CN111656235A - 波导和基于波导的传感器 - Google Patents
波导和基于波导的传感器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN111656235A CN111656235A CN201880087583.2A CN201880087583A CN111656235A CN 111656235 A CN111656235 A CN 111656235A CN 201880087583 A CN201880087583 A CN 201880087583A CN 111656235 A CN111656235 A CN 111656235A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- core
- waveguide
- cladding
- dye
- region
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005253 cladding Methods 0.000 claims abstract description 64
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 18
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 16
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 claims description 14
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 claims description 13
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 claims description 13
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 8
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 2
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 85
- 238000013461 design Methods 0.000 description 15
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 12
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 9
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 9
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 7
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 7
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 7
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 6
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 6
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 6
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 6
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 6
- 239000006260 foam Substances 0.000 description 5
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000010146 3D printing Methods 0.000 description 3
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000001045 blue dye Substances 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 3
- 238000000820 replica moulding Methods 0.000 description 3
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 238000001356 surgical procedure Methods 0.000 description 3
- 238000001429 visible spectrum Methods 0.000 description 3
- 229920004482 WACKER® Polymers 0.000 description 2
- 238000002835 absorbance Methods 0.000 description 2
- -1 acryl Chemical group 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- RRHGJUQNOFWUDK-UHFFFAOYSA-N Isoprene Chemical compound CC(=C)C=C RRHGJUQNOFWUDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005062 Polybutadiene Substances 0.000 description 1
- 241001085205 Prenanthella exigua Species 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 150000001336 alkenes Chemical class 0.000 description 1
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007123 defense Effects 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 230000004069 differentiation Effects 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 1
- 238000002329 infrared spectrum Methods 0.000 description 1
- 229920000126 latex Polymers 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920001084 poly(chloroprene) Polymers 0.000 description 1
- 229920002857 polybutadiene Polymers 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 229920003048 styrene butadiene rubber Polymers 0.000 description 1
- 229920003051 synthetic elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000005061 synthetic rubber Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
- G02B6/1221—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths made from organic materials
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/24—Measuring force or stress, in general by measuring variations of optical properties of material when it is stressed, e.g. by photoelastic stress analysis using infrared, visible light, ultraviolet
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/16—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
- G02B6/125—Bends, branchings or intersections
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B2006/12035—Materials
- G02B2006/12069—Organic material
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B2006/12083—Constructional arrangements
- G02B2006/12097—Ridge, rib or the like
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B2006/12133—Functions
- G02B2006/12138—Sensor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
提供了一种波导。波导具有第一芯、与第一芯间隔开并与第一芯平行的第二芯、以及围绕第一芯和第二芯的包层。包层的间隙部分位于第一芯和第二芯之间。第一芯的与包层相邻的第一区域或包层的与第一芯相邻的第一区域被染色。
Description
关于联邦资助研究的声明
本发明是在国防部授予的合同编号为N00014-17-1-2837的政府支持下完成的。政府对本发明享有一定权利。
相关申请的交叉引用
本申请要求现在未决的2017年11月29日提交的美国临时申请号62/592,073和现在未决的2018年3月13日提交的美国临时申请号62/642,407的优先权,其公开内容通过引用并入本文。
技术领域
本公开涉及力传感器,以及特别,涉及用于软机器人的传感器。
背景技术
由弹性材料制成的可拉伸的光波导已经被证明是用于软机器人应用和可穿戴技术的有效传感器。这些波导材料的弹性模量和应变接近软机器人和人类皮肤的弹性模量和应变。因此,可拉伸的波导传感器提供始终与被感测的软体的顺应(conformable)接触,这是刚性传感器不能实现的。
可拉伸的光波导对变形敏感。当波导以任何可能的方式变形时,诸如被按压、弯曲或拉伸,波导输出强度降低。先前的可拉伸的波导传感器由具有较高折射率的透明芯和具有较低折射率的包层组成。使LED与波导输入接触,以及将光电二极管放置为与波导输出接触以测量输出强度。使用这些波导,根据输出强度,人们只能辨别波导是否变形,但是不能辨别正在施加哪种类型的变形。另外,使用先前的设计,也没有办法辨别变形沿着波导的位置。使用这种可拉伸的波导不能实现分布式感测。
在现有技术中,已经论证了其它光学方法以提供分布式感测。光纤布拉格光栅(FBG)对测量返回的布拉格信号的波长偏移起作用,波长偏移是被测量的参数(例如,应变、应力、温度)的函数。布拉格光栅可以沿着波导的长度产生并实现位置敏感性。然而,此方法具有例如以下缺点:(1)用于这些应用的光纤是柔性的,但不是可拉伸的,因此它们不可以很好地顺应柔软且可拉伸的物体。(2)测量波长偏移的仪器非常大,并且不允许对小型软机器人和可穿戴小工具的紧凑且无线感测。
另一方案通过受抑全内反射实现分布式触觉感测。在此方案中,透明的丙烯酸板连接到光源以作为波导,其中光通过板(反射率nplate>nair)内的全内反射(TIR)传播。柔顺薄膜松散地层叠在丙烯酸板上,允许薄膜和板(nmembrane>nair)之间的空气间隙。当外力施加到薄膜上时,空气间隙塌缩,使薄膜与板紧密接触。高折射率薄膜抑制了丙烯酸板中的TIR,并引起漫反射,漫反射由放置于丙烯酸板下方的CCD照相机收集。尽管此方法在触觉感测方面良好,但是除了按压之外,它不能感测任何其他变形,诸如弯曲和拉伸。另外,这种设置涉及刚性件,并且无法达到使整个传感器顺应以匹配柔体的目标。
另一类型的这种传感器基于变形时聚合物泡沫中的光散射的原理来操作。传感器系统由特定类型的感测元件的多个重复单元组成。每个感测元件由一个LED、一个光电二极管和一块聚合物泡沫构成。LED和光电二极管被聚合物泡沫覆盖并面朝上并排放置。来自LED的光被聚合物泡沫中的气泡散射,并且散射的光强度由光电二极管测量。当聚合物泡沫变形时,散射的光强度改变。尽管此系统通过将刚性部件分解成小模块而提供了更好的机械柔性,但是其仍然不能提供真正的拉伸性和顺应性。它也仅对压力敏感,而对其它类型的变形不敏感。另外,传感器系统的空间分辨率取决于LED和光电二极管模块的密度,这是非常消耗功率的。
基于前述内容,存在对解决上述缺陷中的一个或多个的传感器的未满足的需要。
发明内容
本公开在各种示例中描述了多芯、掺杂颜色(染色)的可拉伸的波导,它可以被设计为紧凑且低成本的光波导传感器。传感器可以区分按压、拉伸和弯曲变形,并测量变形的位置和幅度。在一些实施例中,传感器由弹性材料(例如,软弹性材料)制成。这样,传感器可以有利地与各种机器人致动器(例如,软机器人致动器)一起使用。通过创新的设计和集成的电子器件,传感器可以提供同时的分布式感测并且解耦变形的多个模式,具有例如低至亚毫米和宽范围的空间灵敏度。
本公开的波导和传感器的实施例提供各种能力,包括例如可以使用简单设置、容易的无线连接或其组合来检测和区分局部压力、曲率和伸长的触觉传感器。使用传感器测量/获得的数据在诸如,例如远程手术中的实时感测、虚拟现实(VR)手套、软假体和矫形器以及智能机器人手和臂等应用中提供期望的信息。
附图说明
为了更全面地理解本公开的性质和目的,应当结合附图参考以下详细描述,其中:
图1.根据本公开的实施例的波导的透视图。
图2.根据本公开的另一实施例的波导传感器的横截面视图。灰色区域是包层,白色区域是芯,以及标记有颜色的区域是掺杂有颜色染料的区域。顶部:沿着波导长度的截面视图(xz平面)。底部:跨越波导长度的截面视图(xy平面)。
图3.可以用于所公开的波导的实施例中的示例性染料图案的顶视图(yz平面)。顶部:离散染料;中间:梯度染料;底部:离散和梯度染料的组合。
图4A.示出根据本公开的波导在按压变形期间的输出结果的一系列照片。
图4B.示出根据本公开的波导在拉伸变形期间的输出结果的一系列照片。
图4C.示出根据本公开的波导在弯曲变形期间的输出结果的一系列照片。
图5.一种具有根据本公开的另一实施例的波导的传感器。
具体实施方式
参考图1,在第一方面,本公开可以被实施为用于在传感器中使用的波导10。波导10包括具有第一折射率的第一芯20。第二芯30与第一芯20间隔开并与第一芯20平行,第二芯30具有第二折射率,第二折射率可以与第一折射率相同或不同。芯是透明的。在非限制性示例中,合适的芯透射80%或更多的具有400至750nm波长的入射可见光。根据本公开,其它合适的芯将是显而易见的。
芯可以具有各种横截面面积。例如,第一芯可以但不是必须大于第二芯。在示例中,第一芯宽3mm并且厚1.5mm,以及第二芯宽2mm并且厚1mm。
包层40围绕第一芯20和第二芯30,包层40具有低于第一折射率和第二折射率的折射率。包层40的间隙部分42位于第一芯20和第二芯30之间。
在一些实施例中,波导10的第一芯20包括被染色(即,掺杂有颜色染料)的第一区域22,在此有时将其称为第一染色区域22,第一染色区域22与包层40相邻并且沿着第一芯20的长度的一部分。在一些实施例中,第一染色区域22与包层40的间隙部分42相邻。在一些实施例中,第一染色区域22在第一芯20的小于或等于第一芯20的横截面面积的50%的横截面面积上延伸。在一些实施例中,与第一芯相邻的间隙部分的第一区域被染色。
通常,当前公开的波导操作使得波导在染色区域处的各种变形引起局部光行为的不同组合,选择性地包括由(一种或多种)染料引起的光颜色的变化、通过芯的几何形状的变化的光强度的损失以及芯之间的耦合。特别地,波导可以用于区分按压、拉伸和弯曲变形,和/或测量变形的位置和大小。
当不施加变形时,来自宽带光源(例如,白光LED)的光通过全内反射(TIR)以最小的损耗被引导到第一芯内部,这是因为波导芯和包层材料中的折射率(n)的差(例如,ncore~1.49、ncladding~1.4)。结果,在第一芯的另一端可以检测到明亮的白光,而在第二芯的一端可以检测到微弱的白光,由于薄的半透明硅酮阻挡层使得一些白光射线耦合到第二芯中。区分各种变形的方法总结在表1中,并在下面进行解释。
按压
当波导被按压时,第一芯和第二芯之间的间隙包层被压缩,在按压力的位置处变薄并发生弯曲。这抑制了第一芯中的全内反射(TIR),引起局部漫反射。被漫反射的部分光线耦合到第二芯中,并通过TIR传播到第二芯的一端。当按压颜色区域时,第一芯中的白光射线将漫反射通过吸收染料并耦合到第二芯中。在波导的输出端,第一芯给予衰减的白光的输出,而第二芯给予色光的输出,其中颜色对应于被按压的染色区域,并且颜色饱和度指示所施加的力的强度。通过经由图案化吸收染料对空间信息进行颜色编码(图3和4A),可以实现对压力的分布式感测。
拉伸
波导也可以用于测量局部伸长。当染色区域被拉伸时,第一芯的光输出将从白光变成色光,其颜色对应于被拉伸的区域,并且颜色饱和度表示伸长的量。此效果与Beer-Lambert定律(A=ecL)一致,此定律规定通过介质传播的光(A)的衰减与衰减物质(e)的吸收率、衰减物质(c)的摩尔浓度和路径长度(L)成比例。在(一个或多个)染色区域,颜色吸收染料是主要的衰减物质。当染色区域被拉伸时,与未变形状态相比,染色区域(L)的长度增加,横截面面积减小,并且区域的体积不变。这是因为,例如聚氨酯的泊松比接近0.5,这意味着聚氨酯芯(在非限制性示例中)是不可压缩的。染料(c)的摩尔浓度在被拉伸的体积中不变。吸收率(e)是材料性质并且也不因变形而改变。因此,第一芯输出处的颜色变化仅仅是由于染色区域的长度增加。第二芯输出因为其也被拉伸而具有衰减强度的白光。
弯曲
当波导局部弯曲远离染色表面时,第一芯输出将在颜色上从白色急剧改变为弯曲区域的颜色。这是因为在弯曲的位置处,第一芯中的射线功率集中在弯曲的外边缘,在外边缘处沉积颜色染料。在未变形的直波导中,射线功率集中在第一芯的中间,在第一芯的中间没有颜色染料而是透明的。第二芯输出因为其被放置在无色弯曲面(neutral bendingplane)附近而没有显著衰减的白光。
通过读取和分析来自两个RGB传感器的强度信息和颜色信息,可以获得各种类型的变形的区别和测量。(表1)
表1.波导中发生不同的变形时两个RGB传感器中的强度和RGB变化
可以使用各种染料。染料可以是例如可见光吸收染料、红外吸收染料等。染料可以是有机染料,有机染料可以包括吸收或散射颗粒。红外吸收染料可以包括散射红外光的颗粒。在示例中,染料是非散射染料,其可以具有未吸收波长(例如,未吸收的可见光)的期望的透射率(例如,90%或更大、95%或更大或99%或更大)。
例如,染料可以是具有可见光谱(例如,400-800nm)和/或红外光谱中的吸收波长的吸收染料。可以使用染料的各种组合。染料具有期望的透明度。在特定情况下,期望光穿过染色材料而不被散射。作为示例,光首先穿过染色区域(例如,蓝色染色区域)。染料的示例描述于本文中。在各种示例中,染料是无色透明的可见颜色吸收染料或此类染料的组合。在白光输入的情况下(例如,广谱白光LED),使用(一种或多种)染料来吸收广谱白光输入的各种波长。在示例中,染料吸收可见光谱中的一个或多个波长(例如,对于蓝色染料为550至680nm)。
在染色区域内,对应的波长(例如,使用蓝色染料,550至680nm)被染料吸收。而未被吸收的波长继续透射到波导的一端。这对于不透明染料不起作用,不透明染料中所有光都被吸收、散射、反射或其组合,并且没有光透过它。
下表具有染料的示例的吸收/透射信息。“吸收的波长”是指染料吸收的波长(例如,蓝色染料通常将吸收550-700nm(吸收的波长)的波长,以及透射400-550nm(未吸收的波长)的波长。
吸收的波长 | 未吸收的波长 | |
吸收率 | 0.5~2dB/mm | 0.05~0.25dB/mm |
透射率 | 60%~90%/mm | 95%~99%/mm |
如上所述,颜色染料可以放置于第一芯中,或者可以放置于两个芯之间的包层中。对于后一种布置,可以感测弯曲和按压变形的位置和大小,但是将丢失拉伸变形的位置信息。
染料图案
在一些实施例中,第一芯可具有一个或多个额外的染色区域。在一些实施例中,第一染色区域和一个或多个额外的染色区域沿着第一芯的纵向长度不彼此重叠。这样,染料区可以被认为是离散的(参见例如图3的顶部,并且在下文进一步描述)。在一些实施例中,第一染色区域沿着第一芯的长度与额外的染色区域重叠。例如,第一染色区域和重叠的额外的染色区域可以是锥形的以沿着第一芯的长度形成颜色梯度(参见例如图3的中间部分,并且下文进一步描述)。
通过使用具有不同的颜色图案设计的一个或多个芯,可以实现各种感测能力。图案设计包括但不限于离散染料掺杂、梯度染料掺杂和两者的组合。示例性的染料图案示出在图3中并描述如下。
染料图案可以是离散染料图案。在离散染料设计的示例中(例如,图3,顶部的设计),在第一芯的顶表面上的矩形腔中沉积染料薄层。空间分辨率取决于染料的长度和染料之间的间隔。因此,此设计提供了对按压、拉伸和弯曲的离散感测。尽管空间分辨率有限,但此设计提供了多位置变形感测的能力。例如,在多触摸触觉感测的情况下,此设计可以通过在第二芯中插入输出颜色来测量施加到每个染色区域的力。
染料图案可以是梯度染料图案。梯度染料设计(例如,图3,中间部分的设计)解决了离散染料设计中的空间分辨率限制。通过在重叠的互补三角形腔中掺杂两种颜色染料的薄层,创建颜色光谱梯度。在图3的中间图案所示的示例中,颜色的光谱沿着染色区域的长度从粉色(左)连续地变化到绿色(右)。由于波导中白光的射线功率关于xz平面(由图3中的黑色虚线表示)对称,因此在沿着波导长度(z方向)变形时的颜色变化对应于由染料限定的颜色梯度。因此,实现了针对各种变形的连续空间分辨率。
利用上述两种图案的优点,其中每个离散区域被细分为两种颜色以形成颜色梯度的组合图案(例如,图3,底部的设计)可以用于检测多位置变形并且在每个染色区域中具有分布感测能力。
包层40可以是完全或部分不透明的。例如,包层可以具有大于10dB/cm的吸收率。在一些实施例中,包层可以被配置为吸收光。
第一芯20和第二芯30可以具有各种尺寸和/或形状。例如,第一芯20和/或第二芯30可以具有圆形、多边形等的横截面形状。只要将间隙包层夹在中间的两个面(例如,第一芯的染色面和第二芯的相邻面)是平行面,就可以使用任何形状/尺寸变型。例如,第一芯和第二芯可以是两个半球等。第一芯20可以具有大于第二芯30的横截面面积的横截面面积,在其它实施例中,第一芯和第二芯可以具有相等的横截面面积。在其它实施例中,第一芯20可以具有小于第二芯30的横截面面积的横截面面积,芯可以针对特别的应用的需要而是大的或小的。例如,第一芯20和/或第二芯30可以具有10μm至5cm的直径,包括所有整数μm值和其间的范围在内。在另一示例中,第一芯20和/或第二芯30的横截面面积可以是100μm2至25cm2,包括所有整数μm2的值及其间的范围在内。
芯和包层可以包括各种弹性材料。合适的弹性材料的非限制性示例包括各种合成橡胶(例如,硅橡胶、聚氨酯、苯乙烯-丁二烯橡胶、聚丁二烯、氯丁橡胶等)、天然胶乳橡胶、可生物降解材料(例如,聚癸二酸)或它们的组合。各种官能团(例如,烯烃、羧基、苯、丙烯酰基等)可以接枝到这些材料的主链上以改变芯和包层两者的光学性质(例如,折射率、吸光度)。每个芯可包括相同的材料或不同的材料。在一些实施例中,第一芯和第二芯由硬度比包层的材料高的材料制成。
在一些实施例中,波导500可以具有包层540、第一芯520、第二芯530和第三芯550。第二芯530和第三芯550中的每一个与第一芯520相邻。包层540的第二间隙部分544位于第三芯550和第一芯520之间。第一芯520的与第二间隙包层544相邻的第二区域526被染色。图5示出一种配置的示例,在此示例中,波导包括放置于中间的主芯(第一芯)和各自与第一芯相邻放置的两个第二芯。第一芯的一侧掺杂有离散的染料图案,而其相对侧掺杂有梯度染料图案。通过使用例如RGB传感器检测三个芯的输出,此配置允许同时进行由离散染料使能的多位置感测和由梯度染料使能的连续感测。
参考图2,在另一方面,本公开可以被实施为传感器100。传感器100包括根据本文所述的实施例中的任一个的波导110。例如,传感器100可以包括具有第一芯120、第二芯130和包层140的波导110。第一芯的第一染色区域122与包层140的间隙部分相邻。
传感器100还包括耦合到第一芯120的输入端124的宽带光源170。示例性光源可以是发光二极管(LED)。诸如白光LED的广谱光源将与波导的染色区域协作,以提供用于本文所述目的合适的输出信号。应当注意的是,示例提供有“颜色”染料和“颜色”检测器,并且这样的实施例旨在包括对于人类不可见的波长,诸如红外光。光源的非限制性示例包括可见光源、红外光源等或它们的组合。
第一检测器180耦合到第一芯120的输出端126。输出端126可以在第一芯120的与输入端124相对的一端处。在其它实施例中,输入端和输出端可以在第一芯的同一物理端,并且反射器或类似设备可以用在芯的相对端。第二检测器182耦合到第二芯130的输出端136。检测器的非限制性示例包括可见光传感器(包括例如RGB传感器)、红外传感器等或其组合。
这种传感器的实施例可以被称为基于光波导的分布式传感器、光转换器系统或波导传感器/系统。通过由弹性材料制成并结合有可见光谱吸收染料,传感器可以测量和区分变形的各种模式的大小和位置:按压、拉伸、弯曲或其组合。在各种示例中,所公开的传感器的特征在于紧凑、低成本、易于制造的系统,该系统包括如上所述的波导,加上从传感器的一个端用作光源的宽谱发光二极管(LED)和从另一个端接收转换的光学信号的便携式红-绿-蓝(RGB)色光传感器芯片。
可以可期望的是,芯的横截面尺寸与检测器尺寸(例如RGB芯片的尺寸)相当。在一些示例中,可以可期望的是,芯的横截面面积不小于传感器的主动感测面积(例如,可以具有例如400平方微米的有效感测面积的RGB芯片)。
在另一方面,本公开可以被实施为一种检测波导的变形的方法。方法包括提供根据本文公开的实施例中的任一个的传感器。方法还包括检测第一芯的输出端和第二芯的输出端处的光变化。基于检测到的光变化区分和/或测量波导的变形。光变化可以包括例如光强度的变化和/或波长的变化(即RGB变化)。这种变化可以在第一芯、第二芯或这两个芯内。
本公开在各种示例中描述了多芯、掺杂颜色(染色)的可拉伸波导,它可以被设计为紧凑且低成本的光波导传感器。传感器可以区分按压、拉伸和弯曲变形,并测量变形的位置和大小。在一些实施例中,传感器由弹性材料(例如,软弹性材料)制成。这样,传感器可以有利地与各种机器人致动器(例如,软机器人致动器)一起使用。通过创新的设计和集成的电子器件,传感器可以提供同时的分布式感测并且解耦变形的多个模式,具有例如低至亚毫米和宽范围的空间灵敏度。
本公开的波导和传感器的实施例提供各种能力,包括例如可以使用简单设置、容易的无线连接或其组合来检测和区分局部压力、曲率和伸长的触觉传感器。使用传感器测量/获得的数据在诸如远程手术中的实时感测、虚拟现实(VR)手套、软假体和矫形器以及智能机器人手和臂等应用中提供期望的信息。
在各种示例中,本公开的传感器可以提供以下中的一个或多个:
·传感器可以分别区分和测量各种变形的大小和分布位置,包括按压、拉伸、弯曲及其组合。
·波导仅由软性、柔性和高度可拉伸的弹性体制成,弹性体可以拉伸高达600%的单轴应变。这使得传感器适应和适合于可以大幅变形的复杂形状的表面或物体。
·通过经由在波导的芯中以顺序/图案掺杂的可见吸收染料而选择性吸收白光来实现沿着一个或多个波导的分布式感测。
·传感器比相关技术更紧凑,更易于实现,成本更低,并且消耗更少的功率。
·变形的模式、位置和大小可以直接从由RGB传感器收集的总光强度、RGB值和饱和度的数据测量和转换。与相关技术相比,数据不需要进一步的复杂数据解释。
·通过更改波导中不同层的厚度,传感器的范围和灵敏度可以被调整到不同的应用。
传感器可以检测或感测变形(例如,变形模式、变形的位置、大小或其组合)。传感器可以检测各种变形模式(例如,按压、拉伸、弯曲或其组合)。
波导传感器包括至少一个芯,该芯具有一个或多个被染色(例如,染有颜色)的区域(例如,与间隙包层相邻)。例如,使用一个或多个染料,染料可以是离散或梯度图案。染料使用例如(一种或多种)颜色对空间信息进行编码。(一个或多个)染色区域被配置在波导中,使得在(一个或多个)变形时,波导输出颜色变化,从而提供空间信息和变形模式。
示例性实施例的制造
在一个示例性(即非限制性实施例)中,波导包括弹性体包层(例如硅酮弹性体包层),围绕两个或多个透明弹性体芯(例如透明聚氨酯(PU)弹性体芯)。芯(例如第一芯和第二芯)可以具有各种配置。例如,两个芯放置为一个在另一个之上,由透明或半透明包层(例如硅酮层)的共用薄层分离。
例如,可以使用硅酮模具通过复制模塑透明弹性体(例如,PU弹性体,诸如,ClearFlex30,SMOOTH-ON)来制造芯,通过在3D打印的刚性模具上浇铸刚性硅酮弹性体(例如,ELASTOSIL M4601,Wacker Chemie AG)制备硅酮模具。
例如,通过使用硅酮模具复制模塑透明PU弹性体(Clear Flex30,SMOOTH-ON)来制造第一芯(例如,第一芯诸如,例如PU芯),硅酮模具通过在3D打印的刚性模具上浇铸刚性硅酮弹性体(ELASTOSIL M4601,Wacker Chemie AG)制备。然后腔被图案化在固化的第一芯中,随后用掺杂有一种或多种可见颜色吸收染料(例如,无色透明的可见颜色吸收染料,诸如例如,EP7701,可从Eager Polymers获得)的透明弹性体(例如,Clear Flex30)填充并固化腔。第二芯(例如PU芯)使用透明弹性体(例如,Clear Flex30)使用与上述第一芯相同的方法制造,但没有腔或颜色吸收染料。
例如,使用3D打印塑料模具复制模塑具有腔的波导的弹性体包层(例如,硅酮包层,诸如例如Dragon Skin 20SMOOTH-ON)。第一芯(例如“底部”或“下部”芯诸如,例如底部PU芯)被转移到弹性体包层的腔中,其中图案化的颜色区域面向上。半透明弹性体(诸如,例如半透明硅酮(例如Dragon Skin20,SMOOTH-ON))的薄层或透明硅酮(例如SYLGARD184,DOWCORNING)的薄层沉积在PU的颜色表面上。第二芯(例如“顶部”或“上部”PU芯)被转移到薄硅酮层上。然后,在第二芯上沉积弹性体包层(例如,硅酮包层诸如,例如Dragon Skin20SMOOTH-ON)的顶层,以完成波导包层。使设备完成固化(例如在室温下4小时)。
虽然在前述示例中描述了复制模塑,但是传感器的制造(例如,芯形成和包层形成)也可以使用3D打印来执行,3D打印包括直接墨水书写(Direct Ink Writing)和立体光刻。
在波导的输入端处,诸如白光LED芯片(Cree Inc.XQEAWT-H2-0000-00000BEE5)的广谱光源被耦合到第一芯并与第一芯对准。在波导的输出端处,诸如RGB传感器芯片(TCS3472,TAOS)的检测器被附接到第一芯并与第一芯对准,以及另一检测器被附接到第二芯并与第二芯对准(见图2)。可以使用各种光源和检测器。光源的非限制性示例包括可见光源、红外光源等或它们的组合。检测器的非限制性示例包括可见光传感器(包括RGB传感器)、红外传感器等或它们的组合。
进一步描述
间隙包层可以被认为是部分遮光层。例如,间隙包层位于两个芯之间,例如第一芯和第二芯之间,使得当一个芯(例如第二芯)被按压时,间隙包层变薄并且变形,足以使光从另一个芯进入一个芯(例如,从第一芯进入第二芯)。间隙包层的厚度(例如,表示为tic)可以取决于两个芯(例如,第一芯和第二芯)的厚度,以及对于压力的灵敏度和范围的要求。随着tic变薄,按压力灵敏度将增加(更灵敏)。随着tic变厚,传感器将能够感测较大的按压力。tic是用于不同应用的可调参数,并且可以跨越宽范围的厚度。例如,使用典型的芯尺寸(例如,本文所述的芯尺寸),tic的大致范围可以大于0mm且小于2mm。
本发明利用一种或多种染料(例如吸收染料)的应用来实现各种变形的区分与分布式感测的低成本、紧凑布置的目标。本文描述了包层、芯和染料的各种布置。(一种或多种)波导的可替换实施例包括以下中的一个或多个:
·不同放置的染料。例如,染料可以掺杂在硅酮包层中而不是PU芯中,或者染料可以放置在多个平面中以检测不同方向上的变形。
·不同形状的芯和包层,而不是直矩形。
·不同数量的芯。
·不同放置的芯和包层。
·不同长度的传感器。
·用于制造芯和包层的不同现成材料。
·不同放置的刚性光电子组件:LED和RGB传感器。由于波导的一个端涂有反射涂层,LED和RGB传感器可以被布置在波导的相同端,使得整个传感器设计更紧凑。
传感器(可以被称为波导传感器)可以单独使用,即,单独使用一个波导,以感测诸如按压、弯曲、拉伸或其组合的变形,并且在2D空间中重建形状。在另一配置中,通过并排地布置和/或在不同层中布置多个波导,可以构造2D分布式感测平面用于3D空间中的实时感测和形状重建。
基于用于在广泛应用中进行感测和形状重建的布置(例如,如本文所述),波导传感器或多个波导传感器可以被集成到软机器或机器人中,广泛应用包括例如远程手术、VR手套、软矫正器/假体、机器人手/臂等。
在示例中,软机器或机器人包括本公开的一个或多个波导传感器。在软机器或机器人包括多个波导传感器的情况下,传感器可以全部是相同的传感器配置或至少两个不同传感器配置的组合。
在本文公开的各种实施例和示例中描述的方法的步骤足以实施本发明的方法。因此,在实施例中,方法基本上由本文公开的方法的步骤的组合组成。在另一实施例中,方法由这些步骤组成。在另一实施例中方法包括这些步骤。
以下,描述本公开的各种示例:
示例1.一种波导,包括具有第一折射率的第一芯;具有第二折射率的第二芯,第二芯与第一芯间隔开并与第一芯平行;围绕第一芯和第二芯的包层,包层具有低于第一折射率和第二折射率的折射率,以及其中包层的间隙部分位于第一芯和第二芯之间;以及其中第一芯的与包层相邻的第一区域或者包层的与第一芯相邻的第一区域被染色。
示例2.如示例1所述的波导,其中第一染色区域是第一芯的并且与间隙包层相邻。
示例3.如前述示例中的任一个所述的波导,其中第一染色区域在小于或等于第一芯的横截面面积的50%的第一芯的横截面面积上延伸。
示例4.如前述示例中的任一个所述的波导,其中包层包括硅酮。
示例5.如前述示例中的任一个所述的波导,其中第一芯和/或第二芯包括聚氨酯。
示例6.如前述示例中的任一个所述的波导,其中第一芯的横截面面积大于第二芯的横截面面积。
示例7.如前述示例中的任一个所述的波导,其中第一折射率与第二折射率相同。
示例8.如前述示例中的任一个所述的波导,其中第一芯具有包括所有整数μm值和其间的范围在内的10μm至5cm的直径,和/或包括所有整数μm2值和其间的范围在内的100μm2至25cm2的横截面面积。
示例9.如前述示例中的任一个所述的波导,其中所述第二芯具有包括所有整数μm值和其间的范围在内的10μm至5cm的直径,和/或包括所有整数μm2值和其间的范围在内的100μm2至25cm2的横截面面积。
示例10.如前述示例中的任一个所述的波导,其中第一芯具有圆形、多边形等的横截面形状。
示例11.如前述示例中的任一个所述的波导,其中第二芯具有圆形、多边形等的横截面形状。
示例12.如前述示例中的任一个所述的波导,其中第一芯和第二芯由硬度比包层的材料高的材料制成。
示例13.如前述示例中的任一个所述的波导,其中所第一芯具有一个或多个额外的染色区域。
示例14.如示例13所述的波导,其中第一染色区域和/或一个或多个额外的染色区域沿着第一芯的纵向长度不彼此重叠。
示例15.如示例13所述的波导,其中第一染色区域沿着第一芯的长度与额外的染色区域重叠。
示例16.如示例15所述的波导,其中重叠的第一染色区域和额外的染色区域是锥形的,以沿着第一芯的长度形成颜色梯度。
示例17.如前述示例中的任一个所述的波导,还包括与第一芯相邻的第三芯,以及位于第三芯和第一芯之间的第二间隙包层;以及其中第一芯的与第二间隙包层相邻的第二区域被染色。
示例18.一种传感器,包括如前述示例中任一个所述的波导;耦合到第一芯的输入端的广谱光源;耦合到第一芯的输出端的第一检测器;以及耦合到第二芯的输出端的第二检测器。
示例19.如示例18所述的传感器,还包括与第一检测器和第二检测器电子通信的控制器,控制器被配置为基于在第一检测器和/或第二检测器处接收的光确定外力的位置和/或大小。
示例20.如示例18-19中的任一个所述的传感器,其中第一芯的输入端在第一芯的与输入端相对的一端处。
示例21.一种检测波导的变形的方法,包括提供如示例18-20中的任一个所述的传感器;检测第一芯的输出端和第二芯的输出端处的光变化;以及基于检测到的光变化区分和/或测量波导的变形。
示例22.如示例21所述的方法,其中光变化包括光强度变化和RGB变化。
尽管已经关于一个或多个特定实施例描述了本公开,但是将理解的是,可以在不脱离本公开的精神和范围的情况下做出本公开的其它实施例。
Claims (22)
1.一种波导,包括:
第一芯,所述第一芯具有第一折射率;
第二芯,所述第二芯具有第二折射率,所述第二芯与所述第一芯间隔开并与所述第一芯平行;
包层,所述包层围绕所述第一芯和所述第二芯,所述包层具有低于所述第一折射率和所述第二折射率的折射率,以及其中所述包层的间隙部分位于所述第一芯和所述第二芯之间;以及
其中所述第一芯的与所述包层相邻的第一区域或者所述包层的与所述第一芯相邻的第一区域被染色。
2.如权利要求1所述的波导,其中所述第一染色区域是所述第一芯的并且与所述间隙包层相邻。
3.如权利要求1所述的波导,其中所述第一染色区域在小于或等于所述第一芯的横截面面积的50%的所述第一芯的横截面面积上延伸。
4.如权利要求1所述的波导,其中所述包层包括硅酮。
5.如权利要求1所述的波导,其中所述第一芯和/或所述第二芯包括聚氨酯。
6.如权利要求1所述的波导,其中所述第一芯的横截面面积大于所述第二芯的横截面面积。
7.如权利要求1所述的波导,其中所述第一折射率与所述第二折射率相同。
8.如权利要求1所述的波导,其中所述第一芯具有包括所有整数μm值和其间的范围在内的10μm至5cm的直径,和/或包括所有整数μm2值和其间的范围在内的100μm2至25cm2的横截面面积。
9.如权利要求1所述的波导,其中所述第二芯具有包括所有整数μm值和其间的范围在内的10μm至5cm的直径,和/或包括所有整数μm2值和其间的范围在内的100μm2至25cm2的横截面面积。
10.如权利要求1所述的波导,其中所述第一芯具有圆形、多边形等的横截面形状。
11.如权利要求1所述的波导,其中所述第二芯具有圆形、多边形等的横截面形状。
12.如权利要求1所述的波导,其中所述第一芯和所述第二芯由硬度比所述包层的材料高的材料制成。
13.如权利要求1所述的波导,其中所述第一芯具有一个或多个额外的染色区域。
14.如权利要求13所述的波导,其中所述第一染色区域和/或所述一个或多个额外的染色区域沿着所述第一芯的纵向长度不彼此重叠。
15.如权利要求13所述的波导,其中所述第一染色区域沿着所述第一芯的长度与额外的染色区域重叠。
16.如权利要求15所述的波导,其中重叠的第一染色区域和额外的染色区域是锥形的,以沿着所述第一芯的长度形成颜色梯度。
17.如权利要求1所述的波导,还包括与所述第一芯相邻的第三芯,以及位于所述第三芯和所述第一芯之间的第二间隙包层;以及其中所述第一芯的与所述第二间隙包层相邻的第二区域被染色。
18.一种传感器,包括:
如权利要求1所述的波导;
广谱光源,所述广谱光源耦合到所述第一芯的输入端;
第一检测器,所述第一检测器耦合到所述第一芯的输出端;以及
第二检测器,所述第二检测器耦合到所述第二芯的输出端。
19.如权利要求18所述的传感器,还包括与所述第一检测器和所述第二检测器电子通信的控制器,所述控制器被配置为基于在所述第一检测器和/或所述第二检测器处接收的光确定外力的位置和/或大小。
20.如权利要求18所述的传感器,其中所述第一芯的所述输入端在所述第一芯的与所述输入端相对的一端处。
21.一种检测波导的变形的方法,包括:
提供如权利要求18所述的传感器;
检测所述第一芯的所述输出端和所述第二芯的所述输出端处的光变化;以及
基于检测到的光变化区分和/或测量所述波导的所述变形。
22.如权利要求21所述的方法,其中所述光变化包括光强度变化和RGB变化。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201762592073P | 2017-11-29 | 2017-11-29 | |
US62/592,073 | 2017-11-29 | ||
US201862642407P | 2018-03-13 | 2018-03-13 | |
US62/642,407 | 2018-03-13 | ||
PCT/US2018/063173 WO2019108862A1 (en) | 2017-11-29 | 2018-11-29 | Waveguide and sensor based on same |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN111656235A true CN111656235A (zh) | 2020-09-11 |
Family
ID=66664252
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201880087583.2A Pending CN111656235A (zh) | 2017-11-29 | 2018-11-29 | 波导和基于波导的传感器 |
CN201880088089.8A Active CN111656308B (zh) | 2017-11-29 | 2018-11-29 | 用于一维、二维和三维的连续位置定位的弹性光导耦合 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201880088089.8A Active CN111656308B (zh) | 2017-11-29 | 2018-11-29 | 用于一维、二维和三维的连续位置定位的弹性光导耦合 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US11614583B2 (zh) |
EP (2) | EP3717993A4 (zh) |
CN (2) | CN111656235A (zh) |
WO (2) | WO2019108862A1 (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113790670A (zh) * | 2021-08-26 | 2021-12-14 | 上海理工大学 | 一种柔性分布式光纤传感器及制作方法 |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11788869B2 (en) | 2016-02-25 | 2023-10-17 | Cornell University | Waveguides for use in sensors or displays |
WO2017147573A1 (en) * | 2016-02-25 | 2017-08-31 | Cornell University | Waveguides for use in sensors or displays |
US11199660B2 (en) * | 2018-11-20 | 2021-12-14 | University Of Louisville Research Foundation, Inc. | Soft optics with mechanically tunable refractive index |
GB2580164A (en) * | 2018-12-21 | 2020-07-15 | Imperial College Sci Tech & Medicine | A sensor |
US20230194774A1 (en) * | 2020-05-13 | 2023-06-22 | Haute Ecole Arc | Optical waveguide and method of fabrication thereof |
KR20220028348A (ko) * | 2020-08-28 | 2022-03-08 | 삼성전자주식회사 | 연신 스트레인 센서, 복합 센서, 표시 패널 및 장치 |
US11422305B2 (en) * | 2020-12-02 | 2022-08-23 | Globalfoundries U.S. Inc. | Structures for filtering light polarization states on a photonics chip |
US11965732B2 (en) * | 2021-02-17 | 2024-04-23 | Touch Netix Limited | Methods and sensor for measuring strain |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5363463A (en) * | 1982-08-06 | 1994-11-08 | Kleinerman Marcos Y | Remote sensing of physical variables with fiber optic systems |
JP2008145931A (ja) * | 2006-12-13 | 2008-06-26 | Fujikura Ltd | 光電気複合配線 |
US20090097808A1 (en) * | 2004-07-30 | 2009-04-16 | President And Fellows Of Harvard College | Fluid waveguide and uses thereof |
US20100074575A1 (en) * | 2008-09-19 | 2010-03-25 | Hidenobu Hamada | Optical module and method for manufacturing the same |
CN104509002A (zh) * | 2012-05-25 | 2015-04-08 | 康宁股份有限公司 | 用于差分光学信令的系统 |
WO2017147573A1 (en) * | 2016-02-25 | 2017-08-31 | Cornell University | Waveguides for use in sensors or displays |
Family Cites Families (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4295738A (en) | 1979-08-30 | 1981-10-20 | United Technologies Corporation | Fiber optic strain sensor |
