CN111983412B - 监控系统、监控方法、监控终端及存储介质 - Google Patents
监控系统、监控方法、监控终端及存储介质 Download PDFInfo
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Abstract
本申请提供了一种监控系统、监控方法、监控终端及存储介质，涉及监控技术领域，能够较好地进行晶圆测试数据的监控，适用范围广。该监控系统包括：测试终端、监控终端和探针台，其中，所述监控终端分别与所述测试终端和所述探针台连接；所述测试终端，用于输出目标测试数据及测试指令；所述目标测试数据为所述测试终端控制所述探针台的测试晶圆时得到的测试数据；所述测试指令用于指示所述探针台对晶圆进行电测试；所述监控终端，用于当所述目标测试数据不满足预设条件时，停止将所述测试终端的所述测试指令发送至所述探针台。
Description
技术领域
本申请属于监控技术领域，尤其涉及一种监控系统、监控方法、监控终端及存储介质。
背景技术
随着集成电路技术的不断发展，集成电路的功能越来越复杂、集成度越来越高、需求量和使用量越来越大，集成电路逐渐成为现代工业的基础和支柱。在集成电路的生产过程中，集成电路测试分为两个大的工序：晶圆测试(CP) 和IC成品测试(FT)，晶圆测试在前，IC成品测试在后。其中，对于晶圆测试，主要是预先将测试终端与探针台连接，利用测试终端控制探针台完成晶圆测试。且现有的晶圆测试方式是将测试终端与探针台连接，且探针台只支持接收测试终端发送的测试结果，如测试通过或测试失败，使得测试终端与探针台之间的交互信息也只限于每一次开始测试信号、结束测试信号和每一次的测试结果等信息，且只能基于测试结果对晶圆的良品率、连续失效等常规异常情况进行监控报警，且当出现异常时停止控制探针台对晶圆进行测试。
然而，因现有的测试终端和探针台的功能限制原因，并不能具体针对测试项目中某一目标测试数据进行监控，导致晶圆测试异常，也无法暂停测试，不便于检查异常出现的原因，即现有的晶圆测试方式存在着适用范围小的问题。
发明内容
本申请实施例提供了一种监控系统、监控方法、监控终端及存储介质，以解决现有的晶圆测试方式适用范围小的问题。
第一方面，本申请实施例提供了一种监控系统，包括测试终端、监控终端和探针台，其中，所述监控终端分别与所述测试终端和所述探针台连接；
所述测试终端，用于输出目标测试数据及测试指令；所述目标测试数据为所述测试终端控制所述探针台对晶圆片中的芯片进行测试时得到的测试数据；所述测试指令用于指示所述探针台对晶圆片中的芯片进行测试；
所述监控终端，用于当所述目标测试数据不满足预设条件时，停止将所述测试终端的所述测试指令发送至所述探针台。
以上方案，在监控系统中配置监控终端、测试终端和探针台，将监控终端分别与测试终端和探针台连接，通过监控终端获取到测试终端发送的目标测试数据及测试指令，并确定目标测试数据是否满足预设条件，若目标测试数据不满足预设条件时，即可及时发现异常的测试数据，且监控终端停止将测试终端的测试指令发送至探针台，从而及时地暂停晶圆测试，以可以及时地检查异常出现的原因，扩宽监控系统的适用范围，能够较好地进行晶圆测试数据的监控。
可选的，所述目标测试数据包括目标测试项目的测试结果及基于所述目标测试项目测试得到的电参数测试值。
可选的，所述监控终端，用于当连续多个所述测试结果指示测试正常，及每个所述测试结果对应的所述电参数测试值与多个电参数测试值的平均值的偏差值均大于预设偏差值时，停止将所述测试终端的测试指令发送至探针台。
可选的，所述监控终端，用于当所述测试结果指示测试正常，及所述电参数测试值与预设的电参数测试值的差值大于预设差值时，停止将所述测试终端的测试指令发送至探针台。
可选的，所述监控终端，还用于获取所述探针台记录的芯片信息，根据所述芯片信息和与所述芯片信息对应的目标测试数据，生成目标文件。
可选的，所述目标文件包括晶圆图、数据日志中的一种或多种。
第二方面，本申请实施例提供了一种监控方法，应用于监控终端，所述方法包括：
获取测试终端发送的目标测试数据及测试指令；
当所述目标测试数据不满足预设条件时，停止将所述测试终端的所述测试指令发送至探针台。
可选的，所述目标测试数据包括每个测试项目的测试结果及基于每个所述测试项目测试得到的电参数测试值；
所述当所述目标测试数据不满足预设条件时，停止将所述测试终端的所述测试指令发送至探针台，包括：
当所述测试结果指示测试正常，及所述电参数测试值与预设的电参数测试值的差值大于预设差值时，停止将所述测试终端的所述测试指令发送至所述探针台。
可选的，所述目标测试数据包括每个测试项目的测试结果及基于每个所述测试项目测试得到的电参数测试值；
所述当所述目标测试数据不满足预设条件时，停止将所述测试终端的所述测试指令发送至探针台，包括：
当连续多个所述测试结果指示测试正常，及每个所述测试结果对应的所述电参数测试值与多个电参数测试值的平均值的偏差值均大于预设偏差值时，停止将所述测试终端的测试指令发送至探针台。
第三方面，本申请实施例提供了一种监控终端，其特征在于，包括存储器、处理器以及存储在所述存储器中并可在所述处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现所述的监控方法。
第四方面，本申请实施例提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现所述的监控方法。
第五方面，本申请实施例提供了一种计算机程序产品，当计算机程序产品在终端设备上运行时，使得终端设备执行上述第一方面中任一项所述的监控方法。
可以理解的是，上述第二方面至第五方面的有益效果可以参见上述第一方面中的相关描述，在此不再赘述。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本申请一实施例提供的监控系统的结构示意图。
图2是本申请一实施例提供的监控方法的流程示意图。
图3是本申请一实施例提供的监控终端的结构示意图。
具体实施方式
以下描述中，为了说明而不是为了限定，提出了诸如特定系统结构、技术之类的具体细节，以便透彻理解本申请实施例。然而，本领域的技术人员应当清楚，在没有这些具体细节的其它实施例中也可以实现本申请。在其它情况中，省略对众所周知的系统、装置、电路以及方法的详细说明，以免不必要的细节妨碍本申请的描述。
如在本申请说明书和所附权利要求书中所使用的那样，术语“如果”可以依据上下文被解释为“当...时”或“一旦”或“响应于确定”或“响应于检测到”。类似地，短语“如果确定”或“如果检测到[所描述条件或事件]”可以依据上下文被解释为意指“一旦确定”或“响应于确定”或“一旦检测到[所描述条件或事件]”或“响应于检测到[所描述条件或事件]”。
另外，在本申请说明书和所附权利要求书的描述中，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本申请说明书中描述的参考“一个实施例”或“一些实施例”等意味着在本申请的一个或多个实施例中包括结合该实施例描述的特定特征、结构或特点。由此，在本说明书中的不同之处出现的语句“在一个实施例中”、“在一些实施例中”、“在其他一些实施例中”、“在另外一些实施例中”等不是必然都参考相同的实施例，而是意味着“一个或多个但不是所有的实施例”，除非是以其他方式另外特别强调。术语“包括”、“包含”、“具有”及它们的变形都意味着“包括但不限于”，除非是以其他方式另外特别强调。
为了说明本申请所述的技术方案，下面通过具体实施例来进行说明。
图1示 出了本申请实施例提供的监控系统的结构示意图，为了便于说明，仅示出了与本实施例相关的部分，详述如下：
如图1所示，监控系统，用于在进行晶圆测试的过程中，对晶圆进行测试时得到的测试数据进行监控，该监控系统包括：测试终端、监控终端、探针台。具体地：
所述测试终端，用于输出目标测试数据及测试指令；所述目标测试数据为所述测试终端控制所述探针台对晶圆片中的芯片进行测试时得到的测试数据；所述测试指令用于指示所述探针台对晶圆片中的芯片进行测试。
所述监控终端，用于当所述目标测试数据不满足预设条件时，停止将所述测试终端的所述测试指令发送至所述探针台。
在本实施例中，测试终端的输出端和输入端分别与监控终端的第一输入端、第一输出端连接，探针台的输出端和输入端分别与监控终端的第二输入端、第二输出端连接。
由于测试终端接收到探针台发送的开始测试信号后，测试终端基于预设的测试策略发送测试指令至监控终端，通过所述监控终端将所述测试指令转发至探针台，进而通过该测试指令控制探针台运行，从而对布设在探针台上的晶圆中的芯片进行测试。为了能及时发现异常的测试数据，及时地暂停晶圆测试，以可以及时地检查异常出现的原因，避免可能造成整片晶圆或者整批晶圆返工甚至是报废，在晶圆测试的过程中还需要对测试时得到的测试数据进行监控时。故，测试终端根据监控终端发送的查询指令下，获取控制所述探针台对晶圆片中的芯片进行测试时得到的测试数据，将该测试数据作为目标测试数据，并将包括目标测试数据和继续控制探针台对晶圆片中的芯片进行测试的测试指令发送至监控终端。
需要说明的是，目标测试数据为通过探针台对晶圆片中每颗芯片的每个测试项目得到的实际测试值，通过该实际测试值描述测试情况。预设条件用于描述指示测试数据正常的判断逻辑。可以理解的是，一条目标测试数据为从接收到探针台的开始测试信号开始对一颗芯片进行测试，到向探针台发送结束测试信号的这一期间内，测试终端控制所述探针台对晶圆进行测试时得到测试数据。且每个晶圆包括多颗芯片，故测试终端输出至监控终端的目标测试数据可能包括一个或多个。
例如，若静态电流值的合格范围为55μA以下，而现测试得到一个晶圆片中的一颗芯片的静态电流值为50μA，则表示该晶圆片中的该颗芯片的静态电流值表示正常，监控终端继续将接收到的测试终端的测试指令继续发送至探针台。
或如，静态电流值的合格范围为55μA以下，且连续测试晶圆片中5颗芯片的静态电流值在55μA以下和偏差在预设范围3％内，才表示测试正常。故，若测试到五个晶圆的静态电流值分别为54μA、51μA、49μA、50μA、50μA，而偏差均超过了3％，则表示测试异常，监控终端停止将接收到的测试终端的测试指令继续发送至探针台，即停止控制探针台对晶圆继续测试。
以上方案，在监控系统中配置监控终端、测试终端和探针台，将监控终端分别与测试终端和探针台连接，通过监控终端获取到测试终端发送的目标测试数据及测试指令，并确定目标测试数据是否满足预设条件，若目标测试数据不满足预设条件时，即可及时发现异常的测试数据，且监控终端停止将测试终端的测试指令发送至探针台，从而及时地暂停晶圆测试，以可以及时地检查异常出现的原因，扩宽监控系统的适用范围，能够较好地进行晶圆测试数据的监控。
作为本申请一实施例，所述目标测试数据包括目标测试项目的测试结果及基于所述目标测试项目测试得到的电参数测试值。
在本实施例中，测试结果用于描述晶圆测试时对每颗芯片的测试结果。例如，测试终端接收到监控终端转发来的探针台发送的开始测试信号后，开始指令测试一颗芯片的静态电流值是否合格，且测试得到该芯片的静态电流值为 49μA，处于静态电流值的合格范围0～50μA中，故测试结果可以表示为“pass”或“测试通过”，反之可以表示为“Fail”或“测试失败”。
电参数测试值用于描述晶圆测试时对每颗芯片进行电测试时，探针台返回的测试值。例如，测试得到一颗芯片的静态电流值为49μA。
可以理解的是，在对晶圆上的芯片进行电测试时，会进行多个测试项的测试，对应的可能会包括多种测试结果，每个测试结果对应一个电参数测试值。例如，对一颗芯片进行测试的测试项包括启动电压、静态电流，则对应的测试结果会包括Bin1、Bin2，启动电压的测试结果Bin1为测试通过，对应的电参数测试值为1.2V，静态电流的的测试结果Bin2为测试通过，对应的电参数测试值为50μA。
作为本申请一实施例，因一片晶圆会包括多颗芯片，故测试得到一颗芯片的测试数据异常时，则可能会影响后续的芯片测试，故需要对每一颗芯片的测试数据进行确认。
所以，以上一实施例为基础，监控终端还用于当所述测试结果指示测试正常，及所述电参数测试值与预设的电参数测试值的差值大于预设差值时，停止将所述测试终端的所述测试指令发送至探针台。
在本实施例中，预设差值为描述满足测试要求的电参数测试值的最小差值。例如，测试项的静态电流值最小差值为1.65μA。
示例的，对晶圆片中的一颗芯片进行静态电流值的测试时，如测试得到该芯片的静态电流值为49μA，而该测试项的预设静态电流值为49μA，即该颗芯片的静态电流值的测试结果为测试通过，且该静态电流值与预设的静态电流值的差值为0，则监控终端继续将测试终端发送来的测试指令发送至探针台，继续测试晶圆上的芯片。
作为本申请一实施例，因一片晶圆会包括多颗芯片，故测试得到多颗芯片的测试数据异常时，则可能会影响后续的芯片测试，故需要对多颗芯片的测试数据进行确认。
故，所述监控终端，具体还用于当连续多个所述测试结果指示测试正常，及每个所述测试结果对应的所述电参数测试值与预设的电参数测试值的差值大于预设差值时，停止将所述测试终端的测试指令发送至探针台。
示例的，测试终端连续对晶圆中的连续的芯片1、芯片2、芯片3、芯片4、芯片5进行同一测试项的测试项，例如进行芯片静态电流值的电测试，分别测试得到对应的静态电流值为50μA、49μA、49μA、50μA、49μA，该测试项的预设静态电流值为48μA，预设差值为0.5μA，即计算得到差值分别为2μA、1μA、 1μA、2μA、1μA，均大于预设差值，即监控终端停止将所述测试终端的测试指令发送至探针台，即停止晶圆测试。
作为本申请一实施例，因一片晶圆会包括多颗芯片，故测试得到多颗芯片的测试数据异常时，则可能会影响后续的芯片测试，故需要对多颗芯片的测试数据进行确认。
故，所述监控终端，具体还用于当连续多个所述测试结果指示测试正常，及每个所述测试结果对应的所述电参数测试值与多个电参数测试值的平均值的偏差值均大于预设偏差值时，停止将所述测试终端的测试指令发送至探针台。
在本实施例中，预设偏差值为描述描述满足测试要求的电参数测试值的最小偏差值。
示例的，示例的，测试终端连续对晶圆中的连续的芯片1、芯片2、芯片3、芯片4、芯片5进行同一测试项的测试项，例如进行芯片静态电流值的电测试，分别测试得到对应的静态电流值为50μA、50μA、50μA、50μA、50μA，计算得到平均静态电流值49μA，即计算得到芯片1、芯片2、芯片3、芯片4、芯片5 的偏差值为1μA、1μA、1μA、1μA、1μA，而预设偏差值为0.5μA，即每个所述测试结果对应的所述电参数测试值与多个电参数测试值的平均值的偏差值，表示出现测试异常，监控终端停止将所述测试终端的测试指令发送至探针台，即停止晶圆测试，以便于检查出现测试异常的原因。
作为本申请一实施例，所述监控终端，还用于获取所述探针台记录的芯片信息，根据所述芯片信息和与所述芯片信息对应的目标测试数据，生成目标文件。例如，测试项的静态电流值最小差值为1.65μA。
可以理解的是，因对每一颗芯片进行测试时，测试终端根据探针台发送的开始测试指令，生成测试指令通过监控终端发送至探针台，控制探针台对芯片测试，当结束测试时，测试终端又会向通过监控终端向探针台发送结束测试指令，此时探针台基于该结束测试指令记录芯片信息，如记录芯片的型号、在晶圆片中的二维坐标、晶圆片的批号和等芯片信息。故，当对一片晶圆片测试结束时，即从晶圆片上的第一颗芯片测试到最后一颗芯片，需要生成目标文件，如晶圆图(Wafer map)文件或数据日志时，则监控终端可以分别从测试终端中获取到目标测试数据、从探针台获取到芯片信息，接着生成目标文件，如生成晶圆图或者记录有芯片坐标信息的数据日志，以此简化了以往分别通过不同设备从测试终端和探针台获取的数据的过程。
在一些实施例中，目标文件包括晶圆图、数据日志中的一种或多种，其中数据日志中记录有芯片坐标信息。
以上方案，在监控系统中配置监控终端、测试终端和探针台，将监控终端分别与测试终端和探针台连接，通过监控终端获取到测试终端发送的目标测试数据及测试指令，并确定目标测试数据是否满足预设条件，若目标测试数据不满足预设条件时，即可及时发现异常的测试数据，且监控终端停止将测试终端的测试指令发送至探针台，从而及时地暂停晶圆测试，以可以及时地检查异常出现的原因，扩宽监控系统的适用范围，能够较好地进行晶圆测试数据的监控。
本实施例的另一目的在于提供一种监控方法，该方法的执行主体为监控终端。
图2示出了本申请实施例提供的监控方法的示意性流程图，为了便于说明，仅示出了与本实施例相关的部分，详述如下：
如图2所示，一种监控方法，包括：
S101：获取测试终端发送的目标测试数据及测试指令。
S102：当所述目标测试数据不满足预设条件时，停止将所述测试终端的测试指令发送至探针台。
在本实施例中，执行主体为监控系统中的监控终端。测试终端的输出端和输入端分别与监控终端的第一输入端、第一输出端连接，探针台的输出端和输入端分别与监控终端的第二输入端、第二输出端连接。
由于测试终端接收到探针台发送的开始测试信号后，测试终端基于预设的测试策略发送测试指令至监控终端，通过所述监控终端将所述测试指令转发至探针台，进而通过该测试指令控制探针台运行，从而对布设在探针台上的晶圆中的芯片进行测试。为了能及时发现异常的测试数据，及时地暂停晶圆测试，以可以及时地检查异常出现的原因，避免可能造成整片晶圆或者整批晶圆返工甚至是报废，在晶圆测试的过程中还需要对测试时得到的测试数据进行监控时。故，测试终端根据监控终端发送的查询指令下，获取控制所述探针台对晶圆进行测试时得到的测试数据，将该测试数据作为目标测试数据，并将包括目标测试数据和继续控制探针台对晶圆进行测试的测试指令发送至监控终端。
需要说明的是，目标测试数据为通过探针台对晶圆中每颗芯片的每个测试项目得到的实际测试值，通过该实际测试值描述测试情况。预设条件用于描述指示测试数据正常的判断逻辑。可以理解的是，一条目标测试数据为从接收到探针台的开始测试信号开始对一颗芯片进行测试，到向探针台发送结束测试信号的这一期间内，测试终端控制所述探针台对晶圆进行测试时得到测试数据。且每个晶圆包括多颗芯片，故测试终端输出至监控终端的目标测试数据可能包括一个或多个。
作为本申请一实施例，所述目标测试数据包括每个测试项目的测试结果及基于每个所述测试项目测试得到的电参数测试值。
作为本申请一实施例，步骤S102包括：
当所述测试结果指示测试正常，及所述电参数测试值与预设的电参数测试值的差值大于预设差值时，停止将所述测试终端的测试指令发送至探针台。
作为本申请一实施例，步骤S102包括：
当连续多个所述测试结果指示测试正常，及每个所述测试结果对应的所述电参数测试值与预设的电参数测试值的差值大于预设差值时，停止将所述测试终端的测试指令发送至探针台。
作为本申请一实施例，步骤S102包括：
所述当所述目标测试数据不满足预设条件时，停止将所述测试终端的测试指令发送至探针台，包括：
当连续多个所述测试结果指示测试正常，及每个所述测试结果对应的所述电参数测试值与多个电参数测试值的平均值的偏差值均大于预设偏差值时，停止将所述测试终端的测试指令发送至探针台。
图3为本申请一实施例提供的监控终端的结构示意图。如图3所示，该实施例的监控终端2包括：至少一个处理器20(图3中仅示出一个处理器)、存储器21以及存储在所述存储器21中并可在所述至少一个处理器20上运行的计算机程序22，所述处理器20执行所述计算机程序22时实现上述任意各个监控方法实施例中的步骤。
所述监控终端2可以是桌上型计算机、笔记本、掌上电脑及云端服务器等计算设备。该监控终端可包括，但不仅限于，处理器20、存储器21。本领域技术人员可以理解，图3仅仅是监控终端2的举例，并不构成对监控终端2的限定，可以包括比图示更多或更少的部件，或者组合某些部件，或者不同的部件，例如还可以包括输入输出设备、网络接入设备等。
所述处理器20可以是中央处理单元(Central Processing Unit，CPU)，该处理器20还可以是其他通用处理器、数字信号处理器(Digital Signal Processor， DSP)、专用集成电路(Application Specific Integrated Circuit，ASIC)、现成可编程门阵列(Field-Programmable Gate Array，FPGA)或者其他可编程逻辑器件、分立门或者晶体管逻辑器件、分立硬件组件等。通用处理器可以是微处理器或者该处理器也可以是任何常规的处理器等。
所述存储器21在一些实施例中可以是所述监控终端2的内部存储单元，例如监控终端2的硬盘或内存。所述存储器21在另一些实施例中也可以是所述监控终端2的外部存储设备，例如所述监控终端2上配备的插接式硬盘，智能存储卡(Smart Media Card,SMC)，安全数字(Secure Digital,SD)卡，闪存卡(Flash Card)等。进一步地，所述存储器21还可以既包括所述监控终端2的内部存储单元也包括外部存储设备。所述存储器21用于存储操作系统、应用程序、引导装载程序(BootLoader)、数据以及其他程序等，例如所述计算机程序的程序代码等。所述存储器21还可以用于暂时地存储已经输出或者将要输出的数据。
需要说明的是，上述装置/单元之间的信息交互、执行过程等内容，由于与本申请方法实施例基于同一构思，其具体功能及带来的技术效果，具体可参见方法实施例部分，此处不再赘述。
所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为了描述的方便和简洁，仅以上述各功能单元、模块的划分进行举例说明，实际应用中，可以根据需要而将上述功能分配由不同的功能单元、模块完成，即将所述装置的内部结构划分成不同的功能单元或模块，以完成以上描述的全部或者部分功能。实施例中的各功能单元、模块可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中，上述集成的单元既可以采用硬件的形式实现，也可以采用软件功能单元的形式实现。另外，各功能单元、模块的具体名称也只是为了便于相互区分，并不用于限制本申请的保护范围。上述系统中单元、模块的具体工作过程，可以参考前述方法实施例中的对应过程，在此不再赘述。
本申请实施例还提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现可实现上述各个方法实施例中的步骤。
本申请实施例提供了一种计算机程序产品，当计算机程序产品在监控终端上运行时，使得监控终端执行时实现可实现上述各个方法实施例中的步骤。
所述集成的单元如果以软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，可以存储在一个计算机可读取存储介质中。基于这样的理解，本申请实现上述实施例方法中的全部或部分流程，可以通过计算机程序来指令相关的硬件来完成，所述的计算机程序可存储于一计算机可读存储介质中，该计算机程序在被处理器执行时，可实现上述各个方法实施例的步骤。其中，所述计算机程序包括计算机程序代码，所述计算机程序代码可以为源代码形式、对象代码形式、可执行文件或某些中间形式等。所述计算机可读介质至少可以包括：能够将计算机程序代码携带到拍照装置/终端设备的任何实体或装置、记录介质、计算机存储器、只读存储器(ROM，Read-Only Memory)、随机存取存储器(RAM，RandomAccess Memory)、电载波信号、电信信号以及软件分发介质。例如U盘、移动硬盘、磁碟或者光盘等。在某些司法管辖区，根据立法和专利实践，计算机可读介质不可以是电载波信号和电信信号。
在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述或记载的部分，可以参见其它实施例的相关描述。
本领域普通技术人员可以意识到，结合本文中所公开的实施例描述的各示例的单元及算法步骤，能够以电子硬件、或者计算机软件和电子硬件的结合来实现。这些功能究竟以硬件还是软件方式来执行，取决于技术方案的特定应用和设计约束条件。专业技术人员可以对每个特定的应用来使用不同方法来实现所描述的功能，但是这种实现不应认为超出本申请的范围。
在本申请所提供的实施例中，应该理解到，所揭露的装置/网络设备和方法，可以通过其它的方式实现。例如，以上所描述的装置/网络设备实施例仅仅是示意性的，例如，所述模块或单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，例如多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通讯连接可以是通过一些接口、装置或单元的间接耦合或通讯连接，可以是电性、机械或其它的形式。
所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。
以上所述实施例仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的精神和范围，均应包含在本申请的保护范围之内。
Claims (9)
1.一种监控系统，其特征在于，包括测试终端、监控终端和探针台，其中，所述监控终端分别与所述测试终端和所述探针台连接；
所述测试终端，用于根据所述监控终端发送的查询指令，获取目标测试数据，并输出目标测试数据及测试指令至所述监控终端，所述目标测试数据为所述测试终端控制所述探针台对晶圆片中的芯片进行测试时得到的测试数据，所述测试指令用于指示所述探针台对晶圆片中的芯片进行测试，所述测试指令指的是继续指示所述探针台对晶圆片中的芯片进行测试的指令；
所述监控终端，用于当所述目标测试数据不满足预设条件时，停止将所述测试终端的所述测试指令发送至所述探针台；
所述监控终端，用于当结束测试时，将所述测试终端生成的结束测试指令发送至所述探针台，所述结束测试指令用于指示所述探针台记录已测试结束的芯片的芯片信息；
所述监控终端，用于获取所述探针台记录的芯片信息，根据所述芯片信息和与所述芯片信息对应的目标测试数据，生成目标文件。
2.如权利要求1所述的监控系统，其特征在于，所述目标测试数据包括目标测试项目的测试结果及基于所述目标测试项目测试得到的电参数测试值。
3.如权利要求2所述的监控系统，其特征在于，所述监控终端，用于当连续多个所述测试结果指示测试正常，及每个所述测试结果对应的所述电参数测试值与多个电参数测试值的平均值的偏差值均大于预设偏差值时，停止将所述测试终端的测试指令发送至探针台。
4.如权利要求2所述的监控系统，其特征在于，所述监控终端，用于当所述测试结果指示测试正常，及所述电参数测试值与预设的电参数测试值的差值大于预设差值时，停止将所述测试终端的测试指令发送至探针台。
5.如权利要求1所述的监控系统，其特征在于，所述目标文件包括晶圆图、数据日志中的一种或多种。
6.一种监控方法，应用于监控终端，其特征在于，所述监控终端分别与测试终端和探针台连接，所述监控方法包括：
向所述测试终端发送查询指令，所述查询指令用于指示所述测试终端获取目标测试数据，所述目标测试数据为所述测试终端控制所述探针台对晶圆片中的芯片进行测试时得到的测试数据；
获取所述测试终端发送的所述目标测试数据及测试指令，所述测试指令用于指示所述探针台对晶圆片中的芯片进行测试，所述测试指令指的是继续指示所述探针台对晶圆片中的芯片进行测试的指令；
当所述目标测试数据不满足预设条件时，停止将所述测试终端的测试指令发送至所述探针台，其中，当结束测试时，将所述测试终端生成的结束测试指令发送至所述探针台，所述结束测试指令用于指示所述探针台记录已测试结束的芯片的芯片信息；
所述监控方法还包括：
获取所述探针台记录的芯片信息，根据所述芯片信息和与所述芯片信息对应的目标测试数据，生成目标文件。
7.如权利要求6所述的监控方法，其特征在于，所述目标测试数据包括每个测试项目的测试结果及基于每个所述测试项目测试得到的电参数测试值；
所述当所述目标测试数据不满足预设条件时，停止将所述测试终端的测试指令发送至探针台，包括：
当连续多个所述测试结果指示测试正常，及每个所述测试结果对应的所述电参数测试值与多个电参数测试值的平均值的偏差值均大于预设偏差值时，停止将所述测试终端的测试指令发送至探针台。
8.一种监控终端，其特征在于，包括存储器、处理器以及存储在所述存储器中并可在所述处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现如权利要求6至7任一项所述的方法。
9.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求6至7任一项所述的方法。
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