CN111720599A - 功率器件测试探针卡用弹簧式泄压结构及其安装标定方法 - Google Patents

功率器件测试探针卡用弹簧式泄压结构及其安装标定方法 Download PDF

Info

Publication number
CN111720599A
CN111720599A CN202010621064.9A CN202010621064A CN111720599A CN 111720599 A CN111720599 A CN 111720599A CN 202010621064 A CN202010621064 A CN 202010621064A CN 111720599 A CN111720599 A CN 111720599A
Authority
CN
China
Prior art keywords
pressure relief
wall
relief hole
probe card
screwing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN202010621064.9A
Other languages
English (en)
Other versions
CN111720599B (zh
Inventor
赵梁玉
王艾琳
王兴刚
周明
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Strong Half Conductor Suzhou Co ltd
Original Assignee
Maxone Semiconductor Suzhou Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Maxone Semiconductor Suzhou Co Ltd filed Critical Maxone Semiconductor Suzhou Co Ltd
Priority to CN202010621064.9A priority Critical patent/CN111720599B/zh
Publication of CN111720599A publication Critical patent/CN111720599A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN111720599B publication Critical patent/CN111720599B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K17/00—Safety valves; Equalising valves, e.g. pressure relief valves
    • F16K17/02—Safety valves; Equalising valves, e.g. pressure relief valves opening on surplus pressure on one side; closing on insufficient pressure on one side
    • F16K17/04—Safety valves; Equalising valves, e.g. pressure relief valves opening on surplus pressure on one side; closing on insufficient pressure on one side spring-loaded
    • F16K17/0413—Safety valves; Equalising valves, e.g. pressure relief valves opening on surplus pressure on one side; closing on insufficient pressure on one side spring-loaded in the form of closure plates
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K17/00—Safety valves; Equalising valves, e.g. pressure relief valves
    • F16K17/02—Safety valves; Equalising valves, e.g. pressure relief valves opening on surplus pressure on one side; closing on insufficient pressure on one side
    • F16K17/04—Safety valves; Equalising valves, e.g. pressure relief valves opening on surplus pressure on one side; closing on insufficient pressure on one side spring-loaded
    • F16K17/06—Safety valves; Equalising valves, e.g. pressure relief valves opening on surplus pressure on one side; closing on insufficient pressure on one side spring-loaded with special arrangements for adjusting the opening pressure
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/06711—Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
    • G01R1/06716—Elastic
    • G01R1/06722—Spring-loaded
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
    • G01R31/2601—Apparatus or methods therefor

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

本发明一种功率器件测试探针卡用弹簧式泄压结构及其安装标定方法属于半导体器件测试技术领域；泄压孔底部还设置有调节阀，包括三层阶梯，下层阶梯的截面直径大于泄压孔截面直径，中层阶梯的截面直径与泄压孔截面直径为间隙配合关系，上层阶梯套有螺纹；泄压孔内壁攻有螺纹，并旋拧有调整件，调整件包括接触端，连接端和螺纹端，接触端为环形，外壁套有螺纹，旋拧在泄压孔的内壁，连接端为多个，每个连接端均连接在接触端内壁与螺纹端之间，螺纹端外壁套有螺纹，弹簧分别连接在上层阶梯外壁与螺纹端外壁之间；本发明应用于功率器件高温高压测试探针卡，能够同时抑制高电压环境下探针之间非正常放电和高温度环境下探针卡翘曲变形和探针位置漂移。

Description

功率器件测试探针卡用弹簧式泄压结构及其安装标定方法
技术领域
本发明一种功率器件测试探针卡用弹簧式泄压结构及其安装标定方法属于半导体器件测试技术领域。
背景技术
随着MEMS技术和半导体技术的不断发展，小型化高功率器件的产量逐年攀升。很多器件要在高电压和高温度环境下进行工作。确保这些器件能够在如此恶劣环境下正常工作，需要用探针卡对其性能进行测试。
功率器件测试的一项重要指标是击穿电压，该电压可以高达几千伏，在如此高电压下进行测试，探针卡的探针之间就可能产生非正常放电现象，瞬间就可以损坏测试设备以及被测晶圆。
功率器件测试的另一项重要指标是工作温度，一般来讲，测试芯片要求在-40摄氏度到125摄氏度之间均能够正常工作，而汽车领域中的部分芯片，要求其能够在180摄氏度以上的环境下正常工作，那么我们就需要对其在180摄氏度以上的工作情况进行测试。由于探针卡各部件之间存在热膨胀系数差异，从室温到180摄氏度以上的温度变化会造成探针卡的翘曲变形和探针的位置漂移，这不仅降低了测试效果和效率，严重时甚至造成测试失败、探针卡损伤等问题。
可见，如何抑制高电压环境下探针之间非正常放电现象，以及如何抑制高温度环境下探针卡翘曲变形和探针位置漂移，是现阶段功率器件测试探针卡技术亟待解决的关键技术问题，然而，目前还没有发现能够同时突破这两个技术难题的探针卡。
发明内容
针对上述问题，本发明公开了一种功率器件测试探针卡用弹簧式泄压结构及其安装标定方法，该项技术应用于功率器件高温高压测试探针卡，不仅能够抑制高电压环境下探针之间非正常放电现象，而且能够抑制高温度环境下探针卡翘曲变形和探针位置漂移。
本发明的目的是这样实现的：
功率器件测试探针卡用弹簧式泄压结构，在进气系统上设置有泄压孔，所述泄压孔底部还设置有调节阀；所述调节阀为三层阶梯结构，包括截面直径依次减小的下层阶梯、中层阶梯和上层阶梯，所述下层阶梯和中层阶梯之间设置有密封圈，下层阶梯的截面直径大于泄压孔截面直径，中层阶梯的截面直径与泄压孔截面直径之间为间隙配合关系，上层阶梯套有螺纹；所述泄压孔内壁攻有螺纹，并旋拧有调整件，所述调整件包括接触端，连接端和螺纹端，所述接触端为环形，外壁套有螺纹，旋拧在泄压孔的内壁，所述连接端为多个，在圆周方向均匀分布，每个连接端均连接在接触端内壁与螺纹端之间，所述螺纹端外壁套有螺纹，且与上层阶梯的螺纹参数相同，螺纹端底部设置有一字或十字凹槽，弹簧分别连接在上层阶梯外壁与螺纹端外壁之间。
功率器件测试探针卡用弹簧式泄压结构的安装方法，包括以下步骤：
步骤a、将调整件的接触端旋拧入泄压孔中；
步骤b、将弹簧的上端旋拧在调整件的螺纹端，将弹簧的下端旋拧在调节阀的上层阶梯。
功率器件测试探针卡用弹簧式泄压结构的标定方法，包括以下步骤：
步骤a、设定高温高压气体压强阈值；
步骤b、将调整件的接触端旋拧入泄压孔中；
步骤c、将弹簧的上端旋拧在调整件的螺纹端，将弹簧的下端旋拧在调节阀的上层阶梯，将调节阀的下端连接拉力测量装置；
步骤d、拉动拉力测量装置，弹簧伸长，至拉力测量装置显示的拉力数值除以中层阶梯截面直径等于压强阈值的位置；
步骤e、测量进气系统底部距离中层阶梯的距离；
步骤f、拆卸拉力测量装置、调节阀和弹簧；
步骤g、旋拧调整件，使调整件沿泄压孔向上运动步骤e所述的距离；
步骤h、将弹簧的上端旋拧在调整件的螺纹端，将弹簧的下端旋拧在调节阀的上层阶梯。
有益效果：
第一、本发明公开了一种用于功率器件高温高压测试的探针卡，该探针卡设置有用于提供高温高压气体和常温高压气体的进气系统，并且高温高压气体供给到探针位置，常温高压气体供给到PCB板位置；在探针位置，利用均匀电场击穿电压随压强增大而增大，因此高温高压气体能够提高探针击穿电压，避免探针之间非正常放电的发生，对测试设备和被测晶圆起到保护作用；同时，高温高压气体能够提高探针和被测晶圆温度，实现高温测试；在PCB板位置，由于有常温高压气体供给，使得整个探针卡除探针外温度始终保持常温，有效避免因探针卡各部件之间存在热膨胀系数差异，在不同温度测试时发生的探针卡的翘曲变形和探针的位置漂移，有效提高了测试效果和效率。
第二、本发明一种用于功率器件高温高压测试的探针卡，能够同时抑制高电压环境下探针之间非正常放电现象，以及抑制高温度环境下探针卡翘曲变形和探针位置漂移，具有一机多能的有益效果。
第三、本发明还公开了一种探针卡载侧出气孔结构，在该结构下，通过拉动拉绳，可以改变挡板的角度，进而同时调整常温高压气体的喷射角度和压强，使得侧出气孔具有调节功能。
第四、本发明还公开了一种探针卡载双进气道装置，该装置专门针对本发明用于功率器件高温高压测试的探针卡，用于同时提供高温高压气体和常温高压气体。
第五、本发明还公开了一种弹簧式泄压结构，该结构能够保证探针处的压强为所需要强，在压强超出阈值后会自动泄压，不会因压强过大而产生不可控的问题。
第六、本发明还针对所提供的弹簧式泄压结构，提供了一种安装方法和标定方法，能够实现测试时探针处压强的调整。
附图说明
图1是本发明用于功率器件击穿电压测试的探针卡的结构示意图。
图2是泄压孔不工作时各相关零部件之间的位置关系示意图。
图3是泄压孔工作时各相关零部件之间的位置关系示意图。
图4是侧出气孔、挡板、拉绳和拉绳固定端之间的结构示意图。
图5是拉绳固定端的结构示意图。
图6是双进气道装置的结构示意图。
图中：1进气系统、1-1下出气孔、1-2侧出气孔、1-2-1挡板、1-2-2拉绳、1-2-3拉绳固定端、1-2-3-1框架、1-2-3-2固定板、1-2-3-3压簧、1-2-3-4开关、1-2-3-5支架、1-3泄压孔、1-4调节阀、1-4-1下层阶梯、1-4-2中层阶梯、1-4-3上层阶梯、1-4-4密封圈、1-5调整件、1-5-1接触端、1-5-2连接端、1-5-3螺纹端、1-6弹簧、1-7双进气道装置、1-7-1空气泵、1-7-2第一三通阀门、1-7-3高温高压箱、1-7-3-1电阻丝、1-7-3-2温度传感器、1-7-3-3第一压强计、1-7-4常温高压箱、1-7-4-1第二压强计、1-7-5第一阀门、1-7-6第二三通阀门、1-7-7第二阀门、2PCB板、2-1第一通孔、3转接层、3-1第二通孔、4导引板、4-1第三通孔、4-2充气气囊、5探针、6被测晶圆。
具体实施方式
下面结合附图对本发明具体实施方式作进一步详细描述。
具体实施例一
以下是一种用于功率器件高温高压测试的探针卡的具体实施例。
本实施例的用于功率器件高温高压测试的探针卡，如图1所示，该探针卡从上到下依次设置进气系统1、PCB板2、转接层3、导引板4和探针5；所述进气系统1底部具有多个下出气孔1-1和侧出气孔1-2，所述PCB板2上分布有与下出气孔1-1位置、形状和数量均相同的第一通孔2-1，所述转接层3上分布有与下出气孔1-1位置、形状和数量均相同的第二通孔3-1，所述导引板4上分布有与下出气孔1-1位置、形状和数量均相同的第三通孔4-1，下出气孔1-1、第一通孔2-1、第二通孔3-1和第三通孔4-1同轴设置，从下出气孔1-1喷射出的高温高压气体，依次经过第一通孔2-1、第二通孔3-1和第三通孔4-1后，吹入导引板4与被测晶圆6之间；
所述进气系统1还包括泄压孔1-3，所述泄压孔1-3底部还设置有调节阀1-4；所述调节阀1-4为三层阶梯结构，包括截面直径依次减小的下层阶梯1-4-1、中层阶梯1-4-2和上层阶梯1-4-3，所述下层阶梯1-4-1和中层阶梯1-4-2之间设置有密封圈1-4-4，下层阶梯1-4-1的截面直径大于泄压孔1-3截面直径，中层阶梯1-4-2的截面直径与泄压孔1-3截面直径之间为间隙配合关系，上层阶梯1-4-3套有螺纹；所述泄压孔1-3内壁攻有螺纹，并旋拧有调整件1-5，所述调整件1-5包括接触端1-5-1，连接端1-5-2和螺纹端1-5-3，所述接触端1-5-1为环形，外壁套有螺纹，旋拧在泄压孔1-3的内壁，所述连接端1-5-2为多个，在圆周方向均匀分布，每个连接端1-5-2均连接在接触端1-5-1内壁与螺纹端1-5-3之间，所述螺纹端1-5-3外壁套有螺纹，且与上层阶梯1-4-3的螺纹参数相同，螺纹端1-5-3底部设置有一字或十字凹槽，弹簧1-6分别连接在上层阶梯1-4-3外壁与螺纹端1-5-3外壁之间；
泄压孔1-3、调节阀1-4、调整件1-5和弹簧1-6之间的连接关系如图2和图3所示，其中，图2是泄压孔1-3不工作时各相关零部件之间的位置关系示意图，图3是泄压孔1-3工作时各相关零部件之间的位置关系示意图；
探针卡各个结构的功能如下：
所述导引板4边缘的厚度大于中心区域的厚度；
所述进气系统1用于提供高温高压气体和常温高压气体，所述下出气孔1-1用于向探针5喷射高温高压气体，所述侧出气孔1-2用于向PCB板2提供常温高压气体；
所述PCB板2用于连接测试机和信号走线；
所述转接层3为探针与PCB板2的媒介，用于实现信号的间距转换；
所述导引板4用于容纳探针5；
所述探针5用于连接被测晶圆6。
具体实施例二
以下是一种用于功率器件高温高压测试的探针卡的具体实施例。
本实施例的用于功率器件高温高压测试的探针卡，在具体实施例一的基础上，进一步限定所述的侧出气孔1-2按照恒温空气流动方向，横截面积逐渐增大，在侧出气孔1-2的外端部，形状为宽度大于高度的矩形；在侧出气孔1-2的外端部下方，转轴连接有挡板1-2-1，所述挡板1-2-1的另一侧边缘安装有拉绳1-2-2，所述拉绳1-2-2从侧出气孔1-2的上方穿出，在侧出气孔1-2的上方，还设置有拉绳固定端1-2-3，所述拉绳固定端1-2-3包括框架1-2-3-1，设置在框架1-2-3-1中并能够沿框架1-2-3-1上下运动的固定板1-2-3-2，位于固定板1-2-3-2下方和框架1-2-3-1底部上方的压簧1-2-3-3，位于框架1-2-3-1上方的开关1-2-3-4，所述开关1-2-3-4通过穿过框架1-2-3-1的支架1-2-3-5连接到固定板1-2-3-2上，拉绳1-2-2从固定板1-2-3-2的上方穿过框架1-2-3-1，在压簧1-2-3-3的作用下，挤在固定板1-2-3-2与框架1-2-3-1之间，需要调整的时候，按动开关1-2-3-4，使固定板1-2-3-2向下运动，调整拉绳1-2-2，在调整好位置后，松开开关1-2-3-4即可；
所述侧出气孔1-2、挡板1-2-1、拉绳1-2-2和拉绳固定端1-2-3之间的结构示意图如图4所示；拉绳固定端1-2-3的结构示意图如图5所示。
具体实施例三
以下是一种用于功率器件高温高压测试的探针卡的具体实施例。
本实施例的用于功率器件高温高压测试的探针卡，在具体实施例一的基础上，进一步限定所述进气系统1还包括双进气道装置1-7，所述双进气道装置1-7按照空气流动方向，包括空气泵1-7-1，第一三通阀门1-7-2，连接第一三通阀门1-7-2第一出口的高温高压箱1-7-3，连接第一三通阀门1-7-2第二出口的常温高压箱1-7-4，所述高温高压箱1-7-3中设置有电阻丝1-7-3-1、温度传感器1-7-3-2和第一压强计1-7-3-3，所述常温高压箱1-7-4中设置有第二压强计1-7-4-1，所述高温高压箱1-7-3有两个出口，第一出口通过第一阀门1-7-5连接下出气孔1-1，第二出口连接第二三通阀门1-7-6，所述第二三通阀门1-7-6还分别连接常温高压箱1-7-4的出口和第二阀门1-7-7，所述第二阀门1-7-7连接侧出气孔1-2；
所述双进气道装置1-7的结构示意图如图6所示。
具体实施例四
以下是一种用于功率器件高温高压测试的探针卡的具体实施例。
本实施例的用于功率器件高温高压测试的探针卡，在具体实施例一、具体实施例二或具体实施例三的基础上，进一步限定所述导引板4边缘的厚度大于中心区域的厚度，通过以下技术特征实现：导引板4的下方四周，具有充气气囊4-2。
具体实施例五
以下是一种探针卡载侧出气孔的具体实施例。
本实施例的探针卡载侧出气孔，按照恒温空气流动方向，横截面积逐渐增大，在侧出气孔1-2的外端部，形状为宽度大于高度的矩形；在侧出气孔1-2的外端部下方，转轴连接有挡板1-2-1，所述挡板1-2-1的另一侧边缘安装有拉绳1-2-2，所述拉绳1-2-2从侧出气孔1-2的上方穿出，在侧出气孔1-2的上方，还设置有拉绳固定端1-2-3，所述拉绳固定端1-2-3包括框架1-2-3-1，设置在框架1-2-3-1中并能够沿框架1-2-3-1上下运动的固定板1-2-3-2，位于固定板1-2-3-2下方和框架1-2-3-1底部上方的压簧1-2-3-3，位于框架1-2-3-1上方的开关1-2-3-4，所述开关1-2-3-4通过穿过框架1-2-3-1的支架1-2-3-5连接到固定板1-2-3-2上，拉绳1-2-2从固定板1-2-3-2的上方穿过框架1-2-3-1，在压簧1-2-3-3的作用下，挤在固定板1-2-3-2与框架1-2-3-1之间，需要调整的时候，按动开关1-2-3-4，使固定板1-2-3-2向下运动，调整拉绳1-2-2，在调整好位置后，松开开关1-2-3-4即可；
所述侧出气孔1-2、挡板1-2-1、拉绳1-2-2和拉绳固定端1-2-3之间的结构示意图如图4所示；拉绳固定端1-2-3的结构示意图如图5所示。
具体实施例六
以下是一种探针卡载双进气道装置的具体实施例。
本实施例的探针卡载双进气道装置，按照空气流动方向，包括空气泵1-7-1，第一三通阀门1-7-2，连接第一三通阀门1-7-2第一出口的高温高压箱1-7-3，连接第一三通阀门1-7-2第二出口的常温高压箱1-7-4，所述高温高压箱1-7-3中设置有电阻丝1-7-3-1、温度传感器1-7-3-2和第一压强计1-7-3-3，所述常温高压箱1-7-4中设置有第二压强计1-7-4-1，所述高温高压箱1-7-3有两个出口，第一出口通过第一阀门1-7-5连接下出气孔1-1，第二出口连接第二三通阀门1-7-6，所述第二三通阀门1-7-6还分别连接常温高压箱1-7-4的出口和第二阀门1-7-7，所述第二阀门1-7-7连接侧出气孔1-2；
所述双进气道装置1-7的结构示意图如图6所示。
具体实施例七
以下是一种功率器件测试探针卡用弹簧式泄压结构的具体实施例。
本实施例的功率器件测试探针卡用弹簧式泄压结构，在进气系统1上设置有泄压孔1-3，所述泄压孔1-3底部还设置有调节阀1-4；所述调节阀1-4为三层阶梯结构，包括截面直径依次减小的下层阶梯1-4-1、中层阶梯1-4-2和上层阶梯1-4-3，所述下层阶梯1-4-1和中层阶梯1-4-2之间设置有密封圈1-4-4，下层阶梯1-4-1的截面直径大于泄压孔1-3截面直径，中层阶梯1-4-2的截面直径与泄压孔1-3截面直径之间为间隙配合关系，上层阶梯1-4-3套有螺纹；所述泄压孔1-3内壁攻有螺纹，并旋拧有调整件1-5，所述调整件1-5包括接触端1-5-1，连接端1-5-2和螺纹端1-5-3，所述接触端1-5-1为环形，外壁套有螺纹，旋拧在泄压孔1-3的内壁，所述连接端1-5-2为多个，在圆周方向均匀分布，每个连接端1-5-2均连接在接触端1-5-1内壁与螺纹端1-5-3之间，所述螺纹端1-5-3外壁套有螺纹，且与上层阶梯1-4-3的螺纹参数相同，螺纹端1-5-3底部设置有一字或十字凹槽，弹簧1-6分别连接在上层阶梯1-4-3外壁与螺纹端1-5-3外壁之间；
泄压孔1-3、调节阀1-4、调整件1-5和弹簧1-6之间的连接关系如图2和图3所示，其中，图2是泄压孔1-3不工作时各相关零部件之间的位置关系示意图，图3是泄压孔1-3工作时各相关零部件之间的位置关系示意图。
具体实施例八
以下是一种功率器件测试探针卡用弹簧式泄压结构的安装方法的具体实施例。
本实施例的功率器件测试探针卡用弹簧式泄压结构的安装方法，包括以下步骤：
步骤a、将调整件1-5的接触端1-5-1旋拧入泄压孔1-3中；
步骤b、将弹簧1-6的上端旋拧在调整件1-5的螺纹端1-5-3，将弹簧1-6的下端旋拧在调节阀1-4的上层阶梯1-4-3。
具体实施例九
以下是一种功率器件测试探针卡用弹簧式泄压结构的标定方法的具体实施例。
本实施例的功率器件测试探针卡用弹簧式泄压结构的标定方法，包括以下步骤：
步骤a、设定高温高压气体压强阈值；
步骤b、将调整件1-5的接触端1-5-1旋拧入泄压孔1-3中；
步骤c、将弹簧1-6的上端旋拧在调整件1-5的螺纹端1-5-3，将弹簧1-6的下端旋拧在调节阀1-4的上层阶梯1-4-3，将调节阀1-4的下端连接拉力测量装置；
步骤d、拉动拉力测量装置，弹簧伸长，至拉力测量装置显示的拉力数值除以中层阶梯1-4-2截面直径等于压强阈值的位置；
步骤e、测量进气系统1底部距离中层阶梯1-4-2的距离；
步骤f、拆卸拉力测量装置、调节阀1-4和弹簧1-6；
步骤g、旋拧调整件1-5，使调整件1-5沿泄压孔1-3向上运动步骤e所述的距离；
步骤h、将弹簧1-6的上端旋拧在调整件1-5的螺纹端1-5-3，将弹簧1-6的下端旋拧在调节阀1-4的上层阶梯1-4-3。

Claims (3)

1.功率器件测试探针卡用弹簧式泄压结构，其特征在于，在进气系统（1）上设置有泄压孔（1-3），所述泄压孔（1-3）底部还设置有调节阀（1-4）；所述调节阀（1-4）为三层阶梯结构，包括截面直径依次减小的下层阶梯（1-4-1）、中层阶梯（1-4-2）和上层阶梯（1-4-3），所述下层阶梯（1-4-1）和中层阶梯（1-4-2）之间设置有密封圈（1-4-4），下层阶梯（1-4-1）的截面直径大于泄压孔（1-3）截面直径，中层阶梯（1-4-2）的截面直径与泄压孔（1-3）截面直径之间为间隙配合关系，上层阶梯（1-4-3）套有螺纹；所述泄压孔（1-3）内壁攻有螺纹，并旋拧有调整件（1-5），所述调整件（1-5）包括接触端（1-5-1），连接端（1-5-2）和螺纹端（1-5-3），所述接触端（1-5-1）为环形，外壁套有螺纹，旋拧在泄压孔（1-3）的内壁，所述连接端（1-5-2）为多个，在圆周方向均匀分布，每个连接端（1-5-2）均连接在接触端（1-5-1）内壁与螺纹端（1-5-3）之间，所述螺纹端（1-5-3）外壁套有螺纹，且与上层阶梯（1-4-3）的螺纹参数相同，螺纹端（1-5-3）底部设置有一字或十字凹槽，弹簧（1-6）分别连接在上层阶梯（1-4-3）外壁与螺纹端（1-5-3）外壁之间。
2.功率器件测试探针卡用弹簧式泄压结构的安装方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤a、将调整件（1-5）的接触端（1-5-1）旋拧入泄压孔（1-3）中；
步骤b、将弹簧（1-6）的上端旋拧在调整件（1-5）的螺纹端（1-5-3），将弹簧（1-6）的下端旋拧在调节阀（1-4）的上层阶梯（1-4-3）。
3.功率器件测试探针卡用弹簧式泄压结构的标定方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤a、设定高温高压气体压强阈值；
步骤b、将调整件（1-5）的接触端（1-5-1）旋拧入泄压孔（1-3）中；
步骤c、将弹簧（1-6）的上端旋拧在调整件（1-5）的螺纹端（1-5-3），将弹簧（1-6）的下端旋拧在调节阀（1-4）的上层阶梯（1-4-3），将调节阀（1-4）的下端连接拉力测量装置；
步骤d、拉动拉力测量装置，弹簧伸长，至拉力测量装置显示的拉力数值除以中层阶梯（1-4-2）截面直径等于压强阈值的位置；
步骤e、测量进气系统（1）底部距离中层阶梯（1-4-2）的距离；
步骤f、拆卸拉力测量装置、调节阀（1-4）和弹簧（1-6）；
步骤g、旋拧调整件（1-5），使调整件（1-5）沿泄压孔（1-3）向上运动步骤e所述的距离；
步骤h、将弹簧（1-6）的上端旋拧在调整件（1-5）的螺纹端（1-5-3），将弹簧（1-6）的下端旋拧在调节阀（1-4）的上层阶梯（1-4-3）。
CN202010621064.9A 2020-07-01 2020-07-01 功率器件测试探针卡用弹簧式泄压结构及其安装标定方法 Active CN111720599B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010621064.9A CN111720599B (zh) 2020-07-01 2020-07-01 功率器件测试探针卡用弹簧式泄压结构及其安装标定方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010621064.9A CN111720599B (zh) 2020-07-01 2020-07-01 功率器件测试探针卡用弹簧式泄压结构及其安装标定方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN111720599A true CN111720599A (zh) 2020-09-29
CN111720599B CN111720599B (zh) 2021-01-19

Family

ID=72570892

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202010621064.9A Active CN111720599B (zh) 2020-07-01 2020-07-01 功率器件测试探针卡用弹簧式泄压结构及其安装标定方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN111720599B (zh)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3800824A (en) * 1973-03-12 1974-04-02 Mark Controls Corp Check valve
US5971016A (en) * 1996-11-08 1999-10-26 Mirada Research & Manufacturing, Inc. Super high flow pressure relief valve
US20030047216A1 (en) * 2001-09-07 2003-03-13 Kelly Paul A. Pop-type pressure relief valve
CN101151481A (zh) * 2005-03-29 2008-03-26 藤仓橡胶工业株式会社 溢流阀
CN103775699A (zh) * 2012-10-25 2014-05-07 上海联影医疗科技有限公司 一种超导磁体压力泄放阀及压力泄放系统
CN203836313U (zh) * 2014-04-21 2014-09-17 浙江铭仕阀业有限公司 一种防活塞转动的超低温安全阀

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3800824A (en) * 1973-03-12 1974-04-02 Mark Controls Corp Check valve
US5971016A (en) * 1996-11-08 1999-10-26 Mirada Research & Manufacturing, Inc. Super high flow pressure relief valve
US20030047216A1 (en) * 2001-09-07 2003-03-13 Kelly Paul A. Pop-type pressure relief valve
CN101151481A (zh) * 2005-03-29 2008-03-26 藤仓橡胶工业株式会社 溢流阀
CN103775699A (zh) * 2012-10-25 2014-05-07 上海联影医疗科技有限公司 一种超导磁体压力泄放阀及压力泄放系统
CN203836313U (zh) * 2014-04-21 2014-09-17 浙江铭仕阀业有限公司 一种防活塞转动的超低温安全阀

Also Published As

Publication number Publication date
CN111720599B (zh) 2021-01-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN111624375B (zh) 一种用于功率器件高温高压测试的探针卡
CN112649631B (zh) 一种具有双进气道装置的功率器件高温高压测试用探针卡
US9291664B2 (en) Device for high voltage testing of semiconductor components
CN111720599B (zh) 功率器件测试探针卡用弹簧式泄压结构及其安装标定方法
KR20060118356A (ko) 인터페이스 조립체 및 그것을 이용한 건조 가스 봉입 장치
CN111624373B (zh) 功率器件测试探针卡用磁力式泄压结构及其安装标定方法
EP2940316A1 (en) Cylinder device
CN101482471B (zh) 水套盖及气瓶螺纹接头自动装卸装置
CN109596265B (zh) 一种空气压力信号器检测装置及其使用方法
CN108760177A (zh) 一种水下仪器密封舱体漏液检测与预警装置及其使用方法
CN109655724A (zh) 用于gis设备缺陷检测的传感器
CN112729360B (zh) 一种适用于热卷箱位移传感器的防护罩
CN215633163U (zh) 一种适用于汽轮机调门的位移传感器
CN112025625B (zh) 反应堆压力容器主螺栓拉伸操作方法及压力容器关盖方法
CN214473345U (zh) 一种变压器油中单氢监测装置
RU2748498C1 (ru) Способ регулирования собственной частоты основания вращающегося оборудования и устройство для его реализации
CN219915847U (zh) 一种压力传感器电路板测试支撑装置
CN213239433U (zh) 一种防爆片可靠性测试结构
CN220525270U (zh) 静子叶片振动疲劳试验夹具
CN112229727B (zh) 气囊产品爆破自动锁紧系统及其方法
CN113465903A (zh) 螺栓松紧智能检测件
KR950006421Y1 (ko) 안전변 시험장치
KR200164533Y1 (ko) 고압탱크 수면계 파손시 내부압력 자동차단 장치
JPH0227236A (ja) 弱点ピンの損傷検出装置
CN116754904A (zh) 变压器套管在线监测系统

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
EE01 Entry into force of recordation of patent licensing contract
EE01 Entry into force of recordation of patent licensing contract

Application publication date: 20200929

Assignee: Strong half conductor (Shanghai) Co.,Ltd.

Assignor: MAXONE SEMICONDUCTOR (SUZHOU) Co.,Ltd.

Contract record no.: X2021320010005

Denomination of invention: Spring type pressure relief structure for power device test probe card and its installation and calibration method

Granted publication date: 20210119

License type: Common License

Record date: 20210207

CP01 Change in the name or title of a patent holder
CP01 Change in the name or title of a patent holder

Address after: 2 / F, building 39, 18 Dongchang Road, Suzhou Industrial Park, 215000

Patentee after: Strong Half Conductor (Suzhou) Co.,Ltd.

Address before: 2 / F, building 39, 18 Dongchang Road, Suzhou Industrial Park, 215000

Patentee before: MAXONE SEMICONDUCTOR (SUZHOU) Co.,Ltd.