CN111781773A - 光配向设备以及光配向方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种光配向设备以及光配向方法。通过设置可转动反射镜，以利用可转动反射镜实现投射出的光束的扫描范围能够覆盖整个基板。因此，在执行光配向时，并不需要移动基板或偏振光发生装置，有效提高了光配向过程中的稳定性，从而有利于提高光配向精度。并且，由于基板在光配向时不需要移动，相应的不需要预留基板台横向移动的空间，从而可以进一步减小光配向设备的体积和质量。

Description

光配向设备以及光配向方法
技术领域
本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种光配向设备及光配向方法。
背景技术
液晶显示器(LCD)通常包括两个基板(阵列基板TFT，彩膜基板CF)、两个基板之间的液晶层以及两个基板外侧的偏光板。在液晶显示技术中，通过施加电压使液晶层中产生电场，进而改变液晶分子的扭转角度，并配合上下基板外侧的两个偏光板，从而产生图像显示。为保证图像的显示效果，需使液晶分子有一个初始取向方向，因此在基板上设置有配向膜层，通过对配向膜层的表面进行定向以控制液晶分子的排布方向并使其排布方向一致，进而获取均一的显示效果。
目前，对配向膜的取向处理可采用光配向工艺，即利用偏振光发生装置发出规定波长的偏振光，并照射在配向膜上，使得与偏振光的偏振轴方向一致或垂直的配向膜发生光致反应，例如光致交联、光致分解或光致异构，进而使配向膜产生各向异性，并利用其所产生的定向锚定能诱导液晶分子按照一定角度统一取向。
在一种传统的光配向设备中，是将形成有配向膜的基板放置在一可移动的基板台上。在执行光配向时，使基板台沿着预定方向移动，从而使偏振光发生装置发出的偏振光可以扫描整个基板，进而能够对整个基板进行光配向。然而，这种光配向设备，不仅需要为基板台的移动提供更大的空间，从而导致光配向设备的体积庞大且质量大，并且在光配向过程中，由于基板台的移动会存在较大抖动，进而影响光配向精度。此外，基板台的运行轨道还会长期受到光照的影响，影响光配向质量。
或者，在现有的另一种光配向设备中，使偏振光发生装置可以沿着预定方向移动以扫描整个基板。然而，在光配向过程中，偏振光发生装置的移动仍然不可以避免的会存在震动，并且偏振光发生装置可直接对光配向光路造成影响，因此在光配向过程中，偏振光发生装置的稳定性至关重要。
发明内容
本发明的目的在于提供一种光配向设备，以解决现有的光配向设备体积和质量较大，并且在光配向过程中震动大的问题。
为解决上述技术问题，本发明提供一种光配向设备，包括：
至少一个基板台，用于承载基板；
偏振光发生装置，用于发出偏振光；以及，
至少一个可转动反射镜，用于反射由所述偏振光发生装置发出的偏振光，并且在对基板进行光配向时，所述可转动反射镜沿着预定方向转动，以使由所述可转动反射镜反射出的光束沿着对应方向依次投射至所述基板上。
可选的，所述光配向设备配置有第一可转动反射镜和第二可转动反射镜，所述第一可转动反射镜用于反射光束至所述基板的第一部分上，所述第二可转动反射镜用于反射光束至所述基板的第二部分上。
可选的，所述偏振光发生装置设置在所述基板台的上方并对应在所述基板台的中间区域，所述第一可转动反射镜和所述第二可转动反射镜分别配置在所述偏振光发生装置的两侧。
可选的，所述光配向设备还包括：
分光镜，由所述偏振光发生装置发出的偏振光经由所述分光镜拆分为两束偏振光束，所述两束偏振光束分别发射至所述第一可转动反射镜和所述第二可转动反射镜。
可选的，所述分光镜用于使部分偏振光反射以形成第一偏振光束，所述第一偏振光束进一步发射至所述第一可转动反射镜，并使另一部分偏振光折射以形成第二偏振光束，并且所述第二偏振光束进一步发射至所述第二可转动反射镜。
可选的，所述光配向设备还包括第一检偏组件和第二检偏组件，所述第一检偏组件用于检测由所述第一可转动反射镜反射出的光束，所述第二检偏组件用于检测由所述第二可转动反射镜反射出的光束。
可选的，所述光配向设备还包括：
检偏组件，用于检测由所述可转动反射镜反射出的光束。
可选的，所述光配向设备还包括：
第一固定导轨，所述检偏组件安装在所述第一固定导轨上，在执行检偏操作的过程中，所述检偏组件随着所述可转动反射镜的转动而沿着所述第一固定导轨移动，以使所述检偏组件的检测面从所述基板台的上方移动并感应由所述可转动反射镜反射出的光束。
可选的，所述光配向设备还包括：
对准组件，用于检测并调整放置于所述基板台上的基板的位置。
可选的，所述光配向设备具有两个基板台，所述可转动反射镜反射由所述偏振光发生装置发出的偏振光，并交替投射至两个所述基板台。
可选的，所述光配向设备还包括：
第二固定导轨，所述偏振光发生装置安装在所述第二固定导轨上，并沿着所述第二固定导轨在所述两个基板台的上方交替移动。
另外，本发明还提供了一种光配向方法，包括：
提供如权利要求1所述的光配向设备，并上载基板至基板台上；以及，
利用偏振光发生装置发出偏振光，并使所述偏振光经由可转动反射镜反射至所述基板上，以执行光配向操作；并且，在执行光配向过程中，所述可转动反射镜沿着预定方向转动，以使由所述可转动反射镜反射出的光束沿着对应方向依次投射至所述基板上。
可选的，所述光配向设备配置有第一可转动反射镜和第二可转动反射镜；以及，在执行光配向操作时，所述第一可转动反射镜反射光束至所述基板的第一部分，所述第二可转动反射镜反射光束至所述基板的第二部分。
可选的，执行光配向操作时，所述第一可转动反射镜和所述第二可转动反射镜同时转动，以同时对基板的第一部分和第二部分进行光配向。
可选的，在将基板上载至所述基板台之前，所述光配向方法还包括：
利用检偏组件执行第一检偏操作，以检测由所述可转动反射镜反射出的光束；以及，
根据所述第一检偏操作的检偏结果，调整所述偏振光发生装置的出光面与所述基板台之间的平行度。
可选的，在所述第一检偏操作的过程中，所述检偏组件随着所述可转动反射镜的转动而相应的移动，以使所述检偏组件的检测面从所述基板台的上方移动并感应由所述可转动反射镜反射出的光束。
可选的，在所述第一检偏操作中，所述检偏组件的检测面位置与基板台上基板的板面位置齐平。
可选的，在将基板上载至所述基板台上之后，以及执行光配向操作之前，还包括：
利用对准组件检测并调整放置于所述基板台上的基板的位置。
可选的，在将基板上载至所述基板台上之后，以及执行光配向操作之前，还包括：
利用检偏组件执行第二检偏操作，以检测由所述可转动反射镜反射出的光束；以及，
根据所述第二检偏操作的检偏结果，调整所述基板台的位置。
可选的，所述光配向设备具有两个基板台，以及在执行所述光配向操作时，所述可转动反射镜将光束投射至其中一个基板台上，并对另一个基板台执行基板的上载和/或下载操作。
可选的，执行所述光配向操作的步骤包括：
将基板上载至第一基板台上，并利用所述可转动反射镜将光束投射至位于所述第一基板台上的基板，同时对第二基板台执行基板的上载和/或下载操作；以及，
利用所述可转动反射镜将光束投射至位于所述第二基板台上的基板，并同时对所述第一基板台上完成光配向的基板执行下载操作，以及将未配向的基板上载至所述第一基板台上。
可选的，对所述基板执行光配向操作的方法包括：
将所述基板以第一方向上载至所述基板台上，并执行第一光配向过程；以及，
将所述基板以相反的第二方向上载至所述基板台上，并执行第二光配向过程。
在本发明提供的光配向设备中，具有可转动反射镜，并且利用所述可转动反射镜可以实现反射出的光束的扫描范围能够覆盖整个基板。因此，在执行光配向操作时，并不需要移动偏振光发生装置和基板，从而可以避免由于偏振光发生装置和基板的移动而产生的震动，有效提高了光配向过程的稳定性，有利于提高光配向精度。并且，由于光配向过程中，不需要移动基板，因此相应的不需要预留基板台的移动空间，进而有利于减小光配向设备的体积和质量。
附图说明
图1为本发明实施例一中的光配向设备的结构示意图；
图2为本发明实施例一中的光配向设备的俯视图；
图3为本发明实施例一中的光配向设备的左视图；
图4为本发明实施例一中的光配向方法的流程示意图；
图5为本发明实施例二中的光配向设备的结构示意图；
图6为本发明实施例二中的光配向方法的流程示意图。
其中，附图标记如下：
1-第二固定导轨；
2-滑动导块；
3-偏振光发生装置；
31-光源组件； 32-起偏组件；
5-对准组件；
5-1-第一对准组件； 5-2-第二对准组件；
6-支撑架；
7-检偏组件；
7-1-第一检偏组件； 7-2-第二检偏组件；
8-底座；
9-基板台；
9-1-第一基板台； 9-2-第二基板台；
10-基板；
11-分光镜；
12-固定反射镜；
13-可转动反射镜；
13-1-第一可转动反射镜； 13-2-第二可转动反射镜。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本发明提出的光配向设备以及光配向方法作进一步详细说明。根据下面说明，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。
实施例一
图1为本发明实施例一中的光配向设备的结构示意图，图2为本发明实施例一中的光配向设备的俯视图，图3为本发明实施例一中的光配向设备的左视图。结合图1～图3所示，所述光配向设备包括：
至少一个基板台9，用于承载基板10；本实施例中，所述基板台9设置在所述光配向设备的底座8上；
偏振光发生装置3，用于发出偏振光；以及，
至少一个可转动反射镜13，用于反射由所述偏振光发生装置3发出的偏振光，并且在对基板10进行光配向时，所述可转动反射镜13沿着预定方向转动，以使由所述可转动发射镜13反射出的光束沿着对应方向依次投射至所述基板10上。
具体而言，以图1为例，当可转动反射镜13-2沿着Rx顺时针转动，则从所述可转动反射镜13-2反射出的光束对应的从图1的右侧至左侧依次照射基板，以对基板沿着从右侧至左侧的扫描方向依次执行光配向过程。反之，当可转动反射镜13-2沿着Rx逆时针转动，则从所述可转动反射镜13-2反射出的光束对应的从图1的左侧至右侧依次照射基板，以对基板沿着从左侧至右侧的扫描方向依次执行光配向过程。
由此可见，由于设置有可转动的反射镜，从而在光配向过程中，可以仅转动反射镜，即能够完成对整个基板的光配向扫描。与传统的需要移动偏振光发生装置或者基板相比，本实施例中，能够避免偏振光发生装置或者基板在光配向过程中移动，确保了在光配向过程中偏振光发生装置和基板的稳定性，有利于提高所述光配向设备的光配向精度。
继续参考图1～图3所示，所述偏振光发生装置3包括光源组件31和起偏组件32，所述光源组件31发出的光经过所述起偏组件32，以形成偏振光。在执行光配向过程中，所述起偏组件32的出光面基本平行或平行于所述基板台9，也可以理解为，所述起偏组件32的出光面基本平行或平行于放置在所述基板台上的基板。
其中，所述光源组件31例如为垂直于光配向的扫描方向的条状结构，即，光源组件31的长度方向垂直于Y方向并平行于X方向。以及，所述光源组件31的长度大于基板10的宽度(所述基板的宽度为所述基板在垂直于其光配向扫描方向的宽度)，从而可确保在光配向过程中基板10能够全部位于光源组件31的曝光视场中。可选的，所述光源组件31例如具有一灯管，以及所述光源组件31的灯管具体可以为长条形的灯管。
与所述光源组件31相互匹配的，所述起偏组件32也沿着X方向延伸，并相应的使所述起偏组件32的长度大于基板10的宽度，从而使投射至基板10上的光束为经过所述起偏组件32偏振后的偏振光。
需要说明的是，图1仅为示意性示出了本实施例中的光源组件31和起偏组件32，其中光源组件31和起偏组件32的尺寸可根据实际状况进行调整，例如光源组件31在Y方向上的宽度大于等于起偏组件32在Y方向上的宽度，或者光源组件31在Y方向上的宽度小于起偏组件32在Y方向上的宽度，只要确保由所述光源组件31投射出的光线能够通过所述起偏组件32形成偏振光即可。
继续参考图1和图2所示，与所述偏振光发生装置3类似的，所述可转动反射镜13也在X方向上延伸，并且可转动反射镜13在X方向上的长度不小于所述基板10的宽度，以确保由偏振光发生装置3发出的偏振光在经由所述可转动反射镜13反射所形成的反射光能够覆盖基板的整个宽度。
重点参考图1和图2所示，本实施例中的光配向设备具有两个可转动反射镜13，分别为第一可转动反射镜13-1和第二可转动反射镜13-2，所述第一可转动反射镜13-1用于反射光束至所述基板10的第一部分上，所述第二可转动反射镜13-2用于反射光束至所述基板10的第二部分上。
即，利用两个可转动反射镜13分别扫描基板10的两个部分，以对基板10的两个部分分别进行光配向过程。基于此，在对基板进行光配向时，即可使第一可转动反射镜13-1和第二可转动反射镜13-2同时转动，以同时对基板10的两个部分执行光配向过程。
需要说明的是，在利用传统的光配向设备执行光配向时，是通过移动基板台或者移动偏振光发生装置以实现整个基板的光配向，此时仅能够实现从基板的一端至另一端的单向扫描。而本实施例中，可以将基板10划分为两个部分，并同时对两个部分执行光配向过程，有效提高了光配向效率。
本实施例中，所述偏振光发生装置3设置在所述基板台9的上方并对应在所述基板台9的中间区域，以及所述第一可转动反射镜13-1和所述第二可转动反射镜13-2分别配置在所述振光发偏生装置3的两侧。进一步的，所述偏振光发生装置3沿着X方向延伸并对应基板台9的中间区域，以及所述基板台9从X方向的中心线划分为两个部分，第一可转动反射镜13-1和第二可转动反射镜13-2分别设置在所述基板台9其两个部分的上方。
如此，即可使由偏振光发生装置3发出的偏振光能够从中间区域发射出，并拆分成两束偏振光束，拆分的两束偏振光束分别往两侧投射至第一可转动反射镜13-1和第二可转动反射镜13-2。
具体参考图1所示，在执行光配向时，由偏振光发生装置3发出偏振光并拆分成两束偏振光束，以分别投射至第一可转动反射镜13-1和第二可转动反射镜13-2。此时，例如可使第一可转动反射镜13-1沿着逆时针转动，同时使第二可转动反射镜13-2沿着顺时针转动，进而从第一可转动反射镜13-1反射出的偏振光束从左侧至右侧依次扫描基板的第一部分，同时从第二可转动反射镜13-2反射出的偏振光束从右侧至左侧依次扫描基板的第二部分；或者，也可使所述第一可转动反射镜13-1和第二可转动反射镜13-2同时沿着逆时针转动，进而从第一可转动反射镜13-1和第二可转动反射镜13-2反射出的偏振光束均从左侧至右侧分别同时扫描基板的第一部分和第二部分；或者，也可使所述第一可转动反射镜13-1和第二可转动反射镜13-2同时沿着顺时针转动，以使从第一可转动反射镜13-1和第二可转动反射镜13-2反射出的偏振光束均从右侧至左侧分别同时扫描基板的第一部分和第二部分；又或者，使第一可转动反射镜13-1沿着顺时针转动，同时使第二可转动反射镜13-2沿着逆时针转动，进而从第一可转动反射镜13-1反射出的偏振光束从右侧至左侧依次扫描基板的第一部分，同时从第二可转动反射镜13-2反射出的偏振光束从左侧至右侧依次扫描基板的第二部分。
换言之，在执行光配向时，所述第一可转动反射镜13-1和第二可转动反射镜13-2的转动方向，相应的决定了光配向的扫描方向，可根据实际需求调整，此处不做限制。
此外，需要说明的是，本实施例中，所述第一可转动反射镜13-1的转动角度ω1至少可以实现反射出的偏振光的扫描范围覆盖基板的第一部分；以及，所述第二可转动反射镜13-2的转动角度ω2至少可以实现反射出的偏振光的扫描范围覆盖基板的第二部分。
继续参考图1和图2所示，如上所述，所述偏振光发生装置3发出的偏振光可拆分成两束偏振光束，以分别投射至第一可转动反射镜13-1和第二可转动反射镜13-2。基于此，本实施例中，可利用一分光镜11实现偏振光的拆分。具体而言，由所述偏振光发生装置3发出的偏振光经由所述分光镜11拆分为两个偏振光束，所述两个偏振光束可分别发射至所述第一可转动反射镜13-1和所述第二可转动反射镜13-2。
进一步的，所述分光镜11用于使投射至分光镜11上的部分偏振光折射以形成第一偏振光束，所述第一偏振光束进一步发射至所述第一可转动反射镜13-1，并使投射至分光镜11上的另一部分偏振光反射以形成第二偏振光束，并且所述第二偏振光束进一步发射至所述第二可转动反射镜13-2。
