CN111754479B - 版图图形精准匹配的检查方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种版图图形精准匹配的检查方法，包括：读取标准版图设计，查找出基准图形；对基准图形生成边界框；根据边界框的尺寸和位置对基准图形添加标志图形；将基准图形、边界框和标志图作为待测版图图形匹配计算的基准单元；使用基准单元对待测版图进行匹配性检查，基准图形与待测版图图形重合时，检测相邻基准单元的边界框是否重叠；若有重叠，则将重叠的相邻边界框进行合；计算边界框内的标志图形数量，如果一边界框内的标志图形的数量大于1，则判断该边界框对应的版图图形有重叠区域。此方法检查到了版图图形有重叠的情况，可以解决版图图形匹配度的检查过程中误把重叠图形认为标准图形的风险，同时，并且降低了计算时间。
Description
技术领域
本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种版图图形精准匹配的检查方法。
背景技术
在先进工艺芯片设计版图中存在一部分重复性很高的图形，比如逻辑芯片的存储区和摄像头芯片的像素区。原始设计图形尺寸细微的差别将会对光学临近修正造成巨大的影响，对于这些重复单元，业内常用图形匹配这种方法来检测这些重复单元，确保其在原始设计的图形尺寸保持一致。
图形匹配检查的基本原理是采用一个最小重复子单元作为基准图形和原始版图内的图形进行比对，当基准图形和版图内的图形尺寸、相对位置完全匹配时，则认为匹配度一致。当版图内的重复子单元以x为步长重叠时，如果x大于一定的值时,此时相邻匹配单元图形进入匹配单元的边界框内，成为了该匹配单元的额外图形，这是匹配度不一致的图形,然而业内要检测出这种匹配度不一致的图形，而不漏报的方法是采取多个标准库对版图进行比对，这种方法计算量成倍增加，并且随着芯片工艺的进步，版图内重复单元的设计越来越复杂，重复单元的旋转和对称方式也变得越来越多样化，标准库总是有限的，无法做到利用这种多次检查的方法来规避风险。
发明内容
本发明的目的在于提供一种版图图形精准匹配的检查方法，可以解决版图图形匹配度的检查过程中误把重叠图形认为标准图形的风险，同时可以降低计算时间。
为了达到上述目的，本发明提供了一种版图图形精准匹配的检查方法，包括：
读取标准版图设计，标准版图包括多个图形，从多个图形中查找出基准图形；
对所述基准图形生成边界框；
根据所述边界框的尺寸和位置对所述基准图形添加标志图形；
将所述基准图形、边界框和标志图形存入标准库，作为待测版图图形匹配计算的基准单元；
使用所述基准单元对待测版图进行匹配性检查，基准图形与待测版图的图形重合时，检测基准单元的边界框是否重叠；
若基准单元的边界框之间有重叠，则将重叠的边界框进行合并形成新的边界框；
计算原来的边界框和新的边界框内的标志图形数量，如果一边界框内的标志图形的数量大于1，则判断该边界框对应的版图有重叠图形。
可选的，在所述的版图图形精准匹配的检查方法中，若将标准版图映射在XY坐标轴上，其中X轴垂直Y轴，则所述边界框平行于X轴或Y轴。
可选的，在所述的版图图形精准匹配的检查方法中，所述边界框具有四条边，分别为第一边界线、第二边界线、第三边界线和第四边界线，所述第一边界线、第二边界线、第三边界线和第四边界线组成矩形的形状。
可选的，在所述的版图图形精准匹配的检查方法中，所述第一边界线和所述第三边界线均平行于Y轴，所述第二边界线和所述第四边界线均平行于X轴。
可选的，在所述的版图图形精准匹配的检查方法中，根据所述边界框对尺寸和位置对所述基准图形添加标志图形的方法包括：
将所述第一边界线和所述第三边界线之间间隙的中心线作为第一中心线；
将所述第二边界线和所述第四边界线之间间隙的中心线作为第二中心线；
取所述第一中心线和所述第二中心线的交集部分作为标志图形。
可选的，在所述的版图图形精准匹配的检查方法中，所述第一中心线的宽度为所述第一边界线的长度的十分之一。
可选的，在所述的版图图形精准匹配的检查方法中，所述第二中心线的宽度为所述第二边界线的长度的十分之一。
可选的，在所述的版图图形精准匹配的检查方法中，重叠的所述基准单元包括：
在X轴方向上重叠的基准单元；
或者，在Y方向上重叠的基准单元；
或者，在X轴和Y轴方向上均重叠的基准单元。
可选的，在所述的版图图形精准匹配的检查方法中，如果一边界框内的标志图形的数量等于1，则判断该边界框对应的版图无重叠图形，基准图形与版图图形匹配一致。
可选的，在所述的版图图形精准匹配的检查方法中，所述版图图形精准匹配的检查方法还包括：若所述基准图形与版图图形匹配一致，输出匹配度一致的图形。
在本发明提供的版图图形精准匹配的检查方法中，通过画边界框，再通过边界框的位置和尺寸画出标志图形，最后又通过边界框内的标志图形的数量去检查待测版图的图形是否有重叠的情况，可以解决版图图形匹配度的检查过程中误把重叠图形认为标准图形的风险，同时，不用提供多种标准库反复对比，降低了计算时间。
附图说明
图1是本发明实施例的版图图形精准匹配的检查方法的流程图；
图2至图10是本发明实施例的版图图形精准匹配的检查方法的示意图；
图中：110-第一层图形、120-第二层图形、130-边界框、130A-第一边界框、130B-第二边界框、130C-第三边界框、130D-第四边界框、131-第一边界线、132-第二边界线、133-第三边界线、134-第四边界线、135-第一中心线、136-第二中心线、140-标志图形。
具体实施方式
下面将结合示意图对本发明的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。
在下文中，术语“第一”“第二”等用于在类似要素之间进行区分，且未必是用于描述特定次序或时间顺序。要理解，在适当情况下，如此使用的这些术语可替换。类似的，如果本文所述的方法包括一系列步骤，且本文所呈现的这些步骤的顺序并非必须是可执行这些步骤的唯一顺序，且一些所述的步骤可被省略和/或一些本文未描述的其他步骤可被添加到该方法。
参照图1，本发明提供了一种版图图形精准匹配的检查方法，包括：
S11：读取标准版图设计，标准版图包括多个图形，从多个图形中查找出基准图形；
S12：对所述基准图形生成边界框；
S13：根据所述边界框的尺寸和位置对所述基准图形添加标志图形；
S14：将所述基准图形、边界框和标志图形存入标准库，作为待测版图图形匹配计算的基准单元；
S15：使用所述基准单元对待测版图进行匹配性检查，基准图形与待测版图的图形重合时，检测基准单元的边界框是否重叠；
S16：若基准单元的边界框之间有重叠，则将重叠的边界框进行合并形成新的边界框；
S17：计算原来的边界框和新的边界框内的标志图形数量，如果一边界框内的标志图形的数量大于1，则判断该边界框对应的版图有重叠图形。
其中：基准图形是版图中的一个最小的重复图形，而版图图形可能为单层图形或多层图形组成，因此，基准图形也可能是单层图形或多层图形组成，例如图2，图2为一个基准图形，其具有两层图形，分别是第一层图形110和第二层图形120。基准图形是已将选好可以作为匹配模板的标准图形，待测版图中有很多个与基准图形相同的图形，但是待测版图中的图形可能存在重叠，本发明采用基准单元去验证待测版图中的图形是否有重叠。基准单元和待测版图中的图形均为有多个，在基准图形与待测版图中的图形一一重合对应时，如果待测版图中的图形在某一地方有重叠，基准图形为了去重合待测版图中的图形，则相邻的基准图形彼此也会有重叠，进一步的，边界框也会有重叠，所以将重叠的边界框合并成一个边界框，这个边界框内就有两个标志图形，最后，又可以反过来通过判断一个边界框内的标志图形是否大于1，来判断待测版图的图形是否有重叠。
本发明实施例中，若将标准版图映射在XY坐标轴上，其中X轴垂直Y轴，则所述边界框平行于X轴或Y轴。参照图3，边界框130是经过基准图形的最边界处所画的线，即边界框130恰好将基准图形包围，并且任何一条边界框130平行于X轴或Y轴。
进一步的，参照图3和图4，所述边界框130具有四条边，分别为第一边界线131、第二边界线132、第三边界线133和第四边界线134，第一边界线131、第二边界线132、第三边界线133和第四边界线134组成矩形的形状。由此也可以得到，第一条边界框131和第二边界线132垂直，第二边界线132和第三边界线133垂直，第三边界线133和第四边界线134垂直，第四边界线134和第一边界线131垂直。还进一步可以得知，第一边界线131和第三边界线133的长度相等；第二边界线132和第四边界线134的长度相等。而组成的矩形可能是长方形也可能是正方形，具体的形状根据基准图形的轮廓确定。
继续参照图4，还可以发现，第一边界线131和第三边界线133均平行于Y轴，所述第二边界线132和第四边界线134均平行于X轴。当然，在本发明的其他实施例中，也可以是所述第一边界线和第三边界线平行于X轴，所述第二边界线和第四边界线平行于Y轴。
进一步，参照图4和图5，根据所述边界框对尺寸和位置对所述基准图形添加标志图形的方法包括：
将第一边界线131和第三边界线133之间间隙的中心线作为第一中心线135；
将第二边界线132和第四边界线134之间间隙的中心线作为第二中心线136；
取所述第一中心线135和第二中心线136的交集部分作为标志图形140。
优选的，第一中心线135的宽度为第一边界线131的长度的十分之一。第二中心线136的宽度为第二边界线132的长度的十分之一。举个例子，第一边界线131和第三边界线133之间可以画一条距离最短的连线，以此连线的中点再画一条平行于第一边界线131的第一中心线135，并且第一中心线135的宽度为第一边界线131和第三边界线133之间。
进一步的，重叠的边界框130可能在X轴方向上有重叠或者在Y方向上有重叠或者在X轴和Y轴方向上均有重叠。如图6，是匹配后显示的一部分基准单元，相邻边界框130就没有重叠部分，匹配成功。如图7，相邻边界框130在X轴方向上有重叠，如图9，相邻边界框在Y轴上有重叠。
本发明实施例中，若相邻基准单元的边界框之间有重叠，则将重叠的相邻边界框进行合并形成新的边界框的方法包括：取重叠的边界框130的并集作为合并后的新的边界框。具体的，如图8，是对图7的相邻边界框在X轴方向上有重叠的情况进行了处理，即相邻的边界框进行了合并，形成了新的边界框即第二边界框130B。如图10，是对图8的相邻边界框在Y轴方向上有重叠的情况进行了处理，即相邻的边界框130进行了合并，形成了新的边界框第四边界框130D。
进一步的，如果一边界框130内的标志图形的数量等于1，则判断该边界框130对应的版图无重叠图形，基准图形与版图图形匹配一致，基准图形与版图图形匹配一致。此边界框130可以是没有合并的边界框也可以是合并了的边界框。如图5，可以发现，每一个边界框130内只有一个标志图形140，则认为该边界框130内与的待测版图的图形与标准库内的基准图形相匹配。而如图8，第一边界框130A内只有一个图形，此处的基准图形与待测版图的图形匹配一致，第二边界框130B内有两个标志图形140，此处待测版图的图形有重叠图形。如图10，第三边界框130C内只有一个图形，基准图形与待测版图的图形匹配一致，第四边界框130D内有两个标志图形140，此处待测版图的图形有重叠图形。最后，输出匹配度一致的图形，完成待测版图图形匹配度的检查。
综上，在本发明实施例提供的版图图形精准匹配的检查方法中，通过画边界框，再通过边界框的位置和尺寸画出标志图形，最后又通过边界框内的标志图形的数量去检查待测版图的图形是否有重叠的情况，可以解决版图图形匹配度的检查过程中误把重叠图形认为标准图形的风险，同时，不用提供多种标准库反复对比，降低了计算时间。
上述仅为本发明的优选实施例而已，并不对本发明起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本发明的技术方案的范围内，对本发明揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本发明的技术方案的内容，仍属于本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种版图图形精准匹配的检查方法，其特征在于，包括：
读取标准版图设计，标准版图包括多个图形，从多个图形中查找出基准图形；
对所述基准图形生成边界框；
根据所述边界框的尺寸和位置对所述基准图形添加标志图形；
将所述基准图形、边界框和标志图形存入标准库，作为待测版图图形匹配计算的基准单元；
使用所述基准单元对待测版图进行匹配性检查，基准图形与待测版图的图形重合时，检测基准单元的边界框是否重叠；
若基准单元的边界框之间有重叠，则将重叠的相邻边界框进行合并形成新的边界框；
计算原来的边界框和新的边界框内的标志图形数量，如果一边界框内的标志图形的数量大于1，则判断该边界框对应的版图有重叠图形。
2.如权利要求1所述的版图图形精准匹配的检查方法，其特征在于，若将标准版图映射在XY坐标轴上，其中X轴垂直Y轴，则所述边界框平行于X轴或Y轴。
3.如权利要求2所述的版图图形精准匹配的检查方法，其特征在于，所述边界框具有四条边，分别为第一边界线、第二边界线、第三边界线和第四边界线，所述第一边界线、第二边界线、第三边界线和第四边界线组成矩形的形状。
4.如权利要求3所述的版图图形精准匹配的检查方法，其特征在于，所述第一边界线和所述第三边界线均平行于Y轴，所述第二边界线和所述第四边界线均平行于X轴。
5.如权利要求3所述的版图图形精准匹配的检查方法，其特征在于，根据所述边界框的尺寸和位置对所述基准图形添加标志图形的方法包括：
将所述第一边界线和所述第三边界线之间间隙的中心线作为第一中心线；
将所述第二边界线和所述第四边界线之间间隙的中心线作为第二中心线；
取所述第一中心线和所述第二中心线的交集部分作为标志图形。
6.如权利要求5所述的版图图形精准匹配的检查方法，其特征在于，所述第一中心线的宽度为所述第一边界线的长度的十分之一。
7.如权利要求5所述的版图图形精准匹配的检查方法，其特征在于，所述第二中心线的宽度为所述第二边界线的长度的十分之一。
8.如权利要求1所述的版图图形精准匹配的检查方法，其特征在于，重叠的所述基准单元包括：
在X轴方向上重叠的基准单元；
或者，在Y方向上重叠的基准单元；
或者，在X轴和Y轴方向上均重叠的基准单元。
9.如权利要求1所述的版图图形精准匹配的检查方法，其特征在于，如果一边界框内的标志图形的数量等于1，则判断该边界框对应的版图无重叠图形，基准图形与版图图形匹配一致。
10.如权利要求9所述的版图图形精准匹配的检查方法，其特征在于，所述版图图形精准匹配的检查方法还包括：若所述基准图形与版图图形匹配一致，输出匹配度一致的图形。
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