CN111679348A - 一种微透镜阵列及其制备方法 - Google Patents

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Abstract

本发明是关于一种微透镜阵列的制备方法，包括以下步骤：选取芯、皮玻璃材料；制备周期复合结构毛坯；酸蚀；后处理。本发明还提供了上述方法制得的微透镜阵列。本发明不使用光刻胶，避免了光刻、热熔等过程，且获得的微透镜阵列为玻璃材质，具有更好的光学性能和物化稳定性。

Description

一种微透镜阵列及其制备方法
技术领域
本发明涉及微透镜阵列技术领域，特别是涉及一种微透镜阵列及其制备方法。
背景技术
微透镜阵列以单元尺寸小、集成度高、易组装集成等优点成为微光学系统中最重要的光学元件之一，在光学连接、探测器阵列、平板显示器、生医测试芯片等方面业已取得了广泛的应用，成为微光学及光学制造领域的研究热点。目前微透镜阵列常用的成型工艺主要有金刚石切削、光刻胶热熔成型、模压成型法、喷墨印刷式技术及液滴法、光刻离子交换技术和凝胶法等等。随着市场对微透镜阵列需求的迅速增长，开发大批量、高精度、低成本的微透镜阵列成型工艺已成为进一步拓宽微透镜阵列的应用领域、满足市场需求的关键。
发明内容
有鉴于此，本发明的主要目的在于，提供一种微透镜阵列及其制备方法，借助材料自身的结构设计，结合酸蚀工艺制得；首先选取合适的玻璃棒管，经过拉单丝、排列复丝棒、拉复丝、排板、熔压、冷加工工序获得毛坯，然后通过酸蚀工艺将毛坯制备成微透镜阵列。
本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提供一种微透镜阵列的制备方法，包括以下步骤：
1)选取芯、皮玻璃材料：
将酸溶速度不同的玻璃分别制备皮料管和芯料棒；
2)制备周期复合结构毛坯：
经过棒管组合、拉丝、排板、熔压和冷加工制备成具有周期阵列结构的毛坯；
3)酸蚀：
在搅拌的条件下，将上述毛坯浸入酸溶液中酸洗，之后清洗，烘干。
本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术方案来进一步实现。
优选的，前述的微透镜阵列的制备方法中，其中步骤1)中，其中所述芯、皮玻璃均选自硅酸盐玻璃、硼酸盐玻璃和磷酸盐玻璃中的一种；所述酸溶速度为0.05g/mm2·h～30g/mm2·h，所述芯玻璃的酸溶速度是皮玻璃的0.02倍～50倍。
优选的，前述的微透镜阵列的制备方法中，其中步骤1)中，所述皮料管的外径为5mm～60mm，壁厚为0.5mm～6mm，长为100mm～3000mm；所述芯料棒的外径比皮料管的内径小0.2mm～2mm，长为100mm～3000mm或比皮料管的长度小50mm～100mm。
优选的，前述的微透镜阵列的制备方法中，其中步骤2)中，其中所述制备周期复合结构毛坯具体为：
将皮料管与芯料棒组合成预制棒，用拉丝炉将预制棒拉制成外径0.1mm～5mm，长100mm～2000mm的圆柱形单丝，拉丝炉温度为玻璃熔融温度Ts温度±50℃；将圆柱形单丝紧密堆积排列成对边尺寸10mm～200mm、长100mm～2000mm的正六方柱形复丝棒，将正六方柱形复丝棒经拉丝炉拉制成对边0.2mm～5mm的正六方柱形复丝，拉丝炉温度为玻璃熔融温度Ts±50℃；将正六方柱形复丝紧密堆积排列成对边尺寸10mm～200mm、长度50mm～500mm的正六方柱形毛坯棒；将正六方柱形毛坯棒放入热压炉中，以3℃/min～30℃/min的升温速度升温至玻璃热压温度Tf±50℃，加压至压力2MPa～20MPa，使正六方柱形复丝粘结在一起，形成毛坯板。
优选的，前述的微透镜阵列的制备方法中，其中步骤3)中，所述搅拌的转速为60r/min～600r/min，所述酸洗的时间为5min～600min。
