CN111487521A - 一种温度传感器液体环境晶圆级测试装置 - Google Patents

一种温度传感器液体环境晶圆级测试装置 Download PDF

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Abstract

本发明实施例公开了一种温度传感器液体环境晶圆级测试装置，所述温度传感器液体环境晶圆级测试装置包括测试仪、安装有多个探针的探针卡、用于承载待测试温度传感器晶圆的台盘、以及存贮有绝缘导热油的容器，所述测试仪通过导线与探针的端部连接，所述探针与待测试温度传感器晶圆相对应，所述的探针、待测试温度传感器晶圆和台盘浸没在绝缘导热油中。本发明实施例提供的温度传感器液体环境晶圆级测试装置，通过选用本申请的探针卡能够将探针卡上的多个探针与单次所需测试芯片数量一一对应，一次测试多颗传感器，提高测试效率，减少时间。

Description

一种温度传感器液体环境晶圆级测试装置
技术领域
本发明属于微机电传感器领域，具体涉及一种温度传感器液体环境晶圆级测试装置。
背景技术
温度是表征物体冷热程度的物理量，是工农业生产过程中一个很重要而普遍的测量参数。温度的测量及控制对保证产品质量、提高生产效率、节约能源、生产安全、促进国民经济的发展起到非常重要的作用。由于温度测量的普遍性，温度传感器的数量在各种传感器中居首位，约占50％。温度传感器是指能感受温度并转换成可用输出信号的传感器，是温度测量仪表的核心部分，品种繁多。
目前温度传感器测试基本都是将温度传感器封装成成品后装到测试板上，放入温箱测试，其弊端是一次测试数量少，时间长，效率低。
发明内容
为此，本发明实施例提供一种温度传感器液体环境晶圆级测试装置，以解决现有技术中温度传感器测试时一次测试数量少，时间长，效率低的问题。
为了实现上述目的，本发明实施例提供如下技术方案：
根据本发明实施例的第一方面，提供一种温度传感器液体环境晶圆级测试装置，包括测试仪、安装有多个探针的探针卡、用于承载待测试温度传感器晶圆的台盘、以及存贮有绝缘导热油的容器，所述测试仪通过导线与探针的端部连接，所述探针与待测试温度传感器晶圆相对应，所述的探针、待测试温度传感器晶圆和台盘浸没在绝缘导热油中。
进一步的，所述温度传感器液体环境晶圆级测试装置还包括套设在导线上的集束管，所述探针卡顶部开设有通槽，所述探针端部的导线依次穿过通槽和集束管与测试仪连接。
进一步的，制备所述绝缘导热油的原料包括环体、苯基低聚体、封端剂、催化剂和抗氧剂，且各组分的重量份数分别为环体50—60份、苯基低聚体18—22份、封端剂4—6份、催化剂0.5—1份、抗氧化剂0.01—0.03份。
进一步的，所述封端剂包括苯酚、酮肟、醇、己内酰胺、丙二酸酯中的任意一种或两种以上的组合。
进一步的，所述催化剂包括有机锡化合物、辛酸锌中的任意一种或两种以上的组合。
进一步的，所述抗氧化剂包括丁基羟基茴香醚、2,6-二叔丁基-4-甲基苯酚中的任意一种或两种以上的组合。
进一步的，制备所述绝缘导热油的原料包括矿物基础油30-45份、蓖麻油15-30份、花生油18-22份、己内酰胺4-6份、辛酸锌0.5-1份、丁基羟基茴香醚0.01—0.03份。
进一步的，所述矿物基础油和蓖麻油的总重量为50—60份，且所述花生油的重量为矿物基础油和蓖麻油总重量的三分之一。
进一步的，所述绝缘导热油的制备方法包括将环体、苯基低聚体、封端剂及催化剂混合，聚合后进行真空蒸馏，经减压拔去轻馏体后得到基础油，之后加入抗氧剂制得所述的绝缘导热油。
本发明实施例具有如下优点：本发明实施例提供一种温度传感器液体环境晶圆级测试装置，通过选用本申请的探针卡能够将探针卡上的多个探针与单次所需测试芯片数量一一对应，一次测试多颗传感器，提高测试效率，减少时间。此外，本申请通过加入蓖麻油和丁基羟基茴香醚配合使用能够避免蒸馏水本身杂质及温度传感器因绝缘变差而引入的误差(在高温下更严重)，造成热电势损耗，并且带入干扰，最终造成的误差可达上百度；使用蒸馏水加热温度上限达不到要求的问题；同时避免验证过程中发现蒸馏水由于长时间与空气接触，绝缘性会逐渐变差的问题；此外，使用本申请的绝缘导热油，满足200-400摄氏度下安全导热并具有优秀的绝缘性，在高温状态下能够保持状态，不沸腾并且不产生积碳不会结焦。
附图说明
为了更清楚地说明本发明的实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是示例性的，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图引伸获得其它的实施附图。
本说明书所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本发明可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本发明所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本发明所揭示的技术内容能涵盖的范围内。
图1为本发明实施例1提供的一种温度传感器液体环境晶圆级测试装置的结构示意图之一；
图2为本发明实施例1提供的一种温度传感器液体环境晶圆级测试装置的结构示意图之二；
图中：1—测试仪；2—导线；3—探针卡；3a—探针；4—待测试温度传感器晶圆；5—台盘；6—绝缘导热油；7—容器。
具体实施方式
以下由特定的具体实施例说明本发明的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点及功效，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
需要注意的是，除非另有说明，本申请使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域技术人员所理解的通常意义，下述实施例中的实验材料，若无特别说明，均是来源于商业途径，所述的实验方法，若无特别说明，均为通用实验方法。
针对现有技术中的不足，本案发明人经长期研究和大量实践，得以提出本发明的技术方案，如下将对该技术方案、其实施过程及原理等作进一步的解释说明。
实施例1
本实施例提供了一种温度传感器液体环境晶圆级测试装置，包括测试仪1、安装有多个探针3a的探针卡、用于承载待测试温度传感器晶圆4的台盘5、以及存贮有绝缘导热油6的容器7，所述测试仪1通过导线2与探针3a的端部连接，所述探针3a与待测试温度传感器晶圆4相对应，所述的探针3a、待测试温度传感器晶圆4和台盘5浸没在绝缘导热油6中。
优选的，所述温度传感器液体环境晶圆级测试装置还包括套设在导线上的集束管，所述探针卡3顶部开设有通槽，所述探针3a端部的导线2依次穿过通槽和集束管与测试仪1连接，通过将通槽与集束管配合使用，能够提高整个装置的平整，提高导线2与探针1的牢固性。
实施例2
在实施例1的基础上，制备所述绝缘导热油的原料包括环体、苯基低聚体、封端剂、催化剂和抗氧剂，且各组分的重量份数分别为环体50份、苯基低聚体18份、封端剂4份、催化剂0.5份、抗氧化剂0.01份。优选的，所述封端剂包括苯酚、酮肟、醇、己内酰胺、丙二酸酯中的任意一种或两种以上的组合。优选的，所述催化剂包括有机锡化合物、辛酸锌中的任意一种或两种以上的组合。优选的，所述抗氧化剂包括丁基羟基茴香醚、2,6-二叔丁基-4-甲基苯酚中的任意一种或两种以上的组合。
实施例2
在实施例1的基础上，制备所述绝缘导热油的原料包括环体、苯基低聚体、封端剂、催化剂和抗氧剂，且各组分的重量份数分别为环体60份、苯基低聚体22份、封端剂6份、催化剂1份、抗氧化剂0.03份。优选的，所述封端剂包括苯酚、酮肟、醇、己内酰胺、丙二酸酯中的任意一种或两种以上的组合。优选的，所述催化剂包括有机锡化合物、辛酸锌中的任意一种或两种以上的组合。优选的，所述抗氧化剂包括丁基羟基茴香醚、2,6-二叔丁基-4-甲基苯酚中的任意一种或两种以上的组合。
实施例3
在实施例1的基础上，制备所述绝缘导热油的原料包括环体、苯基低聚体、封端剂、催化剂和抗氧剂，且各组分的重量份数分别为环体55份、苯基低聚体20份、封端剂5份、催化剂0.75份、抗氧化剂0.02份。优选的，所述封端剂包括苯酚、酮肟、醇、己内酰胺、丙二酸酯中的任意一种或两种以上的组合。优选的，所述催化剂包括有机锡化合物、辛酸锌中的任意一种或两种以上的组合。优选的，所述抗氧化剂包括丁基羟基茴香醚、2,6-二叔丁基-4-甲基苯酚中的任意一种或两种以上的组合。
实施例4
在实施例1的基础上，制备所述绝缘导热油的原料包括矿物基础油30份、蓖麻油20份、花生油18份、己内酰胺4份、辛酸锌0.5份、丁基羟基茴香醚0.01份。
实施例5
在实施例1的基础上，制备所述绝缘导热油的原料包括矿物基础油45份、蓖麻油15份、花生油22份、己内酰胺6份、辛酸锌1份、丁基羟基茴香醚0.03份。
实施例6
在采取实施例4或5技术方案的情况下，所述绝缘导热油的制备方法包括将环体、苯基低聚体、封端剂及催化剂混合，聚合后进行真空蒸馏，经减压拔去轻馏体后得到基础油，之后加入抗氧剂制得所述的绝缘导热油。
实施例7
本实施例提供一种温度传感器液体环境晶圆级测试装置于温度传感器测试中的应用。有效避免使用蒸馏水加热温度上限达不到要求的问题；同时避免验证过程中发现蒸馏水由于长时间与空气接触，绝缘性会逐渐变差的问题；此外，使用本申请的绝缘导热油，满足200-400摄氏度下安全导热并具有优秀的绝缘性，在高温状态下能够保持状态，不沸腾并且不产生积碳不会结焦。
以下结合具体实验例进行详细说明：
实验一
采用实施例4、实施例5制备的绝缘导热油分别作为A组、B组；不加入蓖麻油和丁基羟基茴香醚作为C组，不加入蓖麻油D组，不加入丁基羟基茴香醚E组，将采用蒸馏水作为对照组，实验结果如下表所示：
组别 误差范围 加热温度 积碳 结焦
A组 18—23℃ 200—400℃ 无 无
B组 20—22℃ 220—400℃ 无 无
C组 60—70℃ 110—170℃ 有 部分有
D组 35—45℃ 160—220℃ 有 无
E组 35—55℃ 150—280℃ 无 有
对照组 80—100℃ 100℃ 有 有
注：上表中的积碳、结焦为使用3天后的现象。
上述结果表明：蓖麻油和丁基羟基茴香醚配合使用能够避免蒸馏水本身杂质及温度传感器因绝缘变差而引入的误差(在高温下更严重)，造成热电势损耗，并且带入干扰，最终造成的误差可达上百度；使用蒸馏水加热温度上限达不到要求的问题；同时避免验证过程中发现蒸馏水由于长时间与空气接触，绝缘性会逐渐变差的问题；此外，使用本申请的绝缘导热油，满足200-400摄氏度下安全导热并具有优秀的绝缘性，在高温状态下能够保持状态，不沸腾并且不产生积碳不会结焦。
最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围，其均应涵盖在本发明的权利要求和说明书的范围当中。

Claims (9)

1.一种温度传感器液体环境晶圆级测试装置，其特征在于：包括测试仪、安装有多个探针的探针卡、用于承载待测试温度传感器晶圆的台盘、以及存贮有绝缘导热油的容器，所述测试仪通过导线与探针的端部连接，所述探针与待测试温度传感器晶圆相对应，所述的探针、待测试温度传感器晶圆和台盘浸没在绝缘导热油中。
2.根据权利要求1所述温度传感器液体环境晶圆级测试装置，其特征在于：还包括套设在导线上的集束管，所述探针卡顶部开设有通槽，所述探针端部的导线依次穿过通槽和集束管与测试仪连接。
3.根据权利要求1所述温度传感器液体环境晶圆级测试装置，其特征在于：制备所述绝缘导热油的原料包括环体、苯基低聚体、封端剂、催化剂和抗氧剂，且各组分的重量份数分别为环体50—60份、苯基低聚体18—22份、封端剂4—6份、催化剂0.5—1份、抗氧化剂0.01—0.03份。
4.根据权利要求3所述温度传感器液体环境晶圆级测试装置，其特征在于：所述封端剂包括苯酚、酮肟、醇、己内酰胺、丙二酸酯中的任意一种或两种以上的组合。
5.根据权利要求3所述温度传感器液体环境晶圆级测试装置，其特征在于：所述催化剂包括有机锡化合物、辛酸锌中的任意一种或两种以上的组合。
6.根据权利要求3所述温度传感器液体环境晶圆级测试装置，其特征在于：所述抗氧化剂包括丁基羟基茴香醚、2,6-二叔丁基-4-甲基苯酚中的任意一种或两种以上的组合。
7.根据权利要求1所述温度传感器液体环境晶圆级测试装置，其特征在于：制备所述绝缘导热油的原料包括矿物基础油30-45份、蓖麻油15-30份、花生油18-22份、己内酰胺4-6份、辛酸锌0.5-1份、丁基羟基茴香醚0.01—0.03份。
8.根据权利要求1所述温度传感器液体环境晶圆级测试装置，其特征在于：所述矿物基础油和蓖麻油的总重量为50—60份，且所述花生油的重量为矿物基础油和蓖麻油总重量的三分之一。
9.根据权利要求1所述温度传感器液体环境晶圆级测试装置，其特征在于：所述绝缘导热油的制备方法包括将环体、苯基低聚体、封端剂及催化剂混合，聚合后进行真空蒸馏，经减压拔去轻馏体后得到基础油，之后加入抗氧剂制得所述的绝缘导热油。
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