US4484179A (en) | 1980-04-16 | 1984-11-20 | At&T Bell Laboratories | Touch position sensitive surface |
US4420251A (en) * | 1980-05-05 | 1983-12-13 | Rockwell International Corporation | Optical deformation sensor |
DE3822512A1 (de) | 1988-07-04 | 1990-01-11 | Bodenseewerk Geraetetech | Kraftmessvorrichtung |
SE502553C2 (sv) | 1994-03-15 | 1995-11-13 | Ericsson Telefon Ab L M | Optisk fiber för sensorändamål och sätt att framställa den optiska fibern |
US5630004A (en) * | 1994-09-09 | 1997-05-13 | Deacon Research | Controllable beam director using poled structure |
JP4153613B2 (ja) * | 1999-01-04 | 2008-09-24 | Kddi株式会社 | 波長選択フィルタ素子および光集積回路 |
US6362861B1 (en) * | 2000-05-02 | 2002-03-26 | Agilent Technologies, Inc. | Microdisplay system |
US6519382B1 (en) | 2000-09-11 | 2003-02-11 | Optical Switch Corporation | Frustrated total internal reflection switch using waveguides and method of operation |
US7080940B2 (en) * | 2001-04-20 | 2006-07-25 | Luxtron Corporation | In situ optical surface temperature measuring techniques and devices |
JP4200436B2 (ja) * | 2002-12-05 | 2008-12-24 | ソニー株式会社 | 高分子光導波路 |
US7116865B2 (en) * | 2002-12-10 | 2006-10-03 | International Business Machines Corporation | Apparatus and methods for remakeable connections to optical waveguides |
US20070147725A1 (en) * | 2003-04-30 | 2007-06-28 | Paolo Crespi | Coupled-waveguide electro-optic switch based on polarisation conversion |
JP2006003137A (ja) | 2004-06-16 | 2006-01-05 | Toudai Tlo Ltd | 光学式触覚センサ及び該センサにおける情報取得方法 |
US8013845B2 (en) * | 2005-12-30 | 2011-09-06 | Flatfrog Laboratories Ab | Optical touch pad with multilayer waveguide |
US9063617B2 (en) * | 2006-10-16 | 2015-06-23 | Flatfrog Laboratories Ab | Interactive display system, tool for use with the system, and tool management apparatus |
US7903240B2 (en) * | 2006-12-01 | 2011-03-08 | 3M Innovative Properties Company | Optical sensing device |
EP2188701B1 (en) | 2007-08-03 | 2018-04-18 | Microsoft Technology Licensing, LLC | Multi-touch sensing through frustrated total internal reflection |
JP2009075362A (ja) * | 2007-09-20 | 2009-04-09 | Fuji Xerox Co Ltd | 光導波路及びその製造方法 |
US9345424B2 (en) * | 2008-04-03 | 2016-05-24 | University Of Washington | Clinical force sensing glove |
EP2506802A4 (en) * | 2009-12-01 | 2014-12-24 | Hollstien David Stuart | NON-INVASIVE IMPLANT RIP DETECTION SYSTEM |
WO2012061208A1 (en) * | 2010-11-04 | 2012-05-10 | Biolase Technology, Inc. | Initiation sequences for ramping-up pulse power in a medical laser having high-intensity leading subpulses |
US9880653B2 (en) | 2012-04-30 | 2018-01-30 | Corning Incorporated | Pressure-sensing touch system utilizing total-internal reflection |
US9952719B2 (en) * | 2012-05-24 | 2018-04-24 | Corning Incorporated | Waveguide-based touch system employing interference effects |
JP6026346B2 (ja) | 2013-03-06 | 2016-11-16 | 日東電工株式会社 | 位置センサ |
KR102067761B1 (ko) | 2013-03-19 | 2020-01-17 | 삼성전자주식회사 | 비전기식 터치 패널을 구비하는 광학 장치 |
JP5697778B1 (ja) * | 2014-04-03 | 2015-04-08 | 株式会社フジクラ | 基板型光導波路素子 |
JP6335676B2 (ja) * | 2014-06-19 | 2018-05-30 | 株式会社フジクラ | 基板型光導波路素子 |
CA3049718A1 (en) | 2017-01-10 | 2018-07-19 | Cornell University | Sensors with elastomeric foams and uses thereof |
US11662228B2 (en) * | 2018-06-22 | 2023-05-30 | The University Of Hong Kong | Real-time surface shape sensing for flexible structures |
-
2018
- 2018-11-29 US US16/767,918 patent/US11614583B2/en active Active
- 2018-11-29 EP EP18883625.8A patent/EP3717993A4/en active Pending
- 2018-11-29 EP EP18882864.4A patent/EP3717944A4/en active Pending
- 2018-11-29 CN CN201880087583.2A patent/CN111656235A/zh active Pending
- 2018-11-29 CN CN201880088089.8A patent/CN111656308B/zh active Active
- 2018-11-29 US US16/767,905 patent/US11500152B2/en active Active
- 2018-11-29 WO PCT/US2018/063173 patent/WO2019108862A1/en unknown
- 2018-11-29 WO PCT/US2018/063172 patent/WO2019108861A1/en unknown
-
2022
- 2022-09-12 US US17/943,184 patent/US11921321B2/en active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5363463A (en) * | 1982-08-06 | 1994-11-08 | Kleinerman Marcos Y | Remote sensing of physical variables with fiber optic systems |
US20090097808A1 (en) * | 2004-07-30 | 2009-04-16 | President And Fellows Of Harvard College | Fluid waveguide and uses thereof |
JP2008145931A (ja) * | 2006-12-13 | 2008-06-26 | Fujikura Ltd | 光電気複合配線 |
US20100074575A1 (en) * | 2008-09-19 | 2010-03-25 | Hidenobu Hamada | Optical module and method for manufacturing the same |
CN104509002A (zh) * | 2012-05-25 | 2015-04-08 | 康宁股份有限公司 | 用于差分光学信令的系统 |
WO2017147573A1 (en) * | 2016-02-25 | 2017-08-31 | Cornell University | Waveguides for use in sensors or displays |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113790670A (zh) * | 2021-08-26 | 2021-12-14 | 上海理工大学 | 一种柔性分布式光纤传感器及制作方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3717993A1 (en) | 2020-10-07 |
CN111656308B (zh) | 2024-04-19 |
CN111656308A (zh) | 2020-09-11 |
WO2019108862A1 (en) | 2019-06-06 |
EP3717993A4 (en) | 2021-08-25 |
US20230048203A1 (en) | 2023-02-16 |
US11500152B2 (en) | 2022-11-15 |
EP3717944A4 (en) | 2021-08-11 |
US20210003388A1 (en) | 2021-01-07 |
US11614583B2 (en) | 2023-03-28 |
WO2019108861A1 (en) | 2019-06-06 |
US11921321B2 (en) | 2024-03-05 |
US20200400886A1 (en) | 2020-12-24 |
EP3717944A1 (en) | 2020-10-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN111656235A (zh) | 波导和基于波导的传感器 | |
Harnett et al. | Stretchable optical fibers: Threads for strain‐sensitive textiles | |
US20180188125A1 (en) | Flexible and Stretchable Sensor Using Soft Optical Waveguides | |
CA1270662A (en) | Optical sensor | |
WO2008042959A3 (en) | Fiber optic device for measuring a parameter of interest | |
CA3015906A1 (en) | Waveguides for use in sensors or displays | |
ITPI20070085A1 (it) | Sensore tattile flessibile e metodo per ottenerlo | |
CN112229553B (zh) | 一种基于光衰减的柔性触觉传感器、阵列及其制备方法 | |
EP1883008A3 (en) | Touch sensor using optical fiber | |
JP2023529500A (ja) | 2次元光導波路圧力センサアレイ | |
TWI629520B (zh) | 指示/警示裝置 | |
Lin et al. | Multitouch pressure sensing with soft optical time-of-flight sensors | |
KR102115437B1 (ko) | 광학식 측정 장치 | |
US20230051655A1 (en) | Optical sensor | |
WO2005010567A3 (en) | Low profile fiber optic vital signs sensor | |
EP3667381A1 (en) | Optical cable for indoor installation | |
Hu et al. | Polymer-based optical waveguide tactile sensing method for 3-D surfaces | |
US20240011851A1 (en) | Optical Soft Skin System for Multimodal Sensing | |
JP2000214013A (ja) | 光学式圧力センサおよびマット | |
WO2019073424A1 (en) | DEVICE, APPARATUS AND SYSTEM FOR DETECTING DEFORMATIONS | |
CN108333804A (zh) | 一种测量装置及其测量方法 | |
CN117782202A (zh) | 一种基于柔性光波导的分布式触觉传感器及感知方法 | |
Arasu et al. | Enhancement of fiber-SPR sensor utilizing Graphene oxide | |
WO2024071269A1 (ja) | 端面発光型導光棒及びその製造方法 | |
CN117346930A (zh) | 一种光纤触觉传感器及制备方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20200911 |
|
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |