CN111841967A - 喷淋装置及电镀机 - Google Patents

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倪裕林
徐新志
尹旺
王健忠
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    • B05B15/68—Arrangements for adjusting the position of spray heads
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D17/00—Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating

Abstract

本发明公开了一种喷淋装置及电镀机，包括喷淋槽、挂具、喷淋机构和摇摆机构，喷淋槽一端开口；挂具从喷淋槽的开口端插入或抽出；喷淋机构设于喷淋槽内；摇摆机构与喷淋机构传动连接，以带动喷淋机构做定向移动实现均匀喷淋。本发明喷淋机构在喷淋过程中，通过摇摆机构带动喷淋机构在喷淋槽内做定向移动，使得工件喷淋均匀，有效避免喷淋死角的存在，大大提高了喷淋效果，方便实用。

Description

喷淋装置及电镀机
技术领域
本发明涉及电镀技术领域，具体涉及喷淋装置及电镀机。
背景技术
电镀是利用电沉积理论在工件表面上镀上一薄层其它金属或合金的过程，从而防止金属氧化(如锈蚀)，提高耐磨性、导电性、反光性、抗腐蚀性(硫酸铜等)及增进美观等作用。工件在电镀前需要进行喷淋将工件打湿，即工件在进入电镀槽之前需要进行喷淋打湿。现有技术的喷淋装置多为固定式结构，在实际喷淋时很容易出现工件喷淋不均匀的问题，导致其喷淋效果较差，会影响电镀效果。
发明内容
本发明的一个目的是提供一种喷淋装置，包括：
喷淋槽，所述喷淋槽一端开口；
挂具，所述挂具从所述喷淋槽的开口端插入或抽出；
喷淋机构，所述喷淋机构设于所述喷淋槽内；以及
摇摆机构，所述摇摆机构与所述喷淋机构传动连接，以带动喷淋机构做定向移动实现均匀喷淋。
采用以上技术方案，所述喷淋槽包括至少一个挡板，至少一个挡板设置于所述喷淋槽内，且至少一个挡板设于所述喷淋机构的上方位置，以防止从喷淋机构喷射出的水向上四溅。
采用以上技术方案，至少一个挡板为软板。
采用以上技术方案，所述喷淋槽还包括一对导轮组件，一对导轮组件设于所述喷淋槽内侧的相对面，通过导轮组件引导挂具的抽插动作。
采用以上技术方案，单个导轮组件包括多个导轮组，单个导轮组包括一对导轮，一对导轮预留有间距，多个导轮组对应的一对导轮的间距向靠近喷淋槽开口的方向呈逐渐递增的趋势。
采用以上技术方案，所述喷淋机构包括喷淋盘、传动部和移动部，所述喷淋盘的一端连接传动部，所述传动部与摇摆机构相连接，所述喷淋盘的另一端连接移动部。
采用以上技术方案，所述喷淋盘包括第一喷淋管和第二喷淋管，第一喷淋管和第二喷淋管贯通，第一喷淋管上设有多个喷淋头，单个所述喷淋头上开设有喷淋孔，喷淋孔的大体结构呈弧形，弧形喷淋孔两个尖角的连线所在的方向与喷淋盘移动的方向垂直。
采用以上技术方案，所述传动部包括传动板、传动杆和导向套，传动板的一端固接喷淋盘，传动板的另一端与传动杆相连接，传动杆的两端通过导向套安装在喷淋槽上。
采用以上技术方案，所述摇摆机构包括摇摆台、位移组件和连接臂，所述位移组件包括驱动部和连杆，驱动部驱动连杆带动所述摇摆台在水平方向上做定向移动，所述摇摆台上设置有连接臂。
本发明的另一目的是提供一种电镀机，包括上述的喷淋装置。
本发明的有益效果：本发明喷淋机构在喷淋过程中，通过摇摆机构带动喷淋机构在喷淋槽内做定向移动，使得工件喷淋均匀，有效避免喷淋死角的存在，大大提高了喷淋效果，方便实用。
附图说明
图1是本发明实施例1的结构示意图。
图2是本发明实施例1在图1的基础上省略摇摆机构且暴露挂具的示意图。
图3是本发明实施例1在图2的基础上省略挂具的一结构示意图。
图4是图3上A部的局部放大示意图。
图5是本发明实施例1在图2的基础上省略挂具的另一结构示意图。
图6是本发明实施例1摇摆机构的结构示意图。
图中标号说明：1、喷淋槽；11、开口；12、豁口；13、挡板；14、支架；141、连接板；15、挂具；16、导轮组；161、导轮；17、防水盖板；18、移动槽；2、喷淋机构；21、喷淋盘；211、第一喷淋管；212、第二喷淋管；213、喷淋头；2131、喷淋孔；214、进水口；221、传动杆；222、传动板；223、导向套；231、移动滚轮；232、安装板；3、摇摆机构；31、摇摆台；3211、驱动源；3212、偏心轮；322、连杆；33、连接臂；34、支撑板；35、直线滑轨。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
参照图1至图6所示，本发明的实施例1提供一种电镀机喷淋装置，包括喷淋槽1、挂具15、喷淋机构2和摇摆机构3，其中喷淋槽1的一端开口11，挂具15能够从喷淋槽1的开口11端插入或抽出，喷淋机构2设于喷淋槽1内，且喷淋机构2与摇摆机构3传动连接，通过摇摆机构3带动喷淋机构2做定向移动实现均匀喷淋，有效避免喷淋死角的存在，大大提高了喷淋效果。
基于本实施方式的情况下，本发明喷淋槽1包括至少一个挡板13，至少一个挡板13安装于喷淋槽1内，且至少一个挡板13设于喷淋机构2的上方位置，以防止从喷淋机构2喷射出的水向上四溅，一方面使得喷射出的水源能够得到充分的利用，另一方面保证电镀机喷淋装置四周环境的干净整洁；
还有喷淋槽1还包括支架14，至少一个挡板13两两之间间隔的设置在支架14上，支架14纵向设于喷淋槽1内，支架14设于喷淋机构2的上方位置，支架14的两端与喷淋槽1的内侧壁相连接，还有支架14包括至少一个连接板141，至少一个挡板13一一对应的安装在至少一个连接板141上，至少一个挡板13为软板，在保证能够阻挡水向上四溅的同时，软板的材质较为柔软，不会干涉工件挂具15的抽插，这里指的工件是指晶圆；
在本实施方式的一个优选方案中，至少一个挡板13的数量为三个，三个挡板13间隔的安装在支架14上，以在支架14上形成三层防护挡板13，进一步的防止从喷淋机构2喷射出的水向上四溅，一方面使得喷射出的水源能够得到充分的利用，另一方面保证喷淋槽1四周环境的干净整洁；
当然考虑到进一步提高防水效果，本发明喷淋槽1还包括防水盖板17，防水盖板17设于喷淋槽1的开口11处，具有防水的效果。
基于本实施方式的情况下，挂具15被配置为能够从喷淋槽1的开口11插入喷淋槽1内，或从喷淋槽1的开口11将挂具15抽出，更具体的说，喷淋槽1内侧的相对面设有一对导轮组件，通过导轮组件引导挂具15的抽插动作，单个导轮组件包括多个导轮组16，单个导轮组16包括一对导轮161，一对导轮161预留有间距，多个导轮组16对应的一对导轮161的间距向靠近喷淋槽1开口11的方向呈逐渐递增的趋势，即喷淋槽1最底部的一对导轮161的间距最小，且该间距与挂具15的宽度相适配，喷淋槽1最顶部的一对导轮161的间距最大，该间距明显大于挂具15的宽度，便于挂具15从喷淋槽1的开口11插入喷淋槽1内，还有本发明的工件(这里指晶圆)可以通过螺栓和螺母锁紧在挂具15上。
基于本实施方式的情况下，喷淋机构2包括喷淋盘21、传动部和移动部，喷淋盘21的一端连接传动部，喷淋盘21的另一端连接移动部，喷淋盘21通过移动部在喷淋槽1内做定向移动；
更具体的说，喷淋盘21包括第一喷淋管211和第二喷淋管212，其中第一喷淋管211是指图1上的横管，横管的数量为多个，另外第二喷淋管212是指图1上的立管，立管的数量为一对，多个第一喷淋管211的两端贯通一对第二喷淋管212，第一喷淋管211上设有进水口214，在实际使用时，进水口214通过水管与水源相连接，第一喷淋管211相对进水口214的另一面上设有多个喷淋头213，单个喷淋头213上开设有喷淋孔2131，喷淋孔2131的大体结构呈弧形，弧形喷淋孔2131两个尖角的连线所在的方向与喷淋盘21移动的方向垂直，首先喷淋头213上只设有一个喷淋孔2131能够使得喷射较为集中，射程较远，另外弧形喷淋孔2131两个尖角的连线所在的方向与喷淋盘21移动的方向垂直，能够明显增加喷淋头213在纵向上的喷射范围；
还有传动部包括传动板222、传动杆221和导向套223，传动板222的一端固接喷淋盘21，传动板222的另一端与传动杆221相连接，传动杆221的两端通过导向套223安装在喷淋槽1上，更具体的说，喷淋槽1的相对面设有一对豁口12，单个豁口12上安装有导向套223，传动杆221贯穿导向套223，且传动杆221能够在导向套223内移动，关于喷淋盘21的驱动方式详见下面的阐述；
考虑到喷淋盘21移动的稳定性，本发明移动部包括多个移动滚轮231和安装板232，安装板232的一端连接喷淋盘21，安装板232的另一端连接多个移动滚轮231，当然喷淋槽1上设有与移动滚轮231相适配的移动槽18，移动滚轮231在移动槽18内移动，喷淋盘21通过移动滚轮231在喷淋槽1的移动槽18内移动。
基于本实施方式的情况下，摇摆机构3包括摇摆台31、位移组件、连接臂33、支撑板34和直线滑轨35，其中直线滑轨35和位移组件均安装在支撑板34上，直线滑轨35上可滑动的设有摇摆台31，摇摆台31上设置有连接臂33，连接臂33连接传动杆221，位移组件包括驱动部和连杆322，驱动部驱动连杆322带动摇摆台31在水平方向上做定向移动，能够让工件和药液最大化的接触而得以有效电镀，提高电镀良品率；
更具体的说，驱动部包括驱动源3211和偏心轮3212，驱动源3211安装在支撑板34上，驱动源3211传动连接偏心轮3212，偏心轮3212通过轴承与连杆322相连接，连杆322传动连接摇摆台31，摇摆台31的一侧开设有安装孔，摇摆台31通过安装孔与连杆322相连接，在本实施方式的一个优选方案中，驱动源3211为马达，马达驱动偏心轮3212旋转，偏心轮3212传动连杆322，以带动摇摆台31在直线滑轨35上做往复直线运动。
本发明实施例2提供一种电镀机，包括实施例1中的喷淋装置，通过摇摆机构3带动喷淋机构2在喷淋槽1内做定向移动，使得工件喷淋均匀，有效避免喷淋死角的存在，大大提高了喷淋效果，方便实用。
以上实施例仅是为充分说明本发明而所举的较佳的实施例，本发明的保护范围不限于此。本技术领域的技术人员在本发明基础上所作的等同替代或变换，均在本发明的保护范围之内。本发明的保护范围以权利要求书为准。

Claims (10)

1.一种喷淋装置，其特征在于，包括：
喷淋槽，所述喷淋槽一端开口；
挂具，所述挂具从所述喷淋槽的开口端插入或抽出；
喷淋机构，所述喷淋机构设于所述喷淋槽内；以及
摇摆机构，所述摇摆机构与所述喷淋机构传动连接，以带动喷淋机构做定向移动实现均匀喷淋。
2.如权利要求1所述的喷淋装置，其特征在于：所述喷淋槽包括至少一个挡板，至少一个挡板设置于所述喷淋槽内，且至少一个挡板设于所述喷淋机构的上方位置，以防止从喷淋机构喷射出的水向上四溅。
3.如权利要求2所述的电镀机喷淋装置，其特征在于：至少一个挡板为软板。
4.如权利要求1所述的喷淋装置，其特征在于：所述喷淋槽还包括一对导轮组件，一对导轮组件设于所述喷淋槽内侧的相对面，通过导轮组件引导挂具的抽插动作。
5.如权利要求4所述的喷淋装置，其特征在于：单个导轮组件包括多个导轮组，单个导轮组包括一对导轮，一对导轮预留有间距，多个导轮组对应的一对导轮的间距向靠近喷淋槽开口的方向呈逐渐递增的趋势。
6.如权利要求1所述的喷淋装置，其特征在于：所述喷淋机构包括喷淋盘、传动部和移动部，所述喷淋盘的一端连接传动部，所述传动部与摇摆机构相连接，所述喷淋盘的另一端连接移动部。
7.如权利要求6所述的喷淋装置，其特征在于：所述喷淋盘包括第一喷淋管和第二喷淋管，第一喷淋管和第二喷淋管贯通，第一喷淋管上设有多个喷淋头，单个所述喷淋头上开设有喷淋孔，喷淋孔的大体结构呈弧形，弧形喷淋孔两个尖角的连线所在的方向与喷淋盘移动的方向垂直。
8.如权利要求6所述的喷淋装置，其特征在于：所述传动部包括传动板、传动杆和导向套，传动板的一端固接喷淋盘，传动板的另一端与传动杆相连接，传动杆的两端通过导向套安装在喷淋槽上。
9.如权利要求1所述的喷淋装置，其特征在于：所述摇摆机构包括摇摆台、位移组件和连接臂，所述位移组件包括驱动部和连杆，驱动部驱动连杆带动所述摇摆台在水平方向上做定向移动，所述摇摆台上设置有连接臂。
10.一种电镀机，其特征在于：包括如权利要求1-9任一项所述的喷淋装置。
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