CN111811798A - 水路检测系统和水路检测方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种水路检测系统和水路检测方法，水路检测系统包括供液装置、调压装置、压力检测组件、流量检测装置、采集装置和信息处理装置，调压装置用于调节供液装置提供的检测液体的压力，压力检测组件包括第一压力检测装置和第二压力检测装置，流量检测装置适于监测出口处的流量，采集装置用于采集压力检测组件和流量检测装置的监测数据，信息处理装置用于对采集装置采集的数据进行处理以得到实测关系曲线，且适于通过实测关系曲线和标准关系曲线的对比分析得到检测结果，实测关系曲线为进口和出口之间的压力差和出口处的流量之间的关系曲线。根据本发明的水路检测系统，结构简单，成本较低，更加直观地反映待检测水路是否存在质量问题。

Description

水路检测系统和水路检测方法

技术领域

本发明涉及水路检测技术领域，尤其是涉及一种水路检测系统和水路检测方法。

背景技术

随着半导体相关领域技术的大力发展，并努力逐步实现半导体相关领域技术的自主研发创造，直拉法用单晶炉的发展迫在眉睫。直拉法用单晶炉的加工生产过程中存在许多检测难题，其中之一便是单晶炉腔体水路加工过程中产生的质量问题，如果单晶炉的腔体水路在长晶生产过程中出现问题，则会导致单晶炉炉体过热，一方面会影响长晶炉设备的机械使用寿命，另一方面可能会对晶体生长产生一定影响，在腔体水路出现严重问题时甚至会造成安全事故。

然而，对单晶炉腔体水路的检测手段较为有限，尤其是在炉体加工封装完毕后，由于腔体水路受其本身结构的影响，无法对腔体水路的加工质量及功能实现进行常规质量检测。

相关技术中，一般采用以下方法对腔体水路进行检测：1、射线检测，即使用射线照射被检测物体以反映被检测物体的内部质量情况，然而，由于腔体水路内设有覆板、隔水条等干涉部件，导致成像效果不好，易造成错误判断，且该检测方式价格较高，使用场所及检测位置存在限制，不方便开展检测工作；2、保压试验：使用工装及工具对腔体水路施加压力，检测在规定的试验压力和保压时间内是否有压降，然而，保压试验检测只能检测整个腔体水路的密闭性，对于腔体水路内隔水条等部件的焊接质量及其他加工质量无法进行检测，无法判断腔体水路的加工质量；3、烘炉测试：在单晶炉总装后进行拉晶工况试验，通过炉体烘烤，使用人工触感或热成像等方式发现局部过热现象而推导出腔体水路存在问题，然而，这种检测方式存在超温风险，引起冷却水在腔体水路内沸腾的隐患，而且，若发现腔体水路存在质量问题，则需要将单晶炉所有部件拆卸返工，成本损失较大且炉体二次安装也需要更多的人工以及工时。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种水路检测系统，所述水路检测系统结构简单，成本较低，可以更加直观地反映待检测水路是否存在质量问题。

本发明还提出一种水路检测方法。

根据本发明第一方面的水路检测系统，待检测水路具有进口和出口，所述水路检测系统用于检测待检测水路且包括：供液装置，所述供液装置用于提供检测液体；调压装置，所述调压装置用于调节所述供液装置提供的所述检测液体的压力；压力检测组件，所述压力检测组件包括第一压力检测装置和第二压力检测装置，所述第一压力检测装置和第二压力检测装置适于分别设在所述进口和所述出口处，以监测所述进口和所述出口处的检测液体的压力；流量检测装置，所述流量检测装置适于设在待检测水路的所述出口处，以监测所述出口处的流量；采集装置，所述采集装置用于采集所述压力检测组件和所述流量检测装置的监测数据；信息处理装置，所述信息处理装置与所述采集装置通信连接，所述信息处理装置用于对所述采集装置采集的数据进行处理以得到实测关系曲线，且适于通过实测关系曲线和标准关系曲线的对比分析得到检测结果，其中，所述实测关系曲线为所述进口和所述出口之间的压力差和所述出口处的流量之间的关系曲线。

根据本发明的水路检测系统，结构简单，成本较低，该系统使用限制较少，且具有良好的检测准确性，可以对单独的待检测水路进行检测，以通过对比实测关系曲线和标准关系曲线，更加直观地反映待检测水路是否存在质量问题，避免了待检测水路安装至设备上后导致整个设备二次返工。同时，在检测过程中，还可以观察待检测水路外是否存在渗水、漏水现象，便于实现对待检测水路密闭性的二次验证。