具体参考图1所示，本实施例中，所述分光镜11设置在所述偏振光发生装置3的下方，所述偏振光发生装置3发出的偏振光向下投射至分光镜11上，其中部分偏振光经由所述分光镜11侧向水平反射至所述第二可转动反射镜13-2，另一部分偏振光经由所述分光镜11向下折射出。
进一步的，所述光配向设备还设置有一固定反射镜12，所述固定反射镜12设置在所述分光镜11的下方，用于反射经由所述分光镜11向下折射出的第二偏振光束，以使第二偏振光束向另一侧水平反射至所述第一可转动反射镜13-1。
继续结合图1～图3所述，所述光配向设备还包括检偏组件7，所述检偏组件7用于检测由所述可转动反射镜13反射出的偏振光，例如用于检测偏振光的偏光角和消光比等。如此，以确保用于执行光配向的偏振光符合要求，确保光配向的精度。其中，在利用所述检偏组件7执行检偏过程时，偏振光投射至所述偏振组件7的检测面上，所述检测面感应所述偏振光。
本实施例中，所述检偏组件7可以沿着光配向的扫描方向(Y方向)移动，并使所述检偏组件7的移动范围覆盖整个所述基板台9。在执行检偏过程中，使所述检偏组件7随着可转动反射镜13的转动而相应的移动，如此以接收由可转动反射镜13反射出的偏振光，进而实现对偏振光的检测。
重点参考图1和图3所示，所述检偏组件7设置在第一固定导轨(图中未示出)上，其中所述第一固定导轨沿着光配向的扫描方向延伸，以使所述检偏组件7可以沿着光配向的扫描方向(Y方向)移动。
本实施例中，所述第一固定导轨设置在光配向设备的底座8上，并位于所述基板台9的两侧边。以及，所述检偏组件7的两端分别安装在所述第一固定导轨上，并且所述检偏组件7的检测面高于所述基板台9的台面，从而在执行检偏时，所述检偏组件7的检测面能够从所述基板台9的上方移动以采集偏振光。
可选的方案中，所述检偏组件7的检测面的位置可根据实际状况进行调整。例如，在上载基板之前执行检偏操作时，则可使检测组件7的检测面与后续放置于基板台上的基板的板面齐平，此时利用所述检偏组件7所获取的检偏结果即反映出后续投射至基板板面上的偏振光的实际状况。此外，在上载基板于基板台上之后，仍可以执行检偏操作，此时可使检测组件7的检测面略高于基板的板面，从而在执行检偏操作时，所述检偏组件7的检测面能够从所述基板的上方移动以感应偏振光。
继续参考图1和图2所述，本实施例中，设置有两个检偏组件7，分别为第一检偏组件7-1和第二检偏组件7-2。其中，在执行检偏过程时，例如可使第一检偏组件7-1从所述基板台9的一端移动至中间(本实施例中，从基板台9的左端移动至中间)，以用于检测由第一可转动反射镜13-1反射出的光束；以及，使第二检偏组件7-2从所述基板台9的另一端移动至中间(本实施例中，从基板台9的右端移动至中间)，以用于检测由第二可转动反射镜13-2反射出的光束。
此外需要说明的是，本实施例中，可以同时利用两个检偏组件7同时执行检偏过程，或者也可以仅利用其中一个检偏组件7实现整个基板台9范围内的检偏过程。因此，在其他实施例中，可以仅设置一个检偏组件7，所述检偏组件7可以从基板台9的一侧移动至基板台9的另一侧，以使所述偏振组件7的检偏范围可以覆盖整个基板台9。
继续参考图1～图3所示，所述光配向设备还包括对准组件5，所述对准组件5用于检测放置于基板台9上的基板的位置，以利于调整基板的位置。其中，所述对准组件5例如可通过识别基板上的对准标记，实现基板的对准过程。具体而言，所述基板上设置有对准标记，以及所述对准组件5例如包括摄像机，在执行对准过程中，所述摄像机可根据识别到的对准标记调整基板的位置。
可选的，所述基板上设置有至少两个对准标记，并可以相应的设置至少两个对准组件5，以提高对准精度。本实施例中，设置有两个对准组件5，分别为第一对准组件5-1和第二对准组件5-2。当然，也可以仅设置有一个对准组件5，在对准过程中，可以通过移动对准组件5至各个对准标记，以依次识别各个对准标记。
其中，所述对准组件5的位置可根据基板上的对准标记的位置固定设置，或者也可以使所述对准组件5可移动设置。本实施例中，所述对准组件5设置在第二固定导轨1上，所述第二固定导轨1位于所述基板台9的上方并沿着光配向的扫描方向(Y方向)延伸，以使所述对准组件5可以沿着光配向的扫描方向移动。所述第二固定导轨1例如可利用支撑架6支撑于所述基板台9的上方。
继续参考图1和图2所述，本实施例中，所述对准组件5安装在滑动导块2上，所述滑动导块2安装在所述第二固定导轨1上，从而可以利用所述滑动导块2带动所述对准组件5沿着所述第二固定导轨1移动。进一步的，还可使所述偏振光发生装置3也设置在所述滑动导块2上，以使所述偏振光发生装置3相应的可以沿着第二固定导轨1移动。
基于如上所述的光配向设备，下面基于该光配向设备进一步说明执行光配向的方法。所述光配向方法包括：
将基板上载于基板台上；以及，
利用偏振光发生装置发出偏振光，并使所述偏振光经由可转动反射镜反射至所述基板上，以执行光配向过程；并且，在执行光配向过程中，所述可转动反射镜沿着预定方向转动，以使由所述可转动反射镜反射出的光束沿着对应方向依次投射至所述基板上。
图4为本发明实施例一中的光配向方法的流程示意图。以下结合附图1和附图4对本实施例中的光配向方法进行详细说明。
如图4所示，本实施例中，在将基板上载于基板台之前，还包括：执行光配向设备的初始装配并调整。
具体的，提供如上所述的光配向设备。接着，例如可对所述光配向设备进行第一检偏操作，并相应的调整光配向设备的光路。其中，可利用检偏组件检测由所述可转动反射镜反射出的光束，以对偏振光的偏振角和消光比等进行检测，并根据检偏结果调整光配向的光路。如上所述，所述检偏组件的检测面感应光束，以实现检偏过程，以及所述检偏组件的检测面与待配向基板的板面位置齐平。
具体的，结合图1所示，在执行第一检偏操作的过程中，可首先将检偏组件7移动至基板台9的侧边，接着使所述检偏组件7随着可转动反射镜13的转动而相应移动，以使所述检偏组件7的检测面从所述基板台9的上方移动并采集由所述可转动反射镜13反射出的光束。以及，在完成检偏过程之后，即可将所述检偏组件7移动回基板台9的侧边。
本实施例中，设置有两个检偏组件7，其在检偏过程中，首先将第一检偏组件7-1和第二检偏组件7-2分别移动至基板台9的两侧，接着使所述第一检偏组件7-1随着第一可转动反射镜13-1的转动而相应移动，以及第二检偏组件7-2随着第二可转动反射镜13-2的转动而相应的移动。
即，本实施例中，设置有两个检偏组件7，从而可同时执行检偏过程，有利于提高检偏效率。当然，应当认识到，也可以仅设置一个检偏组件7，所述检偏组件7在检偏过程中从基板台的一侧移动至另一台，以确保所述检偏组件7的检测范围能够覆盖整个基板台9。
在利用检偏组件7执行第一检偏操作之后，即可根据检测结果调整光配向的光路，以确保在整个曝光视场范围内具有一致、均匀、恒定的偏振光。本实施例中，即根据第一检偏组件7-1的检测结果和第二检偏组件7-2的检测结果调整光配向的两只光路。
例如，可根据检偏结果调整偏振光发生装置3的出光面与基板台9之间的平行度等。当然，在执行第一检偏操作之前，可优先调整偏振光发生装置3的出光面，以使偏振光发生装置3的出光面能够基本平行于所述基板台9。以及，在后续根据检偏结果进行调整时，则微调所述偏振光发生装置3的出光面与基板台9的平行度即可，有利于提高对光路的调整精度和调整效率。
进一步的，所述偏振光发生装置3包括光源组件31和起偏组件32，所述光源组件31发出的光经过所述起偏组件32转换为准直的偏振光。基于此，在利用检偏组件7执行第一检偏操作之后，还可基于检偏结果调整所述光源组件31和/或起偏组件32。
在完成对光配向光路的调整之后，即可将基板上载于基板台上。
本实施例中，在将基板上载至基板台上之后，还包括：利用对准组件检测并调整放置于所述基板台上的基板的位置，以使基板的位置对准。
具体参考图1所示，在执行对准检测时，将所述对准组件5沿着第二固定导轨1移动至基板10的其中一个宽度边缘，以识别基板的其中一个宽度边缘上的对准标记，以及还可进一步移动对准组件5至基板10的另一个宽度边缘，以识别基板10的另一个宽度边缘上的对准标记。如此，即可获取所述基板10的位置信息，例如基板10在Rz方向上的偏移状况。
在获取所述基板10的位置信息之后，即可进一步调整基板10的位置。例如，根据对准组件5的检测结果可以计算出，所述基板10在Rz方向上偏移角度为θZ0，则此时可将所述基板10沿着Rz方向旋转-θZ0的角度，以补充基板的位置偏差。
进一步的，在对基板执行光配向操作之前，还包括：测定并补偿光配向偏振光的系统偏差。例如，对光配向设备进行第二检偏操作，并相应的调整光配向设备的光路或基板台的位置。
结合图1所示，与执行第一检偏操作的方法类似的，利用检偏组件7执行第二检偏操作。所述检偏组件7随着可转动反射镜13的转动而相应的从所述基板10的上方移动，以采集并检测光束。此时，可使所述检偏组件7的检测面略高于所述基板10的板面。
具体的，以图1为例，在执行第二检偏操作的过程中，所述第一检偏组件7-1随着第一可转动反射镜13-1的转动而相应的从基板10的左侧移动至基板10的中间位置，以使所述第一检偏组件7-1的检测面在所述基板10的第一部分的上方采集光束，以及所述第二检偏组件7-2随着第二可转动反射镜13-2的转动而相应的从基板10的右侧移动至基板10的中间位置，以使所述第二检偏组件7-2的检测面在所述基板10的第二部分的上方采集光束。
在执行第二检偏操作之后，即可根据检测结果对应的调整光配向的光路或者基板台的位置，如此以补偿由偏振光的偏光角、消光比等差异性所引起的系统偏差，确保整个基板上接收到的偏振光一致、均匀且恒定。本实施例中，以根据检测结果进一步微调整所述基板台的位置为例进行解释说明。
具体而言，根据第二检偏操作的检测结构调整所述基板台的位置的方法为：拟合计算出基板的第一部分的偏移角度θZ1，以及计算出基板的第二部分的偏移角度θZ2，从而可以根据偏转角度θZ＝(θZ1+θZ2)/2转动基板台9，从而补偿由偏振光的偏光角、消光比等的差异性引起的系统偏差。
此外，需要说明的是，在针对同一批次的多片基板进行光配向时，可以在上载第一片基板时，执行所述第二检偏操作并对应调整基板台9的位置，而在后续上载下一基板时，可以不再执行第二检偏操作。当然，在后续上载基板时，也可以执行所述第二检偏操作，此处不做限定。
在完成对光配向光路和基板的调整之后，即可对基板执行光配向过程。即，利用偏振光发生装置发出偏振光并使偏振光投射至基板上，以完成光配向过程。
继续结合图1所示，在执行光配向过程中，所述偏振光发生装置3发出偏振光，所述偏振光可进一步经由所述可转动反射镜13反射至所述基板10上。具体的，所述可转动反射镜13沿着预定方向转动(例如，沿着Rx方向顺时针转动，或者沿着Rx方向逆时针转动)，从而使由所述可转动反射镜13反射出的光束能够沿着预定方向扫描所述基板(例如，沿着Y方向从左到右依次扫描基板，或者沿着Y方向从右到左依次扫描基板)。如此，以完成对整个基板的光配向过程。
即，在光配向过程中，通过转动可转动反射镜13，即可以实现光配向的曝光视场能够覆盖整个基板，而在此过程中并不需要移动偏振光发生装置或者基板，从而有效保障了配向过程中设备的稳定性，避免由于偏振光发生装置或者基板的移动而产生的震动，有利于提高光配向的精度。
本实施例中，设置有第一可转动反射镜13-1和第二可转动反射镜13-2，用于对基板的第一部分和第二部分分别进行光配向过程，从而可以实现基板的两个部分并行光配向。具体的，在执行光配向过程中，可使所述第一可转动反射镜13-1和第二可转动反射镜13-2同时转动，以对基板10的两个部分同时进行光配向过程。
如上所述，与传统的仅能够由基板的一侧至另一侧进行单向扫描相比，本实施例中，可以对基板的两个部分同时进行光配向过程，有效提高了对基板的光配向效率。
需要说明的是，本实施例中，所述第一可转动反射镜13-1和所述第二可转动反射镜13-2的转动方向，决定了对基板的扫描方向，而所述第一可转动反射镜13-1和所述第二可转动反射镜13-2的转动方向可根据实际需要进行调整，例如可使对基板两个部分的扫描为同向扫描(例如，均从左到右进行扫描；或者均为从右到左进行扫描)或者为反向扫描(例如，以相互背离的方向进行扫描；或者，以相互靠近的方向进行扫描)。
继续参考图1所示，本实施例中，还利用一分光镜11将由所述偏振光发生装置3发出的偏振光拆分为两束偏振光束，以使两束偏振光束分别入射至所述第一可转动反射镜13-1和第二可转动反射镜13-2。
具体而言，由所述偏振光发生装置3发出的部分偏振光经由所述分光镜11发生反射而形成第一偏振光束，以及由所述偏振光发生装置3发出的另一部分偏振光经由所述分光镜11发生折射而形成第二偏振光束。
本实施例中，由所述偏振光发生装置3发出的偏振光向下投射至所述分光镜11上，从而使经由分光镜11反射形成的第一偏振光束进一步入射至所述第二可转动反射镜13-2，以及还可在所述分光镜11的下方设置固定反射镜12，以利用所述固定反射镜12使第二偏振光束进一步反射至第一可转动反射镜13-1。
此外，在可选的方案中，所述光配向操作包括：
将所述基板10以第一方向上载至所述基板台9上，并执行第一光配向过程；以及，
将所述基板10以相反的第二方向上载至所述基板台9上，并执行第二光配向过程。
如此一来，一方面通过两次的光配向叠加，可有效保障光配向的品质；另一方面，由于基板以正向放置和反向放置分别执行了光配向过程，有利于提高整个基板的光配向均匀性。
例如，以附图1为例，在执行第一光配向过程中，所述基板10以导向角朝向左侧放置，此时，对应于第一可转动反射镜13-1的光路用于对基板靠近导向角的部分执行光配向，以及对应于第二可转动反射镜13-2的光路用于对基板远离导向角的部分执行光配向；以及，在执行第二光配向过程中，所述基板10以导向角朝向右侧放置，此时，对应于第一可转动反射镜13-1的光路用于对基板远离导向角的部分执行光配向，以及对应于第二可转动反射镜13-2的光路用于对基板靠近导向角的部分执行光配向。
即，所述基板10的两个部分，均是利用对应于第一可转动反射镜13-1的光路和对应于第二可转动反射镜13-2的光路进行光配向叠加而完成的光配向过程，避免当两支光路存在偏差时导致基板的两个部分光配向不均匀的问题。
需要说明的是，在实际执行光配向过程中，可以以正向放置并执行第一光配向和反向放置并执行第二光配向为单位，重复进行一次或多次。
实施例二
与实施例一的区别在于，本实施例的光配向设备中，设置有两个基板台，两个基板台可以交替执行光配向过程。即，当其中一个基板台在执行光配向过程时，另一个基板台可以执行基板的上载或下载操作，由于两个基板台可以交替进行，从而可以实现光配向设备的连续作业，有效节省了基板的上载和下载过程中的等待时间，提高光配向效率和光配向设备的有效利用率。
图5为本发明实施例二中的光配向设备的结构示意图，如图5所示，本实施例中，所述光配向设备包括第一基板台9-1和第二基板台9-2，以及所述可转动反射镜13反射由所述偏振光发生装置3发出的偏振光，并交替投射至第一基板台9-1和第二基板台9-2上，从而实现两个基板台可以交替执行光配向过程。即相当于，利用一个偏振光发生装置3对两个基板台上的基板进行光配向。
本实施例中，所述偏振光发生装置3安装在第二固定导轨1上，以使所述偏振光发生装置3可以沿着所述第二固定导轨1在第一基板台9-1和第二基板台9-2的上方交替移动。
具体的，当第一基板台9-1的上基板10需要进行光配向操作时，所述偏振光发生装置3移动至所述第一基板台9-1的上方，并对应的将偏振光投射至第一基板台9-1上，此时可针对第二基板台9-2同时执行基板的上载和下载过程。反之亦然，此处不做赘述。
可选的方案中，所述光配向设备可以设置有一组或多组可转动反射镜13，同一组的可转动反射镜13用于同时对同一基板台上的基板进行光配向。如图5所示，本实施例中，每一组可转动反射镜13中包括两个可转动反射镜13，分别为第一可转动反射镜13-1和第二可转动反射镜13-2。
继续参考图5所示，本实施例中，所述光配向设备仅设置有一组可转动反射镜13，此一组可转动反射镜13与所述偏振光发生装置3同时移动。例如，当所述偏振光发生装置3移动至第一基板台9-1的上方时，则此一组可转动反射镜13对应的移动至所述第一基板台9-1的上方，以用于反射由所述偏振光发生装置3发出的偏振光至所述第一基板台9-1。同样的，当所述偏振光发生装置3移动至第二基板台9-2的上方时，则此一组可转动反射镜13对应的移动至所述第二基板台9-2的上方。
当然，在其他实施例中，所述光配向设备也可以设置有两组可转动反射镜13，即所述第一基板台9-1对应有第一组可转动反射镜，以及所述第二基板台9-2对应有第二组可转动反射镜。以及，第一组可转动反射镜和第二组可转动反射镜可以均包括有两个可转动反射镜。
此外，与实施例一类似的，可以设置一个或多个检偏组件，如图5所示，本实施例中设置有两个检偏组件，并且所述检偏组件可以沿着光配向的扫描方向(Y方向)移动，因此对应于第一基板台的区域和对应于第二基板台的区域均可利用所述两个检偏组件执行检偏过程。
图6为本发明实施例二中的光配向方法的流程示意图，下面结合附图5和附图6对本实施例中的光配向方法进行详细说明。
与实施例一类似，本实施例中，在将基板上载至基板台之前，包括：执行光配向设备的初始装配并调整。
具体的，提供图5所示的光配向设备，接着可对所述光配向设备进行第一检偏操作。本实施例中，执行所述第一检偏操作的方法例如包括如下步骤。
第一步骤，将偏振光发生装置3移动至所述第一基板台9-1的上方，并利用所述检偏组件7对第一基板台区域执行检偏过程。
如上所述，本实施例的光配向设备中仅设置有一组可转动反射镜，因此在将偏振光发生装置3移动至所述第一基板台9-1的上方时，还包括将此一组可转动反射镜13移动至所述第一基板台9-1的上方。应当认识到，在其他实施例中，当设置有两组可转动反射镜时，则可以不移动所述可转动反射镜。
第二步骤，将偏振光发生装置3移动至所述第二基板台9-2的上方，并利用所述检偏组件7对第二基板台区域执行检偏过程。
同样的，本实施例中，在将所述偏振光发生装置3移动至所述第二基板台9-2的上方时，还包括将此一组可转动反射镜13移动至所述第二基板台9-2的上方。
第三步骤，根据检偏结果对应的调整对应于第一基片台区域的光路和对应于第二基板台区域的光路。例如，可调整偏振光发生装置3与第一基板台9-1之间的平行度，以及调整偏振光发生装置3与第二基板台9-2之间的平行度。
接着，即可将基板依次上载于至第一基板台和第二基板台，以依次执行光配向过程。例如，执行所述光配向操作的方法包括：
将基板上载至第一基板台上，并利用所述可转动反射镜将光束投射至位于所述第一基板台上的基板，同时对第二基板台执行基板的上载和/或下载操作；以及，
利用所述可转动反射镜将光束投射至位于所述第二基板台上的基板，并对所述第一基板台上完成光配向的基板执行下载操作，以及将未配向的基板上载至所述第一基板台上。
以下具体结合附图5，对本实施例中的光配向操作的方法进行详细说明。其光配向操作包括如下步骤。
步骤一，将基板10上载至第一基板台9-1，并可利用对准组件5检测并调整放置于所述第一基板台9-1上的基板10的位置。
步骤二，将所述偏振光发生装置3移动至第一基板台9-1的上方，本实施例中，还将所述可转动反射镜13移动至所述第一基板台9-1的上方。以及，还可进一步利用检偏组件7执行第二检偏操作，以测定并补偿第一基片台区域的光配向偏振光的系统偏差。
与实施例一类似的，可根据检偏结果对应的调整所述第一基板台9-1的位置，例如使所述第一基片台9-1沿着Rz方向转动以抵消系统偏差。可选的，当针对同一批次的多个基板进行光配向时，可仅在将第一片基板上载至第一基片台9-1上时，执行所述第二检偏操作。
步骤三，对第一基片台9-1上的基板10执行光配向。本实施例中，在对第一基板台9-1上的基板10执行光配向的同时，还将下一片基板上载至所述第二基板台9-2。
步骤四，完成对第一基板台9-1上的基板的光配向之后，将所述偏振光发生装置3移动至第二基板台9-2的上方，本实施例中，还将所述可转动反射镜13移动至所述第二基板台9-2的上方。同样的，还可进一步利用检偏组件7执行第二检偏操作，以测定并补偿第二基片台区域的光配向偏振光的系统偏差。
步骤五，对第二基片台9-2上的基板执行光配向。需要说明的是，本实施例中，在对第二基板台9-1上的基板执行光配向的同时，还将第一基板台9-1上已完成光配向的基板下载，并继续上载下一片未配向的基板至所述第一基板台9-1。
如此，反复执行如上步骤，以完成整一批次中多个基板的光配向过程。
此外，与实施例一类似的，针对同一基板台而言，可以将基板以正向放置和反向放置均执行一次光配向操作。具体可参考实施例一所述，此处不做赘述。
综上所述，在本发明提供的光配向设备中，由于设置有可转动反射镜，从而可通过转动可转动反射镜，即可以实现从可转动反射镜投射出的偏振光的扫描范围能够覆盖整个基板。如此一来，在执行光配向时，并不需要移动所述基板或所述偏振光发生装置，有效提高了光配向过程中的稳定性，从而有利于提高光配向精度。并且，由于基板在光配向时不需要移动，相应的不需要预留基板横向移动的空间，从而可以进一步减小光配向设备的体积和质量。
本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对于实施例公开的系统而言，由于与实施例公开的方法相对应，所以描述的比较简单，相关之处参见方法部分说明即可。
上述描述仅是对本发明较佳实施例的描述，并非对本发明范围的任何限定，本发明领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。

Claims (22)

1.一种光配向设备，其特征在于，包括：
至少一个基板台，用于承载基板；
偏振光发生装置，用于发出偏振光；以及，
至少一个可转动反射镜，用于反射由所述偏振光发生装置发出的偏振光，并且在对基板进行光配向时，所述可转动反射镜沿着预定方向转动，以使由所述可转动反射镜反射出的光束沿着对应方向依次投射至所述基板上。
2.如权利要求1所述的光配向设备，其特征在于，所述光配向设备配置有第一可转动反射镜和第二可转动反射镜，所述第一可转动反射镜用于反射光束至所述基板的第一部分上，所述第二可转动反射镜用于反射光束至所述基板的第二部分上。
3.如权利要求2所述的光配向设备，其特征在于，所述偏振光发生装置设置在所述基板台的上方并对应在所述基板台的中间区域，所述第一可转动反射镜和所述第二可转动反射镜分别配置在所述偏振光发生装置的两侧。
4.如权利要求2所述的光配向设备，其特征在于，所述光配向设备还包括：
分光镜，由所述偏振光发生装置发出的偏振光经由所述分光镜拆分为两束偏振光束，所述两束偏振光束分别发射至所述第一可转动反射镜和所述第二可转动反射镜。
5.如权利要求4所述的光配向设备，其特征在于，所述分光镜用于使部分偏振光反射以形成第一偏振光束，所述第一偏振光束进一步发射至所述第一可转动反射镜，并使另一部分偏振光折射以形成第二偏振光束，并且所述第二偏振光束进一步发射至所述第二可转动反射镜。
6.如权利要求2所述的光配向设备，其特征在于，所述光配向设备还包括第一检偏组件和第二检偏组件，所述第一检偏组件用于检测由所述第一可转动反射镜反射出的光束，所述第二检偏组件用于检测由所述第二可转动反射镜反射出的光束。
7.如权利要求1所述的光配向设备，其特征在于，所述光配向设备还包括：
检偏组件，用于检测由所述可转动反射镜反射出的光束。
8.如权利要求7所述的光配向设备，其特征在于，所述光配向设备还包括：
第一固定导轨，所述检偏组件安装在所述第一固定导轨上，在执行检偏操作的过程中，所述检偏组件随着所述可转动反射镜的转动而沿着所述第一固定导轨移动，以使所述检偏组件的检测面从所述基板台的上方移动并感应由所述可转动反射镜反射出的光束。
9.如权利要求1所述的光配向设备，其特征在于，所述光配向设备还包括：
对准组件，用于检测并调整放置于所述基板台上的基板的位置。
10.如权利要求1所述的光配向设备，其特征在于，所述光配向设备具有两个基板台，所述可转动反射镜反射由所述偏振光发生装置发出的偏振光，并交替投射至两个所述基板台。
11.如权利要求10所述的光配向设备，其特征在于，所述光配向设备还包括：
第二固定导轨，所述偏振光发生装置安装在所述第二固定导轨上，并沿着所述第二固定导轨在所述两个基板台的上方交替移动。
12.一种光配向方法，其特征在于，包括：
提供如权利要求1所述的光配向设备，并上载基板至基板台上；以及，
利用偏振光发生装置发出偏振光，并使所述偏振光经由可转动反射镜反射至所述基板上，以执行光配向操作；并且，在执行光配向过程中，所述可转动反射镜沿着预定方向转动，以使由所述可转动反射镜反射出的光束沿着对应方向依次投射至所述基板上。
13.如权利要求12所述的光配向方法，其特征在于，所述光配向设备配置有第一可转动反射镜和第二可转动反射镜；以及，在执行光配向操作时，所述第一可转动反射镜反射光束至所述基板的第一部分，所述第二可转动反射镜反射光束至所述基板的第二部分。
14.如权利要求13所述的光配向方法，其特征在于，执行光配向操作时，所述第一可转动反射镜和所述第二可转动反射镜同时转动，以同时对基板的第一部分和第二部分进行光配向。
15.如权利要求12所述的光配向方法，其特征在于，在将基板上载至所述基板台之前，所述光配向方法还包括：
利用检偏组件执行第一检偏操作，以检测由所述可转动反射镜反射出的光束；以及，
根据所述第一检偏操作的检偏结果，调整所述偏振光发生装置的出光面与所述基板台之间的平行度。
16.如权利要求15所述的光配向方法，其特征在于，在所述第一检偏操作的过程中，所述检偏组件随着所述可转动反射镜的转动而相应的移动，以使所述检偏组件的检测面从所述基板台的上方移动并感应由所述可转动反射镜反射出的光束。
17.如权利要求15所述的光配向方法，其特征在于，在所述第一检偏操作中，所述检偏组件的检测面位置与基板台上基板的板面位置齐平。
18.如权利要求12所述的光配向方法，其特征在于，在将基板上载至所述基板台上之后，以及执行光配向操作之前，还包括：
利用对准组件检测并调整放置于所述基板台上的基板的位置。
19.如权利要求12所述的光配向方法，其特征在于，在将基板上载至所述基板台上之后，以及执行光配向操作之前，还包括：
利用检偏组件执行第二检偏操作，以检测由所述可转动反射镜反射出的光束；以及，
根据所述第二检偏操作的检偏结果，调整所述基板台的位置。
20.如权利要求12所述的光配向方法，其特征在于，所述光配向设备具有两个基板台，以及在执行所述光配向操作时，所述可转动反射镜将光束投射至其中一个基板台上，并对另一个基板台执行基板的上载和/或下载操作。
21.如权利要求20所述的光配向方法，其特征在于，执行所述光配向操作的步骤包括：
将基板上载至第一基板台上，并利用所述可转动反射镜将光束投射至位于所述第一基板台上的基板，同时对第二基板台执行基板的上载和/或下载操作；以及，
利用所述可转动反射镜将光束投射至位于所述第二基板台上的基板，并同时对所述第一基板台上完成光配向的基板执行下载操作，以及将未配向的基板上载至所述第一基板台上。
22.如权利要求12～21任一项所述的光配向方法，其特征在于，对所述基板执行光配向操作的方法包括：
将所述基板以第一方向上载至所述基板台上，并执行第一光配向过程；以及，
将所述基板以相反的第二方向上载至所述基板台上，并执行第二光配向过程。
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