联的状态。即，通过跨越绝缘体片11和第一电极片12、13、14的交联，使得绝缘体片11与第一电极片12、13、14的一体化成为更加牢固的状态。
另外，关于第二电极片15，也可以与第一电极片12、13、14同样地在原材料中含有交联剂。在该情况下，通过跨越绝缘体片11和第二电极片15的交联，使得绝缘体片11与第二电极片15的一体化成为更加牢固的状态。此外，用于交联的加热既可以利用基于第一加热加压工序的加热，也可以在第一加热加压工序之后进行追加加热。
(4.第三例的换能器3)
(4-1.第三例的换能器3的结构)
参照图4对第三例的换能器3的结构进行说明。如图4所示，换能器3具备静电片10、基材20、以及配置在静电片10的背面与基材20的表面之间的加热器片40。即，除了传感器或致动器的功能之外，换能器3还具有加热器功能。
在此，静电片10可以是第一例的换能器1中的静电片10，也可以是第二例的换能器2中的静电片10。但是，构成静电片10的绝缘体片11为了能够将加热器片40的热量传递至静电片10的表面和确保耐热性，由以下材料形成为宜。
绝缘体片11的导热率为0.3W/m·K以上。优选的导热率为0.4W/m·K以上，进一步优选为0.5W/m·K以上。绝缘体片11优选具有导热率比较大且绝缘性的无机填料。为了增大绝缘体片11的导热率而使用的无机填料(导热性填料)的优选的导热率为5W/m·K以上，优选为10W/m·K以上，更优选为20W/m·K以上。作为导热率比较大的无机填料，可列举为金属系填料，例如氧化镁、氧化铝、氮化铝等。除了金属系填料以外，氮化硼、碳化硅等也可以作为导热率比较大的无机填料来使用。
另外，从对绝缘体片11赋予阻燃性的观点出发，绝缘体片11优选具有阻燃性且绝缘性的无机填料。作为阻燃性填料，可列举为氢氧化物填料，例如氢氧化镁、氢氧化铝等。除了氢氧化物填料以外，氮化硼等也可以作为阻燃性填料来使用。另外，也可以将阻燃性填料兼用作为了增大绝缘体片11的导热率而使用的无机填料(导热性填料)。
另外，从确保绝缘体片11的绝缘性的观点出发，绝缘体片11的体积电阻率为1×1012Ω·cm以上。优选的体积电阻率为1×1013Ω·cm以上。
加热器片40配置于静电片10的背面侧、即第二电极片15的背面侧。加热器片40具备加热器线41和包覆加热器线41的加热器绝缘层42。加热器线41为金属的合金系材料，例如为镍铬、铁铬等。加热器线41以成为片状的方式例如往复地形成线材或卷绕成螺旋状而形成。
加热器绝缘层42包围加热器线41，以使得加热器线41不露出的方式配置。加热器绝缘层42可以由与绝缘体片11相同的材料形成。进一步地，加热器绝缘层42的表面侧的一部分通过其自身的熔接(热熔接)而固接于第二电极片15的背面。进一步地，加热器绝缘层42的表面侧也通过其自身的熔接而固接于绝缘体片11的背面露出面。另外，加热器绝缘层42的背面侧的一部分通过其自身的熔接(热熔接)而固接于基材20的安装面。
(4-2.第三例的换能器3的制造方法)
参照图5对第三例的换能器3的制造方法进行说明。准备按照加热器绝缘层42的第一原材料42a、加热器线41、加热器绝缘层42的第二原材料42b的顺序层叠而成的加热器片层叠体(加热器片准备工序)。
接着，对加热器片层叠体进行加热以及加压(加热器片加热加压工序)。于是，第一原材料42a以及第二原材料42b分别软化而作为熔接材料发挥功能，并固接于加热器线41。进一步地，第一原材料42a和第二原材料42b相互固接而一体化，由此形成加热器绝缘层42。这样，形成加热器片40。
接着，准备静电片10和加热器片40(准备工序)。对加热器片40的表面进行加热(加热器片加热工序)。然后，以使静电片10的背面侧与加热器片40的表面侧接触的方式，对静电片10和加热器片40进行加压(加压工序)。于是，加热器绝缘层42的表面侧软化而作为熔接材料发挥功能，第二电极片15固接于加热器绝缘层42的表面侧。同时，加热器绝缘层42的表面侧也固接于静电片10的绝缘体片11的背面侧的露出面。
