CN111692977A - 晶圆检测红外光转向机构及方法 - Google Patents

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淦克金
杨铮
吴志锋
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Suzhou Century Automation Equipment Co ltd
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Suzhou Century Automation Equipment Co ltd
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    • G—PHYSICS
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Abstract

本发明涉及一种晶圆检测红外光转向机构及方法，从红外测试机发出的红外光经过反射镜反射以15°的入射角射在晶圆表面进行反射或透射；对于反射部分，射在晶圆表面的红外光通过晶圆反射到晶圆上方的曲面镜一上，红外光经曲面镜一汇聚到接收器一上用于分析测试晶圆的厚度；对于投射部分，射在晶圆表面的红外光通过晶圆透射到晶圆下方的曲面镜二上，红外光经曲面镜二汇聚到接收器二上用于检测晶圆的碳氧含量。本发明晶圆检测红外光转向机构同时兼容反射与透射功能为一体，用于检测晶圆的厚度与碳氧含量，程序上自动切换，无需手动操作，提高生产质量与效率。

Description

晶圆检测红外光转向机构及方法
技术领域
本发明涉及晶圆检测技术领域，具体涉及一种晶圆检测红外光转向方法。
背景技术
目前半导体行业生产过程中，晶圆被分割为多尺寸的圆片，进行外延工艺，不同客户的需求不一样，有需要检测晶圆边缘厚度的，也有需要检测晶圆碳氧的含量，目前一般是利用红外光谱分析仪，通过手动检测的方式分别进行厚度与碳氧含量的检测。
发明内容
本发明的目的在于提供一种晶圆检测红外光转向机构及方法，用以解决现有技术中的晶圆厚度和碳氧含量需要分别检测的问题。
本发明一方面提供了一种晶圆检测红外光转向方法，从红外测试机发出的红外光经过反射镜反射以15°的入射角射在晶圆表面进行反射或透射；
对于反射部分，射在晶圆表面的红外光通过晶圆反射到晶圆上方的曲面镜一上，红外光经曲面镜一汇聚到接收器一上用于分析测试晶圆的厚度；
对于投射部分，射在晶圆表面的红外光通过晶圆透射到晶圆下方的曲面镜二上，红外光经曲面镜二汇聚到接收器二上用于检测晶圆的碳氧含量。
进一步的，所述反射镜为离轴抛物面镜。
进一步的，所述曲面镜一和曲面镜二均为离轴椭球面镜。
本发明另一方面提供一种晶圆检测红外光转向机构，包括反射镜、曲面镜一和曲面镜二，测试晶圆放置在曲面镜一和曲面镜二之间，所述曲面镜一和曲面镜二对称分布在晶圆两侧，所述反射镜设置于曲面镜一的斜上方。
采用上述本发明技术方案的有益效果是：
本发明晶圆检测红外光转向机构同时兼容反射与透射功能为一体，用于检测晶圆的厚度与碳氧含量，程序上自动切换，无需手动操作，提高生产质量与效率。
附图说明
图1为本发明晶圆检测红外光转向机构结构示意图；
附图中，各标号所代表的部件列表如下：
1-反射镜，2-曲面镜一，3-曲面镜二，4-晶圆。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
如图1所示，本发明一种晶圆检测红外光转向机构，包括反射镜1、曲面镜一2和曲面镜二3，测试晶圆4放置在曲面镜一2和曲面镜二3之间，所述曲面镜一2和曲面镜二3对称分布在晶圆4两侧，所述反射镜1设置于曲面镜一2的斜上方。
该晶圆检测红外光转向机构的转向方法为：从红外测试机发出的红外光经过反射镜1反射以15°的入射角射在晶圆4表面进行反射或透射；
对于反射部分，射在晶圆4表面的红外光通过晶圆4反射到晶圆4上方的曲面镜一2上，红外光经曲面镜一2汇聚到接收器一上用于分析测试晶圆4的厚度；
对于投射部分，射在晶圆4表面的红外光通过晶圆4透射到晶圆4下方的曲面镜二3上，红外光经曲面镜二3汇聚到接收器二上用于检测晶圆4的碳氧含量。
所述反射镜1为离轴抛物面镜，所述曲面镜一2和曲面镜二3均为离轴椭球面镜。
综上，本发明晶圆检测红外光转向机构同时兼容反射与透射功能为一体，用于检测晶圆的厚度与碳氧含量，程序上自动切换，无需手动操作，提高生产质量与效率。
最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。

Claims (4)

1.一种晶圆检测红外光转向方法，其特征在于，从红外测试机发出的红外光经过反射镜反射以15°的入射角射在晶圆表面进行反射或透射；
对于反射部分，射在晶圆表面的红外光通过晶圆反射到晶圆上方的曲面镜一上，红外光经曲面镜一汇聚到接收器一上用于分析测试晶圆的厚度；
对于投射部分，射在晶圆表面的红外光通过晶圆透射到晶圆下方的曲面镜二上，红外光经曲面镜二汇聚到接收器二上用于检测晶圆的碳氧含量。
2.根据权利要求1所述的晶圆检测红外光转向方法，其特征在于，所述反射镜为离轴抛物面镜。
3.根据权利要求1所述的晶圆检测红外光转向方法，其特征在于，所述曲面镜一和曲面镜二均为离轴椭球面镜。
4.一种晶圆检测红外光转向机构，其特征在于，包括反射镜、曲面镜一和曲面镜二，测试晶圆放置在曲面镜一和曲面镜二之间，所述曲面镜一和曲面镜二对称分布在晶圆两侧，所述反射镜设置于曲面镜一的斜上方。
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