CN111621743A - 掩膜板 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种掩膜板，用于蒸镀OLED显示屏，所述OLED显示屏包括基板，所述基板上设有多个支撑块，所述掩膜板适于支撑在多个所述支撑块上以与所述基板间隔设置，所述掩膜板包括：掩膜板本体，所述掩膜板本体上设有对位凹陷部，所述对位凹陷部由所述掩膜板本体的靠近所述基板的一端的一部分朝向远离所述基板的方向凹陷而限定出，在所述基板与所述掩膜板对位到位时，其中一个所述支撑块的一部分伸入到所述对位凹陷部内。本发明的掩膜板，可提高掩膜板与基板的对位精度，进而有利于降低OLED显示屏生产过程中造成的混色类不良，提高掩膜板使用的可靠性。

Description

掩膜板

技术领域

本发明涉及显示的技术领域，尤其是涉及一种掩膜板。

背景技术

目前平板显示领域中OLED(有机发光二极管)显示产品的有机发光层蒸镀，是显示领域量产时间较短的一项技术，也是其核心工艺。蒸镀材料与像素电极之间的位置精度是蒸镀的关键参数，蒸镀偏位导致的混色类不良是蒸镀工艺中良率损失很大的一类不良。

相关技术中，掩膜板和OLED显示屏的基板所使用的常规对位方式主要依赖于使用对位Mark(标记、记号)的光学对位系统，以掩膜板上的Mark与基板上的Mark对位来间接反映显示区域像素的对位，由于对位Mark数量有限，且与实际像素之间的相对位置存在偏差，同时实际生产中每张基板还存在不同的形变量，从而使相关技术中掩膜板与基板的对位精度不高，易导致OLED显示屏生产过程中造成混色类不良的问题。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明的一个目的在于提出一种掩膜板，可提高掩膜板与基板的对位精度，进而有利于降低OLED显示屏生产过程中造成的混色类不良，提高掩膜板使用的可靠性。

根据本发明实施例的掩膜板，用于蒸镀OLED显示屏，所述OLED显示屏包括基板，所述基板上设有多个支撑块，所述掩膜板适于支撑在多个所述支撑块上以与所述基板间隔设置，所述掩膜板包括：掩膜板本体，所述掩膜板本体上设有对位凹陷部，所述对位凹陷部由所述掩膜板本体的靠近所述基板的一端的一部分朝向远离所述基板的方向凹陷而限定出，在所述基板与所述掩膜板对位到位时，其中一个所述支撑块的一部分伸入到所述对位凹陷部内。

根据本发明实施例的用于OLED显示屏的掩膜板，通过在掩膜板本体上设置对位凹陷部，且支撑块的一部分适于伸入到对位凹陷部内以使基板与掩膜板对位到位。从而可以通过支撑块与对位凹陷部的配合实现辅助对位，通过对位凹陷部在一定程度上对支撑块进行限位，减小对位操作过程中基板相对掩膜板移动的距离和范围，有利于提高掩膜板与基板的对位操作效率，提高掩膜板与基板的对位精度，进而有利于降低OLED显示屏生产过程中造成的混色类不良，提高掩膜板使用的可靠性。提高OLED显示屏的精度。还可以在一定程度上降低由于支撑块与对位凹陷部的内壁之间的摩擦而掉落的材料碎屑引起的异物类不良。

根据本发明的一些实施例，在靠近所述基板的方向上，所述对位凹陷部的横截面积逐渐增大。

在本发明的一些实施例中，沿靠近所述基板的方向切割所述掩膜板本体，所述对位凹陷部的横截面形成为轴对称图形。

在本发明的一些实施例中，所述对位凹陷部的内壁面形成为球形面或锥形面。

在本发明的一些实施例中，所述掩膜板为一次注塑成型件。

根据本发明的一些实施例，所述对位凹陷部的深度小于所述支撑块的延伸长度。

根据本发明的一些实施例，所述对位凹陷部的深度小于等于所述掩膜板的厚度的三分之一。

根据本发明的一些实施例，所述对位凹陷部包括相互连通的导向凹槽和定位凹槽，所述导向凹槽的延伸方向与所述定位凹槽的延伸方向之间具有夹角，在由所述导向凹槽至所述定位凹槽的方向上，所述导向凹槽的横截面积逐渐减小，所述支撑块的伸入所述对位凹陷部的部分适于沿着所述导向凹槽滑动至所述定位凹槽内。

根据本发明的一些实施例，所述对位凹陷部的形状与所述支撑块的形状相匹配。

根据本发明的一些实施例，所述对位凹陷部为多个，多个所述对位凹陷部与多个支撑块一一对应设置。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是现有技术中掩膜板与基板对位配合的示意图；