接着，在对加热器片40的背面进行加热使其软化的状态下，对基材20的安装面向加热器片40的背面进行加压(加热加压工序)。于是，通过加热器绝缘层42自身的熔接，将基材20的安装面固接于加热器绝缘层42。这样，制造换能器3。
(4-3.第三例的换能器3的效果)
换能器3具有加热器功能，因此除了进行对象者的状态的检测、针对对象者的振动等的赋予以外，还能够进行针对对象者的热量的赋予。特别是，通过像上述那样设置绝缘体片11以及加热器绝缘层42的导热率，能够将加热器线41的热量传递至静电片10的表面。另外，通过使绝缘体片11以及加热器绝缘层42具有阻燃性填料，能够提高耐热效果。
另外，伴随着向加热器线41供给电力，加热器线41有可能成为噪声产生源。但是，由于第二电极片15没有像第一电极片12、13、14那样分离，因此针对加热器线41在全部范围内发挥屏蔽功能。因而，即使因供给至加热器线41的电力而产生噪声，第二电极片15也能够发挥屏蔽功能。其结果是，换能器3能够使作为传感器的检测精度、作为致动器的动作精度变得良好。
(5.第四例的换能器100)
参照图6对第四例的换能器100进行说明。图6示出了从换能器100的表面侧观察时的图。换能器100形成为长条状，将表面的长边方向(第一方向)设为X方向，将表面的短边方向(第二方向)设为Y方向。X方向和Y方向是正交的方向。
换能器100安装于长条状的对象物。例如，扶手、门把手、变速杆、方向盘、车门内饰、中央内饰、中控台等均形成为长条状且三维曲面形状。因而，一边使换能器100的长边方向与对象物的长边方向一致、且使换能器100沿着对象物的表面变形，一边将换能器100安装于对象物。
在此，换能器100的剖面形状适用第一例至第三例的换能器1、2、3的结构。但是，在图6中，图示了绝缘体片101、多个第一电极片102a、102b以及第二电极片103在平面上的配置，未图示基材20、基材侧熔接片30、加热器片40。
换能器100除了具备绝缘体片101、多个第一电极片102a、102b以及第二电极片103以外，还具备第一配线104、第二配线105以及一个连接器106。
绝缘体片101形成为以X方向为长边方向的长条矩形形状。多个第一电极片102a、102b形成为大致长方形形状。所有的第一电极片102a、102b形成为相同形状。多个第一电极片102a、102b在绝缘体片101的表面侧以第一电极片102a、102b的长边方向与绝缘体片101的长边方向一致的方式配置。
进一步地，第一电极片102a、102b在X方向上排列有多个，并且在Y方向上排列有多个。在换能器100中，在X方向上排列有四列第一电极片102a、102b，在Y方向上排列有三列第一电极片102a、102b。因而，换能器100在X方向上具有多个位置的检测部位，并且在Y方向上具有多个位置的检测部位。但是，X方向以及Y方向上的列数可以适当地变更。
第二电极片103形成为比绝缘体片101略小的长条矩形形状。第二电极片103在绝缘体片101的背面侧配置在占据绝缘体片101的大部分的范围内。
多个第一配线104配置在绝缘体片101的表面侧，分别与多个第一电极片102a、102b电连接。多个第一配线104集合于绝缘体片101的外周的一个位置。第二配线105配置在绝缘体片101的背面侧，与第二电极片103电连接。第二配线105配线于多个第一配线104所集合的位置。即，多个第一配线104以及至少一个第二配线105集合于一个位置。
连接器106配置于绝缘体片101的外周缘，与集合的多个第一配线104以及第二配线105电连接。而且，连接器106与其他连接器(未图示)连接。
通过使第二电极片103为一个，能够减少第二配线105的数量以及连接器106的引脚数量。因而，换能器100能够实现配置自由度的提高，并且能够实现低成本化。
(6.第五例的换能器200)
参照图7对第五例的换能器200进行说明。换能器200具备绝缘体片101、多个第一电极片202a、202b以及第二电极片103。在第五例的换能器200中，对于与第四例的换能器100实质上相同的结构标注相同的附图标记并省略其说明。在以下的例子中也是同样的。
换能器200中的第一电极片202a、202b形成为非长条状，例如圆形、正多边形等。全部的第一电极片202a、202b形成为相同形状。第一电极片202a、202b在X方向上排列有多个，并且在Y方向上排列有多个。由此，在换能器200中，能够实现高分辨率的检测或动作。
(7.第六例的换能器300)
参照图8对第六例的换能器300进行说明。换能器300具备绝缘体片101、多个第一电极片302a、302b、302c以及第二电极片103。
在换能器300中，第一电极片302a、302b、302c形成为不同形状。第一电极片302a形成为长条状，第一电极片302b、302c形成为比第一电极片302a小的非长条状。第一电极片302a排列在绝缘体片101的X方向上的一端侧。第一电极片302b以低密度排列在绝缘体片101的X方向上的中央。第一电极片302c以高密度排列在绝缘体片101的X方向上的另一端侧。
在排列在X方向上的一端侧的第一电极片302a的区域内，能够以低分辨率且高灵敏度实现检测或动作。另外，在排列在X方向上的中央的第一电极片302b的区域内，能够以低分辨率且低灵敏度实现检测或动作。在排列在X方向上的另一端侧的第一电极片302c的区域内，能够以高分辨率且高灵敏度实现检测或动作。即，能够根据第一电极片302a、302b、302c的每一个的大小和电极密度来适当调整分辨率和灵敏度。
(8.第七例的换能器400)
参照图9对第七例的换能器400进行说明。换能器400具备绝缘体片101、多个第一电极片402a、402b、以及第二电极片103。
在换能器400中，第一电极片402a、402b形成为菱形形状。全部的第一电极片402a、402b形成为相同形状。第一电极片402a、402b在X方向上排列有多个，并且在Y方向上排列有两个。第一电极片402a、402b相对于通过绝缘体片101的短边方向的中央的中心线L配置为线对称。由此，在换能器400中，能够实现高分辨率的检测或动作。
(9.第八例的换能器500)
参照图10对第八例的换能器500进行说明。换能器500具备绝缘体片101、多个第一电极片502a、502b、502c以及第二电极片103。
换能器500中的第一电极片502a、502b形成为平行四边形。平行四边形的一组相对边的距离比绝缘体片101的短边方向上的宽度稍短。平行四边形的另一组相对边的距离比一组相对边的距离短。以平行四边形的一组相对边与绝缘体片101的短边方向上的边缘平行的方式，在X方向上排列有多个第一电极片502a、502b。但是，在绝缘体片101的长边方向上的两端，第一电极片502c形成为剩余区域的直角三角形。
(10.第九例的换能器600)
参照图11对第九例的换能器600进行说明。换能器600具备绝缘体片101、多个第一电极片602a、602b以及第二电极片103。
在换能器600中，第一电极片602a、602b形成为直角三角形。全部的第一电极片602a、602b形成为相同形状。直角三角形的夹着直角的短边的长度比绝缘体片101的短边方向上的宽度稍短。直角三角形的该短边配置为与绝缘体片101的短边方向平行。
而且，相邻的两个第一电极片602a、602b的直角三角形的斜边彼此相对。即，相邻的两个第一电极片602a、602b以斜边的中间点附近为中心呈点对称配置。
即，相邻的两个第一电极片中的一方602a配置为跨越通过绝缘体片101的短边方向上的中央的中心线L。进一步地，相邻的两个第一电极片中的另一方602b配置为跨越通过绝缘体片101的短边方向上的中央的中心线L。而且，相邻的两个第一电极片602a、602b的至少一部分在绝缘体片101的长边方向上彼此相邻，并且至少一部分在绝缘体片101的短边方向上彼此相邻。
(11.第十例的换能器700)
参照图12对第十例的换能器700进行说明。换能器700具备绝缘体片101、多个第一电极片702a、702b以及第二电极片103。
在换能器700中，第一电极片702a、702b形成为L字状。全部的第一电极片702a、702b形成为相同形状。L字状的短边的长度比绝缘体片101的短边方向上的宽度稍短。L字状的该短边配置为与绝缘体片101的短边方向平行。
而且，相邻的两个第一电极片702a、702b以L字状的长边的中间点附近为中心呈点对称配置。即，第一电极片中的一方702a的L字状的长边的端部与另一方702b的L字状的短边在X方向上对置。另外，第一电极片中的一方702a的L字状的短边与另一方702b的L字状的长边的端部在X方向上对置。第一电极片中的一方702a的L字状的长边与另一方702b的L字状的长边在Y方向上对置。
即，相邻的两个第一电极片中的一方702a配置为跨越通过绝缘体片101的短边方向上的中央的中心线L。进一步地，相邻的两个第一电极片中的另一方602b配置为跨越通过绝缘体片101的短边方向上的中央的中心线L。而且，相邻的两个第一电极片702a、702b的至少一部分在绝缘体片101的长边方向上彼此相邻，并且至少一部分在绝缘体片101的短边方向上彼此相邻。
(12.第十一例的换能器800)
参照图13对第十一例的换能器800进行说明。换能器800具备绝缘体片101、多个第一电极片802a、802b以及第二电极片103。
换能器800中的第一电极片802a、802b形成为长方形。全部的第一电极片802a、802b形成为相同形状。长方形的短边的距离比绝缘体片101的短边方向上的宽度的二分之一稍短。长方形的长边的距离比绝缘体片101的长边方向上的长度的二分之一稍短。第一电极片802a、802b的长边方向配置为与绝缘体片101的长边方向一致。
第一电极片802a、802b在X方向上排列有两个，并且在Y方向上排列有两个。第一电极片802a、802b相对于通过绝缘体片101的短边方向上的中央的中心线L配置为线对称。
(13.第十二例的换能器900)
参照图14对第十二例的换能器900进行说明。换能器900具备绝缘体片101、多个第一电极片902a、902b以及第二电极片103。
在换能器300中，第一电极片902a、902b形成为不同形状。第一电极片902a形成为长条状，沿着通过绝缘体片101的短边方向上的中央的中心线L配置。第一电极片902b以与第一电极片902a相邻的方式配置于绝缘体片101的短边方向的两端侧。
附图标记说明
1、2、3、100、200、300、400、500、600、700、800、900：静电型换能器；10：静电片；11：绝缘体片；11a、11b：电极间绝缘层；11c：第一覆盖层；11d：第二覆盖层；12、13、14：第一电极片；15：第二电极片；20：基材；30：基材侧熔接片；40：加热器片；41：加热器线；42：加热器绝缘层；42a：第一原材料；42b：第二原材料；101：绝缘体片；102a、102b、202a、202b、302a、302b、302c、402a、402b、502a、502b、502c、602a、602b、702a、702b、802a、802b、902a、902b：第一电极片；103：第二电极片；104：第一配线；105：第二配线；106：连接器；L：中心线。

Claims (21)

1.一种静电型换能器，其具备由弹性体形成的绝缘体片、多个第一电极片、一个第二电极片以及加热器片，
所述多个第一电极片排列于所述绝缘体片的表面侧，通过所述绝缘体片自身的熔接而固接于所述绝缘体片，且在所述绝缘体片的面方向上相互具有距离地排列，
所述一个第二电极片配置于所述绝缘体片的背面侧，通过所述绝缘体片自身的熔接而固接于所述绝缘体片，且一体地形成有与所述多个第一电极片对置的部位以及与在所述面方向上相邻的各个所述第一电极片之间的区域对置的部位，
所述加热器片层叠于所述第二电极片的背面侧。
2.根据权利要求1所述的静电型换能器，其中，
所述多个第一电极片的各自的至少一部分埋设于所述绝缘体片，
所述绝缘体片在所述绝缘体片的所述面方向上相邻的各个所述第一电极片之间具备由所述绝缘体片的一部分构成的电极间绝缘层，
所述多个第一电极片的各自的周面的至少一部分通过所述电极间绝缘层自身的熔接而固接于所述电极间绝缘层。
3.根据权利要求2所述的静电型换能器，其中，
所述多个第一电极片的各自的至少一部分埋没于所述绝缘体片，
所述绝缘体片在所述第一电极片的表面侧具备由所述绝缘体片的一部分构成的第一覆盖层，
所述多个第一电极片的各自的表面的至少一部分通过所述第一覆盖层自身的熔接而固接于所述第一覆盖层。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的静电型换能器，其中，
所述多个第一电极片在所述绝缘体片的表面的第一方向上排列。
5.根据权利要求4所述的静电型换能器，其中，
所述多个第一电极片还在所述绝缘体片的表面的与所述第一方向正交的第二方向上排列。
6.根据权利要求1～3中任一项所述的静电型换能器，其中，
所述绝缘体片以及所述第二电极片形成为长条状，
相邻的两个所述第一电极片中的一方配置为跨越通过所述绝缘体片的短边方向上的中央的中心线，
所述相邻的两个所述第一电极片中的另一方配置为跨越通过所述绝缘体片的短边方向上的中央的中心线，
所述相邻的两个所述第一电极片的至少一部分在所述绝缘体片的长边方向上彼此相邻，并且至少一部分在所述绝缘体片的短边方向上相邻。
7.根据权利要求1～3中任一项所述的静电型换能器，其中，
所述多个第一电极片的至少两个形成为相同形状。
8.根据权利要求1～3中任一项所述的静电型换能器，其中，
所述多个第一电极片的至少两个形成为不同形状。
9.根据权利要求1～3中任一项所述的静电型换能器，其中，所述静电型换能器还具备：
多个第一配线，其与所述多个第一电极片分别电连接；
至少一个第二配线，其与所述一个第二电极片电连接；以及
一个连接器，其使所述多个第一配线以及所述至少一个第二配线集合。
10.根据权利要求1～3中任一项所述的静电型换能器，其中，
所述绝缘体片由交联后的所述弹性体形成。
11.根据权利要求10所述的静电型换能器，其中，
所述第一电极片形成为包含弹性体以及导电性填料，
所述弹性体由主要成分与所述绝缘体片相同种类的材料形成，且与所述绝缘体片之间发生交联。
12.根据权利要求1～3中任一项所述的静电型换能器，其中，
所述绝缘体片由苯乙烯系弹性体或烯烃系弹性体形成。
13.根据权利要求12所述的静电型换能器，其中，
所述第一电极片由苯乙烯系弹性体或烯烃系弹性体形成，且具有比所述绝缘体片高的软化点。
14.根据权利要求1所述的静电型换能器，其中，
所述绝缘体片的导热率为0.3W/m·K以上。
15.根据权利要求14所述的静电型换能器，其中，
所述绝缘体片具有导热率为5W/m·K以上的导热性填料。
16.根据权利要求15所述的静电型换能器，其中，
所述导热性填料是绝缘性的金属系填料。
17.根据权利要求14～16中任一项所述的静电型换能器，其中，
所述绝缘体片具有阻燃性填料。
18.根据权利要求17所述的静电型换能器，其中，
所述阻燃性填料为氢氧化物填料。
19.一种静电型换能器的制造方法，是权利要求1～18中任一项所述的静电型换能器的制造方法，其中，
在所述绝缘体片的表面侧排列所述多个第一电极片，
通过加热以及加压，通过所述绝缘体片自身的熔接使所述多个第一电极片固接在所述绝缘体片上。
20.一种静电型换能器的制造方法，是权利要求10或11所述的静电型换能器的制造方法，其中，
在所述绝缘体片的表面侧排列所述多个第一电极片，
在排列所述多个第一电极片之后，通过进行加热以及加压，通过所述绝缘体片自身的熔接使所述多个第一电极片固接于所述绝缘体片，
通过所述加热，在进行基于所述熔接的固接的同时进行所述绝缘体片的交联。
21.一种静电型换能器的制造方法，是权利要求10或11所述的静电型换能器的制造方法，其中，
在所述绝缘体片的表面侧排列所述多个第一电极片，
在排列所述多个第一电极片之后，通过进行加热以及加压，通过所述绝缘体片自身的熔接使所述多个第一电极片固接于所述绝缘体片，
在进行所述固接之后，通过追加加热进行所述绝缘体片的交联。
CN201980003731.2A 2019-03-28 2019-03-28 静电型换能器及其制造方法 Active CN112020635B (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2019/013633 WO2020194670A1 (ja) 2019-03-28 2019-03-28 静電型トランスデューサおよびその製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN112020635A CN112020635A (zh) 2020-12-01
CN112020635B true CN112020635B (zh) 2022-06-14

Family

ID=69412186

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201980003731.2A Active CN112020635B (zh) 2019-03-28 2019-03-28 静电型换能器及其制造方法

Country Status (5)

Country Link
US (1) US11873213B2 (zh)
EP (1) EP3745108B1 (zh)
JP (1) JP6644961B1 (zh)
CN (1) CN112020635B (zh)
WO (1) WO2020194670A1 (zh)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6800190B2 (ja) 2018-09-20 2020-12-16 住友理工株式会社 カバー装着用グロメット及びカバー
JPWO2020196863A1 (zh) 2019-03-28 2020-10-01
JP2023109614A (ja) 2022-01-27 2023-08-08 住友理工株式会社 静電型トランスデューサ

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101622518A (zh) * 2007-02-23 2010-01-06 皇家飞利浦电子股份有限公司 可穿戴织物中的剪切力和压力测量
EP2154503A2 (en) * 2008-08-08 2010-02-17 Tokai Rubber Industries, Ltd. Capacitive deformation sensor
CN101925793A (zh) * 2008-01-28 2010-12-22 可乐丽股份有限公司 具有柔性的变形传感器
CA2686052A1 (en) * 2009-11-26 2011-05-26 Xsensor Technology Corporation Capacitive pressure sensor
WO2016158425A1 (ja) * 2015-03-30 2016-10-06 株式会社 イマック 荷重計測装置
CN110959295A (zh) * 2017-09-29 2020-04-03 住友理工株式会社 换能器及其制造方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1750285B1 (de) 1968-04-18 1972-04-27 Bbc Brown Boveri & Cie Rohrfoermiges kupplungsteil zur gasdichten verbindung zweier rohrfoermiger kapselungsabschnitte fuer druckgasisolierte schaltungen
JP4814594B2 (ja) 2005-09-14 2011-11-16 日立オートモティブシステムズ株式会社 車載設備の操作装置
WO2010128559A1 (ja) 2009-05-08 2010-11-11 富士通株式会社 操作者状態検知装置およびハンドル
JP2012181084A (ja) * 2011-03-01 2012-09-20 Tokai Rubber Ind Ltd 静電容量型面状センサおよびその製造方法
DE102014225934B4 (de) * 2014-12-15 2017-08-03 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Elektrostatisch auslenkbares mikromechanisches Bauelement und Verfahren zu seiner Herstellung
US10067008B2 (en) * 2015-04-22 2018-09-04 Vorbeck Materials Corp. Capacitive sensor
US10749447B2 (en) * 2016-11-03 2020-08-18 City University Of Hong Kong Electrical apparatus and a method for fabricating an electrical apparatus
JP7038107B2 (ja) * 2017-03-30 2022-03-17 住友理工株式会社 トランスデューサ及びそれを用いた振動提示装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101622518A (zh) * 2007-02-23 2010-01-06 皇家飞利浦电子股份有限公司 可穿戴织物中的剪切力和压力测量
CN101925793A (zh) * 2008-01-28 2010-12-22 可乐丽股份有限公司 具有柔性的变形传感器
EP2154503A2 (en) * 2008-08-08 2010-02-17 Tokai Rubber Industries, Ltd. Capacitive deformation sensor
CA2686052A1 (en) * 2009-11-26 2011-05-26 Xsensor Technology Corporation Capacitive pressure sensor
WO2016158425A1 (ja) * 2015-03-30 2016-10-06 株式会社 イマック 荷重計測装置
CN110959295A (zh) * 2017-09-29 2020-04-03 住友理工株式会社 换能器及其制造方法

Also Published As

Publication number Publication date
WO2020194670A1 (ja) 2020-10-01
JPWO2020194670A1 (ja) 2021-04-08
EP3745108B1 (en) 2022-03-09
JP6644961B1 (ja) 2020-02-12
CN112020635A (zh) 2020-12-01
EP3745108A4 (en) 2020-12-02
EP3745108A1 (en) 2020-12-02
US11873213B2 (en) 2024-01-16
US20200307992A1 (en) 2020-10-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN112020635B (zh) 静电型换能器及其制造方法
JP6511210B1 (ja) 静電容量結合方式センサおよびその製造方法
JP2008041298A (ja) 柔軟性ｐｔｃ発熱体
CN111301247A (zh) 片型加热元件和包括该片型加热元件的车门的扶手
US20210291229A1 (en) Electrostatic transducer and electrostatic transducer unit
JP7015413B2 (ja) 静電型トランスデューサおよびその製造方法
US20230275529A1 (en) Electrostatic transducer
CN113647118B (zh) 静电型换能器以及静电型换能器单元
JP2020157937A (ja) 内装部品
CN113196868B (zh) 静电型换能器
JP2007227280A (ja) 柔軟性ｐｔｃ発熱体
WO2023145772A1 (ja) 静電型トランスデューサ
CN112882106A (zh) 一种具有人体探测功能的方向盘传感器及方向盘
JP7319836B2 (ja) 静電型トランスデューサ
US20240223107A1 (en) Electrostatic transducer
CN118355252A (zh) 静电型换能器
WO2022190267A1 (ja) 面状発熱体
JP2007227281A (ja) 柔軟性ｐｔｃ発熱体
JP2021089840A (ja) 面状発熱体

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant