CN111487382A - 一种气体传感器的检测系统及方法 - Google Patents
一种气体传感器的检测系统及方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN111487382A CN111487382A CN202010469371.XA CN202010469371A CN111487382A CN 111487382 A CN111487382 A CN 111487382A CN 202010469371 A CN202010469371 A CN 202010469371A CN 111487382 A CN111487382 A CN 111487382A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- gas
- flow
- detection
- unit
- test
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 97
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 11
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 81
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims abstract description 54
- 238000011084 recovery Methods 0.000 claims abstract description 9
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 claims description 18
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 11
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 9
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 5
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims 3
- 238000010998 test method Methods 0.000 claims 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 claims 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 263
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 11
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N Hydrazine Chemical compound NN OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 8
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 5
- NWZSZGALRFJKBT-KNIFDHDWSA-N (2s)-2,6-diaminohexanoic acid;(2s)-2-hydroxybutanedioic acid Chemical compound OC(=O)[C@@H](O)CC(O)=O.NCCCC[C@H](N)C(O)=O NWZSZGALRFJKBT-KNIFDHDWSA-N 0.000 description 4
- IKDUDTNKRLTJSI-UHFFFAOYSA-N hydrazine monohydrate Substances O.NN IKDUDTNKRLTJSI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 3
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 2
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 2
- 239000002360 explosive Substances 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 2
- 231100000331 toxic Toxicity 0.000 description 2
- 230000002588 toxic effect Effects 0.000 description 2
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 1
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000003113 dilution method Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 238000002309 gasification Methods 0.000 description 1
- 231100001261 hazardous Toxicity 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 231100000086 high toxicity Toxicity 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 231100000614 poison Toxicity 0.000 description 1
- 230000007096 poisonous effect Effects 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 239000002341 toxic gas Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
- G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
- G01N33/007—Arrangements to check the analyser
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
- G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
- G01N33/007—Arrangements to check the analyser
- G01N33/0072—Arrangements to check the analyser by generating a test gas
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
- G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
- G01N33/0073—Control unit therefor
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Food Science & Technology (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
本发明公开了一种气体传感器的检测系统及方法，该检测系统包括检测气源、流量控制器、混气室、气体浓度监测单元、尾气回收单元和数据采集检测单元；所述检测气源、流量控制器和所述混气室通过气路连接；所述气体浓度监测单元，用于监测所述混合气的浓度并根据监测结果分别控制通入的所述测试气体和所述缓冲气体的流量；所述数据采集检测单元，用于采集所述待测传感器的检测数据并根据所述检测数据检测待测气体传感器的性能。本发明通过流量控制器精确调控混入混气室中测试气体与缓冲气体的混合气的配比，在气体浓度监测单元和流量控制器配合下反馈与气路调节实现高精度的混合气浓度控制，并且自动化程度高无需专人值守，提高了传感器检测的精度。
Description
技术领域
本发明属于传感器检测技术领域，尤其涉及一种气体传感器的检测系统和方法。
背景技术
气体传感器是传感技术领域的重要组成部分，在低功耗、小尺寸和低成本约束条件下，实现对目标气体的高度灵敏性和快速响应能力是气体传感器的重要技术研究与发展方向。
气体传感器性能检测是气体传感器研制与生产必不可少的步骤，现有气体传感器的检测系统无法精确控制检测气体的浓度和流量，因此现有检测系统只能满足比较粗略的精度要求，对于需要特别低浓度气体的测试需求无法满足，并且现有的检测系统自动化程度不高，需专人操作，因此无法实现测试气体为有毒有害等危险气体的无人值守检测，无法满足多气体环境的检测需求。
发明内容
针对现有技术存在的问题，本发明的目的在于提供一种自动化程度高、测量准确并且可适应多种气体检测环境的气体传感器的检测系统及方法。
为实现上述目的，本发明第一方面，提供一种气体传感器的检测系统，包括检测气源、流量控制器、混气室、气体浓度监测单元、尾气回收单元和数据采集检测单元；所述检测气源、流量控制器和所述混气室通过气路连接；其中，
所述检测气源，用于向气路提供测试气体和缓冲气体；
所述流量控制器，用于控制气路中通入的所述测试气体和所述缓冲气体的流量，以调节通入所述混气室中混合气的浓度；
所述混气室，用于暂存经所述流量控制器流量调控后的测试气体与缓冲气体的混合气；所述混气室中设置待测气体传感器；
所述尾气回收单元，用于回收所述混气室流出的混合气；
所述气体浓度监测单元，用于监测所述混合气的浓度并根据监测结果分别控制通入的所述测试气体和所述缓冲气体的流量；
所述数据采集检测单元，用于采集所述待测传感器的检测数据并根据所述检测数据检测待测气体传感器的性能。
进一步，还包括蒸汽发生器，所述蒸汽发生器，用于蒸发待测气体溶液而形成向气路通入的测试气体。
进一步，所述流量控制器为质量流量控制器。
进一步，所述流量控制器包括第一流量控制单元和第二流量控制单元，所述第一流量控制单元用于控制通入第一气路的测试气体的流量，所述第二流量控制单元用于控制通入第二气路的测试气体的流量，经所述第一流量控制单元和所述第二流量控制单元流量调控后的测试气体和缓冲气体，通入第三气路混合后送入所述混气室中。
进一步，还包括：
温度及湿度监测单元，用于监测所述混气室内的温度和湿度；
气室状态监测单元，用于监测从所述混气室内流出的混合气。
进一步，所述数据采集检测单元包括：
数据采集单元，用于采集所述待测传感器的检测数据；
监测单元，用于根据所述检测数据检测待测气体传感器的性能；其中，所述监测单元和所述数据采集单元之间通过射频单元连接，所述射频单元将所述数据采集单元采集的检测数据远程转发至所述监测单元。
进一步，还包括：
清洗单元，用于在检测之前向所述蒸汽发生器中通入清洗气体，以去除所述蒸汽发生器中的残余杂气。
进一步，还包括：
标定器，用于标定所述气源通入测试气体的流量以及所述测试气体和所述缓冲气体混合后的气体流量。
进一步，所述标定器包括：
第一标定单元，用于标定所述气源通入测试气体的流量；
第二标定单元，用于标定所述测试气体和所述缓冲气体混合后的气体流量；所述第二标定单元设置在。
本发明第二方面，提供一种上述的气体传感器检测系统的检测方法，包括如下步骤：
1)对所述气源通入测试气体的流量进行标定，当气体流量达到预定值时控制气源向流量控制器分别通入测试气体和缓冲气体；
2)监测所述混合气的浓度并根据监测结果分别控制通入的所述测试气体和所述缓冲气体的流量
3)对通入的所述测试气体和缓冲气体的混合气流量进行标定，当混合气流量达到预定值时控制将混合气送入所述混气室；
4)采集所述待测传感器的检测数据并根据所述检测数据检测待测气体传感器的性能；
5)将所述混气室流出的尾气回收。
进一步，所述检测系统包括所述蒸汽发生器，所述检测方法还包括：
在检测之前向所述蒸汽发生器中通入清洗气体。
本发明通过流量控制器精确调控混入混气室中测试气体与缓冲气体的混合气的配比，在气体浓度监测单元和流量控制器配合下反馈与气路调节实现高精度的混合气浓度控制，并且自动化程度高无需专人值守，提高了传感器检测的精度。
应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性的，并不能限制本发明。
附图说明
此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本发明的实施例，并与说明书一起用于解释本发明的原理。
图1为本发明一实施例提供的气体传感器的检测系统的示意图；
图2为本发明另一实施例提供的气体传感器的检测系统的示意图；
图3为本发明一实施例提供的气体传感器的检测方法的流程示意图。
具体实施方式
这里将详细地对示例性实施例进行说明，其示例表示在附图中。下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下示例性实施例中所描述的实施方式并不代表与本发明相一致的所有实施方式。相反，它们仅是与如所附权利要求书中所详述的、本发明的一些方面相一致的装置和方法的例子。
如图1所示，本发明的气体传感器的检测系统，包括检测气源1、流量控制器2、混气室3、气体浓度监测单元4、尾气回收单元5和数据采集检测单元6、蒸汽发生器7；所述检测气源1、流量控制器2和所述混气室3通过气路连接；其中，
所述检测气源1，用于向气路提供测试气体和缓冲气体。其中，缓冲气体可采用氮气和空气的混合气。本实施例中检测气源1提供的测试气体形式为待测气体溶液，其存储方式更加安全，特别是对于测试气体为有毒有害或爆炸性气体时，相比于加压压力容器的存储方式可提高贮存安全性。
蒸汽发生器7，用于蒸发待测气体溶液而形成向气路通入的测试气体。
所述流量控制器2，用于控制气路中通入的所述测试气体和所述缓冲气体的流量，以调节通入所述混气室3中混合气的浓度；其中，所述流量控制器2包括第一流量控制单元21和第二流量控制单元22，所述第一流量控制单元21用于控制通入第一气路11的测试气体的流量，所述第二流量控制单元22用于控制通入第二气路12的测试气体的流量，经所述第一流量控制单元21和所述第二流量控制单元22流量调控后的测试气体和缓冲气体，通入第三气路13混合后送入所述混气室3中。
所述混气室3，用于暂存经所述流量控制器2流量调控后的测试气体与缓冲气体的混合气；所述混气室3中设置待测气体传感器8；
所述尾气回收单元5，用于回收所述混气室3流出的混合气；
所述气体浓度监测单元4，用于监测所述混合气的浓度并根据监测结果分别控制通入的所述测试气体和所述缓冲气体的流量；
所述数据采集检测单元6，用于采集所述待测传感器的检测数据并根据所述检测数据检测待测气体传感器8的性能。
其中，蒸汽发生器7通过三通连接第一气路11和第四气路14，待测气体溶液经蒸汽发生器7蒸发后形成的测试气体通过第一气路11送入第一流量单元21，缓冲气体通过第二气路12送入第二流量控制单元22，从第一流量单元21和第二流量控制单元22流控调节后的测试气体和缓冲气体分别汇入第三气路13，混合后送入混气室3。气体浓度监测单元4设置在第三气路13处，监测混合气的浓度并根据监测结果分别反馈控制通入的所述测试气体和所述缓冲气体的流量，例如当混合气的浓度高于预设值时，则通过第二流量控制单元22调大缓冲气体通入第二气路12的流量。当混合气的浓度低于预设值时，则通过第一流量控制单元21调大测试气体通入第一气路11的流量，通过精确调节测试气体和缓冲气体混合气的配比，可有效提高待测传感器的检测精度。在检测系统检测完，混合气从混气室3中排出经第五气路15流至尾气回收单元5回收。
可选的，检测系统还包括：
温度及湿度监测单元，用于监测所述混气室3内的温度和湿度；
气室状态监测单元51，用于监测从所述混气室3内流出的混合气。第五气路15通过三通分别与第一气路11、第四气路14以及尾气回收单元5连接。其中，气室状态监测单元51设置在第五气路15处，可监测通入到混气室3的蒸汽实际浓度以及判断混气室3的工作状态是否正常，比如是否存在漏气等异常消耗。气室状态监测单元51除了能监测混合气的流量之外还可以监测混气室3的状态，可及时发现气室或气路发生测试气体泄漏，增强安全性。
可选的，所述数据采集检测单元6包括：
数据采集单元，用于采集所述待测传感器的检测数据；
监测单元，用于根据所述检测数据检测待测气体传感器的性能；其中，所述监测单元和所述数据采集单元之间通过射频单元61连接，所述射频单元61将所述数据采集单元采集的检测数据远程转发至所述监测单元，通过射频单元61可实现远程控制，进一步提高气体测试过程中的人员安全性。
可选的，所述检测系统还包括：
清洗单元52，用于在检测之前向所述蒸汽发生器7中通入清洗气体，以去除所述蒸汽发生器7中的残余杂气。清洗单元52向蒸汽发生器7通入的清洗气体和缓冲气体相同，例如可以为氮气和空气的混合气。
可选的，所述检测系统还包括：
标定器，用于标定所述气源1通入测试气体的流量以及所述测试气体和所述缓冲气体混合后的气体流量。其中，标定器包括第一标定单元53和第二标定单元54。第一标定单元53用于标定所述气源1通入测试气体的流量；第二标定单元54用于标定所述测试气体和所述缓冲气体混合后的气体流量。通过第一标定单元53监测通入测试气体的流量，当体流量达到预定值时控制气源向第一流量控制单元21和第二流量控制单元22分别各自通入测试气体和缓冲气体，如此可以控制气路中的气体稳定后再通入测试气体和缓冲气体，有助于测试气体和缓冲气体的混合和配比。
可选的，第一流量控制单元21和第二流量控制单元22为质量流量控制器。
可选的，所述气体浓度监测单元4和气室状态监测单元51为PID传感器。
可选的，第一标定单元53和第二标定单元54为流量计。
为使本领域技术人员更加清楚地理解发明，现将本发明检测系统的工作说明如下：
系统工作原理：利用溶液的扩散与渗透，在一定的环境条件下(压力，温度)，可以产生高浓度的蒸汽(因为在固定的环境条件下，溶液的扩散与渗透速率近似恒定，可以精确控制用以产生蒸汽的物质的量，然后对其加热即可定量产生蒸汽)。举例来说，肼是一种毒性较大的强还原剂，常温下是液态的，通常采用水合肼(稳定性好，易存储)溶液来产生气态的肼，也就是说把一定量的水合肼溶液加注到系统中，经过扩散和渗透作用在固定时间内可以得到确定质量的水合肼，将其加热到肼的气化温度之上，即可得到确定流量的肼和水蒸汽的混合气，这种混合气中，肼的浓度很高，通常无法满足传感器的测试需要，必须对它进一步处理。所以后面就是第二级的稀释过程，第一级生成的蒸汽必须和高纯度的载气(通常是氮气)进一步混合，通过控制各自的流量，即可实现我们想要的配比，即稀释到我们希望的浓度。
但是上述这个过程是开环的，只是根据理论计算来控制多个流量控制阀的开合程度，由于气体在完整气路的传输过程中存在损耗，且实际的溶液扩散过程和理论值之间总是存在偏差，因此这种控制作用只能满足比较粗略的精度要求，对于需要特别低浓度气体的测试需求开始常常无法满足。
为了进一步提高精度，我们在气室(实际用来测试传感器的一种特殊容器)前后各安装了一个PID传感器，气室前面的PID传感器用来检测通入到气室的蒸汽实际浓度，如果低于设定值，则控制相应的高浓度气体流量阀增加开度，反之则控制相应的缓冲气流量阀增加开度，最终使气体浓度和设定值的差值最小。气室之后的PID传感器除了也具有上述作用外，还可判断气室的工作状态是否正常，比如是否存在漏气等异常消耗，提高系统的安全性。此外，在整个系统的安装环境中，还设有泄漏监测传感器，用以预警有毒气体的泄漏。
如图2所示，本实施例的检测系统与图1中实施例的区别在于气源1中测试气体状态的存储方式不同，本实施例中测试气体是存储在压力容器中并消除了蒸汽发生器，可以将压力容器中的测试气体直接接入混气系统中，本实施例适用于测试气体为无毒无害或不易爆炸气体的情况检测。本实施例中其他结构与图1实施例相同，在此不再赘述。
如图3所示，本发明的气体传感器检测系统的检测方法，包括如下步骤：
S11：对所述气源通入测试气体的流量进行标定，当气体流量达到预定值时控制气源向流量控制器分别通入测试气体和缓冲气体；
S21：监测所述混合气的浓度并根据监测结果分别控制通入的所述测试气体和所述缓冲气体的流量；
S31：对通入的所述测试气体和缓冲气体的混合气流量进行标定，当混合气流量达到预定值时控制将混合气送入所述混气室；
S41：采集所述待测传感器的检测数据并根据所述检测数据检测待测气体传感器的性能；
S51：将所述混气室流出的尾气回收。
可选的，所述检测系统包括所述蒸汽发生器，所述检测方法还包括：在检测之前向所述蒸汽发生器中通入清洗气体，以此提高检测精度。
本发明基于溶液扩散原理的测试气体发生方式，对于有毒有害或爆炸性气体来说，可提高贮存安全性(普通溶液的存储安全性显著高于加压压力容器的存储方式)；多个PID、气室气体泄漏检测传感器和温湿度传感器可实现测试气体与缓冲气体(如氮气等)的精确配比，通过多级反馈与气路调节实现高精度的测试气体浓度控制(测试气体二次稀释和流量控制)，并可及时发现气室或气路发生测试气体泄漏，增强安全性；气体传感器测试系统与射频单元的集成，可实现远程无人化操作，提升气体测试过程中的人员安全性。
术语“第一”、“第二、第三等”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或隐含所指示的技术特征的数量。由此，限定的“第一”、“第二”的特征可以明示或隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分步骤可以通过硬件来完成，也可以通过程序来指令相关的硬件完成，所述的程序可以存储于一种计算机可读存储介质中，上述提到的存储介质可以是只读存储器，磁盘或光盘等。
本领域技术人员在考虑说明书及实践这里发明的发明后，将容易想到本发明的其它实施方案。本申请旨在涵盖本发明的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本发明的一般性原理并包括本发明未发明的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本发明的真正范围和精神由下面的权利要求指出。
应当理解的是，本发明并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本发明的范围仅由所附的权利要求来限制。
Claims (10)
1.一种气体传感器的检测系统，其特征在于，包括检测气源、流量控制器、混气室、气体浓度监测单元、尾气回收单元和数据采集检测单元；所述检测气源、流量控制器和所述混气室通过气路连接；其中，
所述检测气源，用于向气路提供测试气体和缓冲气体；
所述流量控制器，用于控制气路中通入的所述测试气体和所述缓冲气体的流量，以调节通入所述混气室中混合气的浓度；
所述混气室，用于暂存经所述流量控制器流量调控后的测试气体与缓冲气体的混合气；所述混气室中设置待测气体传感器；
所述尾气回收单元，用于回收所述混气室流出的混合气；
所述气体浓度监测单元，用于监测所述混合气的浓度并根据监测结果分别控制通入的所述测试气体和所述缓冲气体的流量；
所述数据采集检测单元，用于采集所述待测传感器的检测数据并根据所述检测数据检测待测气体传感器的性能。
2.如权利要求1所述的气体传感器的检测系统，其特征在于，还包括蒸汽发生器，所述蒸汽发生器，用于蒸发待测气体溶液而形成向气路通入的测试气体。
3.如权利要求1所述的气体传感器的检测系统，其特征在于，所述流量控制器包括第一流量控制单元和第二流量控制单元，所述第一流量控制单元用于控制通入第一气路的测试气体的流量，所述第二流量控制单元用于控制通入第二气路的测试气体的流量，经所述第一流量控制单元和所述第二流量控制单元流量调控后的测试气体和缓冲气体，通入第三气路混合后送入所述混气室中。
4.如权利要求1所述的气体传感器的检测系统，其特征在于，还包括：
温度及湿度监测单元，用于监测所述混气室内的温度和湿度；
气室状态监测单元，用于监测从所述混气室内流出的混合气。
5.如权利要求1所述的气体传感器的检测系统，其特征在于，所述数据采集检测单元包括：
数据采集单元，用于采集所述待测传感器的检测数据；
监测单元，用于根据所述检测数据检测待测气体传感器的性能；其中，所述监测单元和所述数据采集单元之间通过射频单元连接，所述射频单元将所述数据采集单元采集的检测数据远程转发至所述监测单元。
6.如权利要求2所述的气体传感器的检测系统，其特征在于，还包括：
清洗单元，用于在检测之前向所述蒸汽发生器中通入清洗气体，以去除所述蒸汽发生器中的残余杂气。
7.如权利要求1所述的气体传感器的检测系统，其特征在于，还包括：
标定器，用于标定所述气源通入测试气体的流量以及所述测试气体和所述缓冲气体混合后的气体流量。
8.如权利要求7所述的气体传感器的检测系统，其特征在于，所述标定器包括：
第一标定单元，用于标定所述气源通入测试气体的流量；
第二标定单元，用于标定所述测试气体和所述缓冲气体混合后的气体流量；所述第二标定单元设置在。
9.一种如权利要求1-8任一项所述的气体传感器检测系统的检测方法，其特征在于：包括如下步骤：
1)对所述气源通入测试气体的流量进行标定，当气体流量达到预定值时控制气源向流量控制器分别通入测试气体和缓冲气体；
2)监测所述混合气的浓度并根据监测结果分别控制通入的所述测试气体和所述缓冲气体的流量
3)对通入的所述测试气体和缓冲气体的混合气流量进行标定，当混合气流量达到预定值时控制将混合气送入所述混气室；
4)采集所述待测传感器的检测数据并根据所述检测数据检测待测气体传感器的性能；
5)将所述混气室流出的尾气回收。
10.如权利要求9所述的检测方法，其特征在于，所述检测系统包括所述蒸汽发生器，所述检测方法还包括：
在检测之前向所述蒸汽发生器中通入清洗气体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202010469371.XA CN111487382A (zh) | 2020-05-28 | 2020-05-28 | 一种气体传感器的检测系统及方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202010469371.XA CN111487382A (zh) | 2020-05-28 | 2020-05-28 | 一种气体传感器的检测系统及方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN111487382A true CN111487382A (zh) | 2020-08-04 |