在一些实施例中，所述调压装置包括：变量泵，所述变量泵适于设在所述供液装置与所述进口之间；调速器，所述调速器与所述变量泵相连以调节所述变量泵的供液量。

在一些实施例中，所述水路检测系统还包括：回流管路，所述回流管路的一端与所述供液装置相连，所述回流管路的另一端适于与所述出口连通，所述第二压力检测装置设在所述回流管路上。

在一些实施例中，所述水路检测系统还包括：电源装置，所述电源装置与所述调压装置、所述压力检测组件和所述流量检测装置分别电连接。

在一些实施例中，所述标准关系曲线为标准水路的进液口和所述标准水路的出液口之间的压力差与所述出液口处的流量之间的关系曲线，其中，所述标准水路具有与所述待检测水路对应的标准结构。

根据本发明第二方面的水路检测方法，包括以下步骤：S1：向待检测水路通入检测液体；S2：监测所述待检测水路的进口和出口之间的压力差，并监测所述待检测水路的所述出口处的流量，以生成所述进口和所述出口之间的压力差与所述出口处的流量之间的实测关系曲线；S3：将所述实测关系曲线与标准关系曲线进行对比，以判断所述待检测水路是否合格。

根据本发明的水路检测方法，简单易行，操作安全，且限制较少，具有良好的检测准确性，可以更加直观地反映出待检测水路是否存在质量问题，避免了待检测水路安装至设备上后导致整个设备二次返工，同时提升了检测效率。此外，在检测过程中，由于进口和出口之间的压力差随时间发生变化，可以同时观察待检测水路外是否存在渗水、漏水现象，便于实现对待检测水路密闭性的二次验证。

在一些实施例中，所述标准关系曲线为标准水路的进液口和所述标准水路的出液口之间的压力差与所述出液口处的流量之间的关系曲线，其中，所述标准水路具有与所述待检测水路对应的标准结构，所述水路检测方法还包括以下步骤：S4：加工出所述标准水路，并向所述标准水路通入检测液体；S5：监测所述标准水路的进液口和出液口之间的压力差，并监测所述标准水路的所述出液口处的流量，以生成所述进液口和所述出液口之间的压力差与所述出液口处的流量之间的所述标准关系曲线。

在一些实施例中，所述标准关系曲线为标准水路的进液口和所述标准水路的出液口之间的压力差与所述出液口处的流量之间的关系曲线，其中，所述标准水路具有与所述待检测水路对应的标准结构，所述水路检测方法还包括以下步骤：S6：建立所述标准水路的数学模型，并通过数值模拟的方式得到所述标准关系曲线。

在一些实施例中，在所述步骤S3中，将所述实测关系曲线与所述标准关系曲线进行对比，以得到所述实测关系曲线和所述标准关系曲线的拟合度，如果拟合度的值小于预设值，则所述待检测水路合格。

在一些实施例中，所述水路检测方法利用根据本发明上述第一方面实施例的水路检测系统进行检测。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

图1是根据本发明一个实施例的水路检测系统的示意图；

图2是图1中所示的待检测水路的示意图；

图3是根据本发明一个实施例的水路检测方法的流程示意图；

图4是根据本发明另一个实施例的水路检测方法的流程示意图；

图5是根据本发明再一个实施例的水路检测方法的流程示意图；

图6是根据本发明一个实施例的实测关系曲线和标准关系曲线示意图。

附图标记：

水路检测系统100、待检测水路101、进口101a、出口101b、隔水条1011、

供液装置1、水箱10、

调压装置2、变量泵21、调速器22、

压力检测组件3、第一压力检测装置31、第二压力检测装置32、

流量检测装置4、

采集装置5、采集卡50、

信息处理装置6、计算机60、

回流管路7、

电源装置8。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

下文的公开提供了许多不同的实施例或例子用来实现本发明的不同结构。为了简化本发明的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本发明。此外，本发明可以在不同例子中重复参考数字和/或字母。这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施例和/或设置之间的关系。此外，本发明提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的可应用于性和/或其他材料的使用。

下面，参考附图描述根据本发明实施例的水路检测系统100。

如图1所示，水路检测系统100用于检测待检测水路101，例如水路检测系统100可以用于检测待检测水路101是否存在缺陷，检测待检测水路在加工过程中是否产生有质量问题。需要说明的是，在本申请中，“待检测水路101”中“水路”应作广义理解，可以指待检测设备上的可以通入流体的通路，其中待检测设备可以为直拉法用单晶炉，但不限于此。

如图1所示，水路检测系统100包括供液装置1和调压装置2，供液装置1用于提供检测液体，调压装置2用于调节供液装置1提供的检测液体的压力，则当水路检测系统100用于检测待检测水路101时，检测液体可以通入待检测水路101中，调压装置2可以通过调节供液装置1提供的检测液体的压力来调节待检测水路101进口101a处的压力大小。其中，调压装置2调节供液装置1提供的检测液体的压力，包括调压装置2增加检测液体的压力和/或调压装置2减小检测液体的压力。

如图1所示，水路检测系统100还包括压力检测组件3、流量检测装置4和采集装置5，压力检测组件3包括第一压力检测装置31和第二压力检测装置32，第一压力检测装置31和第二压力检测装置32适于分别设在待检测水路101的进口101a和出口101b处，以监测进口101a和出口101b处的检测液体的压力；例如，第一压力检测装置31适于设在待检测水路101的进口101a处，以监测进口101a处的压力，第二压力检测装置32适于设在待检测水路101的出口101b处，以监测出口101b处的压力。流量检测装置4适于设在待检测水路101的出口101b处，以监测出口101b处的流量。采集装置5用于采集压力检测组件3和流量检测装置4的监测数据。

其中，采集装置5与压力检测组件3之间可以采用电连接方式，以使采集装置5采集压力检测组件3的监测数据，采集装置5与流量检测装置4之间可以采用电连接方式，以使采集装置5采集流量检测装置4的监测数据。当然，采集装置5与压力检测组件3之间、采集装置5与流量检测装置4之间的连接方式不限于此，只需保证采集装置5可以接收到压力检测组件3和流量检测装置4的监测数据即可。

如图1所示，水路检测系统100包括信息处理装置6，信息处理装置6与采集装置5通信连接，信息处理装置6用于对采集装置5采集的数据进行处理以得到实测关系曲线，且信息处理装置6适于通过实测关系曲线和标准关系曲线的对比分析得到检测结果。其中，实测关系曲线为进口101a和出口101b之间的压力差和出口101b处的流量之间的关系曲线，则实测关系曲线可以通过多组例如三组或三组以上对应的压力差-流量数据生成，每组压力差-流量数据可以为同一时间下进口101a和出口101b之间的瞬时压力差、出口101b处的瞬时流量，或者说，实测关系曲线为出口101b处的流量随进口101a和出口101b之间的压力差变化的平滑曲线。

例如，通过对比实测关系曲线和标准关系曲线，可以判断待检测水路101是否存在质量问题，比如待检测水路101是否存在局部污物堵塞情况，或者待检测水路101内设有隔水条1011时(如图2所示)，隔水条1011是否偏离设计位置，或者隔水条1011是否贴合不紧密导致串水，或者隔水条1011局部结构是否缺失等等，从而判断待检测水路101是否合格。具体来说，当待检测水路101存在局部污物堵塞时，污物会增加待检测水路101的流阻，使得实测关系曲线偏离标准关系曲线；当待检测水路101内设有隔水条1011、且隔水条1011偏离设计位置时，待检测水路101的内局部水流方向改变、水路宽窄产生变化，使得实测关系曲线偏离标准关系曲线；当待检测水路101内设有隔水条1011、且隔水条1011因加工缺陷等因素具有缺口时，部分水流不会沿隔水条1011流动，而是直接穿过上述缺口导致串水，实测关系曲线也会偏离标准关系曲线。

其中，隔水条1011在待检测水路101内可以起到以延长水路路径的作用，其主要目的是如何分配水流；例如待检测水路101可以用于冷却，则隔水条1011可以延长冷却路径，起到均匀冷却的作用。隔水条1011的结构不限于图2中所示的螺旋线结构，还可以为其他曲线或直线形状。

而且，可以在待检测水路101安装至待检测设备之前，通过对比实测关系曲线和标准关系曲线，就可以提前判断待检测水路101是否存在上述质量问题，以指导是否接收待检测水路101，从而避免将不合格的待检测水路101安装至待检测设备而导致待检测设备的部件拆卸返工、成本较高、且费时费力。

由此，根据本发明实施例的水路检测系统100，结构简单，成本较低，该系统使用限制较少，且具有良好的检测准确性，可以对单独的待检测水路101进行检测，以通过对比实测关系曲线和标准关系曲线，更加直观地反映待检测水路101是否存在质量问题，避免了待检测水路101安装至设备上后导致整个设备二次返工。同时，在检测过程中，还可以观察待检测水路101外是否存在渗水、漏水现象，便于实现对待检测水路101密闭性的二次验证。

可选地，检测液体为水，但不限于此。

在图1的示例中，供液装置1为水箱10，采集装置5为采集卡50，信息处理装置6为计算机60，第一压力检测装置31和第二压力检测装置32可以均为压力传感器。

在一些实施例中，如图1所示，调压装置2包括变量泵21和调速器22，变量泵21适于设在供液装置1和进口101a之间，以为供液装置1内的检测液体提供流动动力，调速器22与变量泵21相连以调节变量泵21的供液量，则流经变量泵21的检测液体的流量可以增大或减小，从而实现供液装置1提供的检测液体的压力调节，例如供液装置1提供的检测液体的压力可以增大或减小。

在一些实施例中，如图1所示，水路检测系统100还包括回流管路7，回流管路7的一端与供液装置1相连，回流管路7的另一端适于与出口101b连通，第二压力检测装置32设在回流管路7上，以监测待检测水路101出口101b处的压力，同时回流管路7使得检测液体可以回流至供液装置1内，以便于实现循环利用，节约资源、环保。

在一些实施例中，如图1所示，水路检测系统100还包括电源装置8，电源装置8与调压装置2、压力检测组件3和流量检测装置4分别电连接，则电源装置8可以为调压装置2、压力检测组件3和流量检测装置4分别供电，便于使得水路检测系统100形成完整的、独立的系统，从而水路检测系统100在检测待检测水路101时，无需另外接通外接电源，也无需受到外接电源设置位置等的限制，有利于提升水路检测系统100的适用性和实用性。

在一些实施例中，标准关系曲线为标准水路的进液口和标准水路的出液口之间的压力差与标准水路的出液口处的流量之间的关系曲线，则标准关系曲线为标准水路对应的出液口处的流量随进液口和出液口之间的压力差变化的曲线。其中，标准水路具有与待检测水路101对应的标准结构，则标准水路与待检测水路101的结构相同、且没有任何质量问题。由此，通过对比实测关系曲线和标准关系曲线，可以得知实测关系曲线是否偏离标准关系曲线，也可以得知实测关系曲线相对于标准关系曲线的偏离程度，从而判断待检测水路101是否合格。

根据本发明实施例的水路检测系统100的其他构成以及操作对于本领域普通技术人员而言都是已知的，这里不再详细描述。

下面，参考附图描述根据本发明第二方面实施例的水路检测方法。

如图3-图5所示，水路检测方法包括以下步骤：

步骤S1：向待检测水路101通入检测液体。在图1的示例中，检测液体为水；当然，检测液体还可以为其他液体，而不限于水。

步骤S2：监测待检测水路101的进口101a和出口101b之间的压力差，并监测待检测水路101的出口101b处的流量，以生成进口101a和出口101b之间的压力差与出口101b处的流量之间的实测关系曲线，即生成出口101b处的流量随进口101a和出口101b之间的压力差变化的曲线。其中，实测关系曲线可以通过多组例如三组或三组以上对应的压力差-流量数据生成。

在步骤S2中，可以通过改变通入待检测水路101的检测液体的压力，比如逐渐增大通入待检测水路101的检测液体的压力，来改变进口101a和出口101b之间的压力差；但不限于此。

步骤S3：将实测关系曲线与标准关系曲线进行对比，以判断待检测水路101是否合格。其中，通过对比实测关系曲线和标准关系曲线，可以得知实测关系曲线是否偏离标准关系曲线，也可以得知实测关系曲线相对于标准关系曲线的偏离程度，从而判断待检测水路101是否合格。

这里，需要说明的是，各步骤之间可以具有先后顺序，而同一步骤中、各动作先后顺序不是固定的。例如，步骤S1、步骤S2和步骤S3先后依次进行，使得步骤S1中的“向待检测水路101通入检测液体”位于步骤S2中的“检测待检测水路101的进口101a和出口101b之间的压力差”之前。