优选的，前述的微透镜阵列的制备方法中，其中步骤3)中，所述酸溶液选自硝酸溶液、磷酸溶液、硝酸溶液、醋酸溶液、盐酸溶液和氢氟酸溶液中的至少一种或者混合酸溶液；所述酸溶液的浓度为0.001vol％～98vol％，所述酸溶液的温度为-50℃～350℃。
优选的，前述的微透镜阵列的制备方法中，其中步骤3)中，所述烘干的温度为60℃-80℃，时间为10min-60min。
优选的，前述的微透镜阵列的制备方法中，其中在所述步骤3)的酸蚀之后还包括将微透镜表面进行热处理的步骤。
优选的，前述的微透镜阵列的制备方法中，其中所述热处理具体包括：
通过高温炉加热微透镜至玻璃软化点Tf以上，使微透镜在软化状态下通过表面张力作用形成曲面结构；
或者通过氢氧焰局部加热微透镜表面，使微透镜表面在软化状态下通过表面张力作用形成曲面结构。
优选的，前述的微透镜阵列的制备方法中，其中在所述步骤3)的酸蚀之后还包括将微透镜表面进行离子刻蚀的步骤。
优选的，前述的微透镜阵列的制备方法中，其中所述离子刻蚀具体包括：用离子刻蚀技术在微透镜上进行刻蚀，氩离子束刻蚀，离子束能量为500ev～2000ev，刻蚀角度为30度～80度，样品旋转速度为60r/min～600r/min。
优选的，前述的微透镜阵列的制备方法中，其中在步骤2)之后，步骤3)之前还包括将毛坯板经过线切割、磨削、抛光工艺加工成成品尺寸的步骤。
本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术方案来实现的。
依据本发明提出的一种微透镜阵列，所述微透镜阵列的孔径为0.5μm～100μm。
进一步地，所述微透镜阵列是通过上述的方法制得。
本发明提供的微透镜阵列及其制备方法，首先选取两种玻璃分别制备成皮料管和芯料棒，二者酸溶速率不同，通过棒管组合、拉丝、排板、熔压、冷加工等工艺制备成具有周期阵列结构的毛坯，该毛坯结构单元为芯、皮结构，其中皮料管构成皮层，芯料棒构成芯层；然后配制酸溶液，将上述毛坯浸入酸溶液中，通过芯、皮层的酸溶速度差异，获得微透镜阵列。当芯料的酸溶速度大于皮料时制得凹透镜阵列，反之则制得凸透镜阵列。该方案不使用光刻胶，避免了光刻、热熔等过程，且获得的微透镜阵列为玻璃材质，具有更高的光学性能和耐高温性能。
相比于现有技术，本发明的有益效果如下：
1)本发明是基于具有周期阵列结构的毛坯中芯、皮酸溶速率的差异，通过酸蚀获得微透镜阵列；此制备方法的理论基础合理，操作工艺可行，为微透镜阵列的制备提供了新思路；
2)本发明可应用于多种具有周期阵列结构的玻璃基体；
3)本发明不使用光刻胶，避免了光刻、热熔等过程，且获得的微透镜阵列为玻璃材质，具有更高的光学性能和耐高温性能。
上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本发明的较佳实施例详细说明如后。
附图说明
图1为本发明实施例的微透镜阵列的制备流程图；
图2A为本发明实施例的微透镜阵列的酸蚀示意图之一(凸透镜阵列)；
图2B为本发明实施例的微透镜阵列的酸蚀示意图之二(凹透镜阵列)。
具体实施方式
为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明提出的一种微透镜阵列及其制备方法其具体实施方式、特征及其功效，详细说明如后。在下述说明中，不同的“一实施例”或“实施例”指的不一定是同一实施例。此外，一或多个实施例中的特定特征或特点可由任何合适形式组合。
以下材料或试剂，如非特别说明，均为市购。
本发明提供一种微透镜阵列的制备方法，包括以下步骤：
1)选取芯、皮玻璃材料：
将酸溶速度不同的玻璃分别制备皮料管和芯料棒；
2)制备周期复合结构毛坯：
经过棒管组合、拉丝、排板、熔压和冷加工制备成具有周期阵列结构的毛坯；
3)酸蚀：
在搅拌的条件下，将上述毛坯浸入酸溶液中酸洗，之后清洗，烘干。
具体实施时，步骤1)中，其中所述芯、皮玻璃均可以选自硅酸盐玻璃、硼酸盐玻璃和磷酸盐玻璃中的一种；所述酸溶速度为0.05g/mm2·h～30g/mm2·h；所述芯玻璃的酸溶速度是皮玻璃的0.02倍～50倍；当制备凸微透镜时，皮玻璃的酸溶速度大于芯玻璃的酸溶速度，前者的酸溶速度是后者的1.5倍～50倍，优选为5倍～20倍；当制备凹微透镜时，芯玻璃的酸溶速度大于皮玻璃的酸溶速度，前者的酸溶速度是后者的1.5倍～50倍，优选为5倍～20倍，这样优选是综合考虑了凸微透镜或凹微透镜的制备效率和尺寸精度。
所述皮料管的外径可以为5mm～60mm，壁厚可以为0.5mm～6mm，长可以为100mm～3000mm，优选为外径36mm、壁厚为3mm，长为600mm；之所以优选是为了匹配工装设备、工艺操作方便。所述芯料棒与皮料管匹配，其外径比皮料管的内径小0.2mm～2mm，优选为0.5mm，长度与皮料管相等或比其小50mm～100mm。之所以优选一方面是考虑匹配精度，另一方面是考虑操作方便。
具体实施时，步骤2)中，其中所述制备周期复合结构毛坯具体为：
将皮料管与芯料棒组合成预制棒，用拉丝炉将预制棒拉制成外径0.1mm～5mm，长100mm～2000mm(优选为外径0.6mm、长600mm)的圆柱形单丝，拉丝炉温度为玻璃熔融温度Ts±50℃(优选为Ts)；将0.1～5mm的圆柱形单丝紧密堆积排列成对边尺寸10mm～200mm，长100mm～2000mm(优选为对边尺寸30mm、长600mm)的正六方柱形复丝棒，对边尺寸10～200mm，长100mm～2000mm，将正六方柱形复丝棒经拉丝炉拉制成对边0.2～5mm(优选为0.5mm)的正六方柱形复丝，拉丝炉温度为玻璃熔融温度Ts±50℃(优选为Ts)；将正六方柱形复丝紧密堆积排列成对边尺寸10mm～200mm，长50～500mm(优选为对边尺寸40mm、长度60mm)的正六方柱形毛坯棒；将正六方柱形毛坯棒放入热压炉中，以3℃/min～30℃/min(优选为5℃/min)的升温速度升温至玻璃热压温度Tf±50℃(优选为Tf)，加压至2MPa～20MPa(优选为8MPa)，使正六方柱形复丝粘结在一起，形成毛坯板。上述优选是为了工艺操作方便，保证产品尺寸精度。
具体实施时，步骤3)中，所述搅拌的转速为60r/min～600r/min，所述酸洗的时间为5min～600min；优选地，所述搅拌的转速为200r/min，所述酸洗的时间为30min，这样优选有利于提高加工效率和尺寸精度。
具体实施时，步骤3)中，所述酸溶液可以选自硝酸溶液、磷酸溶液、硝酸溶液、醋酸溶液、盐酸溶液和氢氟酸溶液中的至少一种或者混合酸溶液，优选为硝酸和磷酸；所述酸溶液的浓度为0.001vol％～98vol％，优选为0.5vol％～15vol％，所述酸溶液的温度为-50℃～350℃，优选为30℃-90℃；所述烘干的温度为60℃-80℃，时间为10min-60min，优选为60℃，30min；这样优选有利于提高加工效率和尺寸精度。
具体实施时，在所述步骤3)的酸蚀之后还可以包括将微透镜表面进行热处理的步骤。所述热处理具体包括：通过高温炉加热微透镜至Tf以上，使微透镜在软化状态下通过表面张力作用形成曲面结构；优选地，加热温度为Tf～Tf+50℃，时间为30min-60min；这样优选与其他参数协同有利于提高加工效率和尺寸精度。
或者通过氢氧焰局部加热微透镜表面，使微透镜表面在软化状态下通过表面张力作用形成曲面结构；优选地，加热温度为800℃～2500℃，优选为1200℃～1500℃；时间为1s-60s，优选为2S～10S，这样优选与其他参数协同有利于提高加工效率和尺寸精度。
具体实施时，在所述步骤3)的酸蚀之后还可以包括将微透镜表面进行离子刻蚀的步骤。所述离子刻蚀具体包括：用离子刻蚀技术在微透镜上进行刻蚀，氩离子束刻蚀，离子束能量为500ev～2000ev，优选为1000ev，刻蚀角度为30度～80度，优选为70度，样品旋转速度为60r/min～600r/min，优选为60r/min，这样优选与其他参数协同有利于提高加工效率和尺寸精度。
