CN211401091U - 一种晶圆红外检测测试设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种晶圆红外检测测试设备，包括机架和保护罩，机架上安装洁净多轴机器人、晶圆料盒、晶圆自动校正器和支撑架，机架内部安装控制器，支撑架上安装红外测试机和红外光路系统，红外光路系统中部设置晶圆检测位，洁净多轴机器人、晶圆料盒、晶圆自动校正器和支撑架均设置在保护罩内部。本实用新型通过洁净多轴机器人自动搬运晶圆，晶圆自动校正器自动校正晶圆的圆心，红外测试机发出红外光射入红外光路系统，红外光经反光镜照射在晶圆上分别反射和透射后进入上红外测试接收器和下红外测试接收器，并将红外光信号传输至测试机实现晶圆厚度和碳氧含量的自动检测，提高工作效率和检测精度，同时降低人力成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆检测技术领域，具体涉及一种晶圆红外检测测试设备。
背景技术
目前半导体行业的生产过程中，晶圆一般被分割为6寸或8寸的圆片，前道工艺涉及增加晶圆边缘的厚度，根据客户的需求，需要检测晶圆边缘厚度或检测晶圆碳氧的含量，甚至有的客户需要二者都测量，目前一般是用红外光谱分析仪通过手动检测的方式分别检测晶圆边缘的厚度与晶圆的碳氧含量，工作效率低、人力成本大。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种晶圆红外检测测试设备，用以解决现有技术中的晶圆厚度和碳氧含量人工检测工作效率低、人力成本大的问题。
本实用新型提供了一种晶圆红外检测测试设备，包括机架和保护罩，所述机架上安装洁净多轴机器人、晶圆料盒、晶圆自动校正器和支撑架，所述机架内部安装控制器，所述支撑架上安装红外测试机和红外光路系统，所述红外光路系统中部设置晶圆检测位，所述洁净多轴机器人、晶圆料盒、晶圆自动校正器和支撑架均设置在保护罩内部。
进一步的，所述红外光路系统包括上盒体和下盒体，所述上盒体和下盒体之间设置晶圆检测位，所述上盒体内交错安装反光镜、上双曲镜和上红外测试接收器，所述下盒体内安装下双曲镜和下红外测试接收器。
进一步的，所述红外测试机包括红外线发生器和测试机，所述红外线发生器射出的红外光正对反光镜，所述上红外测试接收器和下红外测试接收器与测试机电连接。
进一步的，所述保护罩外侧安装显示屏。
采用上述本实用新型技术方案的有益效果是：
本实用新型通过洁净多轴机器人自动搬运晶圆，晶圆自动校正器自动校正晶圆的圆心，红外测试机发出红外光射入红外光路系统，红外光经反光镜照射在晶圆上分别反射和透射后进入上红外测试接收器和下红外测试接收器，并将红外光信号传输至测试机实现晶圆厚度和碳氧含量的自动检测，提高工作效率和检测精度，同时降低人力成本。
附图说明
图1为本实用新型晶圆红外检测测试设备结构示意图；
图2为本实用新型保护罩内部组件结构示意图；
图3为本实用新型红外光路系统结构示意图；
附图中，各标号所代表的部件列表如下：
1-机架，2-保护罩，3-洁净多轴机器人，4-晶圆料盒，5-晶圆自动校正器，6-支撑架，7-红外测试机，8-红外光路系统，81-上盒体，82-下盒体， 83-反光镜，84-上双曲镜，85-上红外测试接收器，86-下双曲镜，87-下红外测试接收器,9-晶圆,10-显示屏。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
如图1-2所示，本实用新型提供了一种晶圆红外检测测试设备，包括机架1和保护罩2，所述机架1上安装洁净多轴机器人3、晶圆料盒4、晶圆自动校正器5和支撑架6，所述机架1内部安装控制器，所述支撑架6上安装红外测试机7和红外光路系统8，所述红外光路系统8中部设置晶圆检测位，所述洁净多轴机器人3、晶圆料盒4、晶圆自动校正器5和支撑架6均设置在保护罩2内部，所述保护罩2外侧安装显示屏10。
如图3所示，所述红外光路系统8包括上盒体81和下盒体82，所述上盒体81和下盒体82之间设置晶圆检测位，所述上盒体81内交错安装反光镜83、上双曲镜84和上红外测试接收器85，所述下盒体82内安装下双曲镜86和下红外测试接收器87。
所述红外测试机7包括红外线发生器和测试机，所述红外线发生器射出的红外光正对反光镜83，所述上红外测试接收器85和下红外测试接收器87 与测试机电连接。
该晶圆红外检测测试设备的工作流程为：首先人工将两套晶圆料盒4安装在机架1上，洁净多轴机器人3从晶圆料盒4取料并移载至晶圆自动校正器5处，晶圆自动校正器5自动校正晶圆圆心归整晶圆9，随后洁净多轴机器人3从晶圆自动校正器5取料并移载至晶圆测试位，晶圆9到位后，红外测试机7启动，红外线发生器射出红外光至反光镜83，红外光按照图3的线路分别经晶圆9反射和透射后进入上红外测试接收器85和下红外测试接收器87，上红外测试接收器85和下红外测试接收器87，将接收到的反射和透射的红外光信号数据传输至测试机，测试机分析数据，计算出晶圆9的厚度和碳氧含量，洁净多轴机器人3取料并放置至附近的回料盒，进行下一循环，整个检测过程全自动完成，可根据客户的检测需求，选择仅检测反射光或透射光，灵活度高。
综上，本实用新型通过洁净多轴机器人自动搬运晶圆，晶圆自动校正器自动校正晶圆的圆心，红外测试机发出红外光射入红外光路系统，红外光经反光镜照射在晶圆上分别反射和透射后进入上红外测试接收器和下红外测试接收器，并将红外光信号传输至测试机实现晶圆厚度和碳氧含量的自动检测，提高工作效率和检测精度，同时降低人力成本。
最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。
Claims (4)
1.一种晶圆红外检测测试设备，包括机架和保护罩，其特征在于，所述机架上安装洁净多轴机器人、晶圆料盒、晶圆自动校正器和支撑架，所述机架内部安装控制器，所述支撑架上安装红外测试机和红外光路系统，所述红外光路系统中部设置晶圆检测位，所述洁净多轴机器人、晶圆料盒、晶圆自动校正器和支撑架均设置在保护罩内部。
2.根据权利要求1所述的晶圆红外检测测试设备，其特征在于，所述红外光路系统包括上盒体和下盒体，所述上盒体和下盒体之间设置晶圆检测位，所述上盒体内交错安装反光镜、上双曲镜和上红外测试接收器，所述下盒体内安装下双曲镜和下红外测试接收器。
3.根据权利要求2所述的晶圆红外检测测试设备，其特征在于，所述红外测试机包括红外线发生器和测试机，所述红外线发生器射出的红外光正对反光镜，所述上红外测试接收器和下红外测试接收器与测试机电连接。
4.根据权利要求1所述的晶圆红外检测测试设备，其特征在于，所述保护罩外侧安装显示屏。
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|---|---|---|---|---|
| CN116593421A (zh) * | 2023-05-26 | 2023-08-15 | 曲靖晶龙电子材料有限公司 | 一种单晶硅在线连续检测装置及使用方法 |
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2019
- 2019-11-27 CN CN201922082196.4U patent/CN211401091U/zh not_active Expired - Fee Related
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