CN111971774B - 带电粒子束装置 - Google Patents

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Abstract

带电粒子束装置中，在使用具有圆环形状的带电粒子束光圈的情况下，带电粒子束中的电流密度最高的光轴上的带电粒子束被遮挡，因此难以将带电粒子束光圈配置到最优的搭载位置。因此，与圆环形状的带电粒子束光圈(120)分别地具备圆孔形状的带电粒子束光圈(119)，能够切换将圆环形状的带电粒子束光圈配置在带电粒子束的光轴上的情况和将圆孔形状的带电粒子束光圈配置在带电粒子束的光轴上的情况。

Description

带电粒子束装置
技术领域
本发明涉及向试样照射带电粒子束的带电粒子束装置。
背景技术
扫描型电子显微镜(SEM：Scanning Electron Microscope)、聚焦离子束系统(FIB：Focused Ion Beam System)这样的带电粒子束装置通过使带电粒子束聚束到试样，而进行纳米级的观察、分析、加工。在要求纳米级的观察、分析、加工的半导体领域、材料领域、生物技术领域中广泛地使用了这些带电粒子束装置。另外，以推进了精细化的半导体领域为代表，在各种领域中，要求进一步的图像分辨率的提高、加工精度的提高。
在专利文献1中，公开了一种能够通过以下的办法而以简单的构造实现的球面像差校正器，其具备入射板和出射板，在其任意一方上形成圆形开孔，在另一方上形成圆环开孔，通过向入射板和出射板之间施加电压，而具有通过形成在圆环开孔的电场消除正的球面像差的发散。另外，在非专利文献1中，揭示了通过使用圆环形状的光圈，来提高焦点深度。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：专利文献1：国际公开第2016/174891号
非专利文献
非专利文献1：Momoyo Enyama,Koichi Hamada,Muneyuki Fukuda and HideyukiKazumi,“Method of improving image sharpness for annular-illumination scanningeletron microscopes”,Japanese Journal of Applied Physics 55,06GD02(2016)
发明内容
发明要解决的课题
作为带电粒子束装置的光圈，一般具有圆孔形状的开口，但也已知圆环形状的光圈。在非专利文献1中，揭示了通过使用圆环形状的光圈来提高焦点深度。另外，在专利文献1中，揭示了组合圆环形状的电极和圆孔形状的电极，通过向2个电极之间施加电压而得到球面像差校正效果。
在任意的情况下，都必须将圆环形状的光圈或圆环形状的电极的中心配置在带电粒子束的光轴上，带电粒子束中的电流密度最高的光轴正上的带电粒子束会被遮挡。因此，如果是具有圆孔形状的光圈，则以带电粒子束像最亮的位置为基准配置光圈，由此能够将光圈配置到适当的位置，与此相对，在圆环形状的光圈或电极的情况下，该最佳的搭载位置与带电粒子束像最亮的位置不一致。这使圆环形状的光圈或电极的最佳的搭载位置难以调整。本发明的课题在于，提供能够简单地将圆环形状的光圈调整为恰当的位置的带电粒子束装置。
用于解决问题的方法
与圆环形状的带电粒子束光圈分别地具备圆孔形状的带电粒子束光圈，能够切换将圆环形状的带电粒子束光圈配置在带电粒子束的光轴上的情况和将圆孔形状的带电粒子束光圈配置在带电粒子束的光轴上的情况。
发明效果
能够适当并且容易地将具有圆环形状的带电粒子束光圈配置到带电粒子束的光轴上。
附图说明
图1是带电粒子束装置的概要图。
图2A是表示带电粒子束光圈部的结构的概要图。
图2B是表示带电粒子束光圈部的结构的概要图。
图2C是表示带电粒子束光圈部的结构的概要图。
图2D是表示带电粒子束光圈部的结构的概要图。
图3是表示第一调整步骤的流程图。
图4是表示第二调整步骤的流程图。
图5是表示第三调整步骤的流程图。
具体实施方式
一边参照附图一边说明本发明的实施方式。但是，本实施方式只不过是实现本发明的一个例子。另外，在各图中，对共通的结构附加相同的参照编号。
图1表示带电粒子束装置的概要。作为其主要部分，带电粒子束装置具备产生带电粒子束的带电粒子束源101、使从带电粒子束源101释放的带电粒子束加速的加速电极102、配置于从加速电极102到物镜105下端近旁的射束管112、使从带电粒子束源101释放的带电粒子束聚束的第一、第二聚束透镜(condenser lens)103、104、屏蔽从带电粒子束源101释放的带电粒子的一部分的具有圆孔形状的第一带电粒子束光圈119、屏蔽从带电粒子束源101释放的带电粒子的一部分的具有圆环形状的第二带电粒子束光圈120、具备使第一和第二带电粒子束光圈119、120移动的驱动机构的带电粒子束光圈器121、向第二带电粒子束光圈120施加电压的带电粒子束光圈电源108、配置在比带电粒子束光圈部靠近带电粒子束源101侧的第一偏转器群123、配置在比带电粒子束光圈部靠近试样侧的第二偏转器群124、使带电粒子束在试样上扫描的第三偏转器群125、使带电粒子束聚束到试样的物镜105、配置试样114的试样室115、检测从试样释放的二次带电粒子的检测器118、检测透过了试样的带电粒子束的透过图案检测面126、观察检测面的图案的照相机127、配置在检测面和照相机之间的光学透镜128。另外，作为控制上述的带电粒子光学系统的各构成要素的控制器，具备控制带电粒子束源101的带电粒子束源控制器151、控制加速电极102的加速电极控制器152、控制第一、第二聚束透镜103、104的第一聚束透镜控制器153、154、控制带电粒子束光圈器121的带电粒子束光圈控制器169、控制带电粒子束光圈电源108的带电粒子束光圈电源控制器158、控制第一偏转器群123的第一偏转器群控制器163、控制第二偏转器群124的第二偏转器群控制器164、控制第三偏转器群125的第三偏转器群控制器165、控制物镜105的物镜控制器155，另外，具备控制检测器118的检测器控制器168、控制照相机127的照相机控制器167。通过进行带电粒子束装置整体的动作的控制和带电粒子束像的构筑的整合计算机170控制这些控制器。整合计算机170与控制器(键盘、鼠标等)171、显示器172连接，操作者能够从控制器171输入照射条件、带电粒子束光圈的电压条件、位置条件这样的各种指示等，将取得的像、控制画面显示到显示器172。
此外，在图1的例子中，具备2个聚束透镜103、104，但在控制入射到物镜105的带电粒子的目的下，聚束透镜的个数没有限制。物镜105具备不使磁场泄漏到磁路外的类型的透镜，但既可以是使磁场泄漏到磁路外的类型的透镜，也可以是具备使磁场泄漏的类型和不使磁场泄漏的类型双方的复合物镜。另外，聚束透镜103、104和物镜105在上述的目的下，既可以是静电透镜，也可以是如增压光学系统(booster optics)、延缓光学系统(retardingoptics)等那样同时使用磁场透镜和静电透镜的物镜，在使带电粒子束聚束到试样114的目的下，透镜的类型没有限制。
另外，在不向第二带电粒子束光圈120施加电压的情况下，不需要带电粒子束光圈电源108和控制它的带电粒子束光圈电源控制器158。同样，在不观察透过像的情况下，不需要透过图案检测面126、照相机127、光学透镜128以及控制照相机127的照相机控制器167。
另外，在图1中，射束管(beam tube)112一般为GND电位(基准电位)，但在增压光学系统中被施加预定的电压。在覆盖带电粒子束的路径的目的下，形状和构成构件的个数没有限制。另外，检测二次带电粒子的检测器118既可以如图1那样配置在试样室115中，也可以配置在安装带电粒子光学系统的柱(column)内。另外，也可以配置在试样室115和柱内这双方。在检测二次带电粒子的目的下，其数目和配置位置没有限制。另外，图1是具备一个带电粒子束柱的带电粒子束装置，但也可以是具备多个带电粒子束柱的复合带电粒子束装置。
使用图2A～2D说明带电粒子束光圈部的结构。如图2A所示，具有圆孔形状的第一带电粒子束光圈119和具有圆环形状的第二带电粒子束光圈120被带电粒子束光圈支持台122支持。(a)是俯视图，(b)是截面图，带电粒子束光圈119、120分别通过压紧螺钉(Osenascrew)129固定在支持台122。此外，为了将压紧螺钉129拧入支持台122的凹部，而设置有在俯视图中能够看到的压紧螺钉129的槽129b。以下表示带电粒子束光圈部的变形例子，但俯视图都大致相同，因此省略。
图2B如专利文献1记载的那样，使圆孔形状的带电粒子束光圈219沿着带电粒子束的光轴方向与圆环形状的带电粒子束光圈120重叠，通过向2个光圈之间施加电压，使其具有像差校正功能。在该情况下，为了使重叠的圆环形状的带电粒子束光圈120和圆孔形状的带电粒子束光圈219为不同的电位，经由绝缘材料130将2个光圈支持在支持台122上，并且通过绝缘性隔板131将圆环形状的带电粒子束光圈120和圆孔形状的带电粒子束光圈219之间绝缘。为了使2个光圈之间产生电压，经由压紧螺钉129向圆孔形状的带电粒子束光圈219施加电压即可。
图1的例子设置有向圆环形状的第二带电粒子束光圈120施加电压的带电粒子束光圈电源108，但既可以如图2A所示，第一带电粒子束光圈119和第二带电粒子束光圈120经由导电体的支持台122电导通，也可以如图2C所示，经由绝缘材料130将第二带电粒子束光圈120固定到支持台122。另外，光圈的固定方法也不应该限定于压紧螺钉129的固定方法，也可以如图2D那样，通过隔板132和压紧板133固定。带电粒子束光圈器121的驱动机构通过使支持台122移动，而进行第一带电粒子束光圈119和第二带电粒子束光圈120的切换、以及各个光圈的位置的调整。支持台122的移动既可以是手动的驱动，也可以是具备步进电动机、压电元件的电动驱动。
说明具有圆环形状的带电粒子束光圈的调整方法。在本实施方式中，首先为了取得包含带电粒子束的光轴调整的带电粒子束像，而对具有圆孔形状的第一带电粒子束光圈119进行必要的调整。圆孔形状的光圈是带电粒子束光圈的普通形状，因此该调整是在普通的带电粒子束装置中用户通常进行的操作。接着，从具有圆孔形状的第一带电粒子束光圈119变更为具有圆环形状的第二带电粒子束光圈120。这时，根据配置了圆孔形状的第一带电粒子束光圈119的位置来配置第二带电粒子束光圈120。由此，用户不进行困难的操作就能够取得使用了圆环光圈的带电粒子束像。以下说明具体的调整步骤。在这些调整步骤中，通过整合计算机170控制带电粒子光学系统的各控制器来实施。
(1)第一调整步骤
使用图3说明第一调整步骤。首先，将具有圆孔形状的第一带电粒子束光圈119移动到带电粒子束的光轴近旁(步骤31)。使用配置在比带电粒子束光圈部靠近带电粒子束源101侧的第一偏转器群123，使带电粒子束进行扫描(步骤32)。这相当于带电粒子束在带电粒子束光圈上扫描。因此，检测器118的输出在带电粒子束扫描光圈的圆孔部时大(亮)，在带电粒子束扫描圆孔部以外时小(暗)。因此，如果根据带电粒子束的扫描位置显示图像，则显示圆形的图像(带电粒子束像)。调整带电粒子束的光轴和第一带电粒子束光圈的位置，使得通过步骤32的扫描显示的圆形在图像(观察视野)的中心最亮(步骤33)。这相当于在普通的带电粒子束装置中实施的带电粒子束光圈的位置调整。
接着，将具有圆环形状的第二带电粒子束光圈120移动到带电粒子束的光轴近旁(步骤34)，与步骤32同样地，使用第一偏转器群123使带电粒子束进行扫描(步骤35)。在带电粒子束光圈上，带电粒子束的射束直径比带电粒子束光圈的直径宽，因此根据带电粒子束的扫描位置显示的图像与光圈的形状无关，与第一带电粒子束光圈时同样，显示圆形的图像(带电粒子束像)。调整第二带电粒子束光圈的位置使得通过步骤35的扫描显示的圆形位于图像(观察视野)的中心(步骤36)。在步骤33中，进行调整使得带电粒子束的光轴穿过第一带电粒子束光圈119的中心。因此，将第一带电粒子束光圈置换为第二带电粒子束光圈，通过第一偏转器群123使带电粒子束进行扫描时显示的圆形的图像(带电粒子束像)不位于图像(观察视野)的中心的理由是因为第二带电粒子束光圈不位于第一带电粒子束光圈所处的位置。因此，通过调整第二带电粒子束光圈的位置使得圆形的图像移动到图像的中心，而调整成第二带电粒子束光圈120位于第一带电粒子束光圈119所处的位置。此外，这时位于中心的圆形的图像并不限于最亮的位置。
(2)第二调整步骤
使用图4说明第二调整步骤。为了比第一调整步骤更高精度地调整带电粒子束装置的光轴，也可以在通过第一调整步骤实施了具有圆环形状的带电粒子束光圈的调整后，通过第二调整步骤进行微调整。
首先，将具有圆孔形状的第一带电粒子束光圈119移动到光轴近旁(步骤41)。一边使物镜105的励磁周期地变动，一边通过第三偏转器群125使带电粒子束在试样上扫描(步骤42)。这时，在光轴不穿过物镜105的中心的情况下，所显示的图像的中心与物镜105的励磁变动同步地移动。因此，使用配置在比带电粒子束光圈部靠近试样侧的第二偏转器群124，调整带电粒子束的路径使得图像的移动停止(步骤43)。图像的移动停止的状态相当于带电粒子束穿过了物镜105的中心。
接着，将具有圆环形状的第二带电粒子束光圈120移动到光轴近旁(步骤44)。与步骤42同样，一边使物镜105的励磁周期地变动，一边使带电粒子束在试样上扫描(步骤45)。这次，调整第二带电粒子束光圈120的位置使得图像的移动停止(步骤46)。这相当于调整得没有插入第一带电粒子束光圈119状态下的带电粒子束的光轴穿过第二带电粒子束光圈120的中心。
此外，在上述的步骤42和45中，也可以代替使物镜105的励磁周期地变化，而通过带电粒子束源控制器151使带电粒子束的加速电压周期地变化，由此进行同样的调整(步骤42a和45a)。
(3)第三调整步骤
使用图5说明第三调整步骤。在第三调整步骤中，使用透过图案进行调整。还是为了比第一调整步骤更高精度地调整带电粒子束装置的光轴，也可以在通过第一调整步骤实施了具有圆环形状的带电粒子束光圈的调整后，通过第三调整步骤进行微调整。
首先，将具有圆孔形状的第一带电粒子束光圈119移动到光轴近旁(步骤51)。使带电粒子束点照射到试样上的一点，使用试样下部的透过图案检测面126、透镜128、以及照相机127，显示透过图案(步骤52)。在该情况下，透过图案的形状为圆形。在步骤52中显示的图案与物镜105的励磁变动、即带电粒子束的焦点变化联动地放大、缩小。一边使焦点变动，一边调整第一带电粒子束光圈119的位置，使得透过图案同心圆状地均匀地放大、缩小(步骤53)。上述那样的图案的变化同心圆状地变得均匀的状态相当于带电粒子束的光轴与带电粒子束光圈的中心一致。
接着，将具有圆环形状的第二带电粒子束光圈120移动到光轴近旁(步骤54)。与步骤52同样，使带电粒子束点照射到试样上的一点，显示透过图案(步骤55)。在该情况下，透过图案的形状为圆环形状。调整第二带电粒子束光圈119的位置，使得步骤53的状态的透过图案的中心与在步骤55中插入了第二带电粒子束光圈119时的透过图案的中心一致(步骤56)。这相当于调整得插入了第一带电粒子束光圈119的状态下的带电粒子束的光轴穿过第二带电粒子束光圈120的中心。
此外，在上述步骤53中，也可以代替调整第一带电粒子束光圈120的位置，而使用配置在比带电粒子束光圈部靠近试样侧的第二偏转器群124，调整带电粒子束的路径而使透过图案的变化同心圆状地变得均匀，由此进行同样的调整(步骤53a)。
以上说明了第一～第三调整步骤。在这些调整步骤中，也可以手动地使光圈移动，但如果能够通过带电粒子束装置具备的控制器控制具有电动驱动功能的带电粒子束光圈器，则更方便。作为实现电动驱动机构的一个例子，可以考虑以下的结构，即通过步进电动机进行切换第一带电粒子束光圈119和第二带电粒子束光圈120那样的大的移动，使用压电元件进行微调各带电粒子束光圈的位置那样的要求精度的移动。另外，也可以构成为使用用于进行大的移动的步进电动机或压电元件、微调整用的步进电动机或压电元件。另外，也可以使用单一的步进电动机或压电元件兼顾大的移动和高精度的移动。在实现电动驱动机构的目的下，其手段没有限制。
进而，也可以存储带电粒子束光圈的位置，将带电粒子束光圈的位置显示到显示器172，或存储预先调整的恰当的第二带电粒子束光圈120的位置，用户只通过选择第二带电粒子束光圈，就通过带电粒子束光圈器121将第二带电粒子束光圈120设定到所存储的位置。由此，用户能够简单地使用配置在最佳的位置的带电粒子束光圈进行观察或加工，能够提高可用性。
符号说明
101：带电粒子束源；102：加速电极；103：第一聚束透镜；104：第二聚束透镜；105：物镜；108：带电粒子束光圈电源；112：射束管；114：试样；115：试样室；118：检测器；119：具有圆孔形状的第一带电粒子束光圈；120：具有圆环形状的第二带电粒子束光圈；121：带电粒子束光圈器；123：第一偏转器群；124：第二偏转器群；125：第三偏转器群；126：透过图案检测面；127：照相机；128：光学透镜；129：压紧螺钉；130：绝缘材料；131：绝缘性隔板；132：隔板；133：压紧板；151：带电粒子束源控制器；152：加速电极控制器；153：第一聚束透镜控制器；154：第二聚束透镜控制器；155：物镜控制器；158：带电粒子束光圈电源控制器；163：第一偏转器群控制器；164：第二偏转器群控制器；165：第三偏转器群控制器；167：照相机控制器；168：检测器控制器；169：带电粒子束光圈控制器；170：整合计算机；171：控制器；172：显示器。

Claims (14)

1.一种带电粒子束装置，其特征在于，具备：
带电粒子束源，其产生带电粒子束；
第一带电粒子束光圈，其具有圆孔形状；
第二带电粒子束光圈，其具有圆环形状；
带电粒子束光圈器，其具备使上述第一带电粒子束光圈和上述第二带电粒子束光圈移动的驱动机构，通过上述驱动机构进行上述第一带电粒子束光圈和上述第二带电粒子束光圈的切换；
第一偏转器群，其配置在上述带电粒子束源与上述第一带电粒子束光圈或上述第二带电粒子束光圈之间；
物镜，其使上述带电粒子束聚束到试样；
检测器，其检测上述带电粒子束照射到上述试样而释放的二次带电粒子；以及
计算机，其基于由上述检测器检测出的二次带电粒子形成带电粒子像，
设定上述带电粒子束的光轴和上述第一带电粒子束光圈的位置以便通过上述第一偏转器群使上述带电粒子束在上述第一带电粒子束光圈上进行扫描而得的圆形的带电粒子束像在图像的中心最亮，之后，通过上述驱动机构从上述第一带电粒子束光圈切换到上述第二带电粒子束光圈，将切换后的上述第二带电粒子束光圈的位置设定成通过上述第一偏转器群使上述带电粒子束在上述第二带电粒子束光圈上进行扫描而得的圆形的带电粒子束像位于图像的中心。
2.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，
具备：带电粒子束光圈电源，其向上述第二带电粒子束光圈施加电压。
3.根据权利要求2所述的带电粒子束装置，其特征在于，
对于上述第二带电粒子束光圈，具有圆环形状的带电粒子束光圈和具有圆孔形状的带电粒子束光圈在上述带电粒子束的光轴方向上重叠，通过上述带电粒子束光圈电源向上述具有圆环形状的带电粒子束光圈与上述具有圆孔形状的带电粒子束光圈之间施加电压。
4.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，
存储上述第二带电粒子束光圈被设定的位置，
选择上述第二带电粒子束光圈，由此通过上述带电粒子束光圈器将上述第二带电粒子束光圈移动到上述设定的位置。
5.一种带电粒子束装置，其特征在于，具备：
带电粒子束源，其产生带电粒子束；
物镜，其使上述带电粒子束聚束到试样；
第一带电粒子束光圈，其具有圆孔形状；
第二带电粒子束光圈，其具有圆环形状；
带电粒子束光圈器，其具备使上述第一带电粒子束光圈和上述第二带电粒子束光圈移动的驱动机构，通过上述驱动机构进行上述第一带电粒子束光圈和上述第二带电粒子束光圈的切换；
第二偏转器群和第三偏转器群，其配置在上述物镜与上述第一带电粒子束光圈或上述第二带电粒子束光圈之间；
检测器，其检测上述带电粒子束照射到上述试样而释放的二次带电粒子；以及
计算机，其基于由上述检测器检测出的二次带电粒子形成带电粒子像，
通过上述第二偏转器群调整上述带电粒子束的路径以便使上述物镜的励磁周期性变动的同时通过上述第三偏转器群使上述带电粒子束在上述试样上进行扫描而得的带电粒子束像中的与上述物镜的励磁的周期性变动同步的图像的移动停止，之后，通过上述驱动机构从上述第一带电粒子束光圈切换到上述第二带电粒子束光圈，将切换后的上述第二带电粒子束光圈的位置设定成使上述物镜的励磁周期性变动的同时通过上述第三偏转器群使上述带电粒子束在上述试样上进行扫描而得的带电粒子束像中的与上述物镜的励磁的周期性变动同步的移动停止。
6.根据权利要求5所述的带电粒子束装置，其特征在于，
代替通过使上述物镜的励磁周期性变动而产生的与上述物镜的励磁的周期性变动同步的上述带电粒子束像中的图像的移动，而根据通过使上述带电粒子束源的加速电压周期性变动而产生的与上述加速电压的周期性变动同步的上述带电粒子束像中的图像的移动，设定上述第二带电粒子束光圈的位置。
7.根据权利要求5所述的带电粒子束装置，其特征在于，
具备：带电粒子束光圈电源，其向上述第二带电粒子束光圈施加电压。
8.根据权利要求7所述的带电粒子束装置，其特征在于，
对于上述第二带电粒子束光圈，具有圆环形状的带电粒子束光圈和具有圆孔形状的带电粒子束光圈在上述带电粒子束的光轴方向上重叠，通过上述带电粒子束光圈电源向上述具有圆环形状的带电粒子束光圈与上述具有圆孔形状的带电粒子束光圈之间施加电压。
9.根据权利要求5所述的带电粒子束装置，其特征在于，
存储上述第二带电粒子束光圈被设定的位置，
选择上述第二带电粒子束光圈，由此通过上述带电粒子束光圈器将上述第二带电粒子束光圈移动到上述设定的位置。
10.一种带电粒子束装置，其特征在于，
带电粒子束源，其产生带电粒子束；
物镜，其使上述带电粒子束聚束到试样；
第一带电粒子束光圈，其具有圆孔形状；
第二带电粒子束光圈，其具有圆环形状；
带电粒子束光圈器，其具备使上述第一带电粒子束光圈和上述第二带电粒子束光圈移动的驱动机构，通过上述驱动机构进行上述第一带电粒子束光圈和上述第二带电粒子束光圈的切换；
第二偏转器群，其配置在上述物镜与上述第一带电粒子束光圈或上述第二带电粒子束光圈之间；
透过图案检测面，其检测透过了上述试样的上述带电粒子束；
照相机，其观察上述透过图案检测面的图案，
调整上述第一带电粒子束光圈的位置以便使上述物镜的励磁周期性变动的同时使上述带电粒子束点照射到上述试样而得的透过图案与上述物镜的励磁的周期性变动同步地同心圆状地均匀放大、缩小，之后，通过上述驱动机构从上述第一带电粒子束光圈切换到上述第二带电粒子束光圈，将切换后的上述第二带电粒子束光圈的位置设定成调整上述第一带电粒子束光圈的位置后的状态下的上述透过图案的中心与通过了切换后的上述第二带电粒子束光圈的上述带电粒子束透过上述试样而检测出的透过图案的中心一致。
11.根据权利要求10所述的带电粒子束装置，其特征在于，
通过上述第二偏转器群调整上述带电粒子束的路径，来代替上述第一带电粒子束光圈的位置的调整。
12.根据权利要求10所述的带电粒子束装置，其特征在于，
具备：带电粒子束光圈电源，其向上述第二带电粒子束光圈施加电压。
13.根据权利要求12所述的带电粒子束装置，其特征在于，
对于上述第二带电粒子束光圈，具有圆环形状的带电粒子束光圈和具有圆孔形状的带电粒子束光圈在上述带电粒子束的光轴方向上重叠，通过上述带电粒子束光圈电源向上述具有圆环形状的带电粒子束光圈与上述具有圆孔形状的带电粒子束光圈之间施加电压。
14.根据权利要求10所述的带电粒子束装置，其特征在于，
存储上述第二带电粒子束光圈被设定的位置，
选择上述第二带电粒子束光圈，由此通过上述带电粒子束光圈器将上述第二带电粒子束光圈移动到上述设定的位置。
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