CN111965952A - 用于光刻机上的真空检测装置 - Google Patents

用于光刻机上的真空检测装置 Download PDF

Info

Publication number
CN111965952A
CN111965952A CN202010902638.XA CN202010902638A CN111965952A CN 111965952 A CN111965952 A CN 111965952A CN 202010902638 A CN202010902638 A CN 202010902638A CN 111965952 A CN111965952 A CN 111965952A
Authority
CN
China
Prior art keywords
plate
connecting plate
detection device
base
fixedly connected
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202010902638.XA
Other languages
English (en)
Inventor
王群
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jiangsu Jiudi Laser Equipment Technology Co ltd
Original Assignee
Jiangsu Jiudi Laser Equipment Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jiangsu Jiudi Laser Equipment Technology Co ltd filed Critical Jiangsu Jiudi Laser Equipment Technology Co ltd
Priority to CN202010902638.XA priority Critical patent/CN111965952A/zh
Publication of CN111965952A publication Critical patent/CN111965952A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
    • G03F7/7085—Detection arrangement, e.g. detectors of apparatus alignment possibly mounted on wafers, exposure dose, photo-cleaning flux, stray light, thermal load

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Epidemiology (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Abstract

本发明公开了用于光刻机上的真空检测装置，包括底座，所述底座上固定连接有两个支撑板，两个所述支撑板之间固定连接有安装板，所述安装板与底座之间设有可以升降的连接板，所述连接板的两端均设有可以调节的压板机构，所述底座上设有滑动槽，所述滑动槽内滑动连接有两个压台，两个所述压台与两个支撑板之间设有传动机构，所述连接板的底部设有可以移动的真空检测装置，所述压板机构包括设置在连接板内的安装槽，所述安装槽内滑动连接有L型板，所述连接板上贯穿设有与其螺纹连接的定位螺栓。本发明结构合理，可以对不同大小的掩膜版进行限位，便于对其进行真空检测，实用性较好，也可以对掩膜版进行保护，防止其受损。

Description

用于光刻机上的真空检测装置
技术领域
本发明涉及直写光刻机吸盘技术领域，尤其涉及用于光刻机上的真空检测装置。
背景技术
真空检测装置在光刻机传片、传版以及各移动平台部分具有重要的作用；对掩膜版进行真空检测时，首先将掩膜版进行限位固定，由于保证对其检测时的稳定性；现有的对掩膜版固定的工具功能比较单一，实用效果差，从而对多种掩膜版进行限位时，需要多种限位装置，增加了检测成本，因此我们设计了用于光刻机上的真空检测装置来解决以上问题。
发明内容
本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的用于光刻机上的真空检测装置，其可以对不同大小的掩膜版进行限位，便于对其进行真空检测，实用性较好，也可以对掩膜版进行保护，防止其受损。
为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：
用于光刻机上的真空检测装置，包括底座，所述底座上固定连接有两个支撑板，两个所述支撑板之间固定连接有安装板，所述安装板与底座之间设有可以升降的连接板，所述连接板的两端均设有可以调节的压板机构，所述底座上设有滑动槽，所述滑动槽内滑动连接有两个压台，两个所述压台与两个支撑板之间设有传动机构，所述连接板的底部设有可以移动的真空检测装置。
优选地，所述支撑板的底部固定连接有两个液压缸，两个所述液压缸的输出端均与连接板上端固定连接。
优选地，所述压板机构包括设置在连接板内的安装槽，所述安装槽内滑动连接有L型板，所述连接板上贯穿设有与其螺纹连接的定位螺栓，所述定位螺栓与L型板相抵，所述L型板的底部固定连接有橡胶板。
优选地，所述连接板的底部固定连接有两个定位块，两个所述定位块之间安装有电动滑轨，所述电动滑轨上滑动安装有与其相配套的电动滑块，所述真空检测装置安装在电动滑块的底部。
优选地，两个所述支撑板与底座和安装板之间均通过焊接相连接。
优选地，所述底座的底部设有四个锁止万向轮，四个所述锁止万向轮均通过螺栓与底座的底部相连接。
优选地，所述传动机构包括与其中一个支撑板转动连接的第一螺杆，所述第一螺杆的另一端固定连接有第二螺杆，所述第一螺杆和第二螺杆分别贯穿同侧的压台并与其螺纹连接，所述第二螺杆贯穿另一个支撑板并与其转动连接，所述第二螺杆的另一端固定连有把手。
优选地，所述第一螺杆和第二螺杆的螺纹方向相反。
优选地，两个所述压台上分别延伸板和延伸槽，所述延伸板延伸至延伸槽内并与其滑动连接。
本发明与现有技术相比，其有益效果为：
本发明，通过压板机构、传动机构和两个工作台，可以对不同大小的掩膜版进行限位且稳定性足，便于对其进行真空检测，实用性较好且操作简单方便，通过橡胶板可以对掩膜版进行限位的同时，又可以对其进行保护。
综上所述，本发明结构合理，可以对不同大小的掩膜版进行限位，便于对其进行真空检测，实用性较好，也可以对掩膜版进行保护，防止其受损。
附图说明
图1为本发明提出的用于光刻机上的真空检测装置的结构示意图；
图2为本发明提出的用于光刻机上的真空检测装置中部分结构连接示意图；
图3为本发明提出的用于光刻机上的真空检测装置中真空检测装置与电动滑块的连接示意图。
图中：1底座、2支撑板、3安装板、4液压缸、5连接板、6橡胶板、7L型板、8真空检测装置、9压台、10锁止万向轮、11定位块、12电动滑轨、13电动滑块、14滑动槽、15延伸板、16延伸槽、17第一螺杆、18第二螺杆、19把手、20安装槽、21定位螺栓。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语中若有“第一”、“第二”，其仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
参照图1-3，用于光刻机上的真空检测装置，包括底座1，底座1上固定连接有两个支撑板2，两个支撑板2之间固定连接有安装板3，两个支撑板2与底座1和安装板3之间均通过焊接相连接，可以增加其之间连接的稳固性和支撑力；安装板3与底座1之间设有可以升降的连接板5，支撑板2的底部固定连接有两个液压缸4，两个液压缸4的输出端均与连接板5上端固定连接。
连接板5的两端均设有可以调节的压板机构，压板机构包括设置在连接板5内的安装槽20，安装槽20内滑动连接有L型板7，连接板5上贯穿设有与其螺纹连接的定位螺栓21，定位螺栓21与L型板7相抵，L型板7的底部固定连接有橡胶板6，通过调节两个L型板7之间距离，可以实现两个橡胶板6之间距离的调节，进而可以对不同大小的PCB板进行压边处理。
底座1上设有滑动槽14，滑动槽14内滑动连接有两个压台9，两个压台9与两个支撑板2之间设有传动机构，传动机构包括与其中一个支撑板2转动连接的第一螺杆17，第一螺杆17的另一端固定连接有第二螺杆18，第一螺杆17和第二螺杆18分别贯穿同侧的压台9并与其螺纹连接，第二螺杆18贯穿另一个支撑板2并与其转动连接，第二螺杆18的另一端固定连有把手19，第一螺杆17和第二螺杆18的螺纹方向相反，由于压台9在滑动槽14的限位下无法转动，因此转动第一螺杆17和第二螺杆18可以实现两个压台9相对或者相背移动。
连接板5的底部设有可以移动的真空检测装置8，真空检测装置8为现有技术(可参照申请号为CN201621492895.6)，真空检测装置8的最底部高于橡胶板6的最底部。
具体的，连接板5的底部固定连接有两个定位块11，两个定位块11之间安装有电动滑轨12，电动滑轨12上滑动安装有与其相配套的电动滑块13，真空检测装置8安装在电动滑块13的底部，此为现有技术，通过电动滑轨12和电动滑块13的配合，可以实现真空检测装置8的移动，可以进行真空检测。
两个压台9上分别延伸板15和延伸槽16，延伸板15延伸至延伸槽16内并与其滑动连接，延伸板15固定在压台9的一侧且与压台9的上端面齐平，如图1所示；底座1的底部设有四个锁止万向轮10，四个锁止万向轮10均通过螺栓与底座1的底部相连接。
本发明中，当需要对掩膜版进行震动检测时，工作人员可以手动转动把手19，把手19转动带动第二螺杆18和第一螺杆17转动，由于第二螺杆18和第一螺杆17螺纹方向相反且压台9在滑动槽14的限位下无法转动，因此第一螺杆17和第二螺杆18转动时，可以实现两个压台9相对或者相反移动，相对应的延伸板15在延伸槽16内滑动，如此可以控制两个压台9上表面的大小，可以放置不同大小的掩膜版，实用性较好；调节完成后，工作人员将掩膜版放置在压台9上，然后工作人员可以移动两个L型板7，使得两个L型板7相对面之间的距离与两个压台9相背面的距离相同，然后转动定位螺栓21使其与L型板7紧紧相抵，实现对L型板7的定位。
然后启动液压缸4，液压缸4的输出端向下移动带动连接板5向下移动，首先橡胶板6先与掩膜版相抵并对其进行限位使其不易移动，此时L型板7扣在压台9上，可以保证压边时竖直方向上的稳固性；然后启动电动滑轨12和真空检测装置8，电动滑块13在电动滑轨12上滑动带动真空检测装置8移动，如此可以对掩膜版的表面进行真空检测。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.用于光刻机上的真空检测装置，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)上固定连接有两个支撑板(2)，两个所述支撑板(2)之间固定连接有安装板(3)，所述安装板(3)与底座(1)之间设有可以升降的连接板(5)，所述连接板(5)的两端均设有可以调节的压板机构，所述底座(1)上设有滑动槽(14)，所述滑动槽(14)内滑动连接有两个压台(9)，两个所述压台(9)与两个支撑板(2)之间设有传动机构，所述连接板(5)的底部设有可以移动的真空检测装置(8)。
2.根据权利要求1所述的用于光刻机上的真空检测装置，其特征在于，所述支撑板(2)的底部固定连接有两个液压缸(4)，两个所述液压缸(4)的输出端均与连接板(5)上端固定连接。
3.根据权利要求1所述的用于光刻机上的真空检测装置，其特征在于，所述压板机构包括设置在连接板(5)内的安装槽(20)，所述安装槽(20)内滑动连接有L型板(7)，所述连接板(5)上贯穿设有与其螺纹连接的定位螺栓(21)，所述定位螺栓(21)与L型板(7)相抵，所述L型板(7)的底部固定连接有橡胶板(6)。
4.根据权利要求1所述的用于光刻机上的真空检测装置，其特征在于，所述连接板(5)的底部固定连接有两个定位块(11)，两个所述定位块(11)之间安装有电动滑轨(12)，所述电动滑轨(12)上滑动安装有与其相配套的电动滑块(13)，所述真空检测装置(8)安装在电动滑块(13)的底部。
5.根据权利要求1所述的用于光刻机上的真空检测装置，其特征在于，两个所述支撑板(2)与底座(1)和安装板(3)之间均通过焊接相连接。
6.根据权利要求1所述的用于光刻机上的真空检测装置，其特征在于，所述底座(1)的底部设有四个锁止万向轮(10)，四个所述锁止万向轮(10)均通过螺栓与底座(1)的底部相连接。
7.根据权利要求1所述的用于光刻机上的真空检测装置，其特征在于，所述传动机构包括与其中一个支撑板(2)转动连接的第一螺杆(17)，所述第一螺杆(17)的另一端固定连接有第二螺杆(18)，所述第一螺杆(17)和第二螺杆(18)分别贯穿同侧的压台(9)并与其螺纹连接，所述第二螺杆(18)贯穿另一个支撑板(2)并与其转动连接，所述第二螺杆(18)的另一端固定连有把手(19)。
8.根据权利要求7所述的用于光刻机上的真空检测装置，其特征在于，所述第一螺杆(17)和第二螺杆(18)的螺纹方向相反。
9.根据权利要求7所述的用于光刻机上的真空检测装置，其特征在于，两个所述压台(9)上分别延伸板(15)和延伸槽(16)，所述延伸板(15)延伸至延伸槽(16)内并与其滑动连接。
CN202010902638.XA 2020-09-01 2020-09-01 用于光刻机上的真空检测装置 Pending CN111965952A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010902638.XA CN111965952A (zh) 2020-09-01 2020-09-01 用于光刻机上的真空检测装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010902638.XA CN111965952A (zh) 2020-09-01 2020-09-01 用于光刻机上的真空检测装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN111965952A true CN111965952A (zh) 2020-11-20

Family

ID=73400254

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202010902638.XA Pending CN111965952A (zh) 2020-09-01 2020-09-01 用于光刻机上的真空检测装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN111965952A (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112904663A (zh) * 2021-02-05 2021-06-04 江苏高光半导体材料有限公司 一种超薄掩膜版及其加工方法
CN113176715A (zh) * 2021-04-26 2021-07-27 上海图双精密装备有限公司 一种用于光刻机上的真空检测装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20160039126A1 (en) * 2013-03-15 2016-02-11 Nanonex Corporation Imprint lithography system and method for manufacturing
CN206421158U (zh) * 2016-12-30 2017-08-18 杭州士兰集成电路有限公司 用于光刻机上的真空检测装置
CN108717222A (zh) * 2018-04-24 2018-10-30 安徽春辉仪表线缆集团有限公司 一种可调节的光纤阵列制作夹具
CN211375314U (zh) * 2020-03-12 2020-08-28 青岛天仁微纳科技有限责任公司 一种防止溢胶粘连装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20160039126A1 (en) * 2013-03-15 2016-02-11 Nanonex Corporation Imprint lithography system and method for manufacturing
CN206421158U (zh) * 2016-12-30 2017-08-18 杭州士兰集成电路有限公司 用于光刻机上的真空检测装置
CN108717222A (zh) * 2018-04-24 2018-10-30 安徽春辉仪表线缆集团有限公司 一种可调节的光纤阵列制作夹具
CN211375314U (zh) * 2020-03-12 2020-08-28 青岛天仁微纳科技有限责任公司 一种防止溢胶粘连装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112904663A (zh) * 2021-02-05 2021-06-04 江苏高光半导体材料有限公司 一种超薄掩膜版及其加工方法
CN113176715A (zh) * 2021-04-26 2021-07-27 上海图双精密装备有限公司 一种用于光刻机上的真空检测装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN111965952A (zh) 用于光刻机上的真空检测装置
CN111238978A (zh) 一种水利工程坝体的强度检测设备
CN218747338U (zh) 一种汽车保险杠生产用定位夹持设备
CN116372729A (zh) 一种木制品加工用表面平整装置
CN215749667U (zh) 一种定角度木板打孔机辅助装置
CN112388439B (zh) 一种多功能的塑胶制品加工装置
CN213322197U (zh) 全自动贴版机
CN213702581U (zh) 一种气瓶加工用固定装置
CN113858083A (zh) 一种pcb板定向夹持装置、测试装置及夹持方法
CN216501615U (zh) 一种用于金属板材校平的压力装置
CN112894426A (zh) 一种机械工件加工的夹紧设备
CN215144114U (zh) 汽车冲压板件夹持设备
CN221698188U (zh) 一种制版机ps板定位装置
CN219094839U (zh) 一种快速定位型精密虎钳
CN221416369U (zh) 一种可调节固定机构
CN220347037U (zh) 钣金铆压原料定位辅助台
CN216990093U (zh) 一种电脑壳体加工用废料切除装置
CN220240704U (zh) 一种汽车用金属板材的辅助定位装置
CN219777836U (zh) 一种电气设备质量检测装置
CN220455377U (zh) 一种键盘pcba组件测试架
JPH0476793B2 (zh)
CN113587767B (zh) 一种汽车调角器零件侧向位置度和型面轮廓度组合检测装置
CN221620905U (zh) 一种五金钣金用辅助装置
CN218696270U (zh) 一种五轴加工中心用固定装置
CN115741606B (zh) 工件检测工作台

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20201120