CN111796411A - 一种高精度显微镜x轴平移机构 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及显微镜配件技术领域，特指一种高精度显微镜X轴平移机构，包括底座，底座设有便于显微镜滑动时的驱动组件、以及便于显微镜滑动地滑轨组件、以及与滑轨组件配合设置的辅助滑动组件、以及检测显微镜平移过程的感应组件。本发明采用这样的结构设置，其能够满足微米级传动的要求，传动精密而稳定，能够适用于半导体测试设备上，有效解决需要依赖于国外进口的困局，且成本相比引进国外进口的产品而言较低。

Description

一种高精度显微镜X轴平移机构
技术领域
本发明涉及显微镜配件技术领域，特指一种高精度显微镜X轴平移机构。
背景技术
目前，现有的一些显微镜X轴平移机构在精度和稳定性要求上不能很好的适配半导体测试行业设备的要求，只能引进国外进口的产品，成本高昂。
因此，有必要开了一种适合半导体测试行业要求的显微镜X轴平移机构，用于解决部分平移机构需要依赖于国外进口的困局。
发明内容
针对现有技术的不足，本发明提供了一种高精度显微镜X轴平移机构，其能够满足微米级传动的要求，传动精密而稳定，能够适用于半导体测试设备上，有效解决需要依赖于国外进口的困局，且成本相比引进国外进口的产品而言较低。
为了实现上述目的，本发明应用的技术方案如下：
一种高精度显微镜X轴平移机构，包括底座，底座设有便于显微镜滑动时的驱动组件、以及便于显微镜滑动地滑轨组件、以及与滑轨组件配合设置的辅助滑动组件、以及检测显微镜平移过程的感应组件。
根据上述方案，所述驱动组件包括伺服马达、滚珠丝杆与螺母座，滚珠丝杆连接于伺服马达，螺母座可移动地套于滚珠丝杆上，螺母座与滑轨组件固定连接。
根据上述方案，所述滚珠丝杆的第一端设有固定轴承座，滚珠丝杆的第二端设有活动轴承座，滚珠丝杆穿过固定轴承座通过联轴器连接于伺服马达。
根据上述方案，所述固定轴承座与活动轴承座上分别设有与螺母座对应设置的防撞胶。
根据上述方案，所述伺服马达通过电机座安装于底座上，伺服马达对应设置有光栅尺，光栅尺与滚珠丝杆对应设置。
根据上述方案，所述滑轨组件包括滑轨、滑轨压块、滑块与滑块连接板，滑轨通过滑轨压块固定于底座上，滑块可滑动地设于滑轨上，滑块连接板连接于滑块上，螺母座与滑块连接板固定连接。
根据上述方案，所述滑块连接板的两侧分别固定有风琴罩。
根据上述方案，所述辅助滑动组件包括拖链钣金、坦克链与支撑钣金，坦克链固定于拖链钣金上，支撑钣金可滑动地设于坦克链上，支撑钣金与滑块连接板固定连接。
根据上述方案，所述感应组件包括感应器活动铝型材、感应钣金与感应器，感应器固定于底座上，并与滚珠丝杆的第一端对应设置，感应器活动铝型材通过感应钣金固定于滑轨组件的滑块连接板上。
根据上述方案，所述底座的端部设有X轴盖板。
本发明有益效果：
本发明采用这样的结构设置，其能够满足微米级传动的要求，传动精密而稳定，能够适用于半导体测试设备上，有效解决需要依赖于国外进口的困局，且成本相比引进国外进口的产品而言较低。
附图说明
图1是本发明整体结构爆炸图；
图2是本发明整体结构俯视图；
图3是本发明整体结构主视图。
1.X轴盖板；2.伺服马达；3.电机座；4.联轴器；5.固定轴承座；6.拖链钣金；7.防撞胶；8.滚珠丝杆；9.光栅尺；10.滑轨；11.滑轨压块；12.滑块连接板；13.坦克链；14.支撑钣金；15.风琴罩；16.活动轴承座；17.螺母座；18.感应器活动铝型材；19.感应钣金；20.感应器；21.底座；22.滑块。
具体实施方式
下面结合附图与实施例对本发明的技术方案进行说明。
如图1至图3所示，本发明所述一种高精度显微镜X轴平移机构，包括底座21，底座21设有便于显微镜滑动时的驱动组件、以及便于显微镜滑动地滑轨组件、以及与滑轨组件配合设置的辅助滑动组件、以及检测显微镜平移过程的感应组件。以上所述构成本发明基本结构。
在本实施例中，所述驱动组件包括伺服马达2、滚珠丝杆8与螺母座17，滚珠丝杆8连接于伺服马达2，螺母座17可移动地套于滚珠丝杆8上，螺母座17与滑轨组件固定连接。采用这样的结构设置，其工作原理：通过伺服马达2驱动滚珠丝杆8转动，螺母座17套于滚珠丝杆8上，将转动的扭力转向为移动力，促使螺母座17可在滚珠丝杆8上左右移动，同时，螺母座17与滑轨组件固定连接，进一步减少了螺母座17移动时的阻力。
实际应用中，螺母座17与滚珠丝杆8螺纹连接，也就是说，当滚珠丝杆8顺时针转动时，螺母座17向前移动，当滚珠丝杆8逆时针转动时，螺母座17向后移动。
在本实施例中，所述滚珠丝杆8的第一端设有固定轴承座5，滚珠丝杆8的第二端设有活动轴承座16，滚珠丝杆8穿过固定轴承座5通过联轴器4连接于伺服马达2。采用这样的结构设置，通过固定轴承座5与活动轴承座16将滚珠丝杆8进行限位。
在本实施例中，所述固定轴承座5与活动轴承座16上分别设有与螺母座17对应设置的防撞胶7。采用这样的结构设置，有效使螺母座17在滚珠丝杆8上移动时减震，避免螺母座17撞上固定轴承座5与活动轴承座16。
在本实施例中，所述伺服马达2通过电机座3安装于底座21上，伺服马达2对应设置有光栅尺9，光栅尺9与滚珠丝杆8对应设置。采用这样的结构设置，通过光栅尺9检测滚珠丝杆8上螺母座17的位置，进而反馈给伺服马达2形成闭环控制，也就是说，通过伺服马达2控制螺母座17在滚珠丝杆8上的位置传动精确。
在本实施例中，所述滑轨组件包括滑轨10、滑轨压块11、滑块22与滑块连接板12，滑轨10通过滑轨压块11固定于底座21上，滑块22可滑动地设于滑轨10上，滑块连接板12连接于滑块22上，螺母座17与滑块连接板12固定连接。采用这样的结构设置，通过螺母座17带动滑块连接板12滑动，滑块连接板12带动滑块22在滑轨10上滑动。
需要说明的是，滑轨10通过滑轨压块11固定于底座21上，可以保证滑块连接板12在运行过程中的精度及稳定性。
在本实施例中，所述滑块连接板12的两侧分别固定有风琴罩15。采用这样的结构设置，通过风琴罩15可以起到防尘效果。
在本实施例中，所述辅助滑动组件包括拖链钣金6、坦克链13与支撑钣金14，坦克链13固定于拖链钣金6上，支撑钣金14可滑动地设于坦克链13上，支撑钣金14与滑块连接板12固定连接。采用这样的结构设置，通过支撑钣金14可滑动地设于坦克链13上，进而可提高滑块连接板12滑动效率。
在本实施例中，所述感应组件包括感应器活动铝型材18、感应钣金19与感应器20，感应器20固定于底座21上，并与滚珠丝杆8的第一端对应设置，感应器活动铝型材18通过感应钣金19固定于滑轨组件的滑块连接板12上。采用这样的结构设置，通过感应器20感应感应器活动铝型材18与感应钣金19的位置，进而感应到滑块连接板12在滚珠丝杆8上的位置，使传动更加精确。
在本实施例中，所述底座21的端部设有X轴盖板1。采用这样的结构设置，通过X轴盖板1保护底座21上的伺服马达2，防止伺服马达2碰撞。
以上对本发明实施例中的技术方案进行了描述，但本发明并不局限于上述的具体实施方式，上述的具体实施方式仅仅是示意性的，而不是限制性的，本领域的普通技术人员在本发明的启示下，在不脱离本发明宗旨和权利要求所保护的范围情况下，还可做出很多形式，这些均属于本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种高精度显微镜X轴平移机构，其特征在于：包括底座（21），所述底座（21）设有便于显微镜滑动时的驱动组件、以及便于显微镜滑动地滑轨组件、以及与滑轨组件配合设置的辅助滑动组件、以及检测显微镜平移过程的感应组件。
2.根据权利要求1所述的一种高精度显微镜X轴平移机构，其特征在于：所述驱动组件包括伺服马达（2）、滚珠丝杆（8）与螺母座（17），所述滚珠丝杆（8）连接于伺服马达（2），所述螺母座（17）可移动地套于滚珠丝杆（8）上，所述螺母座（17）与滑轨组件固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种高精度显微镜X轴平移机构，其特征在于：所述滚珠丝杆（8）的第一端设有固定轴承座（5），所述滚珠丝杆（8）的第二端设有活动轴承座（16），所述滚珠丝杆（8）穿过固定轴承座（5）通过联轴器（4）连接于伺服马达（2）。
4.根据权利要求3所述的一种高精度显微镜X轴平移机构，其特征在于：所述固定轴承座（5）与活动轴承座（16）上分别设有与螺母座（17）对应设置的防撞胶（7）。
5.根据权利要求2所述的一种高精度显微镜X轴平移机构，其特征在于：所述伺服马达（2）通过电机座（3）安装于底座（21）上，所述伺服马达（2）对应设置有光栅尺（9），所述光栅尺（9）与滚珠丝杆（8）对应设置。
6.根据权利要求2所述的一种高精度显微镜X轴平移机构，其特征在于：所述滑轨组件包括滑轨（10）、滑轨压块（11）、滑块（22）与滑块连接板（12），所述滑轨（10）通过滑轨压块（11）固定于底座（21）上，所述滑块（22）可滑动地设于滑轨（10）上，所述滑块连接板（12）连接于滑块（22）上，所述螺母座（17）与滑块连接板（12）固定连接。
7.根据权利要求6所述的一种高精度显微镜X轴平移机构，其特征在于：所述滑块连接板（12）的两侧分别固定有风琴罩（15）。
8.根据权利要求1所述的一种高精度显微镜X轴平移机构，其特征在于：所述辅助滑动组件包括拖链钣金（6）、坦克链（13）与支撑钣金（14），所述坦克链（13）固定于拖链钣金（6）上，所述支撑钣金（14）可滑动地设于坦克链（13）上，所述支撑钣金（14）与滑块连接板（12）固定连接。
9.根据权利要求1所述的一种高精度显微镜X轴平移机构，其特征在于：所述感应组件包括感应器活动铝型材（18）、感应钣金（19）与感应器（20），所述感应器（20）固定于底座（21）上，并与滚珠丝杆（8）的第一端对应设置，所述感应器活动铝型材（18）通过感应钣金（19）固定于滑轨组件的滑块连接板（12）上。
10.根据权利要求1所述的一种高精度显微镜X轴平移机构，其特征在于：所述底座（21）的端部设有X轴盖板（1）。
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