CN111977290A - 一种光刻设备的晶圆储存盒输送小车 - Google Patents

一种光刻设备的晶圆储存盒输送小车 Download PDF

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Abstract

本发明公开一种光刻设备的晶圆储存盒输送小车，包括小车顶板，所述小车顶板的顶面中部固定有支撑架，支撑架的左右两个连接块均固定在对应的直线电机的滑台上，直线电机固定在上连接导轨的两个竖直导向板的内侧上；所述小车顶板的顶面的左右两侧均固定有侧连接块，两个侧连接块的内侧壁上均固定有上下对应的连接板，导向轮的转轴通过轴承铰接在对应的两个连接板上，竖直导向板的外壁面上固定有自润滑折弯块，导向轮的壁面紧贴自润滑折弯块的竖直部的外侧壁上。本发明采用顶部输送放置抓取，其空间占用小，效果好。

Description

一种光刻设备的晶圆储存盒输送小车
技术领域
本发明涉及半导体制作技术领域，更具体的说涉及一种光刻设备的晶圆储存盒输送小车。
背景技术
现有的光刻设备等一些晶圆加工设备中，其需要将晶圆多个放置的密封的储存盒中，然后，需要用输送小车或人工输送，人工输送，其效率低，效果差。而输送小车抓取一般是采用地面输送，其在底面上的空间占用过大，影响人员走动，容易触碰。
发明内容
本发明的目的就是针对现有技术之不足，而提供一种光刻设备的晶圆储存盒输送小车，它采用顶部输送放置抓取，其空间占用小，效果好。
本发明的技术解决措施如下：
一种光刻设备的晶圆储存盒输送小车，包括小车顶板，所述小车顶板的顶面中部固定有支撑架，支撑架的左右两个连接块均固定在对应的直线电机的滑台上，直线电机固定在上连接导轨的两个竖直导向板的内侧上；
所述小车顶板的顶面的左右两侧均固定有侧连接块，两个侧连接块的内侧壁上均固定有上下对应的连接板，导向轮的转轴通过轴承铰接在对应的两个连接板上，竖直导向板的外壁面上固定有自润滑折弯块，导向轮的壁面紧贴自润滑折弯块的竖直部的外侧壁上；
所述侧连接块的下方的连接板的底面安装有多个球体，球体的底面压靠在自润滑折弯块的水平部的顶面上。
所述小车顶板的左右两侧底面均固定有竖直侧板，两个竖直侧板的后部和前部之间均固定有中部连接板；
所述竖直侧板的上部外侧壁上均固定有驱动伺服电机，小车顶板的底面中部固定有两个中间支撑板，横向主轴的一端通过轴承铰接在对应的中间支撑板上，驱动伺服电机的输出轴穿过竖直侧板的内侧壁并通过联轴器与横向主轴的一端相连接，横向主轴的中部固定有卷绕带轮，卷绕带轮上卷绕有输送带，两个输送带的底端固定在安装板的顶面上。
所述安装板的中部底面固定有连接块，连接块的中部成型有中心通孔，中心通孔的内侧壁上成型有多个定位螺接通孔，球头柱塞螺接在对应的定位螺接通孔中，晶圆放置盒处于两个竖直侧板和两个中部连接板之间，晶圆放置盒的顶板的顶面中部固定有连接柱，连接柱插套在中心通孔中，球头柱塞的钢球嵌套在连接柱的侧壁上成型有的定位凹孔中。
两个竖直侧板的内侧壁的后部均固定有两个内连接板，调节轴的两端通过轴承铰接在对应的两个内连接板上，其中一个内连接板的外侧壁上固定有旋转伺服电机，旋转伺服电机带动调节轴转动，底部限位板的一端固定在调节轴上。
所述底部限位板的顶面固定有弹性防护块。
所述侧连接块的下方的连接板的底面固定有下连接块，下连接块的底面中部成型有凹槽，球体插套在凹槽中，下连接块的底面固定有固定板，固定板的中部成型有通孔，球体插套在凹槽中，球体的下部伸出通孔。
本发明的有益效果在于：其采用顶部输送放置抓取，其空间占用小，效果好。
附图说明
图1为本发明的局部剖视图；
图2为图1的局部放大图；
图3为图1的另一部分的局部放大图；
图4为本发明的下部的局部剖视图。
具体实施方式
实施例：见图1至4所示，一种光刻设备的晶圆储存盒输送小车，包括小车顶板10，所述小车顶板10的顶板的顶面中部固定有支撑架11，支撑架11的左右两个连接块均固定在对应的直线电机12的滑台上，直线电机12固定在上连接导轨20的两个竖直导向板21的内侧上；
所述小车顶板10的顶板的顶面的左右两侧均固定有侧连接块13，两个侧连接块13的内侧壁上均固定有上下对应的连接板14，导向轮15的转轴通过轴承铰接在对应的两个连接板14上，竖直导向板21的外壁面上固定有自润滑折弯块22，导向轮15的壁面紧贴自润滑折弯块22的竖直部的外侧壁上；
所述侧连接块13的下方的连接板14的底面安装有多个球体1，球体1的底面压靠在自润滑折弯块22的水平部的顶面上。
进一步的说，所述小车顶板10的左右两侧底面均固定有竖直侧板16，两个竖直侧板16的后部和前部之间均固定有中部连接板17；
所述竖直侧板16的上部外侧壁上均固定有驱动伺服电机18，小车顶板10的底面中部固定有两个中间支撑板19，横向主轴191的一端通过轴承铰接在对应的中间支撑板19上，驱动伺服电机18的输出轴穿过竖直侧板16的内侧壁并通过联轴器与横向主轴191的一端相连接，横向主轴191的中部固定有卷绕带轮192，卷绕带轮192上卷绕有输送带193，两个输送带193的底端固定在安装板30的顶面上。
进一步的说，所述安装板30的中部底面固定有连接块31，连接块31的中部成型有中心通孔32，中心通孔32的内侧壁上成型有多个定位螺接通孔，球头柱塞33螺接在对应的定位螺接通孔中，晶圆放置盒100处于两个竖直侧板16和两个中部连接板17之间，晶圆放置盒100的顶板的顶面中部固定有连接柱101，连接柱101插套在中心通孔32中，球头柱塞33的钢球嵌套在连接柱101的侧壁上成型有的定位凹孔102中。
进一步的说，两个竖直侧板16的内侧壁的后部均固定有两个内连接板161，调节轴162的两端通过轴承铰接在对应的两个内连接板161上，其中一个内连接板161的外侧壁上固定有旋转伺服电机163，旋转伺服电机163带动调节轴162转动，底部限位板164的一端固定在调节轴162上。
进一步的说，所述底部限位板164的顶面固定有弹性防护块165，弹性防护块165压靠在晶圆放置盒100的底面上。
进一步的说，所述侧连接块13的下方的连接板14的底面固定有下连接块50，下连接块50的底面中部成型有凹槽51，球体1插套在凹槽51中，下连接块50的底面固定有固定板52，固定板52的中部成型有通孔53，球体1插套在凹槽51中，球体1的下部伸出通孔53。
本实施例中，其上连接导轨20安装在厂区的上方空间中，使得其无需占用地面空间，效果好，而且其采用直线电机12驱动移动，其移动准确，效果好，本实施例中，其可以在小车顶板10的下方的后部或中间连接板17内侧固定锂电池和控制主板进行控制供电，也可有在上连接导轨20安装导电滑轨等结构，实现导电送点。
在运行时，其可以通过旋转伺服电机163运行，使得底部限位板164旋转，实现底部限位板164打开，然后，通过驱动伺服电机18运行，可以实现输送带193的底端下降，将晶圆放置盒100向下输送，一直放置到对应的光刻设备或其他设备的固定机构处，通过固定机构上的夹持机构伸入晶圆放置盒100的底部安装固定孔中，实现夹持固定，然后，驱动伺服电机18反向运行，将输送带193回缩，此时，安装板30向上提，使得球头柱塞33的钢球从定位凹孔102中脱离即可，非常方便，然后，即可到其他位置取料等，取料时，安装板30下降后，处于晶圆放置盒100的连接柱101上方后，通过周围安装的辅助设备的压块移动将安装板30下压，使得连接柱101插套在中心通孔32中，球头柱塞33的钢球嵌套在连接柱101的侧壁上成型有的定位凹孔102中，完成安装，其效果好，自动化程度高。

Claims (6)

1.一种光刻设备的晶圆储存盒输送小车，包括小车顶板(10)，其特征在于：所述小车顶板(10)的顶板的顶面中部固定有支撑架(11)，支撑架(11)的左右两个连接块均固定在对应的直线电机(12)的滑台上，直线电机(12)固定在上连接导轨(20)的两个竖直导向板(21)的内侧上；
所述小车顶板(10)的顶板的顶面的左右两侧均固定有侧连接块(13)，两个侧连接块(13)的内侧壁上均固定有上下对应的连接板(14)，导向轮(15)的转轴通过轴承铰接在对应的两个连接板(14)上，竖直导向板(21)的外壁面上固定有自润滑折弯块(22)，导向轮(15)的壁面紧贴自润滑折弯块(22)的竖直部的外侧壁上；
所述侧连接块(13)的下方的连接板(14)的底面安装有多个球体(1)，球体(1)的底面压靠在自润滑折弯块(22)的水平部的顶面上。
2.根据权利要求1所述的一种光刻设备的晶圆储存盒输送小车，其特征在于：所述小车顶板(10)的左右两侧底面均固定有竖直侧板(16)，两个竖直侧板(16)的后部和前部之间均固定有中部连接板(17)；
所述竖直侧板(16)的上部外侧壁上均固定有驱动伺服电机(18)，小车顶板(10)的底面中部固定有两个中间支撑板(19)，横向主轴(191)的一端通过轴承铰接在对应的中间支撑板(19)上，驱动伺服电机(18)的输出轴穿过竖直侧板(16)的内侧壁并通过联轴器与横向主轴(191)的一端相连接，横向主轴(191)的中部固定有卷绕带轮(192)，卷绕带轮(192)上卷绕有输送带(193)，两个输送带(193)的底端固定在安装板(30)的顶面上。
3.根据权利要求2所述的一种光刻设备的晶圆储存盒输送小车，其特征在于：所述安装板(30)的中部底面固定有连接块(31)，连接块(31)的中部成型有中心通孔(32)，中心通孔(32)的内侧壁上成型有多个定位螺接通孔，球头柱塞(33)螺接在对应的定位螺接通孔中，晶圆放置盒(100)处于两个竖直侧板(16)和两个中部连接板(17)之间，晶圆放置盒(100)的顶板的顶面中部固定有连接柱(101)，连接柱(101)插套在中心通孔(32)中，球头柱塞(33)的钢球嵌套在连接柱(101)的侧壁上成型有的定位凹孔(102)中。
4.根据权利要求2所述的一种光刻设备的晶圆储存盒输送小车，其特征在于：两个竖直侧板(16)的内侧壁的后部均固定有两个内连接板(161)，调节轴(162)的两端通过轴承铰接在对应的两个内连接板(161)上，其中一个内连接板(161)的外侧壁上固定有旋转伺服电机(163)，旋转伺服电机(163)带动调节轴(162)转动，底部限位板(164)的一端固定在调节轴(162)上。
5.根据权利要求4所述的一种光刻设备的晶圆储存盒输送小车，其特征在于：所述底部限位板(164)的顶面固定有弹性防护块(165)。
6.根据权利要求1所述的一种光刻设备的晶圆储存盒输送小车，其特征在于：所述侧连接块(13)的下方的连接板(14)的底面固定有下连接块(50)，下连接块(50)的底面中部成型有凹槽(51)，球体(1)插套在凹槽(51)中，下连接块(50)的底面固定有固定板(52)，固定板(52)的中部成型有通孔(53)，球体(1)插套在凹槽(51)中，球体(1)的下部伸出通孔(53)。
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