其中，在待检测水路101加工完成后，其结构形状不变，则进口101a和出口101b之间的压力差是决定出口101b处流量的主要因素。在一般工作环境下，出口处压力就是当地的大气压力，但各地有不同的大气压，同一地区在不同时间大气压力也不同，这样会引入误差，影响数据的有效性，本申请在检测待检测水路101时，监测了进口101a和出口101b之间的检测液体的压力差，也监测了出口101b处的流量，可以排除出口101b处压力变动对检测结果的影响，使得检测结果更加准确、可靠。

相对于一些技术中，通过在特定进口压力下、多次采集出口流量再取平均值，并将该平均值与标准流量进行对比的方法，检测过程较为繁琐，检测时间较长，且准确性欠佳；本申请中的水路检测方法，简单易行，操作安全，且限制较少，保证了良好的检测准确性，同时可以更加直观地反映出待检测水路101是否存在质量问题，避免了待检测水路101安装至设备上后导致整个设备二次返工，同时节约检测时间，提升了检测效率。此外，在检测过程中，由于进口101a和出口101b之间的压力差随时间发生变化，可以同时观察待检测水路101外是否存在渗水、漏水现象，便于实现对待检测水路101密闭性的二次验证。

在一些实施例中，标准关系曲线为标准水路的进液口和标准水路的出液口之间的压力差与出液口处的流量之间的关系曲线。其中，标准水路具有与待检测水路101对应的标准结构。如图4所示，水路检测方法还包括以下步骤：步骤S4：加工出标准水路，并向标准水路通入检测液体；步骤S5：监测标准水路的进液口和出液口之间的压力差，并监测标准水路的出液口处的流量，以生成进液口和出液口之间的压力差与出液口处的流量之间的标准关系曲线。由此，标准水路可以为按照设计图纸要求、且符合尺寸精度的标准模型，同时实测方式得到标准水路对应的标准关系曲线，保证了标准关系曲线的准确性，从而保证检测结果的准确性。

可以理解的是，步骤S4和步骤S5先后依次进行，且步骤S4和步骤S5可以位于步骤S1之前，也可以位于步骤S2和步骤S3之间。当然，本申请不限于此，例如步骤S4和步骤S5还可以与步骤S1和步骤S2同时进行。

在另一些实施例中，标准关系曲线为标准水路的进液口和标准水路的出液口之间的压力差与出液口处的流量之间的关系曲线。其中，标准水路具有与待检测水路101对应的标准结构。如图5所示，水路检测方法还包括以下步骤：步骤S6：建立标准水路的数学模型，并通过数值模拟的方式得到标准关系曲线，例如可以借助CAE软件进行模拟，使得标准关系曲线具有可靠的准确性，从而保证检测结果的准确性。

可以理解的是，步骤S6可以位于步骤S1之前，也可以位于步骤S2和步骤S3之间。当然，本申请不限于此，例如步骤S6还可以与步骤S1和步骤S2同时进行。

在一些实施例中，在步骤S3中，将实测关系曲线与标准关系曲线进行对比，以得到实测关系曲线和标准关系曲线的拟合度，如果拟合度的值小于预设值，则待检测水路101合格。其中，获得实测关系曲线和标准关系曲线的拟合度的方法包括：剩余平方和检验、卡方检验和线性回归检验等，但不限于此。

在下文的描述中，以采用剩余平方和检验获取拟合度为例进行说明。本领域技术人员在阅读了下面的技术方案后，可以明显理解采用其他方法获取拟合度的技术方案。

例如，在图6的示例中，分别示出了实测关系曲线和标准关系曲线，采集了从零压差至最高压差(例如500kPa)间整个区间内的数据，得到了多组密集数据，检测频率可以根据实际应用设置，以使压力差与流量对应；从图6中可以获取下方表格中实测关系曲线多组对应的压力差与流量数据、标准关系曲线多组对应的压力差与流量数据，其中实测关系曲线与标准关系曲线取的多组数据中，压力差对应相同，从而可以计算出该多组数据对应的残差平方和，该残差平方和作为实测关系曲线和标准关系曲线的拟合度。例如，表格中计算出的残差平方和为55，预设值可以为60，则表明待检测水路101合格。

表1实测关系曲线和标准关系曲线对比分析

在一些实施例中，根据本发明上述第二方面实施例的水路检测方法可以利用根据本发明上述第一方面实施例的水路检测系统100进行检测。当然，根据本发明上述第二方面实施例的水路检测方法还可以采用其他检测系统实现，而不利用根据本发明上述第一方面实施例的水路检测系统100。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，还可以是通信；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种水路检测系统(100)，其特征在于，待检测水路(101)具有进口(101a)和出口(101b)，所述水路检测系统(100)用于检测待检测水路(101)且包括：

供液装置(1)，所述供液装置(1)用于提供检测液体；

调压装置(2)，所述调压装置(2)用于调节所述供液装置(1)提供的所述检测液体的压力；

压力检测组件(3)，所述压力检测组件(3)包括第一压力检测装置(31)和第二压力检测装置(32)，所述第一压力检测装置(31)和第二压力检测装置(32)适于分别设在所述进口(101a)和所述出口(101b)处，以监测所述进口(101a)和所述出口(101b)处的检测液体的压力；

流量检测装置(4)，所述流量检测装置(4)适于设在待检测水路(101)的所述出口(101b)处，以监测所述出口(101b)处的流量；

采集装置(5)，所述采集装置(5)用于采集所述压力检测组件(3)和所述流量检测装置(4)的监测数据；

信息处理装置(6)，所述信息处理装置(6)与所述采集装置(5)通信连接，所述信息处理装置(6)用于对所述采集装置(5)采集的数据进行处理以得到实测关系曲线，且适于通过实测关系曲线和标准关系曲线的对比分析得到检测结果，其中，所述实测关系曲线为所述进口(101a)和所述出口(101b)之间的压力差和所述出口(101b)处的流量之间的关系曲线。

2.根据权利要求1所述的水路检测系统(100)，其特征在于，所述调压装置(2)包括：

变量泵(21)，所述变量泵(21)适于设在所述供液装置(1)与所述进口(101a)之间；

调速器(22)，所述调速器(22)与所述变量泵(21)相连以调节所述变量泵(21)的供液量。

3.根据权利要求1所述的水路检测系统(100)，其特征在于，还包括：

回流管路(7)，所述回流管路(7)的一端与所述供液装置(1)相连，所述回流管路(7)的另一端适于与所述出口(101b)连通，所述第二压力检测装置(32)设在所述回流管路(7)上。

4.根据权利要求1所述的水路检测系统(100)，其特征在于，还包括：

电源装置(8)，所述电源装置(8)与所述调压装置(2)、所述压力检测组件(3)和所述流量检测装置(4)分别电连接。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的水路检测系统(100)，其特征在于，所述标准关系曲线为标准水路的进液口和所述标准水路的出液口之间的压力差与所述出液口处的流量之间的关系曲线，其中，所述标准水路具有与所述待检测水路(101)对应的标准结构。

6.一种水路检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：向待检测水路(101)通入检测液体；

S2：监测所述待检测水路(101)的进口(101a)和出口(101b)之间的压力差，并监测所述待检测水路(101)的所述出口(101b)处的流量，以生成所述进口(101a)和所述出口(101b)之间的压力差与所述出口(101b)处的流量之间的实测关系曲线；

S3：将所述实测关系曲线与标准关系曲线进行对比，以判断所述待检测水路(101)是否合格。

7.根据权利要求6所述的水路检测方法，其特征在于，所述标准关系曲线为标准水路的进液口和所述标准水路的出液口之间的压力差与所述出液口处的流量之间的关系曲线，其中，所述标准水路具有与所述待检测水路(101)对应的标准结构，

还包括以下步骤：

S4：加工出所述标准水路，并向所述标准水路通入检测液体；

S5：监测所述标准水路的进液口和出液口之间的压力差，并监测所述标准水路的所述出液口处的流量，以生成所述进液口和所述出液口之间的压力差与所述出液口处的流量之间的所述标准关系曲线。

8.根据权利要求6所述的水路检测方法，其特征在于，所述标准关系曲线为标准水路的进液口和所述标准水路的出液口之间的压力差与所述出液口处的流量之间的关系曲线，其中，所述标准水路具有与所述待检测水路(101)对应的标准结构，

还包括以下步骤：

S6：建立所述标准水路的数学模型，并通过数值模拟的方式得到所述标准关系曲线。

9.根据权利要求6-8中任一项所述的水路检测方法，其特征在于，在所述步骤S3中，将所述实测关系曲线与所述标准关系曲线进行对比，以得到所述实测关系曲线和所述标准关系曲线的拟合度，如果拟合度的值小于预设值，则所述待检测水路合格。

10.根据权利要求6所述的水路检测方法，其特征在于，所述水路检测方法利用根据权利要求1-5中任一项所述的水路检测系统(100)进行检测。

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