CN111552102A - 抗压液晶显示结构及其制造方法 - Google Patents
抗压液晶显示结构及其制造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN111552102A CN111552102A CN202010427100.8A CN202010427100A CN111552102A CN 111552102 A CN111552102 A CN 111552102A CN 202010427100 A CN202010427100 A CN 202010427100A CN 111552102 A CN111552102 A CN 111552102A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- plate body
- heating
- infrared light
- polyimide liquid
- irradiation device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 title description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 94
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims abstract description 76
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 claims abstract description 70
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 59
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 12
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 4
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims 1
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 35
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 238000005485 electric heating Methods 0.000 description 3
- 239000011265 semifinished product Substances 0.000 description 3
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- -1 i.e. Chemical group 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D3/00—Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials
- B05D3/02—Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials by baking
- B05D3/0254—After-treatment
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D3/00—Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials
- B05D3/02—Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials by baking
- B05D3/0254—After-treatment
- B05D3/0263—After-treatment with IR heaters
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Drying Of Solid Materials (AREA)
Abstract
本揭示提供一种固化设备，包括承载台、加热装置以及红外光照射装置。加热装置设置于所述承载台中；红外光照射装置设置于所述承载台上。光罩设置于承载台及红外光照射装置之间。具有聚酰亚胺液体的板体被设置于承载台上，加热装置以热传导方式对设置于承载台上的板体的聚酰亚胺液体加热，红外光照射装置的红外光对板体的聚酰亚胺液体以热辐射方式加热。光罩遮蔽向板体边缘照射的红外光，因此红外光照射装置可照射红外光以补偿板体中心区域聚酰亚胺液体的挥发速率，使加热后的聚酰亚胺液体于板体形成厚度均匀的聚酰亚胺膜状结构。
Description
【技术领域】
本揭示涉及显示技术领域，特别是一种可均匀固化形成均匀厚度的聚酰亚胺膜状结构的一种固化设备及其均匀固化的方法。
【背景技术】
在现有聚酰亚胺(PI)液体固化过程中，由于周边区域的聚酰亚胺液体挥发较快而中心区域的聚酰亚胺液体挥发较慢，因此就造成了聚酰亚胺液体扩散均匀性的差异。因而产生了“咖啡环”效应(Coffee-ring Effect)。而聚酰亚胺膜状的不均匀性，会导致液晶显示器边缘泛白导致周边亮度不均匀。
因此，需要一种固化设备及其均匀固化的方法，以解决现有技术存在的问题。
【发明内容】
为解决上述技术问题，本揭示的一目的在于提供一种可利用红外光照射的方式，对板体中心区域上的聚酰亚胺液体挥发速度进行补偿，从而使得板体中心区域和边缘区域的聚酰亚胺液体挥发速度一样，从而避免边缘聚酰亚胺膜状结构厚度不均的产生。
基于上述目的，本揭示提供一种固化设备，其包括承载台、加热装置以及红外光照射装置。加热装置设置于所述承载台中；红外光照射装置设置于所述承载台上；光罩设置于所述承载台及所述红外光照射装置之间；具有聚酰亚胺液体的板体被设置于所述承载台上，所述加热装置以热传导方式对设置于所述承载台上的所述板体的所述聚酰亚胺液体加热，所述红外光照射装置的红外光对所述板体的所述聚酰亚胺液体以热辐射方式加热；所述光罩遮蔽向所述板体边缘照射的所述红外光；加热后的所述聚酰亚胺液体于所述板体形成聚酰亚胺膜状结构。
于本揭示其中的一实施例中，其特征在于，所述光罩遮蔽向所述板体边缘照射的所述红外光。
于本揭示其中的一实施例中，其特征在于，本揭示之固化设备更包括控制装置，与所述加热装置及所述红外光照射装置电性连接。
于本揭示其中的一实施例中，其特征在于，所述控制装置控制所述加热装置对所述板体加热的第一加热温度及第一加热时间。
于本揭示其中的一实施例中，其特征在于，所述控制装置控制所述红外光照射装置对所述板体加热的第二加热温度及第二加热时间。
于本揭示其中的一实施例中，其特征在于，所述承载台为板状平台。
基于上述目的，本揭示再提供一种均匀固化的方法，其包括下列步骤：
于板体涂布聚酰亚胺液体；
将所述板体设置于固化设备的承载台上；
以设置于所述承载台中的加热装置对设置于所述承载台上的所述板体的所述聚酰亚胺液体以热传导方式加热；
以设置于所述承载台上的红外光照射装置的红外光对所述板体的所述聚酰亚胺液体以热辐射方式加热；
以设置于所述承载台及所述红外光照射装置之间的光罩遮蔽向所述板体边缘照射的所述红外光。另外，加热后的所述聚酰亚胺液体于所述板体形成聚酰亚胺膜状结构。
于本揭示其中的一实施例中，其特征在于，本揭示之均匀固化的方法更包括以与所述加热装置及所述红外光照射装置电性连接的控制装置，控制所述加热装置对所述板体加热的第一加热温度及第一加热时间，以及控制所述红外光照射装置对所述板体加热的第二加热温度及第二加热时间。
于本揭示其中的一实施例中，其特征在于，所述第一加热温度的第一升温曲线包括阶梯状曲线。
于本揭示其中的一实施例中，其特征在于，所述第二加热温度的第二升温曲线包括阶梯状曲线。
为让本揭示的上述内容能更明显易懂，下文特举优选实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。
【附图说明】
图1为本揭示的固化设备的系统配置示意图。
图2为本揭示的固化设备的第一实施示意图。
图3为本揭示的固化设备的第二实施示意图。
图4为本揭示的固化设备的升温曲线示意图。
图5为本揭示的均匀固化的方法的流程图。
【具体实施方式】
为了让本揭示的上述及其他目的、特征、优点能更明显易懂，下文将特举本揭示优选实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。再者，本揭示所提到的方向用语，例如上、下、顶、底、前、后、左、右、内、外、侧层、周围、中央、水平、横向、垂直、纵向、轴向、径向、最上层或最下层等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本揭示，而非用以限制本揭示。
在图中，结构相似的单元是以相同标号表示。
现请参阅图1至图4，其分别为本揭示的固化设备的系统配置示意图、第一实施示意图、第二实施示意图及升温曲线示意图。本揭示的固化设备10，包括承载台100、加热装置200、红外光照射装置300以及光罩400。
加热装置200设置于所述承载台100中，且在一实施例中，承载台100为板状平台，因此可均匀地附加电路板状物件，例如显示器的面板等板状物件，可防止承载于承载台100上的物件因重力的作用产生形变而损坏。
且在另一实施例中，加热装置200可包括电热管、电热线、电热片、板型加热器等各种可将承载台100均匀加热的器件。
红外光照射装置300设置于承载台100上，且在一实施例中，红外光照射装置300包括多个红外光照射单元302，进一步说明，红外光照射单元302所发出的红外光的波长可依据所需加热的器件选择，举例而言，若是要将被加热对象中的水分蒸发，可选用波长为2.5～3微米的红外光照射单元302，以利水分中的羟基，即氢氧基(OH)吸收能量加热后蒸发。
光罩400设置于所述承载台100及所述红外光照射装置300之间，且在一实施例中，光罩400包括遮光结构402。进一步说明，实施上光罩400可包括透明区域及不透明的遮光结构402，遮光结构402可以涂料或是其他制造工艺，例如半导体常见的蚀刻、涂布、显影等工艺制造，而在另一实施例中，光罩400亦可为具有透孔的板状结构，红外光可穿透透孔，而除透孔之外可为不透光的遮光结构402，但不以此为限。
本揭示的固化设备10在实施上可将具有聚酰亚胺液体600的板体500设置于承载台100上，加热装置200可以热传导方式对设置于承载台100上的板体500的聚酰亚胺液体600加热，而红外光照射装置300的红外光可对板体500的聚酰亚胺液体600以热辐射方式加热。
进一步说明，光罩400遮蔽向所述板体500边缘照射的所述红外光，因此使得板体500中心区域上的聚酰亚胺液体600相对于板体500边缘上的聚酰亚胺液体600会吸收更多的能量，使得板体500中心区域上的聚酰亚胺液体600的挥发速率与板体500边缘上的聚酰亚胺液体600的挥发速率相当，因此加热后的聚酰亚胺液体600于板体500形成的聚酰亚胺膜状结构700厚度将会更为均匀。
进一步说明，在一实施例中，板体500可为液晶显示器的半成品，例如板体500中心区域可为液晶显示器中的主动区域(AA,Active Area)，因此以本揭示的固化设备10对板体500上的聚酰亚胺液体600固化后，可形成厚度均匀的聚酰亚胺膜状结构700，因此可避免聚酰亚胺膜状结构700由于膜厚不均所造成的液晶显示器亮度不均匀的情况(mura)发生。
在一实施例中，本揭示的固化设备10更包括控制装置800，与加热装置200及红外光照射装置300电性连接，控制装置800可控制加热装置200对板体500加热的第一加热温度及第一加热时间，以及可控制红外光照射装置300对板体500加热的第二加热温度及第二加热时间。举例而言，控制装置800可控制第一加热温度为摄氏230度、第一加热时间为30分钟、第二加热温度为250度、第二加热时间为25分钟。
而在另一实施例中，如图4所示，第一加热温度的第一升温曲线802包括阶梯状曲线，第二加热温度的第二升温曲线804包括阶梯状曲线，因此本揭示的固化设备10可利用不同的温度以对板体上的聚酰亚胺液体600加热，达成预固化的效果。
举例而言，控制装置800可先控制第一加热温度为摄氏100度、第一加热时间为2分钟作为预固化阶段，而后再控制第一加热温度为摄氏230度、第一加热时间为30分钟；另外，亦可控制第二加热温度为50度、第二加热时间为2分钟，或是控制装置800于预固化阶段中先不使红外光照射装置300作用，于第一加热温度达到摄氏230度时再开始作用，达到补偿板体500中心区域上的聚酰亚胺液体600的挥发速率的效果，因此使得板体500中心区域上的聚酰亚胺液体600的挥发速率与板体500边缘上的聚酰亚胺液体600的挥发速率相当。
请搭配图1至图4，并请一并参阅图5，图5为本揭示的均匀固化的方法的流程图，一种均匀固化的方法，包括下列步骤：
S101：在板体500涂布聚酰亚胺液体600。进一步说明，在一实施例中，板体500可为液晶显示器的半成品。
S102：将板体500设置在固化设备10的承载台100上。且在一实施例中，承载台100为板状平台，因此可均匀地附加电路板状对象，例如显示器之面板等板状对象，可防止承载于承载台100上的对象因重力的作用产生形变而损坏。
S103：以设置在所述承载台100中的加热装置200对设置在承载台100上的板体500的所述聚酰亚胺液体600以热传导方式加热。
S104：以设置在承载台100上的红外光照射装置300的红外光对板体500的聚酰亚胺液体600以热辐射方式加热。
S105：以设置在承载台100及红外光照射装置300之间的光罩400遮蔽向板体500边缘照射的红外光。进一步说明，于步骤103至S105可将聚酰亚胺液体600加热，加热后的聚酰亚胺液体600于板体500形成聚酰亚胺膜状结构700。
进一步说明，在步骤S103至S105中，光罩400遮蔽向板体500边缘照射的红外光，因此使得板体500中心区域上的聚酰亚胺液体600相对于板体500边缘上的聚酰亚胺液体600会吸收更多的能量，使得板体500中心区域上的聚酰亚胺液体600的挥发速率与板体500边缘上的聚酰亚胺液体600的挥发速率相当，因此加热后的聚酰亚胺液体600于板体500形成的聚酰亚胺膜状结构700厚度将会更为均匀。
在一实施例中，板体500可为液晶显示器的半成品，例如板体500中心区域可为液晶显示器中的主动区域(AA,Active Area)，因此以本揭示的固化设备10对板体500上的聚酰亚胺液体600后，由于可形成厚度均匀的聚酰亚胺膜状结构700，因此可避免聚酰亚胺膜状结构700由于膜厚不均所造成的液晶显示器亮度不均匀的情况(mura)发生。
在一实施例中，更包括以与加热装置200及红外光照射装置300电性连接的控制装置800控制加热装置200对板体500加热的第一加热温度及第一加热时间，及红外光照射装置300对所述板体500加热的第二加热温度及第二加热时间。举例而言，控制装置800可控制第一加热温度为摄氏230度、第一加热时间为30分钟、第二加热温度为250度、第二加热时间为25分钟
而在另一实施例中，如图4所示，第一加热温度的第一升温曲线802包括阶梯状曲线，所述第二加热温度的第二升温曲线804包括阶梯状曲线，因此本揭示之固化设备10可利用不同的温度以对板体上的聚酰亚胺液体600加热，达成预固化的效果。
举例而言，可先控制第一加热温度为摄氏100度、第一加热时间为2分钟作为预固化阶段，而后再控制第一加热温度为摄氏230度、第一加热时间为30分钟；另外，亦可控制第二加热温度为50度、第二加热时间为2分钟，或是于预固化阶段中先不使红外光照射装置300作用，于第一加热温度达到摄氏230度时再开始作用，达到补偿使得板体500中心区域上的聚酰亚胺液体600的挥发速率的效果，因此使得板体500中心区域上的聚酰亚胺液体600的挥发速率与板体500边缘上的聚酰亚胺液体600的挥发速率相当。
因此，综上所述，本揭示所提供之固化设备及其均匀固化的方法，可利用红外光照射的方式，对板体中心区域上的聚酰亚胺液体挥发速度进行补偿，从而使得板体中心区域和边缘区域的聚酰亚胺液体挥发速度一样，从而避免板体500边缘聚酰亚胺膜状结构厚度不均的产生。
尽管已经相对于一个或多个实现方式示出并描述了本揭示，但是本领域技术人员基于对本说明书和附图的阅读和理解将会想到等价变型和修改。本揭示包括所有这样的修改和变型，并且仅由所附权利要求的范围限制。特别地关于由上述组件执行的各种功能，用于描述这样的组件的术语旨在对应于执行所述组件的指定功能(例如其在功能上是等价的)的任意组件(除非另外指示)，即使在结构上与执行本文所示的本说明书的示范性实现方式中的功能的公开结构不等同。此外，尽管本说明书的特定特征已经相对于若干实现方式中的仅一个被公开，但是这种特征可以与如可以对给定或特定应用而言是期望和有利的其他实现方式的一个或多个其他特征组合。而且，就术语“包括”、“具有”、“含有”或其变形被用在具体实施方式或权利要求中而言，这样的术语旨在以与术语“包括”相似的方式包括。
以上仅是本揭示的优选实施方式，应当指出，对于本领域普通技术人员，在不脱离本揭示原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本揭示的保护范围。
Claims (10)
1.一种固化设备，其特征在于，包括：
承载台；
加热装置，设置于所述承载台中；
红外光照射装置，设置于所述承载台上；以及
光罩，设置于所述承载台及所述红外光照射装置之间；
其中，具有聚酰亚胺液体的板体被设置于所述承载台上，所述加热装置以热传导方式对设置于所述承载台上的所述板体的所述聚酰亚胺液体加热，所述红外光照射装置的红外光对所述板体的所述聚酰亚胺液体以热辐射方式加热；
其中，所述光罩遮蔽向所述板体边缘照射的所述红外光；
其中，加热后的所述聚酰亚胺液体于所述板体形成聚酰亚胺膜状结构。
2.如权利要求1所述的固化设备，其特征在于，所述光罩遮蔽向所述板体边缘照射的所述红外光。
3.如权利要求1所述的固化设备，其特征在于，更包括控制装置，与所述加热装置及所述红外光照射装置电性连接。
4.如权利要求3所述的固化设备，其特征在于，所述控制装置控制所述加热装置对所述板体加热的第一加热温度及第一加热时间。
5.如权利要求3所述的固化设备，其特征在于，所述控制装置控制所述红外光照射装置对所述板体加热的第二加热温度及第二加热时间。
6.如权利要求1所述的固化设备，其特征在于，所述承载台为板状平台。
7.一种均匀固化的方法，其特征在于，包括：
于板体涂布聚酰亚胺液体；
将所述板体设置于固化设备的承载台上；
以设置于所述承载台中的加热装置对设置于所述承载台上的所述板体的所述聚酰亚胺液体以热传导方式加热；
以设置于所述承载台上的红外光照射装置的红外光对所述板体的所述聚酰亚胺液体以热辐射方式加热；以及
以设置于所述承载台及所述红外光照射装置之间的光罩遮蔽向所述板体边缘照射的所述红外光；
其中，加热后的所述聚酰亚胺液体于所述板体形成聚酰亚胺膜状结构。
8.如权利要求7所述的均匀固化的方法，其特征在于，更包括以与所述加热装置及所述红外光照射装置电性连接的控制装置，控制所述加热装置对所述板体加热的第一加热温度及第一加热时间，以及控制所述红外光照射装置对所述板体加热的第二加热温度及第二加热时间。
9.如权利要求8所述的均匀固化的方法，其特征在于，所述第一加热温度的第一升温曲线包括阶梯状曲线。
10.如权利要求8所述的均匀固化的方法，其特征在于，所述第二加热温度的第二升温曲线包括阶梯状曲线。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202010427100.8A CN111552102B (zh) | 2020-05-19 | 2020-05-19 | 一种固化设备及其均匀固化的方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202010427100.8A CN111552102B (zh) | 2020-05-19 | 2020-05-19 | 一种固化设备及其均匀固化的方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN111552102A true CN111552102A (zh) | 2020-08-18 |
| CN111552102B CN111552102B (zh) | 2023-12-29 |
Family
ID=72008365
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202010427100.8A Active CN111552102B (zh) | 2020-05-19 | 2020-05-19 | 一种固化设备及其均匀固化的方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN111552102B (zh) |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02134821A (ja) * | 1988-11-15 | 1990-05-23 | Nec Corp | ポリイミドベーク装置 |
| JPH1039303A (ja) * | 1996-07-23 | 1998-02-13 | Sony Corp | 液晶表示装置の製造方法 |
| CN102085511A (zh) * | 2010-11-22 | 2011-06-08 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 配向膜干燥装置及干燥方法 |
| TW201425405A (zh) * | 2012-10-11 | 2014-07-01 | Ngk Insulators Ltd | 聚亞醯胺薄膜的製造方法 |
| CN104849913A (zh) * | 2015-05-06 | 2015-08-19 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种光配向装置及系统 |
| CN106971938A (zh) * | 2015-10-30 | 2017-07-21 | 东京应化工业株式会社 | 基板加热装置及基板加热方法 |
| CN108258154A (zh) * | 2018-01-10 | 2018-07-06 | 京东方科技集团股份有限公司 | 显示基板及其制作方法、显示装置 |
| WO2019038154A1 (de) * | 2017-08-23 | 2019-02-28 | Heraeus Noblelight Gmbh | Verfahren und vorrichtung zur herstellung einer polyimidschicht auf einem substrat |
-
2020
- 2020-05-19 CN CN202010427100.8A patent/CN111552102B/zh active Active
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02134821A (ja) * | 1988-11-15 | 1990-05-23 | Nec Corp | ポリイミドベーク装置 |
| JPH1039303A (ja) * | 1996-07-23 | 1998-02-13 | Sony Corp | 液晶表示装置の製造方法 |
| CN102085511A (zh) * | 2010-11-22 | 2011-06-08 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 配向膜干燥装置及干燥方法 |
| TW201425405A (zh) * | 2012-10-11 | 2014-07-01 | Ngk Insulators Ltd | 聚亞醯胺薄膜的製造方法 |
| CN104849913A (zh) * | 2015-05-06 | 2015-08-19 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种光配向装置及系统 |
| CN106971938A (zh) * | 2015-10-30 | 2017-07-21 | 东京应化工业株式会社 | 基板加热装置及基板加热方法 |
| WO2019038154A1 (de) * | 2017-08-23 | 2019-02-28 | Heraeus Noblelight Gmbh | Verfahren und vorrichtung zur herstellung einer polyimidschicht auf einem substrat |
| CN108258154A (zh) * | 2018-01-10 | 2018-07-06 | 京东方科技集团股份有限公司 | 显示基板及其制作方法、显示装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN111552102B (zh) | 2023-12-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7972192B2 (en) | Curing device and manufacturing method for liquid crystal display | |
| JP7462604B2 (ja) | 回転基板レーザアニール | |
| KR20060050663A (ko) | 표시 패널 내 ｕｖ-열경화성 수지를 경화하는 ｕｖ-선 경화장치 | |
| CN106024670A (zh) | 加热器区块及基板处理装置 | |
| US20160116650A1 (en) | Color filter substrate and its manufacturing method, display panel and its manufacturing method, and display device | |
| US6278125B1 (en) | Shielded radiation assembly | |
| CN102830552A (zh) | 液晶面板的框胶硬化方法及其装置 | |
| CN111552102A (zh) | 抗压液晶显示结构及其制造方法 | |
| CN107219727B (zh) | 减压干燥设备 | |
| KR20140044109A (ko) | 플렉시블 디스플레이 장치의 제조방법 | |
| KR20160075344A (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 | |
| US10312130B2 (en) | LTPS array substrate, method for manufacturing the same, and display device | |
| KR101464207B1 (ko) | 평판 디스플레이 제조 장치 및 평판 디스플레이 제조에 사용되는 아이알 히터 | |
| CN103304148A (zh) | 图案修正方法及图案修正装置 | |
| KR20140043863A (ko) | 액자 발생 억제 방법 및 액자 발생 억제 장치 | |
| TWI758683B (zh) | 成膜裝置 | |
| KR20150045695A (ko) | 지지장치 및 이를 구비하는 기판 처리 장치와 이를 이용한 기판 처리 방법 | |
| US9200369B2 (en) | Apparatus for treating thin film and method of treating thin film | |
| JP2803984B2 (ja) | 基板光照射処理装置 | |
| CN219202126U (zh) | 光刻胶形成设备 | |
| US10446801B2 (en) | UV pretreatment apparatus used in vacuum evaporation | |
| KR101099549B1 (ko) | 기판 열처리 장치 | |
| KR20030082729A (ko) | 노광 시스템 | |
| CN109445251B (zh) | 一种减压干燥设备 | |
| KR102298085B1 (ko) | 반도체 기판 및 기판 열처리 방법 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |