CN111927817B - 磁悬浮分子泵控制方法、控制器和控制系统 - Google Patents
磁悬浮分子泵控制方法、控制器和控制系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN111927817B CN111927817B CN202010998693.3A CN202010998693A CN111927817B CN 111927817 B CN111927817 B CN 111927817B CN 202010998693 A CN202010998693 A CN 202010998693A CN 111927817 B CN111927817 B CN 111927817B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- parameter
- suspension
- pump
- parameters
- magnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D27/00—Control, e.g. regulation, of pumps, pumping installations or pumping systems specially adapted for elastic fluids
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/048—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps comprising magnetic bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D27/00—Control, e.g. regulation, of pumps, pumping installations or pumping systems specially adapted for elastic fluids
- F04D27/001—Testing thereof; Determination or simulation of flow characteristics; Stall or surge detection, e.g. condition monitoring
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/05—Shafts or bearings, or assemblies thereof, specially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/056—Bearings
- F04D29/058—Bearings magnetic; electromagnetic
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
Abstract
本发明提供了一种磁悬浮分子泵控制方法、控制器和控制系统,涉及磁悬浮分子泵的技术领域,控制包括:获取泵内控制模块发送的第一参数的参数值;所述第一参数预先存储在泵内控制模块;所述第一参数包括悬浮参数,悬浮参数包括:偏置电压和目标参数;比对预先存储的第一参数的参数值与所述泵内控制模块发送的第一参数的参数值是否相同,如果不同,则重新计算悬浮参数中的偏置电压,得到最新悬浮参数值;根据所述最新悬浮参数值更新预先存储在磁悬浮分子泵控制器的悬浮参数,并将最新悬浮参数值发送至泵内控制模块,以更新存储在泵内控制模块的悬浮参数。本发明能够实现磁悬浮分子泵的自动校准,增强通用性,扩大适用范围,延长寿命,提高产品质量。
Description
技术领域
本发明涉及磁悬浮分子泵技术领域,尤其是涉及一种磁悬浮分子泵控制方法、控制器和控制系统。
背景技术
磁悬浮分子泵是一种新型高性能分子泵,由于具有无摩擦、无需润滑、无污染、高速度、寿命长等优点,因此磁悬浮分子泵广泛用于高真空度、高洁净度的真空获得领域。磁悬浮分子泵的原理是通过磁轴承产生电磁力对转子进行支撑,使转子悬浮在空中,实现转子和定子之间无机械接触且转子位置可主动控制。
由于磁悬浮分子泵在制造过程中存在误差,使得每个磁悬浮分子泵之间使其正常工作的悬浮参数不一致,从而导致各个泵配置的控制器不能互换。
发明内容
本发明的目的在于提供一种磁悬浮分子泵控制方法、控制器和控制系统,能够实现磁悬浮分子泵的自动校准,增强通用性,扩大适用范围,延长寿命,提高产品质量。
第一方面,本发明提供的一种磁悬浮分子泵控制方法,应用于磁悬浮分子泵控制器,所述方法包括:
获取泵内控制模块发送的第一参数的参数值;所述第一参数预先存储在泵内控制模块;所述第一参数包括悬浮参数,所述悬浮参数包括:偏置电压和目标参数,所述偏置电压为转子位于中心位置时位置传感器输出的电压值,所述目标参数为除偏置电压之外的其余悬浮参数;
比对预先存储在磁悬浮分子泵控制器的第一参数的参数值与所述泵内控制模块发送的第一参数的参数值是否相同,如果不同,则重新计算悬浮参数中的偏置电压,得到最新悬浮参数值,其中,所述最新悬浮参数值中目标参数的参数值采用所述泵内控制模块中目标参数的参数值;
根据所述最新悬浮参数值更新预先存储在磁悬浮分子泵控制器的悬浮参数,并将最新悬浮参数值发送至泵内控制模块,以更新存储在泵内控制模块的悬浮参数。
在可选的实施方式中,所述第一参数包括悬浮参数和/或角度参数,所述角度参数为转子与水平方向或垂直方向的夹角。
在可选的实施方式中,所述第一参数还包括泵体累计使用时间或磁悬浮分子泵控制器的累计闲置时间。
在可选的实施方式中,所述重新计算悬浮参数中的偏置电压的步骤包括:
向位于转子上端的第一磁轴承提供电压,当位置传感器检测到转子与泵体上表面贴合时,采集位置传感器输出的第一电压值;其中,所述位置传感器用于采集转子位置;
向位于转子下端的第二磁轴承提供电压,当位置传感器检测到转子与泵体下表面贴合时,采集位置传感器输出的第二电压值;所述第二磁轴承与所述第一磁轴承的位置对应;
根据所述第一电压值和所述第二电压值计算的所述第一磁轴承和所述第二磁轴承对应的偏置电压;
将位于转子上端的第三磁轴承作为第一磁轴承,将位于转子下端的第四磁轴承作为第二磁轴承,重复执行上述步骤,直至得到所有磁轴承对应的偏置电压。
第二方面,本发明提供的一种磁悬浮分子泵控制器,包括:
获取模块,用于获取泵内控制模块发送的第一参数的参数值;所述第一参数预先存储在泵内控制模块;所述第一参数包括悬浮参数,所述悬浮参数包括:偏置电压和目标参数,所述偏置电压为转子位于中心位置时位置传感器输出的电压值,所述目标参数为除偏置电压之外的其余悬浮参数;
悬浮参数计算模块,用于比对预先存储在磁悬浮分子泵控制器的第一参数的参数值与所述泵内控制模块发送的第一参数的参数值是否相同,如果不同,则重新计算悬浮参数中的偏置电压,得到最新悬浮参数值,其中,所述最新悬浮参数值中目标参数的参数值采用所述泵内控制模块中目标参数的参数值;
更新模块,用于根据所述最新悬浮参数值更新预先存储在磁悬浮分子泵控制器的悬浮参数,并将最新悬浮参数值发送至泵内控制模块,以更新存储在泵内控制模块的悬浮参数。
第三方面,本发明提供的一种磁悬浮分子泵控制系统,包括泵内控制模块和第二方面所述的磁悬浮分子泵控制器,所述泵内控制模块和所述磁悬浮分子泵控制器相连接。
在可选的实施方式中,还包括角度采集模块,所述角度采集模块用于采集角度参数;所述角度采集模块与所述泵内控制模块相连接。
在可选的实施方式中,还包括位置传感器,所述位置传感器与所述磁悬浮分子泵控制器相连接。
第四方面,实施例提供一种电子设备,包括存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的计算机程序,所述处理器执行所述计算机程序时实现所述前述实施方式任一项所述的方法的步骤。
第五方面,实施例提供一种具有处理器可执行的非易失的程序代码的计算机可读介质,所述程序代码使所述处理器执行所述前述实施方式任一项所述方法。
本发明提供的磁悬浮分子泵控制方法、控制器和控制系统,通过获取泵内控制器发送的第一参数,比较其与存储在磁悬浮分子泵控制器中的第一参数的大小是否相同,如果相同,则无需更新磁悬浮参数;如果不同,则重新计算悬浮参数中的偏置电压,得到最新悬浮参数值,根据最新悬浮参数值更新第一参数中的悬浮参数值;由于泵内控制模块和磁悬浮分子泵控制器都预先存储了第一参数,因此磁悬浮分子泵控制器更新存储的悬浮参数的同时需要将最新悬浮参数值发送至泵内控制模块;这样磁悬浮分子泵控制器就能以最新悬浮参数值进行控制;本发明能够实现磁悬浮分子泵的自动校准,增强通用性,扩大适用范围,延长寿命,提高产品质量。
附图说明
为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案,下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本发明的一些实施方式,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例提供的一种磁悬浮分子泵控制方法的流程图;
图2为本发明实施例提供的一种磁悬浮分子泵控制器的原理图;
图3为本发明实施例提供的一种磁悬浮分子泵控制系统的原理图;
图4为本发明实施例提供的电子设备的原理图。
图标:21-获取模块;22-悬浮参数计算模块;23-更新模块;31-磁悬浮分子泵控制器;32-泵内控制模块;33-角度采集模块;34-位置传感器;400-电子设备;401-通信接口;402-处理器;403-存储器;404-总线。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
因此,以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围,而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一个附图中被定义,则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
在本发明的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”等仅用于区分描述,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明的描述中,还需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
下面结合附图,对本发明的一些实施方式作详细说明。在不冲突的情况下,下述的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
目前,磁悬浮分子泵的型号繁多,不同型号的分子泵所需的驱动控制程序是不同的,现有的磁悬浮分子泵控制器中只内置有一种驱动控制程序,只能驱动和控制一种分子泵,因此不同型号的磁悬浮分子泵只能与匹配的磁悬浮分子泵控制器配合使用,也就是说现有技术中磁悬浮分子泵有多少种型号就需要多少种与之对应的磁悬浮分子泵控制器。
不同型号的磁悬浮分子泵其转轴和叶轮的结构均不相同,使用的磁轴承和电机的尺寸、功率和驱动策略均不同。为了满足不同型号磁悬浮分子泵的控制,需要设计不同的磁悬浮分子泵控制器对其进行控制。
由于磁悬浮分子泵在制造过程中存在误差,使得每个磁悬浮分子泵之间使其正常工作的悬浮参数不一致,从而导致各个泵配置的控制器不能互换。基于此,本发明提供一种磁悬浮分子泵控制方法、控制器和控制系统,能够实现磁悬浮分子泵的自动校准,增强通用性,扩大适用范围,延长寿命,提高产品质量,下面通过实施例对本发明进行详细介绍。
参照图1,本实施例提供的一种磁悬浮分子泵控制方法,应用于磁悬浮分子泵控制器,方法包括如下步骤:
S110,获取泵内控制模块发送的第一参数的参数值;第一参数预先存储在泵内控制模块;第一参数包括悬浮参数。
要控制磁悬浮分子泵安全的正常的工作,则需要磁悬浮分子泵与相匹配的磁悬浮分子泵控制器配合使用,在不能确保磁悬浮分子泵控制器与当前使用的磁悬浮分子泵是否匹配时,则需要对二者内部预先存储的第一参数进行判断与匹配。第一参数包括悬浮参数,悬浮参数包括:偏置电压和目标参数,偏置电压为转子位于中心位置时位置传感器输出的电压值,目标参数为除偏置电压之外的其余悬浮参数,目标参数至少包括:PID参数、相位补偿参数、滤波参数。
磁悬浮分子泵中第一参数的数值来源和选取是通过出厂前微调确认的泵体最佳匹配参数,因为泵体在制作和组装时的误差以及转子材质、自重的区别等,所以每个泵体的第一参数是不同的;磁悬浮分子泵控制器在初次使用时,其第一参数的数值为与其配套使用的磁悬浮分子泵中存储的第一参数的数值,非初次使用时,其存储的第一参数数值为最后一次控制磁悬浮分子泵时的参数值。
在本步骤中,磁悬浮分子泵控制器接收磁悬浮分子泵的泵内控制模块发送的第一参数的参数值。在这里,泵内控制模块包括泵内存储模块(采用单片机内部的FLASH存储),第一参数预先存储在泵内存储模块;第一参数可以是悬浮参数、角度参数、时间参数,可以是他们中的一个或多个。
另外,泵内存储模块还存储偏置电压、泵体使用时间等泵体有关参数。泵内控制模块还包括第一控制器、第一时钟模块和第一通信模块,第一控制器分别与第一时钟模块、第一通信模块和泵内存储模块相连。泵体使用时间由第一时钟模块进行记录;而第一通信模块用于实现泵内控制模块和磁悬浮分子泵控制器的通信。
在具体实施时,可以先采集磁悬浮的角度参数,根据角度参数调取预先存储的与角度相对应的悬浮参数。这里的角度参数是指转子与水平方向或垂直方向的夹角。
S120,比对预先存储在磁悬浮分子泵控制器的第一参数的参数值与泵内控制模块发送的第一参数的参数值是否相同,如果不同,则重新计算悬浮参数中的偏置电压,得到最新悬浮参数值。
磁悬浮的原理是通过磁轴承的电流来悬浮中间的转子,转子的头尾两端分别布置五个磁轴承,例如,位于头顶的一个磁轴承,以及位于头部四周的四个磁轴承,这五个磁轴承为一组。当控制器通过功率放大器向任一端通电流,那么转子将紧贴这一端,例如,向2个径向轴承通5A电流,那么转子向上紧贴轴承。
最佳悬浮参数的计算是通过改变功率放大器的电流方向及大小实现在不同位置吸取、排斥磁轴承,采集磁轴承位置是否达到预期位置,通过这种闭环调节达到功率放大器电流方向及大小可控制磁轴承位置;这时计算出的控制参数即为最新悬浮参数,其中最新悬浮参数指轴承能悬浮在泵体中心点的参数。
通过上文中的描述可知,悬浮参数包括PID参数、相位补偿参数、滤波参数、偏置电压等,在本发明实施例中,如果预先存储在磁悬浮分子泵控制器的第一参数的参数值与泵内控制模块发送的第一参数的参数值不同,则需要重新计算悬浮参数中的偏置电压,且最新悬浮参数值中除偏置电压之外的悬浮参数的参数值为泵内控制模块中相应的悬浮参数的参数值,也即,最新悬浮参数值中目标参数的参数值采用泵内控制模块中目标参数的参数值。
S130,根据最新悬浮参数值更新预先存储在磁悬浮分子泵控制器的悬浮参数,并将最新悬浮参数值发送至泵内控制模块,以更新存储在泵内控制模块的悬浮参数。
在本步骤中,执行本实施例方法的磁悬浮分子泵控制器还设有控制器存储模块,悬浮参数预先存储在控制器存储模块,更新预先存储的悬浮参数为最新悬浮参数;需要注意的是,悬浮参数预先存储在磁悬浮分子泵控制器的控制器存储模块,也预先存储在泵内控制模块的泵内存储模块;因此,在这里,同时还需要将最新悬浮参数发送至泵内存储模块进行更新。
在这里,控制器存储模块包括EEPROM及配套电路。磁悬浮分子泵控制器还包括第二控制器、第二时钟模块和第二通信模块,第二控制器分别与控制器存储模块、第二时钟模块和第二通信模块相连。磁悬浮分子泵控制器的闲置时间由第二时钟模块进行记录;而第二通信模块用于与第一通信模块有线或无线连接,以实现泵内控制模块和磁悬浮分子泵控制器的通信。第二控制器包括DSP及配套电路。
在这里,第一参数包括悬浮参数和/或角度参数,角度参数为转子与水平方向或垂直方向的夹角。
由于磁悬浮分子泵更改安装角度,导致新的采集角度与泵内控制模块存储的角度不一致,通过比对角度参数,然后校准悬浮参数,能够解决磁悬浮分子泵可任意角度安装的问题,从而扩大了应用范围。
角度参数是指泵体的安装角度,其是通过角速度传感器计算转子的角速度,然后再根据角速度计算角度参数。实际中,转子与水平方向或垂直方向的夹角可以是45°或90°或180°,或任意角度。在本实施例中,转子的角度参数只有90°和0°两个,即将其他角度的情况归类为这两种角度,因为市场主流的泵体安装方式只有水平和垂直(即0°和90°)2种,每种角度都对应着一组第一参数,如果做很多角度的模式,就要对应多组第一参数,出厂调试前就需要调试每种角度,这样不仅需要加大储存空间,也使生产流程更繁琐,而实际上通常又使用不到其他角度,性价比不高,且0°和90°的两种极端是因为转子自重,其他任意角度与这2种极端角度的区别就是将重力转换为其他方向的分力,而较小方向的分力相对于较大方向的分力可以忽略,对于悬浮在最佳位置影响有限。需要注意的是,在45°时,分力大小相同,泵体从任意角度改成45°或者从45°改成其他角度时,需要重新计算偏置电压,且从45°改成其他角度时,除偏置电压之外的其他第一参数使用0°的第一参数,而从45°改成其他角度时,除偏置电压之外的其他第一参数使用相对应的0°或90°的第一参数,进而保证磁悬浮分子泵处于最佳悬浮位置。
进一步地,第一参数还包括泵体累计使用时间或磁悬浮分子泵控制器的累计闲置时间。
由于磁悬浮分子泵使用时间过长,会出现悬浮偏执变大悬浮轨迹不好的问题。通过比对泵体累计使用时间或磁悬浮分子泵控制器的累计闲置时间判断泵的使用时间是否过长,从而判断是否更新悬浮参数。这样,解决了磁悬浮分子泵长时间工作后悬浮偏执变大悬浮轨迹不好的问题,提高了磁悬浮分子泵的使用寿命。
优选地,重新计算悬浮参数中的偏置电压的步骤包括:
向位于转子上端的第一磁轴承提供电压,当位置传感器检测到转子与泵体上表面贴合时,采集位置传感器输出的第一电压值;其中,位置传感器用于采集转子位置;
向位于转子下端的第二磁轴承提供电压,当位置传感器检测到转子与泵体下表面贴合时,采集位置传感器输出的第二电压值;第二磁轴承与第一磁轴承的位置对应;
根据第一电压值和第二电压值计算的第一磁轴承和第二磁轴承对应的偏置电压;
将位于转子上端的第三磁轴承作为第一磁轴承,将位于转子下端的第四磁轴承作为第二磁轴承,重复执行上述步骤,直至得到所有磁轴承对应的偏置电压。
具体地,每个磁轴承旁都设置一位置传感器,本实施例采用差动变压器作为位置传感器。位置传感器检测磁轴承的位置并输出电压值。差动变压器,是一种广泛用于电子技术和非电量检测中的变压器装置。主要用于测量位移、压力、振动等非电量参量。它既可用于静态测量,也可用于动态测量。本实施例中,差动变压器用于测量磁轴承与转子的相对距离。
原则上,当转子紧贴泵体上端时,位置传感器输出+5V电压值,当转子紧贴泵体下端时,位置传感器输出-5V电压值;如果位置传感器输出的电压值为0V,那么转子位于泵体的中心点位置。
如果当转子紧贴泵体上端时,位置传感器输出+6V电压值,当转子紧贴泵体下端时,位置传感器输出-4V电压值;那么,上下两端的电压不对称,需要进行调整;这时,根据+6V和-4V可计算出偏置电压为-1V,也就是说,原来0V时转子处于中心点位置,现在是-1V时转子处于中心点位置;那么将-1V作为偏置电压。
由于有一端五组磁轴承,上下两端的磁轴承是对称的,那么就有五对磁轴承,每对磁轴承对应一个偏置电压;通过本实施例的方法,分别单独给每个磁轴承通电流,那么就计算出5对磁轴承对应的5个偏置电压。那么,通过比较判断是否需要进行悬浮参数的更新,然后通过本实施例的方法计算将这5个偏置电压,并将这5个偏置电压作为最新悬浮参数分别存储在泵内控制器和磁悬浮分子泵控制器中,当磁悬浮分子泵工作时,以最新悬浮参数进行工作。
在本实施例中,可通过如下步骤比较判断是否需要进行悬浮参数的更新:
第一步,比较泵内控制模块和磁悬浮分子泵控制器分别存储的角度参数是否一致,如果相同,则执行下一步骤;如果不同,则更新悬浮参数;
第二步,比较泵内控制模块和磁悬浮分子泵控制器分别存储的悬浮参数是否一致,如果相同,则执行下一步骤;如果不同,则更新悬浮参数;
第三步,比较时间参数是否超时,其中的时间参数是指泵体累计使用时间和磁悬浮分子泵控制器的累计闲置时间;如果未超时,则通过该悬浮参数开始正常工作;如果超时,则清零泵体使用时间并重新计算悬浮参数。
参照图2,本实施例提供的一种磁悬浮分子泵控制器,包括:
获取模块21,用于获取泵内控制模块发送的第一参数的参数值;第一参数预先存储在泵内控制模块;第一参数包括悬浮参数;悬浮参数包括:偏置电压和目标参数,偏置电压为转子位于中心位置时位置传感器输出的电压值,目标参数为除偏置电压之外的其余悬浮参数。
悬浮参数计算模块22,用于比对预先存储在磁悬浮分子泵控制器的第一参数的参数值与泵内控制模块发送的第一参数的参数值是否相同,如果不同,则重新计算悬浮参数中的偏置电压,得到最新悬浮参数值,其中,最新悬浮参数值中目标参数的参数值采用泵内控制模块中目标参数的参数值;
更新模块23,用于根据最新悬浮参数值更新预先存储在磁悬浮分子泵控制器的悬浮参数,并将最新悬浮参数值发送至泵内控制模块,以更新存储在泵内控制模块的悬浮参数。
进一步地,所述第一参数包括悬浮参数和/或角度参数,所述角度参数为转子与水平方向或垂直方向的夹角。
进一步地,所述第一参数还包括泵体累计使用时间或磁悬浮分子泵控制器的累计闲置时间。
优选地,所述悬浮参数计算模块22包括如下模块:
第一电压值计算模块,用于向位于转子上端的第一磁轴承提供电压,当位置传感器检测到转子与泵体上表面贴合时,采集位置传感器输出的第一电压值;其中,所述位置传感器用于采集转子位置;
第二电压值计算模块,用于向位于转子下端的第二磁轴承提供电压,当位置传感器检测到转子与泵体下表面贴合时,采集位置传感器输出的第二电压值;所述第二磁轴承与所述第一磁轴承的位置对应;
偏置电压计算模块,用于根据所述第一电压值和所述第二电压值计算的所述第一磁轴承和所述第二磁轴承对应的偏置电压;
重复模块,用于将位于转子上端的第三磁轴承作为第一磁轴承,将位于转子下端的第四磁轴承作为第二磁轴承,重复执行上述步骤,直至得到所有磁轴承对应的偏置电压。
参照图3,本实施例提供的一种磁悬浮分子泵控制系统,包括泵内控制模块32和第二方面的磁悬浮分子泵控制器31,泵内控制模块32和磁悬浮分子泵控制器31相连接。
可选地,还包括角度采集模块33,角度采集模块33用于采集角度参数;角度采集模块33与泵内控制模块32相连接。
可选地,还包括位置传感器34,位置传感器34与磁悬浮分子泵控制器31相连接。
参见图4,本发明实施例还提供了一种电子设备400,包括通信接口401、处理器402、存储器403以及总线404,处理器402、通信接口401和存储器403通过总线404连接;上述存储器403用于存储支持处理器402执行上述磁悬浮分子泵控制方法的计算机程序,上述处理器402被配置为用于执行该存储器403中存储的程序。
可选地,本发明实施例还提供一种具有处理器402可执行的非易失的程序代码的计算机可读介质,程序代码使处理器402执行如上述实施例中的磁悬浮分子泵控制方法。
最后应说明的是:以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。
Claims (8)
1.一种磁悬浮分子泵控制方法,其特征在于,应用于磁悬浮分子泵控制器,所述方法包括:
获取泵内控制模块发送的第一参数的参数值;所述第一参数预先存储在泵内控制模块;所述第一参数包括悬浮参数和角度参数;所述角度参数为转子与水平方向或垂直方向的夹角,每种角度都对应着一组第一参数,所述悬浮参数包括:偏置电压和目标参数,所述偏置电压为转子位于中心位置时位置传感器输出的电压值,所述目标参数为除偏置电压之外的其余悬浮参数;所述第一参数还包括泵体累计使用时间和磁悬浮分子泵控制器的累计闲置时间;
比对预先存储在磁悬浮分子泵控制器的第一参数中的悬浮参数和角度参数的参数值与所述泵内控制模块发送的第一参数中的悬浮参数和角度参数的参数值是否相同,如果不同,则重新计算悬浮参数中的偏置电压,得到最新悬浮参数值,以及,比较泵体累计使用时间和磁悬浮分子泵控制器的累计闲置时间是否超时,如果超时,则重新计算悬浮参数,得到最新悬浮参数值,其中,所述最新悬浮参数值中目标参数的参数值采用所述泵内控制模块中目标参数的参数值;
根据所述最新悬浮参数值更新预先存储在磁悬浮分子泵控制器的悬浮参数,并将最新悬浮参数值发送至泵内控制模块,以更新存储在泵内控制模块的悬浮参数。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述重新计算悬浮参数中的偏置电压的步骤包括:
向位于转子上端的第一磁轴承提供电压,当位置传感器检测到转子与泵体上表面贴合时,采集位置传感器输出的第一电压值;其中,所述位置传感器用于采集转子位置;
向位于转子下端的第二磁轴承提供电压,当位置传感器检测到转子与泵体下表面贴合时,采集位置传感器输出的第二电压值;所述第二磁轴承与所述第一磁轴承的位置对应;
根据所述第一电压值和所述第二电压值计算的所述第一磁轴承和所述第二磁轴承对应的偏置电压;
将位于转子上端的第三磁轴承作为第一磁轴承,将位于转子下端的第四磁轴承作为第二磁轴承,重复执行上述步骤,直至得到所有磁轴承对应的偏置电压。
3.一种磁悬浮分子泵控制器,其特征在于,包括:
获取模块,用于获取泵内控制模块发送的第一参数的参数值;所述第一参数预先存储在泵内控制模块;所述第一参数包括悬浮参数和角度参数,所述角度参数为转子与水平方向或垂直方向的夹角,每种角度都对应着一组第一参数,所述悬浮参数包括:偏置电压和目标参数,所述偏置电压为转子位于中心位置时位置传感器输出的电压值,所述目标参数为除偏置电压之外的其余悬浮参数;所述第一参数还包括泵体累计使用时间和磁悬浮分子泵控制器的累计闲置时间;
悬浮参数计算模块,用于比对预先存储在磁悬浮分子泵控制器的第一参数中的悬浮参数和角度参数的参数值与所述泵内控制模块发送的第一参数中的悬浮参数和角度参数的参数值是否相同,如果不同,则重新计算悬浮参数中的偏置电压,得到最新悬浮参数值,以及,比较泵体累计使用时间和磁悬浮分子泵控制器的累计闲置时间是否超时,如果超时,则重新计算悬浮参数,得到最新悬浮参数值,其中,所述最新悬浮参数值中目标参数的参数值采用所述泵内控制模块中目标参数的参数值;
更新模块,用于根据所述最新悬浮参数值更新预先存储在磁悬浮分子泵控制器的悬浮参数,并将最新悬浮参数值发送至泵内控制模块,以更新存储在泵内控制模块的悬浮参数。
4.一种磁悬浮分子泵控制系统,其特征在于,包括泵内控制模块和权利要求3所述的磁悬浮分子泵控制器,所述泵内控制模块和所述磁悬浮分子泵控制器相连接。
5.根据权利要求4所述的系统,其特征在于,还包括角度采集模块,所述角度采集模块用于采集角度参数;所述角度采集模块与所述泵内控制模块相连接。
6.根据权利要求4所述的系统,其特征在于,还包括位置传感器,所述位置传感器与所述磁悬浮分子泵控制器相连接。
7.一种电子设备,包括存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的计算机程序,其特征在于,所述处理器执行所述计算机程序时实现上述权利要求1至2任一项所述的方法的步骤。
8.一种具有处理器可执行的非易失的程序代码的计算机可读介质,其特征在于,所述程序代码使所述处理器执行所述权利要求1至2任一项所述方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202010998693.3A CN111927817B (zh) | 2020-09-22 | 2020-09-22 | 磁悬浮分子泵控制方法、控制器和控制系统 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202010998693.3A CN111927817B (zh) | 2020-09-22 | 2020-09-22 | 磁悬浮分子泵控制方法、控制器和控制系统 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN111927817A CN111927817A (zh) | 2020-11-13 |
CN111927817B true CN111927817B (zh) | 2021-01-29 |
Family
ID=73334888
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202010998693.3A Active CN111927817B (zh) | 2020-09-22 | 2020-09-22 | 磁悬浮分子泵控制方法、控制器和控制系统 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN111927817B (zh) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112943592B (zh) * | 2021-02-24 | 2023-02-14 | 广东美的暖通设备有限公司 | 磁悬浮压缩机及其控制方法和装置 |
CN112985808A (zh) * | 2021-04-29 | 2021-06-18 | 天津飞旋科技股份有限公司 | 一种磁悬浮轴承中心点的校准方法和装置 |
CN113374790B (zh) * | 2021-06-10 | 2022-12-13 | 珠海格力电器股份有限公司 | 磁悬浮转轴参考位置检测方法、装置、介质及轴承控制器 |
CN114739066B (zh) * | 2022-04-20 | 2023-08-11 | 江苏一万节能科技股份有限公司 | 一种模块化磁悬浮制冷机组动态控制方法及系统 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102032208A (zh) * | 2010-12-31 | 2011-04-27 | 清华大学 | 一种磁悬浮分子泵的自适应控制系统及控制方法 |
CN102425553A (zh) * | 2011-09-09 | 2012-04-25 | 北京中科科仪技术发展有限责任公司 | 磁悬浮分子泵的转子悬浮中心测定方法 |
CN102425555A (zh) * | 2011-11-11 | 2012-04-25 | 北京中科科仪技术发展有限责任公司 | 一种获取磁悬浮分子泵转子径向悬浮中心的方法 |
CN102435131A (zh) * | 2011-11-11 | 2012-05-02 | 北京中科科仪技术发展有限责任公司 | 径向位移传感器及磁悬浮分子泵的转子径向位移检测系统 |
CN106090012A (zh) * | 2016-08-19 | 2016-11-09 | 珠海格力节能环保制冷技术研究中心有限公司 | 磁悬浮轴承的控制方法和装置 |
CN110657159A (zh) * | 2019-09-24 | 2020-01-07 | 东北大学 | 一种磁悬浮轴承稳定控制装置及方法 |
CN111237338A (zh) * | 2020-01-14 | 2020-06-05 | 燕山大学 | 一种单自由度磁液双悬浮轴承控制系统及方法 |
CN111350757A (zh) * | 2019-12-11 | 2020-06-30 | 燕山大学 | 一种单自由度磁液双悬浮轴承控制方法 |
-
2020
- 2020-09-22 CN CN202010998693.3A patent/CN111927817B/zh active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102032208A (zh) * | 2010-12-31 | 2011-04-27 | 清华大学 | 一种磁悬浮分子泵的自适应控制系统及控制方法 |
CN102425553A (zh) * | 2011-09-09 | 2012-04-25 | 北京中科科仪技术发展有限责任公司 | 磁悬浮分子泵的转子悬浮中心测定方法 |
CN102425555A (zh) * | 2011-11-11 | 2012-04-25 | 北京中科科仪技术发展有限责任公司 | 一种获取磁悬浮分子泵转子径向悬浮中心的方法 |
CN102435131A (zh) * | 2011-11-11 | 2012-05-02 | 北京中科科仪技术发展有限责任公司 | 径向位移传感器及磁悬浮分子泵的转子径向位移检测系统 |
CN106090012A (zh) * | 2016-08-19 | 2016-11-09 | 珠海格力节能环保制冷技术研究中心有限公司 | 磁悬浮轴承的控制方法和装置 |
CN110657159A (zh) * | 2019-09-24 | 2020-01-07 | 东北大学 | 一种磁悬浮轴承稳定控制装置及方法 |
CN111350757A (zh) * | 2019-12-11 | 2020-06-30 | 燕山大学 | 一种单自由度磁液双悬浮轴承控制方法 |
CN111237338A (zh) * | 2020-01-14 | 2020-06-05 | 燕山大学 | 一种单自由度磁液双悬浮轴承控制系统及方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN111927817A (zh) | 2020-11-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN111927817B (zh) | 磁悬浮分子泵控制方法、控制器和控制系统 | |
CN204924254U (zh) | Mems设备 | |
CN202562949U (zh) | 一种基于静电刚度的谐振式微加速度计 | |
WO2003003539A2 (en) | Method and system for positioning a movable body in a magnetic bearing system | |
CN108844531B (zh) | 高q值微机电陀螺的快速起振控制方法及装置 | |
JP2013145231A (ja) | マイクロ回転速度センサおよびその操作方法 | |
CN104535057A (zh) | 一种硅微机械线振动式陀螺及其正交误差刚度校正方法 | |
CN102062604A (zh) | 一种电容式微机械音叉陀螺仪 | |
CN107782299B (zh) | 一种两轴mems陀螺仪 | |
CN116357931B (zh) | 一种磁悬浮分子泵的目标悬浮中心控制方法及装置 | |
CN109563876A (zh) | 磁轴承装置及使用了该磁轴承装置的流体机械系统 | |
CN103787265B (zh) | 机械部件和用于机械部件的制造方法 | |
CN115420269B (zh) | 谐振结构频率裂解辨识与修调方法及平台 | |
CN101261126B (zh) | 微固体模态陀螺 | |
CN107209204A (zh) | 具有弹力平衡的加速度传感器 | |
CN110160497A (zh) | 铁塔倾斜测量方法、装置、计算机设备和存储介质 | |
CN102032208B (zh) | 一种磁悬浮分子泵的自适应控制系统及控制方法 | |
CN110469583A (zh) | 磁轴承组件及控制方法、压缩机、空调器和存储介质 | |
JP2014209016A (ja) | 磁気軸受装置、及び該磁気軸受装置を備えた真空ポンプ | |
CN104850140A (zh) | 一种双自由度旋转控制装置及设有该装置的应用系统 | |
CN109506640A (zh) | 一种振动陀螺自动装配装置及其方法 | |
CN111082725A (zh) | 磁旋转编码器角度补偿方法、补偿系统和电机 | |
CN113391551B (zh) | 电机电角度补偿方法、装置、电子设备及存储介质 | |
CN204405077U (zh) | 一种z轴mems音叉陀螺仪 | |
CN112665570B (zh) | 一种基于星敏感器的mems陀螺零偏在轨简化工程计算方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant | ||
CP01 | Change in the name or title of a patent holder | ||
CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
Address after: 300457 Block D, No. 90, Twelfth Avenue, Tianjin Development Zone, Binhai New Area, Tianjin Patentee after: Tianjin Feixuan Technology Co.,Ltd. Address before: 300457 Block D, No. 90, Twelfth Avenue, Tianjin Development Zone, Binhai New Area, Tianjin Patentee before: TIANJIN EMAGING TECHNOLOGY Co.,Ltd. |