具体实施时，在步骤2)之后，步骤3)之前还可以包括将毛坯板经过线切割、磨削、抛光工艺加工成成品尺寸的步骤。
实施例1
如图1所示，本实施例提供了一种微透镜阵列的制备方法，包括以下步骤：
(1)选用硅酸盐玻璃制备芯料棒，外径29mm、长500mm；选用硼酸盐玻璃制备皮料管，外径36mm、壁厚3mm、长600mm，所述皮料管的酸溶速度是芯料棒的10倍。
(2)将皮料管与芯料棒组合成预制棒，用拉丝炉将预制棒拉制成外径0.6mm、长600mm的圆柱形单丝，拉丝炉温度为800℃；将外径0.6mm的圆柱形单丝紧密堆积排列成对边尺寸30mm、长600mm的正六方柱形复丝棒，将正六方柱形复丝棒经拉丝炉拉制成对边0.5mm的正六方柱形复丝，拉丝炉温度为900℃；将正六方柱形复丝紧密堆积排列成对边尺寸40mm、长度60mm的正六方柱形毛坯棒；将正六方柱形毛坯棒放入热压炉中，以5℃/min的升温速度升温至650℃，加压至12Mpa，使复丝粘结在一起，形成毛坯板。
(3)将毛坯板经过线切割、磨削、抛光工艺加工成成品尺寸，对边35mm，厚度0.2mm。
(4)配制500ml，10vol％的硝酸溶液，加热至45℃；在150r/min的转速下将上述毛坯放入其中，酸洗30min；将其取出用去离子水超声清洗(功率为80KHz)30min，放入烘箱在60℃下烘干30min。
(5)经过上述工艺制得孔径为10μm、子镜球径为8μm的六方形微透镜阵列。如图2A所示，当皮料酸溶速度大于芯料酸溶速度时，可以形成孔径为10μm的圆形凸透镜阵列。
实施例2
如图1所示，本实施例提供了一种微透镜阵列的制备方法，包括以下步骤：
(1)选用硅酸盐玻璃制备芯料棒，外径29mm、长500mm；选用硼酸盐玻璃制备皮料管，外径36mm、壁厚3mm、长600mm，所述皮料管的酸溶速度是芯料棒的0.1倍。
(2)将皮料管与芯料棒组合成预制棒，用拉丝炉将预制棒拉制成外径1.2mm、长600mm的圆柱形单丝，拉丝炉温度为800℃；将外径1.2mm的圆柱形单丝紧密堆积排列成对边尺寸30mm、长600mm的正六方柱形复丝棒，将正六方柱形复丝棒经拉丝炉拉制成对边0.5mm的正六方柱形复丝，拉丝炉温度为900℃；将正六方柱形复丝紧密堆积排列成对边尺寸40mm、长60mm的正六方柱形毛坯棒；将正六方柱形毛坯棒放入热压炉中，以5℃/min的升温速度升温至630℃，加压至10Mpa，使复丝粘结在一起，形成毛坯板。
(3)将毛坯板经过线切割、磨削、抛光工艺加工成成品尺寸，对边35mm，厚度0.2mm。
(4)配制500ml，8vol％的盐酸溶液，加热至60℃，在250r/min的转速下将毛坯泡入酸溶液中，酸洗30min；将其取出用去离子水超声清洗(功率为80KHz)30min，放入烘箱在60℃下烘干30min。
(5)经过上述工艺制得孔径为20μm、子镜球径为16μm的六方形微透镜阵列。如图2B所示，当皮料酸溶速度小于芯料酸溶速度时，可以形成孔径为20μm的圆形凹透镜阵列。
实施例3
如图1所示，本实施例提供了一种微透镜阵列的制备方法，包括以下步骤：
(1)选用硅酸盐玻璃制备芯料棒，外径29mm、长500mm；选用硼酸盐玻璃制备皮料管，外径36mm、壁厚3mm、长600mm，所述皮料管的酸溶速度是芯料棒的50倍。
(2)将皮料管与芯料棒组合成预制棒，用拉丝炉将预制棒拉制成外径0.6mm、长600mm的圆柱形单丝，拉丝炉温度为800℃；将外径0.6mm的圆柱形单丝紧密堆积排列成对边尺寸30mm、长600mm的正六方柱形复丝棒，将正六方柱形复丝棒经拉丝炉拉制成对边0.4mm的复丝，拉丝炉温度为900℃；将正六方柱形复丝紧密堆积排列成对边尺寸40mm、长度60mm的正六方柱形毛坯棒；将正六方柱形毛坯棒放入热压炉中，以5℃/min的升温速度升温至630℃，加压至10Mpa，使复丝粘结在一起，形成毛坯板。
(3)将将毛坯板经过线切割、磨削、抛光工艺加工成成品尺寸，对边35mm，厚度0.2mm。
(4)配制500ml，10vol％的硝酸溶液，加热至45℃；在150r/min的转速下将上述毛坯放入其中，酸洗30min；将其取出用去离子水超声清洗(功率为80KHz)30min，放入烘箱在60℃下烘干30min。
(5)将酸洗后毛坯放入马弗炉中，加热至650℃，保温30min。
(6)经过上述工艺制得孔径为8μm、子镜球径为6μm的六方形微透镜阵列。
实施例4
如图1所示，本实施例提供了一种微透镜阵列的制备方法，包括以下步骤：
(1)选用硅酸盐玻璃制备芯料棒，外径29mm、长500mm；选用硼酸盐玻璃制备皮料管，外径36mm、壁厚3mm、长600mm，所述皮料管的酸溶速度是芯料棒的50倍。
(2)将皮料管与芯料棒组合成预制棒，用拉丝炉将预制棒拉制成外径0.6mm、长600mm的圆柱形单丝，拉丝炉温度为800℃；将外径0.6mm的圆柱形单丝紧密堆积排列成对边尺寸30mm、长600mm的正六方柱形复丝棒，将正六方柱形复丝棒经拉丝炉拉制成对边0.4mm的正六方柱形复丝，拉丝炉温度为900℃；将正六方柱形复丝紧密堆积排列成对边尺寸40mm、长60mm的正六方柱形毛坯棒；将正六方柱形毛坯棒放入热压炉中，以5℃/min的升温速度升温至650℃，加压至9Mpa，使复丝粘结在一起，形成毛坯板。
(3)将毛坯板经过线切割、磨削、抛光工艺加工成成品尺寸，对边35mm，厚度0.2mm。
(4)配制500ml，10vol％的硝酸溶液，加热至45℃；在200r/min的转速下将上述毛坯放入其中，酸洗30min；将其取出用去离子水超声清洗(功率为80KHz)30min，放入烘箱在60℃下烘干30min。
(5)用离子刻蚀技术在酸洗后的毛坯上进行刻蚀，氩离子束刻蚀，离子束能量1000ev，刻蚀角度70度，样品旋转速度60r/min。
(6)经过上述工艺制得孔径为8μm、子镜球径为6μm的六方形微透镜阵列。
上述实施例1-4所述的微透镜阵列的表面粗超度50nm，阵列均匀性小于0.5μm(焦距由透镜曲率半径决定，根据应用需求设计)。
上述实施例1-4的微透镜阵列的具体用途如下：
(1)将上述实施例1-4的微透镜阵列应用于CCD系统中，利用微透统对光线的汇聚能力可提升系统的光能利用率(10％)；可以通过将CCD器件与微透镜阵列相互集成来提高其对光信号的采集能力，照射到光电传感器件表面的光线经过微透镜的折射之后会聚到阵列单元的光敏区內，显著提升了CCD探测器对光信号的利用率(10％)；尤其对于高分辨率的CCD元件而言，集成微透镜阵列可以在探测阵列单元尺寸下同时保证光电信号的强度与信巧比。
(2)利用上述实施例1-4的微透镜可实现半导体激光器的光束整形。
(3)在投影仪的光学系统中增加上述实施例1-4的微透镜阵列后，光线通过微透镜阵列的聚焦作用，能够均勾明亮地照满屏幕，图像的轮廓线条清晰、整个屏幕亮度一致，大大提高了投影仪的成像质量。
本发明的说明书中，说明了大量具体细节。然而，能够理解，本发明的实施例可以在没有这些具体细节的情况下实践。在一些实施例中，并未详细示出公知的方法、结构和技术，以便不模糊对本说明书的理解。
另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本发明对各种可能的组合方式不再另行说明。
此外，本发明的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本发明的思想，其同样应当视为本发明所公开的内容。
以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。

Claims (10)

1.一种微透镜阵列的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
1)选取芯、皮玻璃材料：
将酸溶速度不同的玻璃分别制备皮料管和芯料棒；
2)制备周期复合结构毛坯：
经过棒管组合、拉丝、排板、熔压和冷加工制备成具有周期阵列结构的毛坯；
3)酸蚀：
在搅拌的条件下，将上述毛坯浸入酸溶液中酸洗，清洗，烘干。
2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤1)中，其中所述芯、皮玻璃均选自硅酸盐玻璃、硼酸盐玻璃和磷酸盐玻璃中的一种；所述酸溶速度为0.05g/mm2·h～30g/mm2·h，所述芯玻璃的酸溶速度是皮玻璃的0.02倍～50倍；所述皮料管的外径为5mm～60mm，壁厚为0.5mm～6mm，长为100mm～3000mm；所述芯料棒的外径比皮料管的内径小0.2mm～2mm，长为100mm～3000mm或比皮料管的长度小50mm～100mm。
3.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤2)中，其中所述制备周期复合结构毛坯具体为：
将皮料管与芯料棒组合成预制棒，用拉丝炉将预制棒拉制成外径0.1mm～5mm，长100mm～2000mm的圆柱形单丝，拉丝炉温度为玻璃熔融温度Ts温度±50℃；将圆柱形单丝紧密堆积排列成对边尺寸10mm～200mm、长100～2000mm的正六方柱形复丝棒，将正六方柱形复丝棒经拉丝炉拉制成对边0.2mm～5mm的正六方柱形复丝，拉丝炉温度为玻璃熔融温度Ts±50℃；将正六方柱形复丝紧密堆积排列成对边尺寸10mm～200mm、长度50mm～500mm的正六方柱形毛坯棒；将正六方柱形毛坯棒放入热压炉中，以3℃/min～30℃/min的升温速度升温至玻璃热压温度Tf±50℃，加压至压力2MPa～20MPa，使正六方柱形复丝粘结在一起，形成毛坯板。
4.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤3)中，所述搅拌的转速为60r/min～600r/min，时间为5min～600min；所述酸溶液选自硝酸溶液、磷酸溶液、硝酸溶液、醋酸溶液、盐酸溶液和氢氟酸溶液中的至少一种或者混合酸溶液；所述酸溶液的浓度为0.001vol％～98vol％，所述酸溶液的温度为-50℃～350℃；所述烘干的温度为60℃-80℃，时间为10min-60min。
5.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，在所述步骤3)的酸蚀之后还包括将微透镜表面进行热处理的步骤。
6.如权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述热处理具体包括：
通过高温炉加热微透镜至玻璃软化点Tf以上，使微透镜在软化状态下通过表面张力作用形成曲面结构；
或者通过氢氧焰局部加热微透镜表面，使微透镜表面在软化状态下通过表面张力作用形成曲面结构。
7.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，在所述步骤3)的酸蚀之后还包括将微透镜表面进行离子刻蚀的步骤。
8.如权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述离子刻蚀具体包括：用离子刻蚀技术在微透镜上进行刻蚀，氩离子束刻蚀，离子束能量为500ev～2000ev，刻蚀角度为30度～80度，样品旋转速度为60r/min～600r/min。
9.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，在步骤2)之后，步骤3)之前还包括将毛坯板经过线切割、磨削、抛光工艺加工成成品尺寸的步骤。
10.一种微透镜阵列，其特征在于，所述微透镜阵列的孔径为0.5μm～100μm；其是通过权利要求1-9任一项所述的方法制得。
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