CN113196868B - 静电型换能器 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够在不使用挥发型粘接剂以及有机溶剂的情况下制造、且能够实现制造工时的减少的具有加热器功能的静电型换能器。静电型换能器(1)具备：电极片(11)；加热器(12)，其形成为片状，且配置为与电极片(11)对置；绝缘层(13)，其形成为片状，且夹持于电极片(11)与加热器(13)之间；以及电极熔接层(14)，其由熔接材料形成，构成为电极片(11)以及绝缘层(13)中的至少一方的一部分，或者作为独立构件与电极片(11)以及绝缘层(13)接合，并通过自身的熔接将电极片(11)和绝缘层(13)接合。

Description

静电型换能器

技术领域

本发明涉及静电型换能器。

背景技术

近年来，已知有具有加热器功能的静电型换能器。例如，在专利文献1、2中记载有具备检测驾驶员的手放开的静电传感器和加热器的方向盘。专利文献1所记载的方向盘通过在方向盘的轴芯的外周侧以线圈状环绕加热器线并在加热器线的外周侧配置静电传感器来进行制造。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2014-190856号公报

专利文献2：日本特表2016-527657号公报

发明内容

发明所要解决的问题

在如专利文献1所记载的制造方法那样在方向盘的轴芯等基材上安装加热器线，之后安装静电片的制造方法中，需要大量的制造工时。即，需要加热器线的安装工序和静电片的安装工序。进一步地，在安装加热器线以及静电片的基材安装面为如方向盘的轴芯那样弯曲的面的情况等、不是单纯的平面而是复杂的形状的情况下，由于具有上述两个工序而需要大量的制造工时。因此，要求减少制造工时。

另外，在换能器具备具有挠性的基材、安装于该基材的加热器以及静电传感器的情况下，也要求实现制造工时的减少。另外，即使在换能器构成为不具备基材而具备加热器和静电传感器的情况下，也要求实现制造工时的减少。

另外，近年来，作为环境对策，要求抑制挥发性有机化合物(VOC)的排出。因此，要求不使用挥发型粘接剂，且要求也不使用有机溶剂。

本发明的目的之一在于，提供能够在不使用挥发型粘接剂以及有机溶剂的情况下制造、且能够实现制造工时的减少的具有加热器功能的静电型换能器及其制造方法。

用于解决问题的手段

(1、静电型换能器)

本发明的实施方式所涉及的具有加热器功能的静电型换能器具备：电极片；加热器，其形成为片状，且配置为与所述电极片对置；绝缘层，其形成为片状，且夹持于所述电极片与所述加热器之间；以及电极熔接层，其由熔接材料形成，构成为所述电极片以及所述绝缘层中的至少一方的一部分，或者作为独立构件与所述电极片以及所述绝缘层接合，并通过自身的熔接将所述电极片和所述绝缘层接合。

由于具有加热器功能的静电型换能器的上述各构成构件形成为片状，因此构成静电型换能器的电极片、绝缘层以及加热器整体一体地形成为片状。因而，无论在静电型换能器具备基材的情况下，还是在不具备基材的情况下，都能够实现静电型换能器的制造工时的减少。

另外，具有加热器功能的静电型换能器的上述构成构件一体地形成，因此在将该静电型换能器的上述构成构件安装于基材的安装面的情况下，能够将向安装面进行安装的工序设为一个工序。因而，能够减少制造工时。另外，由于能够对安装面进行一个工序的安装工序，因此安装面越是复杂的形状，越能够发挥进一步减少制造工时的效果。在具有挠性的基材上安装该静电型换能器的上述构成构件的情况下，也能够实现制造工时的减少。

(2、静电型换能器的制造方法)

在本发明所涉及的具有加热器功能的静电型换能器的制造方法中，通过对至少包含所述电极片、所述绝缘层以及所述加热器的层叠体进行加热以及加压，从而制造所述静电型换能器。即，电极片和绝缘层利用通过加热以及加压而熔接的熔接材料接合。因而，能够在不使用挥发型粘接剂以及有机溶剂的情况下制造具有加热器功能的静电型换能器。即，能够制造对环境友好的静电型换能器。

附图说明

图1是换能器1的基本结构的剖视图。

图2是表示加热器12的立体图。

图3是表示第一例至第三例的静电片10a的剖视图。

图4是表示第一例至第三例的静电片10a的剖视图。

图5是表示第四例的静电片10b的剖视图。

图6是表示第四例的静电片10b的剖视图。

图7是表示第五例的静电片10c的剖视图。

图8是表示第五例的静电片10c中的电极片11c的俯视图。

图9是用于对第五例的静电片10c的制造方法进行说明的图。

图10是表示第一例的换能器100的剖视图。

图11是表示第二例的换能器200的剖视图。

图12是表示第三例的换能器300的剖视图。

图13是表示第四例的换能器400的剖视图。

图14是用于对第四例的换能器400的制造方法进行说明的图。

图15是表示第五例的换能器500的剖视图。

图16是用于对第五例的换能器500的制造方法进行说明的图。

图17是表示第六例的换能器600的剖视图。

图18是用于对第六例的换能器600的制造方法进行说明的图。

具体实施方式

(1、应用对象)

静电型换能器(以下，称为“换能器”)具备具有加热器功能的静电片。换能器例如具备基材和安装于基材的安装面的该静电片。基材是任意的构件，由金属、树脂、其他材料形成。

另外，基材的安装面可以形成为曲面、复合平面(由多个平面形成的形状)、平面与曲面的复合形状等三维形状，基材的表面也可以形成为单一平面形状。在基材由具有挠性的材料形成的情况下，也可以在该基材的安装面安装该静电片。另外，换能器也可以不具备基材而作为该静电片单体来利用。

静电片配置于基材的安装面(表面)。静电片作为整体是柔软的。柔软是指具有挠性且能够沿面向伸长。因而，即使基材的安装面为三维形状，静电片也能够沿着基材的安装面进行安装。尤其是，通过一边使静电片沿面向伸长一边安装于基材的安装面，能够抑制在静电片中产生褶皱。

静电片能够利用一对电极间的静电容量的变化而作为致动器或传感器发挥功能。静电片只要具备一对电极中的至少一个即可，并不限定于具备一对电极的构成。当然，静电片也可以具备一对电极。

静电片能够作为利用电极间的静电容量的变化来产生振动、声音等的致动器而发挥功能。另外，静电片能够作为利用电极间的静电容量的变化来检测来自外部的压入力等的传感器、检测具有电位的导电体的接触或接近的传感器而发挥功能。

在静电片作为致动器而发挥功能的情况下，通过对电极外加电压，电介质根据电极间的电位而变形，伴随着电介质的变形而产生振动。在静电片作为检测压入力的传感器而发挥功能的情况下，电介质因来自外部的压入力、振动以及声音等(以下，称为“来自外部的压入力等”)的输入而变形，从而电极间的静电容量发生变化，通过检测与电极间的静电容量相应的电压，从而检测出来自外部的压入力等。另外，在静电片作为检测接触或接近的传感器而发挥功能的情况下，电极间的静电容量因具有电位的导电体的接触或接近而发生变化，通过检测与发生了变化的电极间的静电容量相应的电压，来检测该导电体的接触或接近。

换能器例如能够应用于作为定点设备的鼠标、操纵杆的表面、车辆部件的表面等。作为车辆部件，包括方向盘、车门把手、变速杆、扶手、车门内饰、中央内饰、中央控制台等。在多数情况下，基材由金属、树脂等不具有挠性的材料形成。即，换能器除了能够进行对象者的状态(操作等)的检测、向对象者的振动的施加之外，还能够向对象者进行热的施加。

另外，换能器也可以配置于座椅座面的表层侧或靠背面的表层侧。在该情况下，换能器也可以构成为在由树脂膜等具有挠性的材料形成的基材上安装具有加热器功能的静电片。另外，换能器也可以不具备基材，而由具有加热器功能的静电片构成。

(2、换能器1的基本结构)

参照图1以及图2对换能器1的基本结构的一个例子进行说明。如图1所示，换能器1具备具有加热器功能的静电片10。静电片10整体形成为片状，且是柔软的。在此，柔软是指具有挠性且能够沿面向伸长。

静电片10安装于上述基材(在图1中未图示)的安装面。如图1所示，静电片10至少具备电极片11、加热器12、绝缘层13。静电片10也可以具备电极片11、加热器12以及绝缘层13以外的结构。

电极片11具有导电性。进一步地，电极片11是柔软的。电极片11例如由导电性弹性体、导电性布或金属箔等形成。

对电极片11由导电性弹性体形成的情况进行详细说明。在该情况下，电极片11由含有导电性填料的弹性体形成。即，电极片11以弹性体为母材，通过含有导电性填料而形成。

电极片11例如由热塑性弹性体形成。电极片11可以由热塑性弹性体自身形成，也可以由通过将热塑性弹性体作为原材料进行加热而交联的弹性体形成。

在此，电极片11可以从苯乙烯系、烯烃系、氯乙烯系、聚氨酯系、酯系、酰胺系等弹性体中选择一种以上。例如，作为苯乙烯系弹性体，可列举为SBS、SEBS、SEPS等。作为烯烃系弹性体，除了EEA、EMA、EMMA等以外，还可列举为乙烯与α烯烃的共聚物(乙烯-辛烯共聚物)等。

电极片11也可以含有热塑性弹性体以外的橡胶、树脂。例如，在含有乙烯-丙烯橡胶(EPM、EPDM)等橡胶的情况下，电极片11的柔软性提高。从提高电极片11的柔软性的观点出发，也可以使电极片11含有增塑剂等柔软性赋予成分。

另外，对电极片11由导电性布形成的情况进行详细说明。导电性布是指由导电性纤维形成的织物或无纺布。在此，导电性纤维通过利用导电性材料将具有柔软性的纤维的表面覆盖而形成。导电性纤维例如通过在聚乙烯等树脂纤维的表面镀敷铜、镍等而形成。

对电极片11由金属箔形成的情况进行详细说明。金属箔与导电性布同样地具有多个贯通孔。因而，电极片11具有挠性，能够伴随着贯通孔的变形而沿面向伸长。金属箔只要是能够导通的金属材料即可，例如能够应用铜箔、铝箔等。

如图2所示，加热器12由加热器线形成为片状(面状)。加热器12配置为与电极片11的一侧的表面对置。加热器线为金属的合金系材料，例如适用镍铬、铁铬等。

绝缘层13形成为片状，至少夹持于电极片11与加热器12之间。绝缘层13也可以形成为将加热器12的两面(图1的上下表面)覆盖。此外，在图1中，图示了绝缘层13将加热器12的两面覆盖的情况。

绝缘层13由柔软的材料形成。绝缘层13例如由热塑性材料、尤其是热塑性弹性体形成。另外，绝缘层13也可以使用非热塑性弹性体的发泡材料、无纺布或织物等。绝缘层13还能够作为静电片10中的介电层而发挥功能。

静电片10还具备电极熔接层14。电极熔接层14由熔接材料形成。电极熔接层14通过电极熔接层14自身的熔接(热熔接)而将电极片11和绝缘层13接合。在此，电极熔接层14可以构成为电极片11的一部分，也可以构成为绝缘层13的一部分。进一步地，电极熔接层14也可以构成为电极片11的一部分、且构成为绝缘层13的一部分。另外，电极熔接层14也可以作为独立构件与电极片11以及绝缘层13接合。

对上述的换能器1的基本结构的制造方法进行说明。准备按照作为静电片10的构成要素的电极片11、绝缘层13、加热器12的顺序层叠而成的层叠体(准备工序)。在此，在该时间点下，绝缘层13可以预先与加热器12形成为一体，也可以形成为与电极片11以及加热器12分体。

接着，对该层叠体进行加热以及加压(加热加压工序)。于是，利用电极熔接层14将电极片11和绝缘层13接合。如上所述，电极熔接层14是电极片11的一部分、绝缘层13的一部分、或者与电极片11以及绝缘层13不同的材料中的任一种。这样，制造静电片10。接着，将静电片10安装于未图示的基材。在不存在基材的情况下，通过静电片10的制造而完成换能器1。

(3、换能器1的基本结构所带来的效果)

构成换能器1的静电片10整体一体地形成为片状。因而，无论在换能器1具备基材的情况下，还是在不具备基材的情况下，都能够实现换能器1的制造工时的减少。

另外，由于换能器1的上述构成构件11、12、13形成为一体，因此在将该换能器1的上述构成构件11、12、13安装于基材的安装面的情况下，能够将向安装面进行安装的工序设为一个工序。因而，能够减少制造工时。另外，由于能够对安装面进行一个工序的安装工序，因此安装面越是复杂的形状，越能够发挥进一步减少制造工时的效果。在将该换能器1的上述构成构件11、12、13安装于具有挠性的基材的情况下，也能够实现制造工时的减少。

进一步地，电极片11与绝缘层13的接合利用能够因热而软化的熔接材料来进行。因而，能够在不使用挥发型粘接剂以及有机溶剂的情况下制造具有加热器功能的静电片10。即，能够制造对环境友好的换能器1。

另外，在电极熔接层14由电极片11的一部分或绝缘层13的一部分构成的情况下，不需要专用的构件来作为电极熔接层14。其结果是，能够实现更低成本化。

(4、静电片10的例子)

列举多个例子对上述的换能器1的基本结构的静电片10进行说明。

(4-1、第一例的静电片10a)

参照图3以及图4对第一例的静电片10a的结构进行说明。构成静电片10a的电极片11a形成为含有热塑性材料。例如，电极片11a由热塑性弹性体形成。即，电极片11a通过加热以及加压而软化，能够与对象构件熔接。

绝缘层13a由热塑性材料、例如热塑性弹性体形成。绝缘层13a的热塑性材料是软化点比电极片11a的热塑性材料高的材料。进一步地，如图3所示，绝缘层13a在与电极片11a接合的接合面上具有凹凸。例如，通过在用于成形绝缘层13a的模具上形成凹凸面，能够在绝缘层13a的与电极片11a接合的接合面上形成凹凸。

如图4所示，将电极片11a和绝缘层13a层叠并对该层叠体进行加热以及加压，由此制造静电片10a。在此，电极片11a由软化点比绝缘层13a低的热塑性材料形成。因而，通过对层叠体进行加热以及加压，电极片11a的热塑性材料先软化而进入绝缘层13a的凹部内。

而且，电极片11a的一部分通过自身的熔接而作为将电极片11a和绝缘层13a的凹凸面接合的电极熔接层14而发挥功能。尤其是，电极片11a的一部分进入绝缘层13a的凹部内，由此发挥锚固效果而增加电极片11a与绝缘层13a的接合力。

(4-2、第二例的静电片10a)

在上述第一例的静电片10a中，绝缘层13a为热塑性材料，但也可以应用非热塑性材料。在该情况下，在对层叠体进行加热以及加压的情况下，当然是电极片11a的热塑性材料比绝缘层13a先软化。

(4-3、第三例的静电片10a)

绝缘层13a是由非热塑性材料的纤维形成的无纺布或织物。无纺布或织物由纤维形成，因此如图3所示那样至少在绝缘层13a的与电极片11a接合的接合面上具有凹凸。详细而言，在绝缘层13a的该接合面具有由纤维与纤维之间的空间形成的凹凸。即，绝缘层13a具有以纤维为凸部、以相邻的纤维之间为凹部的凹凸面。

然后，与第一例同样地，如图4所示，将电极片11a和绝缘层13a层叠并对该层叠体进行加热以及加压，由此制造静电片10a。即，通过对层叠体进行加热以及加压，电极片11a的热塑性材料软化而进入绝缘层13a的凹部内。而且，电极片11a的一部分通过自身的熔接而作为将电极片11a和绝缘层13a的凹凸面接合的电极熔接层14而发挥功能。

(4-4、第四例的静电片10b)

参照图5以及图6对第四例的静电片10b的结构进行说明。构成静电片10b的电极片11a与第一例同样地形成为含有热塑性材料。

绝缘层13b由非热塑性的发泡材料形成。如图5所示，绝缘层13b至少在表面具有由气泡形成的凹凸。当然，绝缘层13b在内部具有凹部(气泡)。

然后，与第一例同样地，如图6所示，将电极片11a和绝缘层13b层叠并对该层叠体进行加热以及加压，由此制造静电片10a。即，通过对层叠体进行加热以及加压，电极片11a的热塑性材料软化而进入绝缘层13b的凹部内。而且，电极片11a的一部分通过自身的熔接而作为将电极片11a和绝缘层13b的凹凸面接合的电极熔接层14而发挥功能。

(4-5、第五例的静电片10c)

参照图7以及图8对第五例的静电片10c的结构进行说明。如图7所示，静电片10至少具备电极片11c、加热器12、绝缘层13c、电极熔接层14c以及加热器熔接层15c。电极片11c具有导电性，并且具有柔软性以及向面向的伸缩性。如图8所示，电极片11c例如是导电性布。

绝缘层13c例如由热塑性材料、尤其是热塑性弹性体形成。电极熔接层14c可以构成为绝缘层13c的一部分，也可以作为独立构件与绝缘层13c接合。

加热器熔接层15c由熔接材料形成。加热器熔接层15c通过加热器熔接层15c自身的熔接(热熔接)而将加热器12和绝缘层13c接合。尤其是，加热器12以埋设于绝缘层13c的状态通过加热器熔接层15c而接合。加热器熔接层15c可以构成为绝缘层13c的一部分，也可以作为独立构件与绝缘层13c接合。

例如，加热器熔接层15c由作为熔接材料的热塑性材料形成，构成为绝缘层13c的一部分。在该情况下，作为绝缘层13c的一部分的加热器熔接层15c通过自身的熔接而将加热器12和绝缘层13c接合。

参照图9对静电片10c的制造方法进行说明。在此，绝缘层13c的原材料由热塑性材料形成。准备按照电极片11c、绝缘层13c的第一原材料13c1、加热器12以及绝缘层13c的第二原材料13c2的顺序层叠而成的层叠体(准备工序)。接着，对层叠体进行加热以及加压(加热加压工序)。于是，绝缘层13c的第一原材料13c1软化而作为熔接材料发挥功能并与电极片11c接合。与电极片11c熔接的部位成为电极熔接层14c。

另外，绝缘层13c的第一原材料13c1以及第二原材料13c2软化而作为熔接材料发挥功能并与加热器12接合。与加热器12熔接的部位成为加热器熔接层15c。然后，绝缘层13c的第一原材料13c1与第二原材料13c2一体化，由此形成绝缘层13c。进一步地，成为加热器12埋设于绝缘层13c的状态。这样，制造换能器1的静电片10c。

绝缘层13c由热塑性材料形成，电极熔接层14c以及加热器熔接层15c构成为绝缘层13c的一部分。因而，不需要专用的构件来作为电极熔接层14c以及加热器熔接层15c。其结果是，能够实现更低成本化。

另外，在电极熔接层14c以及加热器熔接层15c配置为相对于绝缘层13c而独立的构件的情况下，准备按照电极片11c、电极熔接层14c的原材料、绝缘层13c、加热器熔接层15c的原材料以及加热器12的顺序层叠而成的层叠体(准备工序)。接着，对层叠体进行加热以及加压(加热加压工序)。于是，电极熔接层14c的原材料软化而作为熔接材料发挥功能，并将电极片11c和绝缘层13c接合。另外，加热器熔接层15c的原材料软化而作为熔接材料发挥功能，并将加热器12和绝缘层13c接合。

(5、换能器1的例子)

列举多个例子对具有上述的换能器1的基本结构且具备其他要素的换能器1进行说明。尤其是，换能器1的静电片10是具有一对电极片的结构。

(5-1、第一例的换能器100)

参照图10对第一例的换能器100的结构进行说明。换能器100具备具有加热器功能的静电片110。静电片110作为整体是柔软的。静电片110形成为利用了第一例至第四例中的任一个静电片10a、10b的结构。在本例中，对与静电片10a、10b相同结构的部分标注相同的附图标记并省略详细的说明。

静电片110至少具备第一电极片116、第二电极片11a、加热器12、电极间绝缘层117、背面侧绝缘层13a、13b、背面侧熔接层14a、14b。第一电极片116具有与第一例至第四例中的任一个静电片10a、10b中的电极片11a同样的结构。第一电极片116配置于表层侧。

第二电极片11a与第一例至第四例中的任一个静电片10a、10b中的作为电极片11a而发挥功能的部位对应。第二电极片11a配置为与第一电极片116的背面对置。加热器12与第一例至第四例中的任一个静电片10a、10b中的作为加热器12而发挥功能的部位对应。加热器12配置为与第二电极片11a的背面对置。

电极间绝缘层117形成为片状，被夹持于第一电极片116与第二电极片11a之间。电极间绝缘层117由能够弹性变形的材料形成。电极间绝缘层117例如由热塑性材料、尤其是热塑性弹性体形成。另外，电极间绝缘层117也可以使用非热塑性弹性体的发泡材料、无纺布等。电极间绝缘层117作为静电片中的介电层而发挥功能。

背面侧绝缘层13a、13b形成为片状，被夹持于第二电极片11a与加热器12之间。背面侧绝缘层13a、13b与第一例至第四例中的任一个静电片10a、10b中的作为绝缘层13a、13b而发挥功能的部位对应。背面侧绝缘层13a、13b由与电极间绝缘层117相同种类的材料形成。通过使两者由相同种类的材料形成，能够实现低成本化。

背面侧熔接层14a、14b由熔接材料形成。背面侧熔接层14a、14b与将第二电极片11a和背面侧绝缘层13a、13b接合而作为第一例的静电片10a、10b中的电极熔接层14a、14b发挥功能的部位对应。

对第一例的换能器100的制造方法进行说明。第一电极片116、电极间绝缘层117以及第二电极片11a以预先层叠的状态形成为一体(准备工序)。进一步地，加热器12以及背面侧绝缘层13a、13b预先形成为一体(准备工序)。然后，准备将分别形成为一体的构件层叠而成的层叠体(准备工序)。

接着，对层叠体进行加热以及加压(加热加压工序)。于是，第二电极片11a软化与背面侧绝缘层13a、13b的凹凸面熔接。即，第二电极片11a的一部分形成背面侧熔接层14a、14b。这样，制造第一例的换能器100的静电片110。

根据第一例的换能器100，第一电极片116、第二电极片11a以及电极间绝缘层117位于比加热器12靠表面侧的位置。即，加热器12不位于第一电极片116与第二电极片11a之间、以及比第一电极片116靠表面侧的位置。其结果是，能够抑制加热器12对检测性能或驱动性能造成影响，因此能够发挥较高的检测性能或驱动性能。

即使加热器12位于第二电极片11a的背面侧，通过将电极间绝缘层117形成为导热性良好的材料，也能够充分地发挥作为加热器的功能。在此，若与加热器12直接接触的背面侧绝缘层13a、13b由导热性良好的材料形成，则在热充分变高之前，热就扩散了，从而使充分的热难以传递到表层。因此，通过将背面侧绝缘层13a、13b形成为在某种程度上导热性并不良好的材料，能够有效地使热传递到表层。尤其是，通过将背面侧绝缘层13a、13b形成为在内部形成有空孔的发泡材料、无纺布或织物等，能够更有效地使热传递到表层。

(5-2、第二例的换能器200)

参照图11对第二例的换能器200的结构进行说明。换能器200具备具有加热器功能的静电片210。静电片110作为整体是柔软的。静电片210形成为利用了第一例至第四例中的任一个静电片10a、10b的结构。在本例中，对与静电片10a、10b相同结构的部分标注相同的附图标记并省略详细的说明。

静电片210至少具备第一电极片11a、加热器12、第二电极片216、第一绝缘层213a(13a、13b)、第二绝缘层213b(13a、13b)、第一电极熔接层14a、14b、第二电极熔接层217。

第一电极片11a具有与第一例至第四例中的任一个静电片10a、10b中的电极片11a同样的结构。第一电极片11a配置于表层侧。加热器12配置为与第一电极片11a的背面对置。

第二电极片216具有与第一电极片11a同样的结构。第二电极片216配置为与加热器12的背面侧对置。即，加热器12介于第一电极片11a与第二电极片216之间。

第一绝缘层213a形成为片状，被夹持于第一电极片11a与加热器12之间。第一绝缘层213a作为第一例至第四例中的任一个静电片10a、10b中的绝缘层13a、13b的一部分而发挥功能。第二绝缘层213b形成为片状，被夹持于加热器12与第二电极片216之间。第二绝缘层213b作为第一例至第四例的静电片10a、10b中的绝缘层13a、13b的另一部分而发挥功能。即，第一绝缘层213a以及第二绝缘层213b由相同种类的材料形成。

第一电极熔接层14a、14b由熔接材料形成。第一电极熔接层14a、14b将第一电极片11a和第一绝缘层213a接合。第一电极熔接层14a、14b作为第一例至第四例中的任一个静电片10a、10b中的电极熔接层14a、14b而发挥功能。第二电极熔接层217由熔接材料形成。第二电极熔接层217将第二电极片216和第二绝缘层213b接合。第二电极熔接层217具有与第一电极熔接层14a、14b同样的结构。

对第二例的换能器200的制造方法进行说明。第一绝缘层213a、加热器12、第二绝缘层213b预先形成为一体。然后，准备按照第一电极片11a、上述一体成形件、第二电极片216的顺序层叠而成的层叠体(准备工序)。

接着，对层叠体进行加热以及加压(加热加压工序)。于是，第一电极片11a软化而与第一绝缘层213a的凹凸面熔接。即，第一电极片11a的一部分形成第一电极熔接层14a、14b。进一步地，第二电极片216软化而与第二绝缘层213b的凹凸面熔接。即，第二电极片216的一部分形成第二电极熔接层217。这样，制造第二例的换能器200的静电片210。

根据第二例的换能器200，加热器12被夹持于第一电极片11a与第二电极片216之间。因而，能够使静电片210的厚度变薄。因而，能够制造小型的静电片210。

(5-3、第三例的换能器300)

参照图12对第三例的换能器300的结构进行说明。换能器300具备具有加热器功能的静电片310。静电片310作为整体是柔软的。静电片310形成为利用了第一例至第四例中的任一个静电片10a、10b的结构。在本例中，对与静电片10a、10b相同结构的部分标注相同的附图标记并省略详细的说明。

静电片310至少具备加热器12、第一电极片11a、第二电极片316、表面侧绝缘层13a、13b、电极间绝缘层317、表面侧熔接层14a、14b。第一电极片11a具有与第一例至第四例中的任一个静电片10a、10b中的电极片11a同样的结构。第一电极片11a配置于表层侧。

加热器12配置于表层侧。加热器12与第一例至第四例中的任一个静电片10a、10b中的作为加热器12而发挥功能的部位对应。

第一电极片11a配置为与加热器12的背面对置。第一电极片11a与第一例至第四例中的任一个静电片10a、10b中的作为电极片11a而发挥功能的部位对应。第二电极片316配置为与第一电极片11a的背面对置。第二电极片316具有与第一电极片11a同样的结构。

表面侧绝缘层13a、13b形成为片状，被夹持于加热器12与第一电极片11a之间。表面侧绝缘层13a、13b与第一例至第四例中的任一个静电片10a、10b中的作为绝缘层13a、13b而发挥功能的部位对应。

电极间绝缘层317形成为片状，被夹持于第一电极片11a与第二电极片316之间。电极间绝缘层317由能够弹性变形的材料形成。电极间绝缘层317例如由热塑性材料、尤其是热塑性弹性体形成。另外，电极间绝缘层317也可以使用非热塑性弹性体的发泡材料、无纺布等。电极间绝缘层317作为静电片中的介电层而发挥功能。

在此，表面侧绝缘层13a、13b和电极间绝缘层317由不同种类的材料形成。具体而言，表面侧绝缘层13a、13b由导热率比电极间绝缘层317高的材料形成。从加热器12到表层为止的部位由导热率较高的材料形成，从而能够在静电片310的表层有效地发挥加热器功能。另一方面，电极间绝缘层317不需要是导热率较高的材料。而且，通过使电极间绝缘层317由作为电介质而有效地发挥的材料形成，能够提高基于静电片310的检测性能或驱动性能。

对第三例的换能器300的制造方法进行说明。第一电极片11a、电极间绝缘层317以及第二电极片316预先以层叠的状态形成为一体(准备工序)。进一步地，加热器12以及表面侧绝缘层13a、13b预先形成为一体(准备工序)。然后，准备将分别形成为一体的构件层叠而成的层叠体(准备工序)。

接着，对层叠体进行加热以及加压(加热加压工序)。于是，第一电极片11a软化而与表面侧绝缘层13a、13b的凹凸面熔接。即，第一电极片11a的一部分形成表面侧熔接层14a、14b。这样，制造第三例的换能器300的静电片310。

(5-4、第四例的换能器400)

(5-4-1、第四例的换能器400的结构)

参照图13对第四例的换能器400的结构进行说明。换能器400具备基材430和安装于基材430的安装面的静电片410。

静电片410具有加热器功能。静电片410作为整体是柔软的。静电片410形成为利用了第五例的静电片10c的结构。在本例中，对于与第五例的静电片10c相同结构的部分，标注相同的附图标记并省略详细的说明。

静电片410至少具备第一电极片416、第二电极片11c、加热器12、电极间绝缘层417、背面侧绝缘层13c、电极间第一熔接层418、电极间第二熔接层419、背面侧熔接层14c、加热器熔接层15c。在本例中，静电片410还具备表面保护层420、保护熔接层421、基材熔接层422。但是，静电片410也可以形成为不具备表面保护层420、保护熔接层421、基材熔接层422的结构。

第一电极片416具有与第五例的静电片10c中的电极片11c相同的结构。第一电极片416配置于表层侧。第二电极片11c与第五例的静电片10c中的作为电极片11c而发挥功能的部位对应。第二电极片11c配置为与第一电极片416的背面对置。加热器12与第五例的静电片10c中的作为加热器12而发挥功能的部位对应。加热器12配置为与第二电极片11c的背面对置。

电极间绝缘层417形成为片状，被夹持于第一电极片416与第二电极片11c之间。电极间绝缘层417由能够弹性变形的材料形成。电极间绝缘层417例如由热塑性材料、尤其是热塑性弹性体形成。另外，电极间绝缘层417也可以使用非热塑性弹性体的发泡材料、无纺布等。电极间绝缘层417作为静电片中的介电层而发挥功能。

背面侧绝缘层13c形成为片状，被夹持于第二电极片11c与加热器12之间。背面侧绝缘层13c与第五例的静电片10c中的作为绝缘层13c而发挥功能的部位对应。背面侧绝缘层13c由与电极间绝缘层417相同种类的材料形成。通过使两者由相同种类的材料形成，能够实现低成本化。

电极间第一熔接层418由熔接材料形成。即，电极间第一熔接层418通过被实施热处理而发挥接合力。例如，电极间第一熔接层418通过被加热以及加压而发挥接合力。电极间第一熔接层418将第一电极片416和电极间绝缘层417接合。电极间第一熔接层418可以构成为电极间绝缘层417的一部分，也可以作为独立构件与电极间绝缘层417接合。

例如，电极间第一熔接层418由作为熔接材料的热塑性材料形成，构成为电极间绝缘层417的一部分。在该情况下，作为电极间绝缘层417的一部分的电极间第一熔接层418通过熔接(热熔接)将第一电极片416和电极间绝缘层417接合。

电极间第二熔接层419由熔接材料形成。电极间第二熔接层419与电极间第一熔接层418是同样的。电极间第二熔接层419将电极间绝缘层417和第二电极片11c接合。电极间第二熔接层419可以构成为电极间绝缘层417的一部分，也可以作为独立构件与电极间绝缘层417接合。

例如，电极间第二熔接层419由作为熔接材料的热塑性材料形成，构成为电极间绝缘层417的一部分。在该情况下，作为电极间绝缘层417的一部分的电极间第二熔接层419通过熔接(热熔接)将电极间绝缘层417和第二电极片11c接合。

背面侧熔接层14c由熔接材料形成。背面侧熔接层14c与将第二电极片11c和背面侧绝缘层13c接合而作为第五例的静电片10c中的电极熔接层14c发挥功能的部位对应。

加热器熔接层15c由熔接材料形成。加热器熔接层15c与将背面侧绝缘层13c和加热器12接合而作为第五例的静电片10c中的加热器熔接层15c发挥功能的部位对应。尤其是，加热器12在第二电极片11c的背面侧以埋设于背面侧绝缘层13c的状态通过加热器熔接层15c接合。

表面保护层420形成为片状，将第一电极片416的表面侧覆盖。表面保护层420可以由热塑性材料、尤其是热塑性弹性体形成。表面保护层420可以由电极间绝缘层417的原材料的一部分形成，也可以形成为相对于电极间绝缘层417而独立的构件。另外，表面保护层420也可以应用具有粘合层或粘接层的树脂制成的绝缘片等来代替热塑性材料。

保护熔接层421由熔接材料形成。保护熔接层421将第一电极片416和表面保护层420接合。保护熔接层421可以构成为表面保护层420的一部分，也可以作为独立构件与表面保护层420接合。另外，保护熔接层421也可以由电极间绝缘层417的原材料的一部分形成。但是，在表面保护层420为绝缘片的情况下，不需要保护熔接层421。

基材熔接层422由熔接材料形成，将背面侧绝缘层13c和基材430的安装面接合。基材熔接层422可以构成为背面侧绝缘层13c的一部分，也可以作为独立构件与背面侧绝缘层13c接合。

(5-4-2、第四例的换能器400的制造方法)

参照图14对构成第四例的换能器400的静电片410的制造方法进行说明。在此，电极间绝缘层417的原材料417a以及背面侧绝缘层13c的原材料13c1、13c2由热塑性材料形成。

准备按照第一电极片416、电极间绝缘层417的原材料417a、第二电极片11c、背面侧绝缘层13c的第一原材料13c1、加热器12、背面侧绝缘层13c的第二原材料13c2的顺序层叠而成的层叠体(准备工序)。接着，对层叠体进行加热以及加压(加热加压工序)。

于是，电极间绝缘层417的原材料417a软化而作为熔接材料发挥功能并与第一电极片416接合。与第一电极片416熔接的部位成为电极间第一熔接层418。进一步地，电极间绝缘层417的原材料417a通过第一电极片416的贯通孔而向第一电极片416的表层侧移动。这样，利用电极间绝缘层417的原材料417a形成表面保护层420。而且，与表面保护层420和第一电极片416熔接的部位成为保护熔接层421。

进一步地，电极间绝缘层417的原材料417a软化而作为熔接材料发挥功能并与第二电极片11c接合。与第二电极片11c熔接的部位成为电极间第二熔接层419。进一步地，电极间绝缘层417的原材料417a通过第二电极片11c的贯通孔而向第二电极片11c的背面侧移动。然后，移动到第二电极片11c的背面侧的原材料417a与背面侧绝缘层13c的第一原材料13c1接合。另外，背面侧绝缘层13c的第一原材料13c1软化而作为熔接材料发挥功能并与第二电极片11c的背面侧接合。即，电极间绝缘层417的原材料417a的一部分和背面侧绝缘层13c的第一原材料13c1的一部分成为背面侧熔接层14c。

另外，背面侧绝缘层13c的第一原材料13c1以及第二原材料13c2软化而作为熔接材料发挥功能并与加热器12接合。与加热器12熔接的部位成为加热器熔接层15c。然后，通过使背面侧绝缘层13c的第一原材料13c1与第二原材料13c2一体化，从而形成背面侧绝缘层13c。进一步地，成为加热器12埋设于背面侧绝缘层13c的状态。这样，制造换能器400的静电片410。

另外，在将静电片410安装于基材430时，通过对背面侧绝缘层13c进行加热并且对基材430进行加压，能够形成基材熔接层422。这样，制造换能器400。

顺便提及的是，在上述制造方法中，表面保护层420由电极间绝缘层417的原材料417a形成，但也可以使用与电极间绝缘层417的原材料417a不同的树脂制成的绝缘片。

另外，除了上述制造方法以外，还可以如下进行制造。准备按照第一电极片416、电极间绝缘层417的原材料417a、第二电极片11c的顺序层叠而成的第一层叠体(第一层叠体准备工序)，通过对该第一层叠体进行加热以及加压，从而成形第一成形体(第一成形体成形工序)。然后，准备按照背面侧绝缘层13c的第一原材料13c1、加热器12、背面侧绝缘层13c的第二原材料13c2的顺序层叠而成的第二层叠体(第二层叠体准备工序)，通过对该第二层叠体进行加热以及加压，从而成形第二成形体(第二成形体成形工序)。

然后，准备将第一成形体和第二成形体层叠而成的最终层叠体(最终层叠体准备工序)，通过对该最终层叠体进行加热以及加压，从而制造静电片410(最终加热加压工序)。

(5-4-3、效果)

根据第四例的换能器400，第一电极片416、第二电极片11c以及电极间绝缘层417位于比加热器12靠表面侧的位置。即，加热器12不位于第一电极片416与第二电极片11c之间、以及比第一电极片416靠表面侧的位置。其结果是，能够抑制加热器12对检测性能或驱动性能造成影响，因此能够发挥较高的检测性能或驱动性能。即使加热器12位于第二电极片11c的背面侧，通过使电极间绝缘层417以及背面侧绝缘层13c形成为导热性良好的材料，也能够充分发挥作为加热器的功能。

(5-5、第五例的换能器500)

(5-5-1、第五例的换能器500的结构)

参照图15对第五例的换能器500的结构进行说明。换能器500具备基材530和安装于基材530的安装面的静电片510。

静电片510具有加热器功能。静电片510作为整体是柔软的。静电片510形成为利用了第五例的静电片10c的结构。因此，在本例中，对与第五例的静电片10c相同结构的部分标注相同的附图标记并省略详细的说明。

静电片510至少具备第一电极片11c、加热器12、第二电极片516、第一绝缘层513a、第二绝缘层513b、第一电极熔接层14c、第一加热器熔接层515a、第二加热器熔接层515b、第二电极熔接层517。在本例中，静电片510还具备表面保护层518、保护熔接层519、基材熔接层520。但是，静电片510也可以构成为不具备表面保护层518、保护熔接层519、基材熔接层520。

第一电极片11c配置于表层侧。第一电极片11c与第五例的静电片10c中的作为电极片11c而发挥功能的部位对应。加热器12配置为与第一电极片11c的背面对置。加热器12与第五例的静电片10c中的作为加热器12而发挥功能的部位对应。

第二电极片516具有与第一电极片11c相同的结构。第二电极片516配置为与加热器12的背面侧对置。即，加热器12介于第一电极片11c与第二电极片516之间。

第一绝缘层513a形成为片状，被夹持于第一电极片11c与加热器12之间。第一绝缘层513a作为第五例的静电片10c中的绝缘层13c的一部分而发挥功能。第二绝缘层513b形成为片状，被夹持于加热器12与第二电极片516之间。第二绝缘层513b作为第五例的静电片10c中的绝缘层13c的另一部分而发挥功能。即，第一绝缘层513a以及第二绝缘层513b由相同种类的材料形成。

第一电极熔接层14c由熔接材料形成。第一电极熔接层14c将第一电极片11c和第一绝缘层513a接合。第一电极熔接层14c可以构成为第一绝缘层513a的一部分，也可以作为独立构件与第一绝缘层513a接合。

第一加热器熔接层515a由熔接材料形成。第一加热器熔接层515a将第一绝缘层513a和加热器12接合。即，第一加热器熔接层515a是熔接于加热器12的表面侧的部位。第一加热器熔接层515a可以构成为第一绝缘层513a的一部分，也可以作为独立构件与第一绝缘层513a接合。

第二加热器熔接层515b由熔接材料形成。第二加热器熔接层515b将加热器12和第二绝缘层513b接合。即，第二加热器熔接层515b是熔接于加热器12的背面侧的部位。第二加热器熔接层515b可以构成为第二绝缘层513b的一部分，也可以作为独立构件与第二绝缘层513b接合。

第一加热器熔接层515a以及第二加热器熔接层515b作为第五例的静电片10c中的加热器熔接层15c而发挥功能。而且，加热器12在第一电极片11c与第二电极片516之间以埋设于第一绝缘层513a以及第二绝缘层513b的状态通过第一加热器熔接层515a以及第二加热器熔接层515b接合。

第二电极熔接层517由熔接材料形成。第二电极熔接层517将第二绝缘层513b和第二电极片516接合。第二电极熔接层517可以构成为第二绝缘层513b的一部分，也可以作为独立构件与第二绝缘层513b接合。

表面保护层518形成为片状，将第一电极片11c的表面侧覆盖。表面保护层518可以由热塑性材料、尤其是热塑性弹性体形成。表面保护层518可以由第一绝缘层513a的原材料的一部分形成，也可以形成为相对于第一绝缘层513a而独立的构件。另外，表面保护层518也可以应用具有粘合层或粘接层的树脂制成的绝缘片等来代替热塑性材料。

保护熔接层519与第四例的换能器400中的保护熔接层421同样地构成。基材熔接层520由熔接材料形成，将第二绝缘层513b和基材530的安装面接合。基材熔接层520可以构成为第二绝缘层513b的一部分，也可以作为独立构件与第二绝缘层513b接合。

(5-5-2、第五例的换能器500的制造方法)

参照图16对第五例的换能器500的制造方法进行说明。在此，第一绝缘层513a的原材料13c1以及第二绝缘层513b的原材料13c2由热塑性材料形成。

准备按照第一电极片11c、第一绝缘层513a的原材料13c1、加热器12、第二绝缘层513b的原材料13c2、第二电极片516的顺序层叠而成的层叠体(准备工序)。接着，对层叠体进行加热以及加压(加热加压工序)。

于是，第一绝缘层513a的原材料13c1软化而作为熔接材料发挥功能并与第一电极片11c接合。与第一电极片11c熔接的部位成为第一电极熔接层14c。进一步地，第一绝缘层513a的原材料13c1通过第一电极片11c的贯通孔而形成表面保护层518以及保护熔接层519。关于这一点，与第四例的换能器400中的表面保护层420以及保护熔接层421是同样的。

进一步地，第一绝缘层513a的原材料13c1以及第二绝缘层513b的原材料13c2软化而作为熔接材料发挥功能并与加热器12接合。与加热器12熔接的部位成为第一加热器熔接层515a以及第二加热器熔接层515b。然后，通过使第一绝缘层513a的原材料13c1与第二绝缘层513b的原材料13c2一体化，从而形成绝缘层13c。进一步地，成为加热器12埋设于绝缘层13c的状态。

进一步地，第二绝缘层513b的原材料13c2软化而作为熔接材料发挥功能并与第二电极片516接合。与第二电极片516熔接的部位成为第二电极熔接层517。进一步地，第二绝缘层513b的原材料13c2通过第二电极片516的贯通孔而向第二电极片516的背面侧移动。然后，移动到第二电极片516的背面侧的原材料13c2与第二电极片516的背面侧接合。即，第二绝缘层513b的原材料13c2成为基材熔接层520。这样，制造换能器500的静电片510。

在此，就基材熔接层520而言，在将静电片510安装于基材530时，通过对基材熔接层520进行加热并对基材530进行加压，从而使基材熔接层520熔接于基材530。这样，制造换能器500。

另外，除了上述制造方法以外，还可以如下进行制造。准备按照第一绝缘层513a、加热器12以及第二绝缘层513b的顺序层叠而成的第一层叠体(第一层叠体准备工序)，通过对该第一层叠体进行加热以及加压，从而成形第一成形体(第一成形体成形工序)。

接着，准备按照第一电极片11c、上述第一成形体、第二电极片516的顺序层叠而成的第二层叠体(第二层叠体准备工序)，通过对该第二层叠体进行加热以及加压，从而制造换能器500的静电片510(加热加压工序)。

(5-5-3、效果)

根据第五例的换能器500，加热器12被夹持于第一电极片11c与第二电极片516之间。因而，能够使静电片510的厚度变薄。因而，能够制造小型的静电片510。

(5-6、第六例的换能器600)

(5-6-1、第六例的换能器600的结构)

参照图17对第六例的换能器600的结构进行说明。换能器600具备基材630和安装于基材630的安装面的静电片610。

在第四例的换能器400的静电片410中，将加热器12配置于第二电极片11c的背面侧，与此相对地，在本例的静电片610中，将加热器12配置于第一电极片11c的表面侧，在这一点上，两者不同。

本例的静电片610具有加热器功能，作为整体是柔软的。另外，静电片610形成为利用了第五例的静电片10c的结构。在本例中，对于与第五例的静电片10c相同结构的部分，标注相同的附图标记并省略详细的说明。

静电片610至少具备加热器12、第一电极片11c、第二电极片616、表面侧绝缘层13c、电极间绝缘层617、加热器熔接层15c、表面侧熔接层14c、电极间第一熔接层618、电极间第二熔接层619。在本例中，静电片610还具备基材熔接层620。

加热器12配置于表层侧。加热器12与第五例的静电片10c中的作为加热器12而发挥功能的部位对应。

第一电极片11c配置为与加热器12的背面对置。第一电极片11c与第五例的静电片10c中的作为电极片11c而发挥功能的部位对应。第二电极片616配置为与第一电极片11c的背面对置。第二电极片616具有与第一电极片11c同样的结构。

表面侧绝缘层13c形成为片状，被夹持于加热器12与第一电极片11c之间。表面侧绝缘层13c与第五例的静电片10c中的作为绝缘层13c而发挥功能的部位对应。

电极间绝缘层617形成为片状，被夹持于第一电极片11c与第二电极片616之间。电极间绝缘层617由能够弹性变形的材料形成。电极间绝缘层617例如由热塑性材料、尤其是热塑性弹性体形成。另外，电极间绝缘层617也可以使用非热塑性弹性体的发泡材料、无纺布等。电极间绝缘层617作为静电片中的介电层而发挥功能。

在此，表面侧绝缘层13c和电极间绝缘层617由不同种类的材料形成。具体而言，表面侧绝缘层13c由导热率比电极间绝缘层617高的材料形成。由于从加热器12到表层为止的部位由导热率较高的材料形成，从而能够在静电片610的表层中有效地发挥加热器功能。另一方面，电极间绝缘层617不需要是导热率较高的材料。而且，通过使电极间绝缘层617由作为电介质而有效地发挥的材料形成，能够提高基于静电片610的检测性能或驱动性能。

加热器熔接层15c由熔接材料形成并将加热器12和表面侧绝缘层13c接合。加热器熔接层15c与第五例的静电片10c中的作为加热器熔接层15c而发挥功能的部位对应。尤其是，加热器12在第一电极片11c的表面侧以埋设于表面侧绝缘层13c的状态通过加热器熔接层15c接合。

表面侧熔接层14c由熔接材料形成并将表面侧绝缘层13c和第一电极片11c接合。表面侧熔接层14c与第五例的静电片10c中的作为电极熔接层14c而发挥功能的部位对应。

电极间第一熔接层618由熔接材料形成并将第一电极片11c和电极间绝缘层617接合。电极间第一熔接层618可以构成为电极间绝缘层617的一部分，也可以作为独立构件与电极间绝缘层617接合。电极间第一熔接层618与第四例的换能器400中的电极间第一熔接层418对应。

电极间第二熔接层619由熔接材料形成并将电极间绝缘层617和第二电极片616接合。电极间第二熔接层619可以构成为电极间绝缘层617的一部分，也可以作为独立构件与电极间绝缘层617接合。电极间第二熔接层619与第四例的换能器400中的电极间第二熔接层419对应。

基材熔接层620由熔接材料形成并将电极间绝缘层617和基材630的安装面接合。基材熔接层620可以构成为电极间绝缘层617的一部分，也可以作为独立构件与电极间绝缘层617接合。

(5-6-2、第六例的换能器600的制造方法)

参照图18对第六例的换能器600的制造方法进行说明。在此，表面侧绝缘层13c的原材料13c1、13c2以及电极间绝缘层617的原材料617a由热塑性材料形成。

准备按照表面侧绝缘层13c的第一原材料13c1、加热器12、表面侧绝缘层13c的第二原材料13c2、第一电极片11c、电极间绝缘层617的原材料617a、第二电极片616的顺序层叠而成的层叠体(准备工序)。接着，对层叠体进行加热以及加压(加热加压工序)。

于是，表面侧绝缘层13c的第一原材料13c1以及第二原材料13c2软化而作为熔接材料发挥功能并与加热器12接合。与加热器12熔接的部位成为加热器熔接层15c。而且，通过使表面侧绝缘层13c的第一原材料13c1与第二原材料13c2一体化，从而形成表面侧绝缘层13c。进一步地，成为加热器12埋设于表面侧绝缘层13c的状态。

电极间绝缘层617的原材料617a软化而作为熔接材料发挥功能并与第一电极片11c接合。与第一电极片11c熔接的部位成为电极间第一熔接层618。进一步地，电极间绝缘层617的原材料617a通过第一电极片11c的贯通孔而向第一电极片11c的表层侧移动。然后，移动到第一电极片11c的表面侧的原材料617a与表面侧绝缘层13c的第二原材料13c2接合。另外，表面侧绝缘层13c的第二原材料13c2软化而作为熔接材料发挥功能并与第一电极片11c的表面侧接合。即，电极间绝缘层617的原材料617a的一部分和表面侧绝缘层13c的第二原材料13c2的一部分成为表面侧熔接层14c。

进一步地，电极间绝缘层617的原材料617a软化而作为熔接材料发挥功能并与第二电极片616接合。与第二电极片616熔接的部位成为电极间第二熔接层619。进一步地，电极间绝缘层617的原材料617a通过第二电极片616的贯通孔而向第二电极片616的背面侧移动。然后，移动到第二电极片616的背面侧的材料617a与第二电极片616的背面侧接合。即，电极间绝缘层617的原材料617a成为基材熔接层620。这样，制造换能器600的静电片610。

在此，就基材熔接层620而言，在将静电片610安装于基材630时，通过对基材熔接层620进行加热并对基材630进行加压，从而使基材熔接层620熔接于基材630。这样，制造换能器600。

另外，除了上述制造方法以外，还可以如下进行制造。准备按照第一电极片11c、电极间绝缘层617的原材料617a、第二电极片616的顺序层叠而成的第一层叠体(第一层叠体准备工序)，通过对该第一层叠体进行加热以及加压，从而成形第一成形体(第一成形体成形工序)。然后，准备按照表面侧绝缘层13c的第一原材料13c1、加热器12、表面侧绝缘层13c的第二原材料13c2的顺序层叠而成的第二层叠体(第二层叠体准备工序)，通过对该第二层叠体进行加热以及加压，从而成形第二成形体(第二成形体成形工序)。

然后，准备将第一成形体和第二成形体层叠而成的最终层叠体(最终层叠体准备工序)，通过对该最终层叠体进行加热以及加压，从而制造静电片610(最终加热加压工序)。

(5-6-3、效果)

根据第六例的换能器600，加热器12配置于表层。因而，换能器600能够具有较高的加热器功能。尤其是，通过使表面侧绝缘层13c和电极间绝缘层617形成为不同种类的材料，能够同时实现较高的加热器功能和较高的检测性能或驱动性能的兼顾。

附图标记说明

(换能器1的基本结构)

1：换能器；10：静电片；11：电极片；12：加热器；13：绝缘层；14：电极熔接层。

(第一例至第三例的静电片10a)

1：换能器；10a：静电片；11a：电极片；12：加热器；13a：绝缘层；14a：电极熔接层。

(第四例的静电片10b)

1：换能器；10b：静电片；11a：电极片；12：加热器；13b：绝缘层；14b：电极熔接层。

(第五例的静电片10c)

1：换能器；10c：静电片；11c：电极片；12：加热器；13c：绝缘层；13c1：第一原材料；13c2：第二原材料；14c：电极熔接层；15c：加热器熔接层。

(第一例的换能器100)

100：换能器；110：静电片；116：第一电极片；11a：第二电极片；12：加热器；117：电极间绝缘层；13a、13b：背面侧绝缘层；14a、14b：背面侧熔接层。

(第二例的换能器200)

200：换能器；210：静电片；11a：第一电极片；12：加热器；216：第二电极片；213a：第一绝缘层；213b：第二绝缘层；14a、14b：第一电极熔接层；217：第二电极熔接层。

(第三例的换能器300)

300：换能器；310：静电片；12：加热器；11a：第一电极片；316：第二电极片；13a、13b：表面侧绝缘层；317：电极间绝缘层；14a、14b：表面侧熔接层。

(第四例的换能器400)

400：换能器；410：静电片；416：第一电极片；11c：第二电极片；12：加热器；417：电极间绝缘层；13c：背面侧绝缘层；418：电极间第一熔接层；419：电极间第二熔接层；14c：背面侧熔接层；15c：加热器熔接层；430：基材。

(第五例的换能器500)

500：换能器；510：静电片；11c：第一电极片；12：加热器；516：第二电极片；513a：第一绝缘层；513b：第二绝缘层；14c：第一电极熔接层；515a：第一加热器熔接层；515b：第二加热器熔接层；517：第二电极熔接层；530：基材。

(第六例的换能器600)

600：换能器；610：静电片；12：加热器；11c：第一电极片；616：第二电极片；13c：表面侧绝缘层；617：电极间绝缘层；15c：加热器熔接层；14c：表面侧熔接层；618：电极间第一熔接层；619：电极间第二熔接层；630：基材。

Claims (29)

1.一种具有加热器功能的静电型换能器，该具有加热器功能的静电型换能器形成为片状且是柔软的，其特征在于，

所述静电型换能器具备：

电极片，其形成为片状，且包含热塑性材料和导电性填料而构成；

加热器，其由加热器线形成为片状，且配置为与所述电极片对置；以及

绝缘层，其形成为片状，且由软化点比所述电极片的热塑性材料高的热塑性材料形成，埋设构成所述加热器的所述加热器线，一方的面通过所述电极片的热塑性材料的熔接而与所述电极片接合。

2.根据权利要求1所述的具有加热器功能的静电型换能器，其特征在于，

所述绝缘层的所述一方的面具有凹凸，

所述电极片以进入所述绝缘层的凹部的状态通过所述电极片的热塑性材料的熔接而与所述绝缘层的凹凸面接合。

3.根据权利要求1或2所述的具有加热器功能的静电型换能器，其特征在于，

所述静电型换能器还具备：

表层侧电极片，其形成为片状，包含热塑性材料和导电性填料而构成，且配置为背面侧与所述电极片对置；以及

电极间绝缘层，其形成为片状，由软化点比所述表层侧电极片的热塑性材料和所述电极片的热塑性材料高的热塑性材料形成，被夹在所述表层侧电极片的背面与所述电极片的表面之间，表面通过所述表层侧电极片的热塑性材料的熔接而与所述表层侧电极片接合，背面通过所述电极片的热塑性材料的熔接而与所述电极片接合，

所述加热器配置为与所述电极片的背面侧对置。

4.根据权利要求1或2所述的具有加热器功能的静电型换能器，其特征在于，

所述电极片配置于表层侧，

所述加热器配置为与所述电极片的背面对置，

所述具有加热器功能的静电型换能器还具备背层侧电极片，该背层侧电极片形成为片状，包含热塑性材料和导电性填料而构成，且配置为与所述加热器的背面对置，

所述绝缘层由软化点比所述背层侧电极片的热塑性材料高的热塑性材料形成，另一方的面通过所述背层侧电极片的热塑性材料的熔接而与所述背层侧电极片接合。

5.根据权利要求1或2所述的具有加热器功能的静电型换能器，其特征在于，

所述加热器配置于表层侧，

所述电极片配置为与所述加热器的背面对置，

所述具有加热器功能的静电型换能器还具备：

背层侧电极片，其形成为片状，包含热塑性材料和导电性填料而构成，且配置为与所述电极片的背面对置；以及

电极间绝缘层，其形成为片状，由软化点比所述电极片的热塑性材料和所述背层侧电极片的热塑性材料高的热塑性材料形成，被夹在所述电极片的背面与所述背层侧电极片的表面之间，表面通过所述电极片的热塑性材料的熔接而与所述电极片接合，背面通过所述背层侧电极片的热塑性材料的熔接而与所述背层侧电极片接合。

6.根据权利要求3所述的具有加热器功能的静电型换能器，其特征在于，

所述电极间绝缘层以及所述绝缘层由相同种类的材料形成。

7.根据权利要求5所述的具有加热器功能的静电型换能器，其特征在于，

所述绝缘层和所述电极间绝缘层由不同种类的材料形成，

所述绝缘层由导热率比所述电极间绝缘层高的材料形成。

8.一种具有加热器功能的静电型换能器，该具有加热器功能的静电型换能器形成为片状且是柔软的，其特征在于，

所述静电型换能器具备：

电极片，其形成为片状，且包含热塑性材料和导电性填料而构成；

加热器，其由加热器线形成为片状，且配置为与所述电极片对置；

绝缘层，其形成为片状，且由非热塑性材料形成，埋设构成所述加热器的所述加热器线，一方的面通过所述电极片的热塑性材料的熔接而与所述电极片接合。

9.根据权利要求8所述的具有加热器功能的静电型换能器，其特征在于，

所述绝缘层的所述一方的面具有凹凸，

所述电极片以进入所述绝缘层的凹部的状态通过所述电极片的热塑性材料的熔接而与所述绝缘层的凹凸面接合。

10.根据权利要求9所述的具有加热器功能的静电型换能器，其特征在于，

所述绝缘层由非热塑性的发泡材料形成，在表面具有由气泡形成的凹凸，

所述电极片以进入所述绝缘层的表面的凹部的状态通过所述电极片的热塑性材料的熔接而与所述绝缘层的表面的凹凸面接合。

11.根据权利要求8至10中任一项所述的具有加热器功能的静电型换能器，其特征在于，

所述静电型换能器还具备：

表层侧电极片，其形成为片状，包含热塑性材料和导电性填料而构成，且配置为背面侧与所述电极片对置；以及

电极间绝缘层，其形成为片状，由非热塑性材料形成，被夹在所述表层侧电极片的背面与所述电极片的表面之间，表面通过所述表层侧电极片的热塑性材料的熔接而与所述表层侧电极片接合，背面通过所述电极片的热塑性材料的熔接而与所述电极片接合，

所述加热器配置为与所述电极片的背面侧对置。

12.根据权利要求8至10中任一项所述的具有加热器功能的静电型换能器，其特征在于，

所述电极片配置于表层侧，

所述加热器配置为与所述电极片的背面对置，

所述具有加热器功能的静电型换能器还具备背层侧电极片，该背层侧电极片形成为片状，包含热塑性材料和导电性填料而构成，且配置为与所述加热器的背面对置，

所述绝缘层由非热塑性材料形成，另一方的面通过所述背层侧电极片的热塑性材料的熔接而与所述背层侧电极片接合。

13.根据权利要求8至10中任一项所述的具有加热器功能的静电型换能器，其特征在于，

所述加热器配置于表层侧，

所述电极片配置为与所述加热器的背面对置，

所述具有加热器功能的静电型换能器还具备：

背层侧电极片，其形成为片状，包含热塑性材料和导电性填料而构成，且配置为与所述电极片的背面对置；以及

电极间绝缘层，其形成为片状，由非热塑性材料形成，被夹在所述电极片的背面与所述背层侧电极片的表面之间，表面通过所述电极片的热塑性材料的熔接而与所述电极片接合，背面通过所述背层侧电极片的热塑性材料的熔接而与所述背层侧电极片接合。

14.根据权利要求11所述的具有加热器功能的静电型换能器，其特征在于，

所述电极间绝缘层以及所述绝缘层由相同种类的材料形成。

15.根据权利要求13所述的具有加热器功能的静电型换能器，其特征在于，

所述绝缘层和所述电极间绝缘层由不同种类的材料形成，

所述绝缘层由导热率比所述电极间绝缘层高的材料形成。

16.一种具有加热器功能的静电型换能器，该具有加热器功能的静电型换能器形成为片状且是柔软的，其特征在于，

所述静电型换能器具备：

电极片，其形成为片状，且包含热塑性材料和导电性填料而构成；

加热器，其由加热器线形成为片状，且配置为与所述电极片对置；

绝缘层，其形成为片状，且由非热塑性材料的无纺布或者织物形成，埋设构成所述加热器的所述加热器线，一方的面通过所述电极片的热塑性材料的熔接而与所述电极片接合。

17.根据权利要求16所述的具有加热器功能的静电型换能器，其特征在于，

所述绝缘层具有由纤维和纤维之间的空间形成的凹凸，

所述电极片以进入所述绝缘层的纤维与纤维之间的空间即凹部的状态通过所述电极片的热塑性材料的熔接而与所述绝缘层的凹凸面接合。

18.根据权利要求16或17所述的具有加热器功能的静电型换能器，其特征在于，

所述静电型换能器还具备：

表层侧电极片，其形成为片状，包含热塑性材料和导电性填料而构成，且配置为背面侧与所述电极片对置；以及

电极间绝缘层，其形成为片状，由非热塑性材料的无纺布或者织物形成，被夹在所述表层侧电极片的背面与所述电极片的表面之间，表面通过所述表层侧电极片的热塑性材料的熔接而与所述表层侧电极片接合，背面通过所述电极片的热塑性材料的熔接而与所述电极片接合，

所述加热器配置为与所述电极片的背面侧对置。

19.根据权利要求16或17所述的具有加热器功能的静电型换能器，其特征在于，

所述电极片配置于表层侧，

所述加热器配置为与所述电极片的背面对置，

所述具有加热器功能的静电型换能器还具备背层侧电极片，该背层侧电极片形成为片状，包含热塑性材料和导电性填料而构成，且配置为与所述加热器的背面对置，

所述绝缘层的另一方的面通过所述背层侧电极片的热塑性材料的熔接而与所述背层侧电极片接合。

20.根据权利要求16或17所述的具有加热器功能的静电型换能器，其特征在于，

所述加热器配置于表层侧，

所述电极片配置为与所述加热器的背面对置，

所述具有加热器功能的静电型换能器还具备：

背层侧电极片，其形成为片状，包含热塑性材料和导电性填料而构成，且配置为与所述电极片的背面对置；以及

电极间绝缘层，其形成为片状，由非热塑性材料的无纺布或者织物形成，被夹在所述电极片的背面与所述背层侧电极片的表面之间，表面通过所述电极片的热塑性材料的熔接而与所述电极片接合，背面通过所述背层侧电极片的热塑性材料的熔接而与所述背层侧电极片接合。

21.根据权利要求18所述的具有加热器功能的静电型换能器，其特征在于，

所述电极间绝缘层以及所述绝缘层由相同种类的材料形成。

22.根据权利要求20所述的具有加热器功能的静电型换能器，其特征在于，

所述绝缘层和所述电极间绝缘层由不同种类的材料形成，

所述绝缘层由导热率比所述电极间绝缘层高的材料形成。

23.一种具有加热器功能的静电型换能器，该具有加热器功能的静电型换能器形成为片状且是柔软的，其特征在于，

所述静电型换能器具备：

电极片，其由导电性布形成为片状；

加热器，其由加热器线形成为片状，且配置为与所述电极片对置；

绝缘层，其形成为片状，且由热塑性材料形成，埋设构成所述加热器的所述加热器线，一方的面通过自身的熔接而与所述电极片接合。

24.根据权利要求23所述的具有加热器功能的静电型换能器，其特征在于，

所述绝缘层通过自身的熔接而与构成所述加热器的所述加热器线接合。

25.根据权利要求23或24所述的具有加热器功能的静电型换能器，其特征在于，

所述静电型换能器还具备：

表层侧电极片，其由导电性布形成为片状，且配置为背面侧与所述电极片对置；以及

电极间绝缘层，其形成为片状，由热塑性材料形成，被夹在所述表层侧电极片的背面与所述电极片的表面之间，表面通过自身的熔接而与所述表层侧电极片接合，背面通过自身的熔接而与所述电极片接合，

所述加热器配置为与所述电极片的背面侧对置。

26.根据权利要求23或24所述的具有加热器功能的静电型换能器，其特征在于，

所述电极片配置于表层侧，

所述加热器配置为与所述电极片的背面对置，

所述具有加热器功能的静电型换能器还具备背层侧电极片，该背层侧电极片由导电性布形成为片状，且配置为与所述加热器的背面对置，

所述绝缘层由热塑性材料形成，另一方的面通过自身的熔接而与所述背层侧电极片接合。

27.根据权利要求23或24所述的具有加热器功能的静电型换能器，其特征在于，

所述加热器配置于表层侧，

所述电极片配置为与所述加热器的背面对置，

所述具有加热器功能的静电型换能器还具备：

背层侧电极片，其由导电性布形成为片状，且配置为与所述电极片的背面对置；以及

电极间绝缘层，其形成为片状，由热塑性材料形成，被夹在所述电极片的背面与所述背层侧电极片的表面之间，表面通过自身的熔接而与所述电极片接合，背面通过自身的熔接而与所述背层侧电极片接合。

28.根据权利要求25所述的具有加热器功能的静电型换能器，其特征在于，

所述电极间绝缘层以及所述绝缘层由相同种类的材料形成。

29.根据权利要求27所述的具有加热器功能的静电型换能器，其特征在于，

所述绝缘层和所述电极间绝缘层由不同种类的材料形成，

所述绝缘层由导热率比所述电极间绝缘层高的材料形成。