CN111654928A - 即热型离子泵保养装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种即热型离子泵保养装置，其包括二热敏电阻铝壳加热器，二所述热敏电阻铝壳加热器通过二铝壳固定器固定在离子泵的相对两侧面上，二所述铝壳固定器之间通过螺栓和螺母连接固定，二所述热敏电阻铝壳加热器分别通过导线与电源连接，所述铝壳固定器上设有供所述导线穿过的过线孔。本发明采用两块铝壳固定器、两根螺栓和两枚螺母将热敏电阻铝壳加热器固定在离子泵上，并通过两根高温耐热绝缘橡胶导线连接电源，利用高温烘烤将离子泵内附着的空气排出，从而实现离子泵功能的快速恢复，而且此装置制作简单，使用方便，可重复使用，大大节约了离子泵的维护成本，便于大范围推广应用。

Description

即热型离子泵保养装置

技术领域

本发明涉及离子泵保养领域，尤其涉及一种即热型离子泵保养装置。

背景技术

离子泵由强磁铁、蜂窝状阳极、钛(Ti)阴极构成。其基本原理是利用阴极放电产生气体分子的离子撞击阴极而被阳极捕捉，同时也产生溅射效果。阴极材料用金属Ti制作，金属Ti被溅射后，在腔体的内壁连续形成活性膜，继续和气体分子反应，从而不断进行排气。由于化学方法排气会造成多余的空气和杂质依附在泵体内，从而导致其使用寿命有限。作为吸附泵的一种，离子泵也需要烘烤，以放出吸附的气体和杂质。

传统的烘烤方式是通过热风枪鼓风进行烘烤加热。但带来的问题是烘烤受热不均匀，造成加热时间很长，一般在10-12H，而且无法固定，需要工作人员长时间手扶吹风，安全性较差。

发明内容

为解决现有技术中存在或潜在的不足之处，本发明提供一种即热型离子泵保养装置，可以对离子泵泵体均匀加热，快速有效的去除吸附在泵体内的气体和杂质，增加泵体工作效率。

本发明所采用的技术方案为：一种即热型离子泵保养装置，其包括二热敏电阻铝壳加热器，二所述热敏电阻铝壳加热器通过二铝壳固定器固定在离子泵的相对两侧面上，二所述铝壳固定器之间通过螺栓和螺母连接固定，二所述热敏电阻铝壳加热器分别通过导线与电源连接，所述铝壳固定器上设有供所述导线穿过的过线孔。

本发明即热型离子泵保养装置的一些实施例中，所述热敏电阻铝壳加热器的内部均匀分布有铁铬铝电阻丝，所述导线电连接于所述铁铬铝电阻丝。

本发明即热型离子泵保养装置的一些实施例中，所述铁铬铝电阻丝为多根，多根所述铁铬铝电阻丝之间采用铆钉连接。

本发明即热型离子泵保养装置的一些实施例中，单根所述铁铬铝电阻丝呈U型，多根U型的所述铁铬铝电阻丝的首尾相连盘布在所述热敏电阻铝壳加热器的内部。

本发明即热型离子泵保养装置的一些实施例中，所述导线采用高温耐热绝缘橡胶导线。

本发明即热型离子泵保养装置的一些实施例中，所述导线与所述铁铬铝电阻丝之间连接有保险丝。

本发明即热型离子泵保养装置的一些实施例中，所述导线远离所述铁铬铝电阻丝的一端上设置有电源插头。

本发明即热型离子泵保养装置的一些实施例中，所述铝壳固定器呈U型，二U型的所述铝壳固定器的开口侧相对且设有连接板，所述连接板上开设有供所述螺栓穿设的穿孔。

本发明即热型离子泵保养装置的一些实施例中，所述螺母采用蝴蝶螺母。

由于采用上述技术方案，使得本发明具有以下有益效果：

本发明装置主要采用两块铝壳固定器、两根螺栓和两枚螺母将热敏电阻铝壳加热器固定在离子泵上，并通过两根高温耐热绝缘橡胶导线连接电源，利用高温烘烤将离子泵内附着的空气排出，从而实现离子泵功能的快速恢复，而且此装置制作简单，使用方便，可重复使用，大大节约了离子泵的维护成本，便于大范围推广应用。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为离子泵的内部结构示意图。

图2为离子泵的工作状态示意图。

图3为本发明实施例即热型离子泵保养装置的结构示意图。

图4为本发明实施例即热型离子泵保养装置的内部构造主视图。

图5为本发明实施例即热型离子泵保养装置的内部构造俯视图。

图6为本发明实施例即热型离子泵保养装置的热敏电阻铝壳加热器的外部结构示意图。

图7为本发明实施例即热型离子泵保养装置中铝壳固定器的结构主视图。

图8为本发明实施例即热型离子泵保养装置中铝壳固定器的结构俯视图。

附图标记对应关系如下：

1-电源、2-磁场、3-阴极、4-阳极、5-气体、6-蝴蝶螺母、7-铝壳固定器、8-热敏电阻铝壳加热器、9-耐高温橡胶绝缘导线、11-离子泵、12-螺栓、13-过线孔、14-电流保险丝、15-铆钉(或铆眼)、16-铁铬铝电阻丝、17-电源插头。

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点与功效。本发明还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本发明的精神下进行各种修饰或改变。

本发明一种即热型离子泵保养装置，涉及离子泵保养领域，具体为吸附性离子泵的快速恢复技术。提出一种新型离子泵保养的方法，用于加速离子泵的快速恢复功能的装置。该即热型离子泵保养装置主要用到两块热敏电阻铝壳加热器、两根耐高温橡胶绝缘导线、两枚蝴蝶螺母、两根螺栓、两块铝壳固定器、一个二脚10A的公牛插头和两个保险丝。用两块铝壳固定器、两根螺栓和两枚蝴蝶螺母将热敏电阻铝壳加热器固定在离子泵上，并通过两根高温耐热绝缘橡胶导线连接电源。利用高温烘烤将离子泵内附着的空气排出，从而实现离子泵功能的快速恢复。而且此装置制作简单,使用方便，可重复使用，大大节约了离子泵的维护成本，便于大范围推广应用。

下面结合附图和具体实施例对本发明实施例做进一步详细的说明。

首先，参阅图1和图2，为本发明实施例中的离子泵结构示意图。在图1中，电源1连接上电后通过磁场2释放电产生离子，离子撞击阴极3而被阳极4捕捉，从而达到溅射的效果，会慢慢产生多余吸附的气体5，从而影响到离子泵11的功能。

配合图3、图7和图8，为本发明实施例即热型离子泵保养装置的结构示意图以及铝壳固定器的结构示意图。本发明即热型离子泵保养装置中将两块铝壳固定器7通过蝴蝶螺母6和螺栓12连接在一起，两块铝壳固定器7均呈U型且开口宽度较大，整体倒扣在离子泵11的外部，二U型的铝壳固定器7的开口侧相对且设有连接板，连接板上开设有供螺栓穿设的穿孔，采用螺栓和螺母连接形式可方便拆卸和重复使用。

在离子泵11的上下表面之间留有一定宽度的安装槽，用来安装两块热敏电阻铝壳加热器8，两块热敏电阻铝壳加热器8一一对应地安装在两块铝壳固定器7中，并通过拧紧蝴蝶螺母6和螺栓12，通过两块铝壳固定器7将两块热敏电阻铝壳加热器8牢牢地固定在离子泵11的上下两侧表面，热敏电阻铝壳加热器8的面积与离子泵的表面积相匹配，热敏电阻铝壳加热器8发热时正面均匀发热，对离子泵的两侧表面进行均匀加热，能快速排除依附在离子泵泵体上的多余空气和杂质，以确保离子泵泵体功能的快速恢复。

配合图6，为本发明实施例即热型离子泵保养装置的热敏电阻铝壳加热器的外部结构示意图。每块热敏电阻铝壳加热器8分别通过两根耐高温橡胶绝缘导线8与电源连接，耐高温橡胶绝缘导线8的第一端与热敏电阻铝壳加热器8之间连接有电流保险丝14(如温度过高，将进行熔断，对热敏电阻铝壳加热器进行熔断保护)，铝壳固定器7上对应设置有供耐高温橡胶绝缘导线8穿过的过线孔13。耐高温橡胶绝缘导线8穿出铝壳固定器7的第二端上设置有电源插头17接电源插座，对热敏电阻铝壳加热器8进行供电，电源插头17可采用两脚10A插头。

配合图4和图5，为本发明实施例即热型离子泵保养装置的内部构造图，本发明的热敏电阻铝壳加热器8具有铝制外壳，可作为基板进行传热，在铝制外壳的内部均匀分布有铁铬铝电阻丝16，耐高温橡胶绝缘导线8与铁铬铝电阻丝16电连接，通电后，通过耐高温橡胶绝缘导线8将电力传递到铁铬铝电阻丝16，铁铬铝电阻丝16发热，热力通过铝制外壳均匀地分散到离子泵两侧的整个表面，从而对离子泵11进行烘烤保养。采用本发明装置对离子泵均匀加热烘烤约4-5个小时后，离子泵泵体上多余吸附的气体5就会排放出去。

较佳地，铁铬铝电阻丝16为多根，多根铁铬铝电阻丝16之间采用铆钉15、铆眼配合的形式进行连接，电流保险丝14的一端连接在最外侧的一根铁铬铝电阻丝16端部铆钉15或铆眼上，电流保险丝14的另一端与耐高温橡胶绝缘导线8的第一端连接。本实施例中，每根铁铬铝电阻丝16呈U型，多根U型的铁铬铝电阻丝16首尾相连地盘布在热敏电阻铝壳加热器8的内部，此设计有利于均匀加热。

在使用本发明实施例即热型离子泵保养装置时，首先将电源插头17插在电源插座上，接通电源，电流通过电源插头17连接的耐高温橡胶绝缘导线9，穿过电流保险丝14(如温度过高，将进行熔断，对新型离子泵保养装置进行熔断保护)，再通过一小段绝缘导线连接的铆钉15或铆眼进入到热敏电阻铝壳加热器内部的铁铬铝电阻丝16中，最后在电力的作用下热敏电阻铝壳加热器的铝制基板将热力传导到离子泵11，从而对离子泵泵体进行烘烤保养。采用此装置的均匀式加热方式烘烤4-5小时后，离子泵泵体上多余吸附的气体5就会排放出去，如图3所示。

本发明即热型离子泵保养装置的优点总结如下：

(1)提供了一种均匀式加热方式，通过这种均匀加热的方式快速有效的去除吸附在离子泵泵体上的气体和杂质，增加泵体工作效率。

(2)利用热敏电阻铝壳加热器通过均匀加热的的方式，解决了早期通过风枪使热力集中于一点，使用离子泵受热不均的问题，能快速排除多余空气和杂质，以确保泵体功能的快速恢复；

(3)用两枚蝴蝶螺母、两根螺栓和两块铝壳固定器，将热敏电阻铝壳加热器固定在泵体的两侧，连接电源之后热敏铝壳加热器中的电阻丝快速工作并发热，从而对离子泵进行均匀式烘烤；

(4)通过对加热方式的改变，增加了热传导的效果，加速了泵体内部空气和杂质的排出速度，提高了泵体的使用寿命，而且从时间上大大缩短了烘烤时间，增加了离子泵的利用率，也减少了离子泵的维护成本。

需要说明的是，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本发明可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本发明所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本发明所揭示的技术内容所涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本发明可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本发明可实施的范畴。

以上所述仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明做任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案的范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。

Claims (9)

1.一种即热型离子泵保养装置，其特征在于：包括二热敏电阻铝壳加热器，二所述热敏电阻铝壳加热器通过二铝壳固定器固定在离子泵的相对两侧面上，二所述铝壳固定器之间通过螺栓和螺母连接固定，二所述热敏电阻铝壳加热器分别通过导线与电源连接，所述铝壳固定器上设有供所述导线穿过的过线孔。

2.如权利要求1所述的即热型离子泵保养装置，其特征在于：所述热敏电阻铝壳加热器的内部均匀分布有铁铬铝电阻丝，所述导线电连接于所述铁铬铝电阻丝。

3.如权利要求2所述的即热型离子泵保养装置，其特征在于：所述铁铬铝电阻丝为多根，多根所述铁铬铝电阻丝之间采用铆钉连接。

4.如权利要求3所述的即热型离子泵保养装置，其特征在于：单根所述铁铬铝电阻丝呈U型，多根U型的所述铁铬铝电阻丝的首尾相连盘布在所述热敏电阻铝壳加热器的内部。

5.如权利要求1所述的即热型离子泵保养装置，其特征在于：所述导线采用高温耐热绝缘橡胶导线。

6.如权利要求2所述的即热型离子泵保养装置，其特征在于：所述导线与所述铁铬铝电阻丝之间连接有保险丝。

7.如权利要求2所述的即热型离子泵保养装置，其特征在于：所述导线远离所述铁铬铝电阻丝的一端上设置有电源插头。

8.如权利要求1所述的即热型离子泵保养装置，其特征在于：所述铝壳固定器呈U型，二U型的所述铝壳固定器的开口侧相对且设有连接板，所述连接板上开设有供所述螺栓穿设的穿孔。

9.如权利要求1所述的即热型离子泵保养装置，其特征在于：所述螺母采用蝴蝶螺母。

Images