JP2023529500A - 2次元光導波路圧力センサアレイ - Google Patents

2次元光導波路圧力センサアレイ Download PDF

Info

Publication number
JP2023529500A
JP2023529500A JP2022577092A JP2022577092A JP2023529500A JP 2023529500 A JP2023529500 A JP 2023529500A JP 2022577092 A JP2022577092 A JP 2022577092A JP 2022577092 A JP2022577092 A JP 2022577092A JP 2023529500 A JP2023529500 A JP 2023529500A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure sensor
sensor array
light
optical waveguide
waveguide
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2022577092A
Other languages
English (en)
Inventor
デン ブーム,ヘンリクス ペトラス アンナ ヴァン
マルセラス ヨゼフ クーネン,アントニウス
Original Assignee
ルシセンス テクノロジーズ ベスローテン ヴェンノーツハップ
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ルシセンス テクノロジーズ ベスローテン ヴェンノーツハップ filed Critical ルシセンス テクノロジーズ ベスローテン ヴェンノーツハップ
Publication of JP2023529500A publication Critical patent/JP2023529500A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00Measuring force or stress, in general
    • G01L1/24Measuring force or stress, in general by measuring variations of optical properties of material when it is stressed, e.g. by photoelastic stress analysis using infrared, visible light, ultraviolet
    • G01L1/242Measuring force or stress, in general by measuring variations of optical properties of material when it is stressed, e.g. by photoelastic stress analysis using infrared, visible light, ultraviolet the material being an optical fibre
    • G01L1/243Measuring force or stress, in general by measuring variations of optical properties of material when it is stressed, e.g. by photoelastic stress analysis using infrared, visible light, ultraviolet the material being an optical fibre using means for applying force perpendicular to the fibre axis
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00Measuring force or stress, in general
    • G01L1/24Measuring force or stress, in general by measuring variations of optical properties of material when it is stressed, e.g. by photoelastic stress analysis using infrared, visible light, ultraviolet
    • G01L1/242Measuring force or stress, in general by measuring variations of optical properties of material when it is stressed, e.g. by photoelastic stress analysis using infrared, visible light, ultraviolet the material being an optical fibre
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00Measuring force or stress, in general
    • G01L1/24Measuring force or stress, in general by measuring variations of optical properties of material when it is stressed, e.g. by photoelastic stress analysis using infrared, visible light, ultraviolet
    • G01L1/247Measuring force or stress, in general by measuring variations of optical properties of material when it is stressed, e.g. by photoelastic stress analysis using infrared, visible light, ultraviolet using distributed sensing elements, e.g. microcapsules

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

本発明は、2次元光導波路圧力センサアレイであって、2つ以上の行光導波路と、2つ以上の列光導波路とを備え、行光導波路および列光導波路は、変形可能であって、平面アレイに配設されてクロスポイント内にセンサを画定しており、ここで、各クロスポイントは、その交叉点において、列導波路の1つと接触する行導波路の1つを含み;各クロスポイントは、クロスポイントに圧力が付加されたときに導波路曲げを増強するように構成された、光結合構造をさらに含み;光結合構造は、行または列の光導波路の少なくとも1つに接触して配置された、機械的光散乱材料の層を含み;光導波路圧力センサアレイは、行光導波路に光を供給し、各クロスポイントにおいて、それの列光導波路に結合された光を測定することによって、またはその逆を行うことによって、圧力を感知するように構成され、ここで、列光導波路に結合された光は、センサとして作用するクロスポイントに付加される圧力に依存する、2次元光導波路圧力センサアレイを開示する。

Description

本発明は、一般に、光導波路圧力センサアレイに関し、より詳細には、光導波路圧力センサアレイ構成においてポリマー光ファイバを使用する、2次元圧力検知システムに関する。
2次元位置情報を提供する圧力検知システムは、例えば米国特許第4733068号明細書および米国特許出願公開第2019/0302879号明細書から知られている。これらの出版物から、光ファイバセンサアレイを使用して、2次元構造に加えられる圧力の空間分布を測定することが知られている。このような2次元圧力センサシステムは、物体および/または人の特定の位置および動きを測定およびモニタリングするのに特に適している。
センサアレイを光ファイバで構成し、それらの光ファイバがポリマー光ファイバ(POF)である圧力検知システムは、安価で堅牢、可撓性があり、電磁干渉(EMI)の影響を受けないという利点がある。このような圧力検知システムでは、一方向に設けられたファイバが光源(特に発光ダイオード(LED))に接続され、横断方向に設けられたファイバが高感度光受信器に接続される、ファイバのグリッドが提供される。交差部では、1本のファイバからの光が、交差するファイバ中に結合することができる。この光パワー結合は交差部にかかる圧力に依存するため、グリッドのこれらの交差ポイントのそれぞれは局所的な圧力センサとして機能することができる。このような圧力検知システムは、十分に敏感な圧力依存性光結合を提供するためにアレイ内のセンサを修正する必要がある。このような十分な圧力依存性光結合を達成し、それによってセンサシステムの変換特性を改善するために、センサは、導波路曲げを増強し、それによって変換特性を改善するように構成された、追加の機械的構造を有することができる。このような機械的構造はリング形であるが、これらはファイバの交点との正確な位置合わせを必要とし、このことは、システムの複雑さを増大させる。
したがって、複雑度がより低い光導波路としてPOFを使用する、圧力検知システムを、高レベルの正確さで実現することが有利である。
本開示の第1の態様では、2次元光導波路圧力センサアレイであって、
2つ以上の行光導波路と、
2つ以上の列光導波路とを備え、行光導波路および列光導波路は、変形可能であって、平面アレイに配設されてクロスポイント内にセンサを画定しており、ここで、各クロスポイントは、その交叉点において、列導波路の1つと接触する行導波路の1つを含み、
各クロスポイントは、クロスポイントに圧力が付加されたときに導波路曲げを増強するように構成された、光結合構造をさらに含み、
光結合構造は、行または列の光導波路の少なくとも1つに接触して配置された、機械的光散乱材料の層を含み、
光導波路圧力センサアレイは、行光導波路に光を供給し、各クロスポイントにおいて、それの列光導波路に結合された光を測定することによって、またはその逆を行うことによって、圧力を感知するように構成され、ここで、列光導波路に結合された光は、センサとして作用するクロスポイントに付加される圧力に依存する、2次元光導波路圧力センサアレイが提供される。
提供されるのは、2次元光導波路圧力センサアレイである。このような圧力センサアレイを使用すると、特定の構造上の物体および/または人の圧力の2次元空間分布を測定することができる。この目的のために、このシステムは、光導波路、好ましくはポリマーまたはプラスチックの光ファイバ(POF)、を提供する。
以降ではPOFと呼ばれる、光導波路は、N×M個のセンサを画定するN×M本のファイバの2次元グリッドとして設けられ、この2次元グリッドは、少なくとも2つの行および少なくとも2つの列を含む。当業者であれば、好ましい実施形態では、行および列の数は2×2グリッドよりもはるかに大きく、例えば、8×8グリッド、16×16グリッド、32×32グリッド、64×64グリッドであるか、または8×16グリッドまたは16×32グリッドのような、異なる数の行および列を有することを認識するであろう。
POFは、低速、短距離の光データ通信に一般的に使用され、堅牢で可撓性があり、電磁干渉(EMI)の影響を受けない。POFは安価で、コアおよびクラッディングの直径が比較的大きいため、取り扱いが簡単で、中で光を結合させやすい。延性ポリマー(例えば、PMMA)製であるため、シリカファイバほど脆くなく、引き伸ばされても、壊れず、伸びるだけである。2つのPOFを相互接続するために、低精度のコネクタを使用することができ、また省略される、すなわち、単にPOFを切断して突合せ接合することによって相互接続されることさえある。コア径が大きいため、ファイバの端面上の小さな傷またはほこりの粒子の影響も軽減される。その延性によって増強された、曲げに敏感な特性のために、POFは、センシングにも使用できる。
POF内の減衰のみを検出することに基づく2次元(2D)POFベースの圧力センサアレイは、複雑なファイバグリッドだけでは、原理的に不可能である。N個のPOFがx方向に、M個のPOFがy方向に並ぶ、交差POFの2Dグリッドにおいて、x方向およびy方向のそれぞれのPOFの減衰変動のみを測定するだけでは個別に検出できない、M×N個の交差部、したがってN+M個の欠損測定値、が得られる。また、ファイバブラッググレーティング(Fiber Bragg gratings)を使用するPOF圧力センシングは、基本的に複雑で高価な技術である。
提案のシステムは、一方向のファイバが光源に接続され、垂直方向のファイバが高感度光受信器に接続される、POFのグリッドを有する。ファイバが修正されていないことが好ましい、交差部では、1本のファイバからの非常に少量の光が、交差するファイバ中に結合する可能性がある。この非常に小さな光パワー結合が、交差部にかかる圧力に依存するため、グリッドの各ファイバ交差部は、クロスポイントまたは交差部で結合される光が、対応する交差部に付加される圧力に依存する、圧力センサとして機能することができる。より好ましくは、結合される光と、交差部に付加される圧力との間に比例関係があり、さらに好ましくは線形関係がある。
提案されている低コストで堅牢な2D光学式圧力センサの原理は、次のような多くの用途に対して使用できる:
非臨床(家庭)状況における長期非侵襲的な精密睡眠運動モニタリングに対して、
人またはゲーマーが正しい領域に留まるように、これらの人々の正確な位置を検出するための、仮想現実(VR)フロアマットにおいて、
(高齢の)人のプライバシフレンドリ転倒検出のために、カーペットの下(またはそれに編み込まれて)、もしくは、例えば、PVCフロアの下に、
または、MRI走査中に人の動きを検出するために適用することができる、なお、この光検出方法は、非常に強力な磁気およびRF場に対して不感受性である、
圧力傷害(例えば、床擦れ(decubitus))を防止するために、動きが制限されてベッドの中にいる人の精密な圧力プロフィールをモニタリングするため、
睡眠快適性を改善するために局所圧力が自動的に制御される、適応性マットレスにおいて。
POFに基づく既知の2次元光導波路圧力センサアレイは、POFの導波路曲げを強化するために、小さなリング形要素の形態の光結合構造を必要とする。リング形要素を追加すると、導波路の曲げが強化され、それによって変換特性が向上する可能性があるが、各リングのファイバの交点との正確な位置合わせが必要なため、複雑さが増すという欠点もある。
検出可能な十分な圧力依存性光結合を実現するために、構成ファイバを修正する必要はなく、変更無しのままにするとともに、光結合構造をリング形にする必要がない一方で、光結合構造を、各ファイバクロスポイントに有利に適用される、様々な形状およびサイズの光散乱材料の小さなパッチの形態で使用することができることに気付いたのは、発明者らの洞察であった。クロスポイントに対するパッチの位置決めは、高い精度を必要としないが、リングの位置は正確である必要がある。
光結合構造は、さらに好ましくは可撓性であり、例えば白色シリコーンゴムを含む。可撓性光散乱材料の層を有する光結合構造を用いると、改善された方法で光結合を検出することができる。より具体的には、提案の光結合構造は、センサをより正確にするだけでなく、読み出しを簡素化する、より直線的な変換特性を可能にする。
1層または複数層の光散乱材料を有する光結合構造を備えるPOFに基づく提案のシステムを用いると、(好ましくは可撓性の)光散乱材料を有する光結合構造が、(光がクラッディングを通ってコアから出る、ファイバの特定の最小曲げ半径を有する)マクロベンディングだけでなく、ファイバが接触したときに発生するマイクロベンディングも発生し、その結果、ファイバに歪みが生じ、そこにおいて少量の光がクラッディングを通ってコアから出ることから、複雑さを加えることなく、センサの変換特性が改善されることが認識された。少量の光だけがクラッディングを通ってコアから出るという事実は、光の大部分がコアに残り、こうして次の交差ポイントまたはセンサに進み、そこでは強度が低下しにくいため、有利である。したがって、さらなる交差ポイントの感度は、特定の交差ポイントに付加される圧力の影響をほとんど受けない。これにより、システムはより大きな2Dマトリックスに十分に拡張可能になる。
剛性のあるリング形の機械要素として構成される既知の光結合構造ではない、可撓性がある光結合構造によれば、ファイバは、より多くのマイクロベンディング、およびより少ないマクロベンディングを示す傾向がある。光散乱材料層を使用すると、クラッディングを介してコアから出る光の量が少ないため、散乱材料を介して交差ファイバのコア中に結合する可能性が高くなるので、変換特性が向上する。
POFを用いるため、提案の光2Dセンシング手法は、堅牢、高速、可撓性、防水性があり、外部電場の影響を受けず、それ自体、いかなる電場も発生しない。この方法は、限られた数のLEDおよび光受信器で多くのセンサポイントを検出できるため、拡張可能である。POF自体、ならびに光散乱パッチが安価であり、構成および組み立てが容易で、すぐに入手可能な光学部品および電気部品を使用できるため、低コストである。
本開示の実施例では、感圧性光結合機構は、ファイバが修正されず、手つかずのままであり、非常に位置合わせ許容性の高い、交差部の構築を可能にし、このことは、POFグリッドを低コストで製造することを容易にする。パッチのサイズに応じて、広い検出範囲を実現するために、局所圧力に対する、指数依存性から、より線形の依存性、さらには対数依存性まで、さまざまな変換特性を実現することができる。剛性リング構造では、指数特性しか得られず、これは特定の閾値レベルを超える圧力の有無を検出したい場合にのみ有利である。また、可撓性(ゴム)材料は、大きな力を吸収することによりファイバを永久的な損傷から保護するため、堅牢性が向上する。
一例において、光結合構造は、行および列の光導波路に接触し、かつその両側に配置された2層の光散乱材料を含み、ここで、行および列の光導波路は、2層の光散乱材料の間に垂直に配置されているか、またはそれによって挟まれている。
本開示のいくつかの実施形態による光結合構造は、行および列の光導波路の両側に適用されてもよく、片側、両側のいずれかに光散乱材料の層を有してもよく、どちらの側にも可撓性材料を有さないか、片側または両側に可撓性材料を有してもよい。最良の変換特性を提供する、最も好ましい実施形態では、光結合構造は、両側に適用されて、両側に可撓性の光散乱材料を有する。
一例において、2層の光散乱材料は、実質的に同じサイズおよび形状のものであり、実質的に横方向に位置合わせされている。
光散乱材料の上端層および下端層はサイズや形状が異なっていてもよいが、変換特性が改善された好ましい実施形態では、これらは少なくとも実質的に同じサイズおよび形状であり、横方向に位置合わせされている。
一例において、各行光導波路は、導波路クラッディングによって包囲された導波路コアを含み、各列光導波路は、導波路クラッディングによって包囲された導波路コアを含み、列光導波路と列光導波路の両方の導波路クラッディングは、1つまたは複数の交差センサにおける光透過接触のために配設されている。
一例において、各行光導波路は、導波路クラッディングによって包囲された導波路コアを含み、各列光導波路は、導波路クラッディングによって包囲された導波路コアを含み、導波路クラッディングに対する導波路コアの断面直径の比は、少なくとも50:1、好ましくは少なくとも75:1、より好ましくは少なくとも90:1、最も好ましくは約100:1である。
クラッディングは、無視できない量の光が、1つのファイバのコアから別の交差ファイバに結合され得る程度に、少なくとも十分に薄い。コアの断面直径とクラッディングとの比が増大すると、光は交差ファイバ中に結合する傾向が高くなる。そのように、比は少なくとも50:1であってもよいが、より好ましくはより高い。
一例において、光結合構造は、変形可能な材料の層を含み、ここで、変形可能な、または可撓性の層は、光散乱効果を提供する材料と同じ材料によって提供されてもよい。しかしながら、一例によれば、光結合構造のスタックに、変形特性のみを提供する別個の層を追加することができる。一例において、変形可能な材料の層は、シリコーンゴムを含む。さらなる例では、変形可能な材料は、変換特性に合わせて選択または調整される。つまり、センサ、すなわちファイバ交差ポイントに圧力を付加すると、ファイバが滑らかに曲がり、ほとんどがマイクロベンディングを引き起こし、マクロベンディングはほとんど引き起こさず、その結果、指数的、少なくともほとんど線形の変換特性、または対数変換特性に従って、パッチのサイズおよび形状に応じて光が結合される程度に、変換特性を最適化するように、材料が選択または調整されることを意味する。
一例において、光結合構造は、ポリ塩化ビニルなどの剛性材料の層をさらに含む。
一例において、光結合構造は、行および列の光導波路と接触して、その両側に配置された2層の光散乱材料と、2層の光散乱材料と接触して、その両側に配置された2層の剛性材料とを含み、行および列の光導波路と2層の剛性材料を備える2層の光散乱材料との間に垂直に配置されるか、又はこれらによって挟みこまれる。
一例において、光結合構造は、円形、楕円形、長方形、正方形、菱形、十字形、ダイアモンド形、および多角形の群の内の1つに従って成形され、ここで、特に、光結合構造は、様々なサイズを有し、特に、光結合構造は、近似的に、0.5mm、1.0mm、1.5mm、2.0mm、2.5mm、3.0mmの断面直径を有し、特に、光結合構造は閉鎖構造を有し、閉鎖構造の中心に変形可能な材料が配置されている。
光結合構造は、様々な形状および様々なサイズを有してもよい。さらに、光結合構造は、0.5mmから3.0mmの範囲の断面直径を有してもよい。本開示の光結合構造は、ファイバがクロスポイント領域において構造と接触しないように、クロスポイント領域で開口している既知のリング形の機械的パッチと比較して、閉鎖構造であることが好ましい。その結果、可撓性シリコンなどの変形可能な材料が設けられた本開示による光結合構造は、マクロベンディングに加えて、クロスポイント領域への散乱を提供することになる。
光結合および付加圧力の依存性は、例えば特定の形状、層の厚さ、サイズおよび材料を選択することによる、光結合構造の成形によってさらに最適化することができる。
一例において、行および列の光導波路は、ステップインデックスプラスチックファイバ(step-index plastic fibers)およびグレーデッドインデックスプラスチックファイバ(graded-index plastic fibers)からなる群から選択される。
一例において、2次元光導波路圧力センサアレイは、マトラス(matrass)上の個人の睡眠関連運動の非侵襲測定のために、マトラスの下に適用される睡眠モニタリングセンサとして構成される。
本開示の第1の態様による、2次元光導波路圧力センサアレイの概略図である。 本開示の態様による、両側に可撓性材料のあるPOF交差部の上面図および2つの側面図である。 本開示の態様による、片側に可撓性材料のあるPOF交差部の上面図および2つの側面図である。 図4は、本開示の態様による、POF交差部の感度特性を測定する配置を示す図である。 交差部に可撓性材料が無い本開示の態様における、付加重量の関数としての受信器出力電圧のグラフである。 交差部の両側および片側に可撓性材料がある本開示の態様における、付加重量の関数としての受信器出力電圧のグラフである。 両側に光散乱材料が使用される本開示の態様における、散乱材料のサイズの影響を示すグラフである。 片側に光散乱材料が使用される本開示の態様における、散乱材料のサイズの影響を示すグラフである。
図1は、2次元(2D)表面に埋め込まれた2D構造上のクロスポイント当たりに加えられる局所的な圧力をモニタリングすることに基づく、リアルタイム2次元(2D)圧力検知システムの概略図を示す。このシステムは、2D POFグリッド、オプトエレクトロニクスモジュール、およびデータ収集・制御モジュールを有する。2D POFグリッドは、クロスポイントのマトリックスを形成するSI-POF(ステップインデックスPOF)のグリッドで構成されている。POFグリッドのいわゆる送信ファイバはLEDに接続され、受信ファイバはオプトエレクトロニクスモジュールのフォトダイオードに接続されている。LEDはオプトエレクトロニクスモジュールの送信部分の一部であり、フォトダイオードはオプトエレクトロニクスモジュールの受信部分の一部である。データ収集・制御モジュールは、LEDトランスミッタを制御し、オプトエレクトロニクスモジュールにおけるフォトダイオード受信器から取得した測定データを処理する。クロスポイントでのPOF間の光結合は局所的な圧力の関数であるため、フォトダイオードが受け取る光パワーを検出することで、クロスポイント上の圧力を測定することができる。送受信SI-POFファイバ間の光結合効果は非常に小さいため、高い利得および高い入力インピーダンスを有する、トランスインピーダンスアンプ(TIA)を使用する、高感度光受信器が必要である。さらに、それぞれのクロスポイントに圧力がかかると、送信ファイバから少量の光パワーだけが結合されるので、送信ファイバ内にとどまり、次のクロスポイントに進む光はほとんど減少しない。したがって、クロスポイントの感度は、他のクロスポイントへの圧力の影響をほとんど受けず、すなわち、クロスポイントの性能の位置依存性は無視可能である。これによって、システムはより大きな2次元行列へと、十分に拡張可能になる。簡潔で拡張可能なシステムを達成するために、クロスポイントスキャン方式が実装されている。図1のデータ収集・制御モジュールは、一度に1つのLEDのみを選択する、セレクタを制御し、交差部は列ごとにスキャンされる。光検出器の出力をラインごとに同時に読み取ることで、データ収集・制御モジュールが、2D圧力検出を行うことが可能となる。このソリューションは、N個の光検出器およびM個のLED光源がN×Mのセンサポイントを検出でき、垂直カラムが1つずつスキャンされるため、容易に拡張できる。
本開示の革新的な特徴は、感圧性光結合機構の設計、およびファイバが修正されずにそのまま残される交差部の構築である。さらに、クロスポイント設計は、感度を高める散乱材料を、交差部で正確に位置合わせする必要がないため、非常に位置合わせ許容性が高い。この革新的なクロスポイント設計により、POFグリッドを低コストで簡単に製造することが可能になる。次に、本発明の2つの実施形態について説明する:すなわち、交差部の両側(上および下)の可撓性散乱材料、および、構造をより薄くする、片側(上または下)のみの可撓性散乱材料である。以下では、これらのオプションについて、測定結果を含めて考察する。
オプション1:両側での可撓性散乱材料
ポリマー光ファイバ(POF)交差部には、図2に示すように、可撓性の光散乱材料、例えば10×10×1.5mmの白色シリコーンゴムと、薄い剛性材料、例えば厚さ0.3mmの硬質PVCとが、両側に設けられている。PMMA(ポリメチルメタクリレート)POFは、400から700nmの間の波長範囲で、損失が<0.5dB/mの可視光に適している。光結合を改善するために、可撓性材料は、使用される光の波長を可能な限り散乱させる必要があり、明らかにこれらの波長において低い吸収係数を有する必要がある。したがって、赤色光を使用する場合は、可撓性材料赤色光を使用する必要があり、白色光を使用する場合は、広い白色光スペクトルを散乱する(したがって、外部から白い材料として見える)可撓性材料を使用する必要がある。実験では、白色LEDおよび、したがって白色の可撓性材料が使用されるが、それはその他の色が、紫外光でさえ、有意な改善をもたらさなかったからである。材料の延性は可逆的でなければならない:可撓性材料は、圧力が消えたときに元の形状をとる必要があるため、大きな圧力が付加された後に変形が残らず、堅牢でなければならない。材料の可撓性および厚さも検出特性に影響を与える。材料が厚いと感度が低下する。散乱材料およびPOFの可撓性は、ノードに垂直に圧力が付加されたときに、可撓性散乱材料が両方のファイバの両側を押し、そのため、ファイバを少し、滑らかに曲げるようなものでなければならない。また、両方のファイバの可撓性散乱材料との物理的接触面積も増加することになる。(ファイバ同士が接触することによる)マイクロベンディングおよび(ファイバが滑らかに曲げられることによる)マクロベンディングにより、少量の光が送信ファイバから漏れ、受信ファイバに結合する。光結合の量は、付加圧力に比例する。漏れた光は、(白い)可撓性散乱材料内ですべての方向に散乱され、ファイバのマイクロベンディングおよびマクロベンディングにより、再び受信ファイバに部分的に結合する。可撓性材料により、センサグリッドも非常に堅牢になる。可撓性材料は、圧力が付加されたときに、交差部においてファイバにより滑らかな曲げ半径を与えて、力がファイバ交差部の外側の可撓性材料によって部分的に吸収される。可撓性材料無しで、剛性のある材料のみでは、力がファイバのクロスポイントに集中し、これは、永久変形を引き起こす可能性がある。剛性材料は、交差部に垂直方向の圧力を集中させる。
オプション2:片側に可撓性散乱材料
ポリマー光ファイバ交差部には、図3に示すように、白色シリコーンゴムなどの可撓性の光散乱材料、および硬質PVCなどの薄い剛性材料が片側(上端など)に設けられる。反対側(例えば、下端)では、交差部に、垂直圧力を集中させるために、薄い光散乱剛性材料、例えば白色硬質PVC、が設けられている。センサが固体表面に置かれている場合、この剛性材料は必要ではない。散乱材料およびPOFの可撓性は、垂直方向の圧力が加えられたときに、受信ファイバが送信ファイバを可撓性の散乱材料中に押し込んで曲げるようなものである必要がある。また、両方のファイバの可撓性の散乱材料との物理的接触も増加する。ファイバ同士が接触することによるマイクロベンディングと、送信ファイバが滑らかに曲がることによるマクロベンディングとにより、少量の光が送信ファイバから漏れて、受信ファイバに結合する。光結合の量は、加えられた圧力に比例する。漏れた光は、(白色の)可撓性散乱材料、および剛性の(白色の)散乱材料におけるすべての方向に散乱され、部分的に受信ファイバ中に結合される。ここでも、可撓性材料は、センサグリッドを非常に堅牢にする。可撓性の材料は、圧力が加えられるとき、交差部においてファイバにより滑らかな曲げ半径を与え、ファイバ交差部の外側の可撓性材料によって力が部分的に吸収される。可撓性材料無しで、剛性材料のみを用いると、力がファイバのクロスポイントに集中し、これが、永久変形を引き起こす可能性がある。剛性材料は、交差部に圧力を集中させる。
提案のシステムは、すべての、または一部の態様において、以下の利点を有する:
POFファイバは、その元の状態に残される、すなわち修正を必要としない、
POFは無修正のままであるが、ファイバに接触する交差部における、マイクロベンディング(POFが互いに接触)、マクロベンディング(交差部においてファイバが曲げられる)、および散乱可撓性材料のために、高い感度がもたらされる、
交差部に対する可撓性パッチの位置決めに関して非常に許容性がある、
可撓性材料がファイバ交差部を保護するために非常に堅牢である、
パッチの寸法に応じて、異なる感度特性を実現することが可能である、以下の測定結果を参照のこと。
POFファイバタイプとしては、CK20、三菱レイヨン製、0.5mm直径ステップインデックスPMMA POFとすることができる。ファイバの可撓性は、光結合の圧力感度にも影響を及ぼす。力学から、ロッドを曲げるのに必要な力はロッドの直径とともに増加することが知られている。したがって、ファイバの直径が小さいほど、ファイバの可撓性が高くなる。したがって、0.5mm直径のPOFは、標準の1mm直径のPOFよりも可撓性があり、かつ感度が高い。また、ファイバの散乱損失も重要である。ファイバは、受信器の入力において検出可能な光信号パワーを可能にするために、比較的高い散乱および低い吸収損失を有する必要がある。したがって、石英ガラス光ファイバは、POFと比較して石英ガラスの散乱損失が非常に低いため、適していない。ファイバはまた、隣接する交差部の影響を防ぐために薄いクラッディングを有する必要があるため、グレーデッドインデックスPOFも適していない。クラッディング直径は500pm、コア直径は486pmであることが好ましい。白色シリコーンゴム材料の寸法は、10×10×1.5mmであることが好ましい。白色LEDによって送信POF中に結合された光パワーは、>1mWである。この電力はファイバコアの直径に依存し、一般に、ファイバに結合されたLEDからの電力は、ファイバコアの直径が大きいほど高くなる。フォトダイオード受信器の感度は、好ましくは0.4V/nWである。
測定結果
A.交差部に可撓性材料無し
可撓性散乱材料の影響を示すために、まず付加重量の関数としての受信器出力電圧が、図2の交差部のまわりの可撓性材料無しで示されている。図5に示す測定結果は、交差部を囲む剛性硬質PVC材料の両表面が、a)黒色光吸収、b)白色光散乱、またはc)白色粘着テープで互いに貼り合わされている場合である。交差部のまわりに白色の散乱材料または白色のテープを使用することで、より大きな重量に対して感度が非常に大きくなる。ただし、光受信器の出力電圧は常に制限されている(この場合は約3ボルト)。これにより、白色テープを使用した場合、センサを使用できる圧力範囲は約600gに制限される。出力電圧対重量曲線は指数関数的な動作を示す(図5を参照)。200g未満の重量はすでに検出が困難である。例えば、LEDの出力電力を下げるなどしてセンサの感度を下げると、最大重量は増加するが、小さな重量を検出することはさらに困難になる。したがって、これらの指数特性はあまり実用的ではない。より広い範囲を検出するには、線形特性またはさらには対数特性が好ましい。
特定の圧力があるか否かについての感度のよい検出に対して、指数特性は問題がない。
交差部においてファイバを白色シリコーンシーラントで互いに貼り合わせる実験では、再現性があまり良くない、感度特性が結果として得られた。
図5は、交差部に可撓性材料が無い状態で、付加重量の関数としての受信器出力電圧のグラフである:
a)交差部の両側に黒色吸収剛性材料あり、
b)交差部の両側に白色散乱剛性材料あり、
c)ファイバが、白色粘着テープで貼り合わされている。
B.交差部に可撓性材料あり
図6は、a)図2に示されるように交差部のまわりの両側に可撓性散乱材が使用される、およびb)図3に示されるように、片側だけに可撓性散乱材料が使用される場合の、付加重量の関数としての受信出力電圧を示す。図5の結果と比較して、小さな重量に対する感度が向上し、特性がより直線的であるため、より大きな圧力範囲の測定に適している。図3の構成では、片側が可撓性で、もう片側が剛性であるため、両側に可撓性の材料を使用した交差部と比較して、より多くのマクロベンディングが導入される。これは、第2のオプションの感度が高いことを説明している。
図6は、付加重量の関数としての受信器出力電圧のグラフである:
a)(図2の交差部による)交差部の両側に可撓性散乱材料、
b)(図3の交差部による)交差部の片側に可撓性散乱材料。
図7および図8は、散乱材料のサイズの影響を示している:図7は両面に散乱材を使用した場合、図8は片側のみに使用した場合である。図からわかるように、散乱材料のサイズは、感度特性の形状に影響を与える。特定の圧力があるか否かを高感度に検出するには、5×5mmのパッチ可撓性材料を使用して得られた図7(a)および図8(a)の指数関数特性が有利である。より直線的な特性が要求される場合には、10×10mmのパッチを適用することができる、図7(b)および図8(b)を参照されたい。より大きなパッチを使用すると、対数特性が得られ、検出範囲が広くなる(例えば、図7(c)および7(d)、ならびに図8(c)および7(d)を参照)。
図7は、両側に可撓性材料がある状態(図2による)で、付加重量、および可撓性材料のサイズの関数としての受信器出力電圧のグラフである:
a)5×5mm
b)10×10mm
c)15×15mm
d)20×20mm
図8は、片側に可撓性材料がある状態(図3による)で、付加重量、および可撓性材料のサイズの関数としての受信器出力電圧のグラフである:
a)5×5mm
b)10×10mm
c)15×15mm
d)20×20mm
本明細書に記載された実施形態は、マットレスの下で16×8POFグリッド、したがって128の交差部を有するマットレス上での人の1秒間に50の圧力プロフィールを検出することができる。
この低コストで堅牢な2次元(2D)光学式圧力センサ原理は、多くの応用に対して使用することができる。
非臨床(家庭)状況における、長期非侵襲的な精密睡眠運動モニタリング用として。
圧力傷害(例えば、床擦れ)を防止するために、動きが制限されてベッドの中にいる人の精密な圧力プロフィールのモニタリング用として。
睡眠快適性を改善するために局所圧力が自動的に制御される、適応性マットレスにおいて。
(高齢の)人の転倒検出のために、カーペットの下に(またはそれに編み込まれて)、または、例えば、PVCフロアの下に、適用することができる。
人/ゲーマーが正しい領域に留まるように、これらの人/ゲーマーの正確な位置を検出する、仮想現実(VR)フロアマットにおいて。
本発明は、ここでは、いくつかの例示的な実施形態に従って説明されており、これらは、限定的ではなく、すべての態様において例示であることが意図されている。したがって、本発明は、詳細な実施において多くの変形が可能であり、これらの変形は、当業者によって本明細書に含まれる説明から導き出すことができる。このような変形はすべて、以下の特許請求の範囲、およびそれらの法的均等物によって定義される本発明の範囲および趣旨、に含まれると見なされる。

Claims (15)

  1. 2次元光導波路圧力センサアレイであって、
    2つ以上の行光導波路と、
    2つ以上の列光導波路とを備え、前記行光導波路および前記列光導波路は、変形可能であって、平面アレイに配設されてクロスポイント内にセンサを画定しており、各クロスポイントは、その交叉点において、前記列導波路の1つと接触する前記行導波路の1つを含み、
    各クロスポイントは、前記クロスポイントに圧力が付加されたときに導波路曲げを増強するように構成された、光結合構造をさらに含み、
    前記光結合構造は、前記行または列の光導波路の少なくとも1つに接触して配置された、機械的光散乱材料の層を含み、
    前記光導波路圧力センサアレイは、前記行光導波路に光を供給し、各クロスポイントにおいて、それの列光導波路に結合された光を測定することによって、またはその逆を行うことによって、圧力を感知するように構成され、ここで、前記列光導波路に結合された光は、センサとして作用する前記クロスポイントに付加される圧力に依存する、2次元光導波路圧力センサアレイ。
  2. 前記光結合構造は、前記行および列の光導波路と接触し、かつその両側に配置された2層の光散乱材料を含み、前記行および列の光導波路は、前記2層の光散乱材料の間に垂直に配置されている、請求項1に記載の2次元光導波路圧力センサアレイ。
  3. 前記2層の光散乱材料は、実質的に同じサイズおよび形状であって、実質的に横方向に整列されている、請求項1および2のいずれかに記載の2次元光導波路圧力センサアレイ。
  4. 各行光導波路が、導波路クラッディングによって包囲された導波路コアを含み、
    各列光導波路が、導波路クラッディングによって包囲された導波路コアを含み、
    前記行光導波路と前記列光導波路の両方の導波路クラッディングが、1つまたは複数の交差センサにおける光透過接触のために配設されている、請求項1から3のいずれかに記載の2次元光導波路圧力センサアレイ。
  5. 各行光導波路が、導波路クラッディングによって包囲された導波路コアを含み、
    各列光導波路が、導波路クラッディングによって包囲された導波路コアを含み、
    導波路クラッディングに対する導波路コアの断面直径の比は、少なくとも50:1、好ましくは少なくとも75:1、より好ましくは少なくとも90:1、最も好ましくは約100:1である、請求項1から4のいずれかに記載の2次元光導波路圧力センサアレイ。
  6. 前記光結合構造が、変形可能な材料の層を含む、請求項1から5のいずれかに記載の2次元光導波路圧力センサアレイ。
  7. 前記変形可能な材料の層が、光散乱材料の層である、請求項6に記載の2次元光導波路圧力センサアレイ。
  8. 前記変形可能な材料の層が、シリコーンゴムを含む、請求項6または7に記載の2次元光導波路圧力センサアレイ。
  9. 前記光結合構造が、剛性材料の層をさらに含む、請求項1から8のいずれかに記載の2次元光導波路圧力センサアレイ。
  10. 前記剛性材料の層がポリ塩化ビニルを含む、請求項9に記載の2次元光導波路圧力センサアレイ。
  11. 前記光結合構造は、前記行および列の光導波路と接触して、その両側に配置された2層の光散乱材料と、前記2層の光散乱材料と接触して、その両側に配置された、2層の剛性材料とを含み、前記行および列の光導波路と、前記2層の剛性材料を備えた前記2層の光散乱材料との間に垂直に配置されている、請求項9または10に記載の2次元光導波路圧力センサアレイ。
  12. 前記光結合構造が、円形、楕円形、長方形、正方形、および多角形の群の内の1つにより成形されており、前記光結合構造が様々なサイズ、または対応するサイズを有する、請求項1から11のいずれかに記載の2次元光導波路圧力センサアレイ。
  13. 前記光結合構造が、近似的に、0.5mm、1.0mm、1.5mm、2.0mm、2.5mm、3.0mmの断面直径を有し、特には、前記光結合構造は閉鎖構造を有し、前記閉鎖構造の中心に変形可能な材料が配設されている、請求項1から12のいずれかに記載の2次元光導波路圧力センサアレイ。
  14. 前記行および列の光導波路が、ステップインデックスプラスチックファイバおよびグレーデッドインデックスプラスチックファイバからなる群から選択される、請求項1から13のいずれかに記載の2次元光導波路圧力センサアレイ。
  15. 2次元光導波路圧力センサアレイが、マトラス上の個人の睡眠関連運動の非侵襲測定のために、前記マトラスの下に配設された睡眠モニタリングセンサとして構成されている、請求項1から14のいずれかに記載の2次元光導波路圧力センサアレイ。
JP2022577092A 2020-06-14 2021-06-14 2次元光導波路圧力センサアレイ Pending JP2023529500A (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US202063038892P 2020-06-14 2020-06-14
US63/038,892 2020-06-14
PCT/NL2021/050374 WO2021256921A1 (en) 2020-06-14 2021-06-14 Two-dimensional optical waveguide pressure sensor array

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2023529500A true JP2023529500A (ja) 2023-07-10

Family

ID=76641750

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2022577092A Pending JP2023529500A (ja) 2020-06-14 2021-06-14 2次元光導波路圧力センサアレイ

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20230221194A1 (ja)
EP (1) EP4165383A1 (ja)
JP (1) JP2023529500A (ja)
CN (1) CN115867776A (ja)
WO (1) WO2021256921A1 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP4220109A1 (en) * 2022-02-01 2023-08-02 Luxisens Technologies B.V. Optical fiber pressure sensor array or grid for location, vibration and/or motion sensing and mattress including the same
CN115014623B (zh) * 2022-06-10 2023-12-29 清华大学 光波导触觉传感器、传感系统、标定方法、及机器人

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4733068A (en) 1986-04-07 1988-03-22 Rockwell International Corporation Crossed fiber optic tactile sensor
US8209092B2 (en) * 2007-03-23 2012-06-26 Patricia Wiener System and method for sensing loads
US10768060B2 (en) * 2016-02-26 2020-09-08 Technische Universiteit Eindhoven Optical waveguide system for 2-dimensional location sensing
US10496155B2 (en) 2018-04-02 2019-12-03 Microsoft Technology Licensing, Llc Virtual reality floor mat activity region

Also Published As

Publication number Publication date
WO2021256921A1 (en) 2021-12-23
CN115867776A (zh) 2023-03-28
EP4165383A1 (en) 2023-04-19
US20230221194A1 (en) 2023-07-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2023529500A (ja) 2次元光導波路圧力センサアレイ
US11614583B2 (en) Waveguide and sensor based on same
JP3653284B2 (ja) 圧力センサ
US5914709A (en) User input device for a computer system
US6429421B1 (en) Flexible fiber optic microbend device, with interlocking flexible fibers, sensors, and method use
CN101295219A (zh) 柔性屏幕弯曲检测方法和配备实施该方法屏幕的设备
CN101788130B (zh) 带发光元件的光波导以及光学式触摸面板
EP0210372A2 (en) Optical deformation sensor
WO2004104666A1 (ja) 光学素子、光伝送ユニット及び光伝送システム
TW200844525A (en) Lens configurations for optical touch systems
IL99773A (en) Pressure sensor
JP2019512773A (ja) 2次元位置感知のための光導波路システム
US20160170565A1 (en) Light guide assembly for optical touch sensing, and method for detecting a touch
KR101634805B1 (ko) 내부 전반사를 이용한 터치 센서
Heo et al. Tactile sensors using the distributed optical fiber sensors
JP2004525397A (ja) 平面の光導体により光信号を伝送するための装置
JPH0650743A (ja) 直線値測定用電子光学センサー
CN117008259A (zh) 一种微环光波导器件阵列触觉传感器的制备方法
Arute et al. Time–space–weight calibrated plastic optical fiber-based pressure sensing carpet
JP2000214013A (ja) 光学式圧力センサおよびマット
CN102607448A (zh) 一种基于光纤lp21模式的光纤应变传感器及其测量方法
van den Boom et al. A robust and low-cost 2-dimensional pressure sensing system using polymer optical fibre
JP2787900B2 (ja) ペン入力装置
CN217059125U (zh) 一种光纤压力分布传感器
JPH06102114A (ja) 分布型触覚センサ

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20230118

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20240501