CN206002570U - 一种精密测试探针 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种精密测试探针。粳米测试探针包括探针本体,还包括与探针本体配合使用的套管,所述套管套设在探针本体外部,探针本体可在套管内移动,所述套管外表面上设置有反向固定齿,所述探针本体由依次连接的接触端、连接段和顶端组成,所述顶端的直径大于套管直径。本实用新型的精密测试探针结构简单,使用方便,通过在探针本体外套设套管,可以检测不同高度的待检样品。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种精密测试探针,属于检测设备。
背景技术
晶片测试是使测试机台与探针卡构成测试回路,将探针卡上的探针直接与晶片上的接垫或凸块接触,以利用探针探测晶片上的各个芯片,从而引出芯片信号,并将此芯片信号数据送往测试机台作分析与判断。如此一来,可在封装步骤之前,事先滤除电性与功能不良的芯片,以避免不良品的增加而提高封装制造成本。
随着半导体制作工艺与封装技术的多元化发展,针对晶片测试的特殊需求也日益增加。然而,现有探针卡仅适于对同平面的接点进行检测,若是受测对象表面具有高度差,则须将测试流程分为多个阶段,以分别对不同高度的接点进行测试。例如晶片在进行凸块制作工艺前可能先通过接垫对芯片进行测试,或者将数据写入到芯片内。待完成凸块制作工艺之后,再通过凸块对芯片进行另一次测试。如此,测试流程较为繁复,也相对增加制作工艺的负担。
实用新型内容
为了克服现有技术的不足,本实用新型提供了一种精密测试探针。
本实用新型是通过以下技术方案来实现的:
一种精密测试探针,包括探针本体,还包括与探针本体配合使用的套管,所述套管套设在探针本体外部,探针本体可在套管内移动,所述套管外表面上设置有反向固定齿,所述探针本体由依次连接的接触端、连接段和顶端组成,所述接触端与待测物品接触。
所述的一种精密测试探针,所述接触端与连待测物品接触的一侧为圆弧形。
所述的一种精密测试探针,所述连接段由依次连接的第一部分、第二部分和第三部分组成,所述第一部分与接触端相连,所述第三部分与顶端相连,所述第一部分与第三部分的直径均大于第二部分的直径。
所述的一种精密测试探针,所述第一部分与第三部分的直径相同。
所述的一种精密测试探针,所述探针本体的长度为套管长度的1.2-2倍。
所述的一种精密测试探针,所述套管上还设置有固定孔。
本实用新型所达到的有益效果:
本实用新型的精密测试探针结构简单,使用方便,通过在探针本体外套设套管,可以检测不同高度的待检样品。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
图2是探针本体的结构示意图。
图3是套管的结构示意图。
图中:1、探针本体,2、套管,21、固定孔,3、反向固定齿,11、接触端,12、连接段,13、顶端,20、第一部分,30、第二部分,40、第三部分。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案,而不能以此来限制本实用新型的保护范围。
如图所示,本实用新型的一种精密测试探针,包括探针本体1,还包括与探针本体1配合使用的套管2,所述套管2套设在探针本体1外部,探针本体1可在套管2内移动,所述套管2外表面上设置有反向固定齿3,所述探针本体1由依次连接的接触端11、连接段12和顶端13组成,所述顶端13的直径大于套管2直径。所述顶端13为光滑平面,作为检测端;所述接触端11与待测物品接触。
具体地,所述接触端11与连待测物品接触的一侧为圆弧形。所述连接段12由依次连接的第一部分20、第二部分30和第三部分40组成,所述第一部分20与接触端11相连,所述第三部分40与顶端13相连,所述第一部分20与第三部分40的直径均大于第二部分30的直径。所述第一部分20与第三部分40的直径相同。所述探针本体1的长度为套管2长度的1.2-2倍。
所述套管2外圆周面上还均匀设置有四个固定孔21,固定孔21对应于探针本体1的连接段12;通过固定孔21可以防止探针本体1从套管2内滑出。
本实用新型的精密测试探针在使用时,通过反向固定齿3将套管2固定在探针板(未示出)上;将探针本体1架设在套管2内,探针本体1可在套管2内滑动,测试时,整块探针板(未示出)对待测样品进行检测,探针本体1被不同高度的待测样品顶起的高度不同,可以同时对不同高度的待测物品进行检测,也可以用来检测待测样品的形状和高度差。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型技术原理的前提下,还可以做出若干改进和变形,这些改进和变形也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (6)
1.一种精密测试探针,包括探针本体,其特征是,还包括与探针本体配合使用的套管,所述套管套设在探针本体外部,探针本体可在套管内移动,所述套管外表面上设置有反向固定齿,所述探针本体由依次连接的接触端、连接段和顶端组成,所述接触端与待测物品接触。
2.根据权利要求1所述的一种精密测试探针,其特征是,所述接触端与连待测物品接触的一侧为圆弧形。
3.根据权利要求1所述的一种精密测试探针,其特征是,所述连接段由依次连接的第一部分、第二部分和第三部分组成,所述第一部分与接触端相连,所述第三部分与顶端相连,所述第一部分与第三部分的直径均大于第二部分的直径。
4.根据权利要求3所述的一种精密测试探针,其特征是,所述第一部分与第三部分的直径相同。
5.根据权利要求1所述的一种精密测试探针,其特征是,所述探针本体的长度为套管长度的1.2-2倍。
6.根据权利要求1所述的一种精密测试探针,其特征是,所述套管上还设置有固定孔。
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CN201620986429.7U CN206002570U (zh) | 2016-08-30 | 2016-08-30 | 一种精密测试探针 |
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CN201620986429.7U CN206002570U (zh) | 2016-08-30 | 2016-08-30 | 一种精密测试探针 |
Publications (1)
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CN206002570U true CN206002570U (zh) | 2017-03-08 |
Family
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CN (1) | CN206002570U (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110488057A (zh) * | 2019-09-24 | 2019-11-22 | 格力电器(武汉)有限公司 | 一种探针针套打套工具 |
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2016
- 2016-08-30 CN CN201620986429.7U patent/CN206002570U/zh active Active
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