图2是根据本发明的一些实施例的掩膜板与基板对位配合的示意图；

图3是根据本发明的一些实施例的掩膜板与基板对位配合的示意图；

图4是根据本发明的一些实施例的掩膜板与基板对位配合的示意图；

图5是根据本发明的一些实施例的掩膜板与基板进行对位操作，支撑块发生偏移时的受力示意图；

图6是根据本发明的一些实施例的掩膜板与基板进行对位操作，支撑块发生偏移时的受力示意图；

图7是根据本发明的一些实施例的对位凹陷部和支撑块的示意图；

图8是根据本发明的一些实施例的对位凹陷部和支撑块的示意图；

图9是根据本发明的一些实施例的对位凹陷部和支撑块的示意图。

附图标记：

10、掩膜板；1、掩膜板本体；11、对位凹陷部；12、蒸镀通孔；

20、基板；2、支撑块；

30、阳极；

40、像素定义层。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

下面参考图1-图9描述根据本发明实施例的掩膜板10，可用于蒸镀OLED显示屏。其中，OLED显示屏包括基板20，基板20上设有多个支撑块2，掩膜板10适于支撑在多个支撑块2上以与基板20间隔设置。

如图2和图3所示，根据本发明实施例的掩膜板10，包括掩膜板本体1。

具体而言，如图2和图3所示，掩膜板本体1上设有对位凹陷部11，对位凹陷部11由掩膜板本体1的靠近基板20的一端的一部分朝向远离基板20的方向凹陷而限定出，在基板20与掩膜板10对位到位时，其中一个支撑块2的一部分伸入到对位凹陷部11内。

由此可知，若基板20与掩膜板10对位到位，则多个支撑块2中与对位凹陷部11对应的一个支撑块2的一部分会伸入到对位凹陷部11内。从而当进行掩膜板10与基板20的对位操作时，不但可以利用对位Mark(标识、标记)的光学对位系统进行常规对位，还可以通过支撑块2与对位凹陷部11的配合实现辅助对位，即在进行对位时，可以先将支撑块2的一部分伸入到对位凹陷部11中，进而与现有技术中的掩膜板100与基板200对位操作(如图1所示)相比，本发明实施例的掩膜板10由于设置了对位凹陷部11，从而可以在一定程度上对支撑块2进行限位，减小对位操作过程中基板20相对掩膜板10移动的距离和范围，有利于提高掩膜板10与基板20的对位操作效率，提高掩膜板10与基板20的对位精度，进而有利于降低OLED显示屏生产过程中造成的混色类不良，提高掩膜板10使用的可靠性。提高OLED显示屏的精度。

并且，如图2-图4所示，已知掩膜板10上设有与基板20上的显示区域正对设置的蒸镀通孔12，以便于在阳极30(阳极30的周向上可设有像素定义层40)上蒸镀薄膜材料层。同时，掩膜板10靠近基板20的一端与基板20间隔设置，从而在蒸镀薄膜材料层时，也会有部分蒸镀材料沉积在掩膜板10的靠近基板20且靠近蒸镀通孔12的端面上以及沉积在基板20的支撑块2上。而本发明的掩膜板10，由于对位凹陷部11的设置，可在一定程度上减小沉积在对位凹陷部11内以及支撑块2上的蒸镀材料，进而在OLED显示屏完成蒸镀薄膜材料层的制造过程后，在使掩膜板10与基板20脱离时，可以在一定程度上降低由于支撑块2与对位凹陷部11的内壁面之间的摩擦而掉落的材料碎屑引起的异物类不良。还可以在下一次使用掩膜板10时，降低对位凹陷部11与另一个基板20上的支撑块2摩擦时掉落的材料碎屑而引起的异物类不良，由此可以提高掩膜板10使用的可靠性。

同时可以理解的是，由于在基板20与掩膜板10对位到位时，支撑块2是一部分伸入到对位凹陷部11中，则另一部分位于对位凹陷部11外，进而有利于保证支撑块2能够在基板20与掩膜板10间起支撑作用，保持基板20与掩膜板10之间的间距稳定。

根据本发明实施例的用于OLED显示屏的掩膜板10，通过在掩膜板本体1上设置对位凹陷部11，且支撑块2的一部分适于伸入到对位凹陷部11内以使基板20与掩膜板10对位到位。从而可以通过支撑块2与对位凹陷部11的配合实现辅助对位，通过对位凹陷部11在一定程度上对支撑块2进行限位，减小对位操作过程中基板20相对掩膜板10移动的距离和范围，有利于提高掩膜板10与基板20的对位操作效率，提高掩膜板10与基板20的对位精度，进而有利于降低OLED显示屏生产过程中造成的混色类不良，提高掩膜板10使用的可靠性。提高OLED显示屏的精度。还可以在一定程度上降低由于支撑块2与对位凹陷部11的内壁之间的摩擦而掉落的材料碎屑引起的异物类不良。

如图2-图3和图5-图6所示，根据本发明的一些实施例，在靠近基板20的方向上，对位凹陷部11的横截面积逐渐增大。由此可知，对位凹陷部11的结构简单，便于掩膜板本体1的生产制造。同时可以理解的是，对位凹陷部11的内侧壁然会倾斜设置以对支撑块2起到导向作用，即当支撑块2的一部分伸入到对位凹陷部11中时，支撑块2可以在对位凹陷部11的内侧壁的导向作用下，逐渐滑动至与对位凹陷部11配合到位的位置而固定不动，此时也说明，基板20与掩膜板10已经对位到位。

如图2-图3和图5-图6所示，在本发明的一些实施例中，沿靠近基板20的方向切割掩膜板本体1，对位凹陷部11的横截面形成为轴对称图形。由此可知，对位凹陷部11的结构简单、形状规则，便于掩膜板10的生产制造。

例如如图2和图5所示，对位凹陷部11的横截面形成为等腰三角形，从而可以在基板20与掩膜板10对位到位时，使支撑块2的中心轴线经过等腰三角形的顶点。由此，在进行掩膜板10和基板20对位操作时，可将掩膜板10固定，然后人工移动基板20以使基板20与掩膜板10配合到位。可以理解的是，图5中对位凹陷部11的内侧壁形成的斜面上任一点与水平面的夹角θ恒定不变，从而当支撑块2伸入对位凹陷部11中却发生偏移时，则支撑块2的与对位凹陷部11的内侧壁的接触部分会受到作用力，此作用力可以分解为图5中竖直方向的分力F和水平方向的分力F'，F'＝tanθ·F，水平方向的分力F'可以推动支撑块2朝向对位凹陷部11的中心移动，进而使支撑块2不再偏移。即支撑块2受到的推力方向与支撑块2的偏移方向相反。由此可以有效地辅助掩膜板10与基板20的对位操作。提高掩膜板10与基板20的对位精度，降低OLED显示屏生产过程中造成的混色类不良。

又例如，如图3和图6所示，对位凹陷部11的横截面形成为弓形，从而可以在基板20与掩膜板10对位到位时，使支撑块2的中心轴线与弓形的中心轴线重合。由此，在进行掩膜板10和基板20对位操作时，可将掩膜板10固定，然后人工移动基板20以使基板20与掩膜板10配合到位。可以理解的是，图6中对位凹陷部11的内侧壁形成的曲面上任一点与水平面的夹角θ，与该点到弓形的中心轴线的水平距离呈正相关关系。θ为偏移量d的函数，如θ＝k·d(k为常数，d为对位凹陷部11的内侧壁形成的曲面上任一点到弓形的中心轴线的水平距离)，从而当支撑块2伸入对位凹陷部11中却发生偏移时，则支撑块2的与对位凹陷部11的内侧壁的接触部分会受到作用力，此作用力可以分解为图6中竖直方向的分力F和水平方向的分力F'，F'＝tanθ·F，而θ＝k·d，从而可知，支撑块2受到的推力F'与偏移量d正相关。水平方向的分力F'可以推动支撑块2朝向对位凹陷部11的中心移动，进而使支撑块2不再偏移。即支撑块2受到的推力方向与支撑块2的偏移方向相反。由此也可以有效地辅助掩膜板10与基板20的对位操作。提高掩膜板10与基板20的对位精度，降低OLED显示屏生产过程中造成的混色类不良。

如图7-图9所示，在本发明的一些实施例中，对位凹陷部11的内壁面形成为球形面或锥形面。由此使得，对位凹陷部11的结构简单、形状规则，便于掩膜板10的生产制造。例如，如图7所示，对位凹陷部11的内壁面可以形成为四棱锥的锥形面，如图8所示，对位凹陷部11的内壁面还可以形成为圆锥的锥形面，如图9所示，对位凹陷部11的内壁面还可以形成为球形面等。当然需要说明的是，对位凹陷部11的内壁面还可以形成为其他形状，只要保证对位凹陷部11的设置，有利于与支撑块2配合以辅助掩膜板10和基板20的对位操作，有利于提高掩膜板10与基板20的对位精度即可。

在本发明的一些实施例中，掩膜板10为一次注塑成型件。从而使得掩膜板10的生产效率高，结构强度高。

如图2-图3和图5-图6所示，根据本发明的一些实施例，对位凹陷部11的深度小于支撑块2的延伸长度。由此可以有效地保证支撑块2仅有一部分伸入到对位凹陷部11中，进而可以保证支撑块2能够在基板20与掩膜板10间起支撑作用，保持基板20与掩膜板10之间的间距稳定。

根据本发明的一些实施例，对位凹陷部11的深度小于等于掩膜板10的厚度的三分之一。由此可在一定程度上保证掩膜板本体1的结构强度，使本发明实施例的掩膜板10不但可以提高与基板20的对位精度，而且使用寿命长。

根据本发明的一些实施例，对位凹陷部11包括相互连通的导向凹槽和定位凹槽，导向凹槽的延伸方向与定位凹槽的延伸方向之间具有夹角，在由导向凹槽至定位凹槽的方向上，导向凹槽的横截面积逐渐减小，支撑块2的伸入对位凹陷部11的部分适于沿着导向凹槽滑动至定位凹槽内。由此可知，当掩膜板10与基板20对位到位时，支撑块2位于定位凹槽内，并且由于在由导向凹槽至定位凹槽的方向上，导向凹槽的横截面积逐渐减小，从而可以在一定程度上避免支撑块2在不受外力的情况下由定位凹槽滑向导向凹槽，进而可以保证掩膜板10与基板20对位精度和可靠性。

根据本发明的一些实施例，对位凹陷部11的形状与支撑块2的形状相匹配。由此使得支撑块2与对位凹陷部11形成了卡凸与卡槽的配合结构。从而在将掩膜板10与基板20进行对位操作时，可以先将支撑块2伸入到对位凹陷部11内，就可以有效地限制支撑块2的位置，进而可以减小对位操作过程中基板20相对掩膜板10移动的距离和范围，有利于提高掩膜板10与基板20的对位操作效率，提高掩膜板10与基板20的对位精度，进而有利于降低OLED显示屏生产过程中造成的混色类不良，提高掩膜板10使用的可靠性。提高OLED显示屏的精度。

根据本发明的一些实施例，对位凹陷部11为多个，多个对位凹陷部11与多个支撑块2一一对应设置。从而可知，当掩膜板10与基板20对位到位时，每个支撑块2的一部分可以伸入到对应的对位凹陷部11中，从而可以有效地限制基板20相对掩膜板10的位置，有效地辅助掩膜板10与基板20的对位操作，提高掩膜板10与基板20的对位操作效率，提高掩膜板10与基板20的对位精度，进而有利于降低OLED显示屏生产过程中造成的混色类不良，提高掩膜板10使用的可靠性。提高OLED显示屏的精度。

根据本发明实施例的掩膜板10的其他构成对于本领域普通技术人员而言都是已知的，这里不再详细描述。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种掩膜板(10)，其特征在于，用于蒸镀OLED显示屏，所述OLED显示屏包括基板(20)，所述基板(20)上设有多个支撑块(2)，所述掩膜板(10)适于支撑在多个所述支撑块(2)上以与所述基板(20)间隔设置，所述掩膜板(10)包括：

掩膜板本体(1)，所述掩膜板本体(1)上设有对位凹陷部(11)，所述对位凹陷部(11)由所述掩膜板本体(1)的靠近所述基板(20)的一端的一部分朝向远离所述基板(20)的方向凹陷而限定出，在所述基板(20)与所述掩膜板(10)对位到位时，其中一个所述支撑块(2)的一部分伸入到所述对位凹陷部(11)内。

2.根据权利要求1所述的掩膜板(10)，其特征在于，在靠近所述基板(20)的方向上，所述对位凹陷部(11)的横截面积逐渐增大。

3.根据权利要求2所述的掩膜板(10)，其特征在于，沿靠近所述基板(20)的方向切割所述掩膜板本体(1)，所述对位凹陷部(11)的横截面形成为轴对称图形。

4.根据权利要求2所述的掩膜板(10)，其特征在于，所述对位凹陷部(11)的内壁面形成为球形面或锥形面。

5.根据权利要求1所述的掩膜板(10)，其特征在于，所述掩膜板(10)为一次注塑成型件。

6.根据权利要求1所述的掩膜板(10)，其特征在于，所述对位凹陷部(11)的深度小于所述支撑块(2)的延伸长度。

7.根据权利要求1所述的掩膜板(10)，其特征在于，所述对位凹陷部(11)的深度小于等于所述掩膜板(10)厚度的三分之一。

8.根据权利要求1所述的掩膜板(10)，其特征在于，所述对位凹陷部(11)包括相互连通的导向凹槽和定位凹槽，所述导向凹槽的延伸方向与所述定位凹槽的延伸方向之间具有夹角，在由所述导向凹槽至所述定位凹槽的方向上，所述导向凹槽的横截面积逐渐减小，所述支撑块(2)的伸入所述对位凹陷部(11)的部分适于沿着所述导向凹槽滑动至所述定位凹槽内。

9.根据权利要求1所述的掩膜板(10)，其特征在于，所述对位凹陷部(11)的形状与所述支撑块(2)的形状相匹配。

10.根据权利要求1-9中任一项所述的掩膜板(10)，其特征在于，所述对位凹陷部(11)为多个，多个所述对位凹陷部(11)与多个支撑块(2)一一对应设置。

Images