CN111843860A - 一种晶圆喷砂机 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种晶圆喷砂机，涉及晶圆加工领域。该晶圆喷砂机，包括装置主体、喷砂罐，所述装置主体的两内侧壁均通过轴承活动连接有转动杆，所述转动杆的一端固定连接有调节箱，所述调节箱的内部设置有移动板，所述移动板的侧壁固定连接有连接杆，所述调节箱的内底部固定连接有第一电机，所述第一电机的输出端固定连接有第一转轴，所述第一转轴的顶部固定连接有调节轮，所述装置主体的顶部且靠近两侧均固定连接有第二电机。通过对分离机构的设计，使得该喷砂机在进行使用时能够有效的对砂石与大块的碎石进行筛分，进入避免影响后期的喷砂加工以及产生大量的灰尘，并且对砂石与碎石的收取方便。

Description

一种晶圆喷砂机

技术领域

本发明涉及晶圆加工技术领域，具体为一种晶圆喷砂机。

背景技术

喷砂处理，是一种工件表面处理的工艺。采用压缩空气为动力，以形成高速喷射束将喷料(铜矿砂、石英砂、金刚砂、铁砂、海砂)高速喷射到需处理工件表面，使工件表面的外表或形状发生变化。由于磨料对工件表面的冲击和切削作用，使工件的表面获得一定的清洁度和不同的粗糙度，使工件表面的机械性能得到改善。

在晶圆的生产加工中会涉及到喷砂处理，喷砂处理又少不了喷砂机的使用，但是，以往所使用的喷砂机设置的除尘装置将砂石与碎石共同吸收，因此，当对砂石再次利用时会影响后期喷砂处理加工的效果。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种晶圆喷砂机，解决了以往所使用的喷砂机设置的除尘装置将砂石与碎石共同吸收，因此，当对砂石再次利用时会影响后期喷砂处理加工的效果的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种晶圆喷砂机，包括装置主体、喷砂罐，所述装置主体的两内侧壁均通过轴承活动连接有转动杆，所述转动杆的一端固定连接有调节箱，所述调节箱的内部设置有移动板，所述移动板的侧壁固定连接有连接杆，所述调节箱的内底部固定连接有第一电机，所述第一电机的输出端固定连接有第一转轴，所述第一转轴的顶部固定连接有调节轮，所述装置主体的顶部且靠近两侧均固定连接有第二电机，所述第二电机的输出端固定连接有第二转轴，所述第二转轴远离第二电机的一端固定连接有第二带轮，所述装置主体的底部设置有聚流斗，所述聚流斗的底部设置有连接管，所述连接管远离聚流斗的一端固定连接有分离机构，所述喷砂罐的一端设置有输送管，所述输送管远离喷砂罐的一端延伸至装置主体的内部并固定连接有喷砂枪，所述装置主体的内侧壁设置有风机。

优选的，所述连接杆远离移动板的一端贯穿调节箱并固定连接有固定块，所述固定块的表面开设有凹槽。

优选的，所述调节轮为凸轮结构，所述调节轮的位置与移动板的位置相对应，所述移动板的侧壁且位于连接杆的两侧均固定连接有伸缩杆，所述伸缩杆远离移动板的一端与调节箱的侧壁固定连接，所述伸缩杆的外表面设置有辅助弹簧，所述辅助弹簧的两端分别与移动板、调节箱固定连接。

优选的，所述分离机构包括箱体，所述箱体的内部开设有第一腔室、第二腔室，所述第一腔室与第二腔室之间设置有过滤网，所述第一腔室与连接管相连通。

优选的，所述分离机构远离连接管的一端设置有两个排料口，且排料口分别与第一腔室与第二腔室相对应，所述分离机构为倾斜向下设。

优选的，所述喷砂罐的表面合适有多个控制阀。

优选的，：所述装置主体的侧壁固定连接有集尘袋，所述集尘袋与风机的位置相对应，所述装置主体的内侧壁且位于风机的外侧固定连接有防护罩，所述防护罩为网状结构。

优选的，所述第一带轮与第二带轮位于同一竖直平面，所述第一带轮与第二带轮通过皮带传动连接。

工作原理：使用时，将待喷砂处理晶圆置于两个固定块7之间，然后启动第一电机8，第一电机8通过第一转轴9使调节轮10进行转动，随着调节轮10的转动，调节轮10对移动板5实现挤压，然后伸缩杆11与辅助弹簧12收缩，两侧的固定块7相互靠近，进而实现对晶圆的固定，然后喷砂枪20对晶圆的表面进行喷砂工作，喷砂的过程中启动风机21，风机21将喷砂中产生的灰尘以及小块碎石排出，然后输送至集尘袋22的内部进行收集，而喷砂处理过程中的砂石与碎石流入聚流斗24的内部，然后沿着聚流斗24流入至连接管25，并从连接管25进入至第一腔室261，进入第一腔室261内部的砂石与碎石沿着过滤网263进行滚动，滚动的过程中砂石从过滤网263落入至第二腔室262的内部，而比砂石大的碎石沿着过滤网263继续向下滑动，并在第一腔室261的内部进行收集，当需要对砂石或者碎石进行清除时直接打开对应的排料口27即可，此外，还可以通过启动第二电机14，第二电机14通过第二转轴4使第二带轮15进行转动，然后第二带轮15通过皮带16使第一带轮13进行转动，第一带轮13的转动使转动杆2与调节箱3进行转动，进而实现固定块7夹持的晶圆进行换面加工。

(三)有益效果

本发明提供了一种晶圆喷砂机。具备以下有益效果：

1、通过对分离机构的设计，使得该喷砂机在进行使用时能够有效的对砂石与大块的碎石进行筛分，进入避免影响后期的喷砂加工以及产生大量的灰尘，并且对砂石与碎石的收取方便。

2、通过对夹持结构的设计，使得该装置晶圆喷砂处理时不仅能够进行单面加工还可以实现双面处理，进而具有较广的使用范围，值得推广使用。

附图说明

图1为本发明整体结构示意图；

图2为本发明内部结构示意图；

图3为本发明调节箱内部结构俯视图；

图4为本发明图3中A处局部放大图；

图5为本发明分离机构内部结构示意图。

其中，1、装置主体；2、转动杆；3、调节箱；4、第二转轴；5、移动板；6、连接杆；7、固定块；8、第一电机；9、第一转轴；10、调节轮；11、伸缩杆；12、辅助弹簧；13、第一带轮；14、第二电机；15、第二带轮；16、皮带；17、喷砂罐；18、控制阀；19、输送管；20、喷砂枪；21、风机；22、集尘袋；23、防护罩；24、聚流斗；25、连接管；26、分离机构；27、排料口；260、箱体；261、第一腔室；262、第二腔室；263、过滤网。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例：

如图1-5所示，本发明实施例提供一种晶圆喷砂机，包括装置主体1、喷砂罐17，装置主体1的两内侧壁均通过轴承活动连接有转动杆2，转动杆2的一端固定连接有调节箱3，用于调节固定块7的工作状态，调节箱3的内部设置有移动板5，移动板5的侧壁固定连接有连接杆6，调节箱3的内底部固定连接有第一电机8，提供固定块7对晶圆的夹紧，第一电机8的输出端固定连接有第一转轴9，第一转轴9的顶部固定连接有调节轮10，控制移动板5的运动，装置主体1的顶部且靠近两侧均固定连接有第二电机14，在进行喷砂处理时，便于晶圆进行换面处理，第二电机14的输出端固定连接有第二转轴4，第二转轴4远离第二电机14的一端固定连接有第二带轮15，装置主体1的底部设置有聚流斗24，聚流斗24的底部设置有连接管25，便于碎石与砂石的输送，连接管25远离聚流斗24的一端固定连接有分离机构26，用于筛分砂石与碎石，喷砂罐17的一端设置有输送管19，输送管19远离喷砂罐17的一端延伸至装置主体1的内部并固定连接有喷砂枪20，装置主体1的内侧壁设置有风机21，用于排出喷砂机内部加工中产生的灰尘。

连接杆6远离移动板5的一端贯穿调节箱3并固定连接有固定块7，固定块7的表面开设有凹槽，方便对晶圆进行喷砂处理时的固定。

调节轮10为凸轮结构，调节轮10的位置与移动板5的位置相对应，便于实现对移动板5的控制，移动板5的侧壁且位于连接杆6的两侧均固定连接有伸缩杆11，对移动板5具有支撑固定作用，同时不阻碍移动板5的正常运动，伸缩杆11远离移动板5的一端与调节箱3的侧壁固定连接，伸缩杆11的外表面设置有辅助弹簧12，在调节轮10撤去作用力的情况下提供移动板5的恢复力，辅助弹簧12的两端分别与移动板5、调节箱3固定连接。

分离机构26包括箱体260，箱体260的内部开设有第一腔室261、第二腔室262，第一腔室261与第二腔室262之间设置有过滤网263，第一腔室261与连接管25相连通，用于筛分砂石与碎石，同时第一腔室261用于收集碎石，第二腔室262用于收集砂石。

分离机构26远离连接管25的一端设置有两个排料口27，且排料口27分别与第一腔室261与第二腔室262相对应，分离机构26为倾斜向下设置，便于砂石与碎石的滚动，从而实现高效的筛分效果。

喷砂罐17的表面合适有多个控制阀18，分别为进气阀、排气阀、启动阀灯。

装置主体1的侧壁固定连接有集尘袋22，集尘袋22与风机21的位置相对应，用于对灰尘以及小块碎石的收集，装置主体1的内侧壁且位于风机21的外侧固定连接有防护罩23，防护罩23为网状结构，对风机21具有保护作用，同时不阻碍风机21的正常工作。

第一带轮13与第二带轮15位于同一竖直平面，第一带轮13与第二带轮15通过皮带16传动连接，便于实现对转动杆2的控制。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (8)

1.一种晶圆喷砂机，包括装置主体(1)、喷砂罐(17)，其特征在于：所述装置主体(1)的两内侧壁均通过轴承活动连接有转动杆(2)，所述转动杆(2)的一端固定连接有调节箱(3)，所述调节箱(3)的内部设置有移动板(5)，所述移动板(5)的侧壁固定连接有连接杆(6)，所述调节箱(3)的内底部固定连接有第一电机(8)，所述第一电机(8)的输出端固定连接有第一转轴(9)，所述第一转轴(9)的顶部固定连接有调节轮(10)，所述装置主体(1)的顶部且靠近两侧均固定连接有第二电机(14)，所述第二电机(14)的输出端固定连接有第二转轴(4)，所述第二转轴(4)远离第二电机(14)的一端固定连接有第二带轮(15)，所述装置主体(1)的底部设置有聚流斗(24)，所述聚流斗(24)的底部设置有连接管(25)，所述连接管(25)远离聚流斗(24)的一端固定连接有分离机构(26)，所述喷砂罐(17)的一端设置有输送管(19)，所述输送管(19)远离喷砂罐(17)的一端延伸至装置主体(1)的内部并固定连接有喷砂枪(20)，所述装置主体(1)的内侧壁设置有风机(21)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆喷砂机，其特征在于：所述连接杆(6)远离移动板(5)的一端贯穿调节箱(3)并固定连接有固定块(7)，所述固定块(7)的表面开设有凹槽。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆喷砂机，其特征在于：所述调节轮(10)为凸轮结构，所述调节轮(10)的位置与移动板(5)的位置相对应，所述移动板(5)的侧壁且位于连接杆(6)的两侧均固定连接有伸缩杆(11)，所述伸缩杆(11)远离移动板(5)的一端与调节箱(3)的侧壁固定连接，所述伸缩杆(11)的外表面设置有辅助弹簧(12)，所述辅助弹簧(12)的两端分别与移动板(5)、调节箱(3)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆喷砂机，其特征在于：所述分离机构(26)包括箱体(260)，所述箱体(260)的内部开设有第一腔室(261)、第二腔室(262)，所述第一腔室(261)与第二腔室(262)之间设置有过滤网(263)，所述第一腔室(261)与连接管(25)相连通。

5.根据权利要求1或4所述的一种晶圆喷砂机，其特征在于：所述分离机构(26)远离连接管(25)的一端设置有两个排料口(27)，且排料口(27)分别与第一腔室(261)与第二腔室(262)相对应，所述分离机构(26)为倾斜向下设置。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆喷砂机，其特征在于：所述喷砂罐(17)的表面合适有多个控制阀(18)。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆喷砂机，其特征在于：所述装置主体(1)的侧壁固定连接有集尘袋(22)，所述集尘袋(22)与风机(21)的位置相对应，所述装置主体(1)的内侧壁且位于风机(21)的外侧固定连接有防护罩(23)，所述防护罩(23)为网状结构。

8.根据权利要求1所述的一种晶圆喷砂机，其特征在于：所述第一带轮(13)与第二带轮(15)位于同一竖直平面，所述第一带轮(13)与第二带轮(15)通过皮带(16)传动连接。

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