Family
ID=71811989
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202010469371.XA Pending CN111487382A (zh) | 2020-05-28 | 2020-05-28 | 一种气体传感器的检测系统及方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN111487382A (zh) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113504340A (zh) * | 2021-06-21 | 2021-10-15 | 北京是卓科技有限公司 | 一种氮氧化物气体检测系统 |
| CN113533448A (zh) * | 2021-06-21 | 2021-10-22 | 北京机械设备研究所 | 一种气体传感器测试系统、测试方法及上位机 |
| CN114324546A (zh) * | 2021-12-18 | 2022-04-12 | 中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室）） | 真空封装器件内部气氛的检测方法、气密容器及检测设备 |
| CN114755135A (zh) * | 2022-04-15 | 2022-07-15 | 四川大学 | 一种基于嵌入式薄膜的谐振式气体传感器及其制造工艺 |
| CN114778613A (zh) * | 2022-04-15 | 2022-07-22 | 四川大学 | 一种用于mems气体传感器的评测系统 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102258958A (zh) * | 2011-05-27 | 2011-11-30 | 中国计量科学研究院 | 标准气体的动态配气系统 |
| CN204459771U (zh) * | 2014-12-10 | 2015-07-08 | 中国石油天然气股份有限公司 | 一种配气系统 |
| CN105223324A (zh) * | 2015-10-30 | 2016-01-06 | 广州供电局有限公司 | 气体浓度仪表校验装置及方法 |
| CN106483257A (zh) * | 2016-12-02 | 2017-03-08 | 山东工商学院 | 一种电子鼻标定测试系统及方法 |
| CN207396402U (zh) * | 2017-11-16 | 2018-05-22 | 吉林大学 | 一种多参数测试环境下高精度的气体传感器动态测试装置 |
| CN108121368A (zh) * | 2016-11-28 | 2018-06-05 | 王丽艳 | 一种动态可调配气控制系统 |
| CN110296952A (zh) * | 2019-08-02 | 2019-10-01 | 中国矿业大学(北京) | 一种气体传感器标定装置及标定方法 |
-
2020
- 2020-05-28 CN CN202010469371.XA patent/CN111487382A/zh active Pending
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102258958A (zh) * | 2011-05-27 | 2011-11-30 | 中国计量科学研究院 | 标准气体的动态配气系统 |
| CN204459771U (zh) * | 2014-12-10 | 2015-07-08 | 中国石油天然气股份有限公司 | 一种配气系统 |
| CN105223324A (zh) * | 2015-10-30 | 2016-01-06 | 广州供电局有限公司 | 气体浓度仪表校验装置及方法 |
| CN108121368A (zh) * | 2016-11-28 | 2018-06-05 | 王丽艳 | 一种动态可调配气控制系统 |
| CN106483257A (zh) * | 2016-12-02 | 2017-03-08 | 山东工商学院 | 一种电子鼻标定测试系统及方法 |
| CN207396402U (zh) * | 2017-11-16 | 2018-05-22 | 吉林大学 | 一种多参数测试环境下高精度的气体传感器动态测试装置 |
| CN110296952A (zh) * | 2019-08-02 | 2019-10-01 | 中国矿业大学(北京) | 一种气体传感器标定装置及标定方法 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113504340A (zh) * | 2021-06-21 | 2021-10-15 | 北京是卓科技有限公司 | 一种氮氧化物气体检测系统 |
| CN113533448A (zh) * | 2021-06-21 | 2021-10-22 | 北京机械设备研究所 | 一种气体传感器测试系统、测试方法及上位机 |
| CN114324546A (zh) * | 2021-12-18 | 2022-04-12 | 中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室）） | 真空封装器件内部气氛的检测方法、气密容器及检测设备 |
| CN114755135A (zh) * | 2022-04-15 | 2022-07-15 | 四川大学 | 一种基于嵌入式薄膜的谐振式气体传感器及其制造工艺 |
| CN114778613A (zh) * | 2022-04-15 | 2022-07-22 | 四川大学 | 一种用于mems气体传感器的评测系统 |
| CN114755135B (zh) * | 2022-04-15 | 2023-11-03 | 四川大学 | 一种基于嵌入式薄膜的谐振式气体传感器及其制造工艺 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN111487382A (zh) | 一种气体传感器的检测系统及方法 | |
| US9632511B2 (en) | Pressure type flow control system with flow monitoring, and method for detecting anomaly in fluid supply system and handling method at abnormal monitoring flow rate using the same | |
| CA2437711C (en) | Method and apparatus for calibration of instruments that monitor the concentration of a sterilant in a system | |
| US6997347B2 (en) | Apparatus and method for generating calibration gas | |
| AU2017268056B2 (en) | Apparatus and methodologies for leak detection using gas and infrared thermography | |
| US6164116A (en) | Gas module valve automated test fixture | |
| CA2974023C (en) | Electrolysis membrane systems and methods | |
| US20030010918A1 (en) | Method and apparatus for leak detecting, and apparatus for semiconductor manufacture | |
| US20090173136A1 (en) | Method and apparatus for the detection of leaks | |
| CN108827821B (zh) | 一种用于核电站安全壳内氢气浓度的快速分析装置及方法 | |
| MX2007014043A (es) | Sistema para producir mezclas de gas estandares primarias. | |
| CN107228923A (zh) | 一种标准气态亚硝酸的制备方法和发生系统 | |
| US8587319B1 (en) | Battery operated flame ionization detector | |
| KR101717943B1 (ko) | 원자력 시설 기밀도 시험장치 | |
| JP2016020791A (ja) | ボイラ装置 | |
| CN220214770U (zh) | 一种闭式循环气体混配测控装置 | |
| KR101731505B1 (ko) | 밸러스트수 처리를 위한 고성능 tro센서 및 이의 구동방법 | |
| CN108444855B (zh) | 一种空气中甲烷含量的快速分析装置及方法 | |
| CN219417394U (zh) | 用于烟气在线监测系统的自动标定系统 | |
| WO2012034183A1 (en) | Testing of flow meters | |
| US11067551B2 (en) | Device for measuring the amount of oxygen present in a gas, and air-separation module comprising such a measurement device | |
| RU2654381C1 (ru) | Переносной калибровочный модуль для калибровки и поверки сигнализаторов горючих газов стм-30-50 | |
| CN115597852A (zh) | 一种燃料电池系统用电磁比例阀测试装置及方法 | |
| CN116465694A (zh) | 一种气体中油蒸气或碳氢化合物的测量装置以及测量方法 | |
| CN116519889A (zh) | 一种气体混合比在线监测自校准装置及方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination |