CN111463090B - 用于大尺寸细口径光电倍增管精准封接的装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种用于大尺寸细口径光电倍增管精准封接的装置，包括：可公转的旋转台，石英支撑环，一对半圆形夹具，每个半圆形夹具的底部设置有沿着圆弧形方向的导轨，光电倍增管腔室，设置有MCP组件支撑筒、传动丝杠、导向杆和MCP底座，MCP组件，位于光电倍增管腔室的上部并通过连接杆和下可伐盘安装到MCP底座上，传动丝杠通过步进电机带动而旋转并驱动MCP组件升降运动进入玻璃壳体内部，通过导向杆进行导向，两个传动丝杠和导向杆成四等分地分布在光电倍增管腔室内，使其传动上升至旋转台底部的半圆形夹具位置，并进入半圆形夹具底部的导轨内，通过导轨作用，使得弹簧预顶组件可向一个方向进行微调偏移，使其顺利进入半圆形夹具，最后完成上下可伐盘封接。

Description

用于大尺寸细口径光电倍增管精准封接的装置
技术领域
本发明涉及光电倍增管技术领域，具体而言涉及一种用于大尺寸细口径光电倍增管精准封接的装置。
背景技术
光电倍增管的封接技术在整个产品的制作过程中十分重要，需要保证在管内达到比较高的真空情况下才可测试，因此对封接时的真空环境要求较高，所以对封接时上下可伐的偏心度，丝杠的稳定升降有一定要求。
发明内容
本发明的目的在于提供一种用于大尺寸细口径光电倍增管精准封接的装置，能精确定位玻壳、MCP组件，使上下可伐不偏心，减少铟封失败概率，提高工作效率。
为实现上述目的，本发明提出的用于大尺寸细口径光电倍增管精准封接的装置包括：
可公转的旋转台，所述旋转台上设置支撑架，所述支撑架的顶部平面固定有石英支撑环，所述石英支撑环用于支撑光电倍增管的玻璃壳体的颈部，所述玻璃壳体具有顶部的球形部分以及位于球形部分下端的空心柱部分，空心柱部分与球形部分的连接部分构成为所述的颈部；
一对半圆形夹具，固定到所述旋转台的底部，与所述支撑架的位置对应地设置，所述一对半圆形夹具用于支撑住所述玻璃壳体的空心柱部分的底部以及上可伐盘；每个半圆形夹具的底部设置有沿着圆弧形方向的导轨；
光电倍增管腔室，设置有MCP组件支撑筒、传动丝杠、导向杆和MCP底座，其中两个传动丝杠沿着竖直方向设置在MCP组件支撑筒内部相对的边缘，MCP组件支撑筒支撑在两个传动丝杠之间并可上下移动；一对导向杆沿着竖直方向支撑MCP组件支撑筒并在其运动时提供导向；MCP组件支撑筒的顶部设置有MCP底座，MCP底座包括圆盘型的加热盘以及设置在加热盘的外周的定位圆环，所述定位圆环与加热盘之间沿着径向设置有多个弹簧预顶组件，顶住加热盘；所述加热盘的中心设置有多个均匀分布的电极销；
MCP组件，位于光电倍增管腔室的上部并通过连接杆和下可伐盘安装到MCP底座上，其中连接杆设置在圆筒形的MCP组件和下可伐盘之间，所述下可伐盘的底部设置有插针，插入到所述加热盘的中心设置的电极销中，所述电极销呈凹陷结构；
其中，所述传动丝杠通过步进电机带动而旋转并驱动MCP组件升降运动进入玻璃壳体内部，通过导向杆进行导向，两个传动丝杠和导向杆成四等分地分布在光电倍增管腔室内，使其传动上升至旋转台底部的半圆形夹具位置，并进入半圆形夹具底部的导轨内，通过导轨作用，使得所述弹簧预顶组件可向一个方向进行微调偏移，使其顺利进入半圆形夹具，最后完成上下可伐盘封接。
优选地，所述支撑架具有多个均匀分布地支撑到旋转台上的支腿，支腿的高度可调。
优选地，所述通过调节支撑架的高度并以上可伐盘作为基准进行定位调节，使上可伐盘与半圆形夹具平面保持水平。
优选地，所述半圆形夹具的中心位置设置有倒角。
优选地，所述电极销包括上端和下端，上端口径5mm，下端口径2.2mm，上端和下端构成总长度20mm的螺纹。
优选地，所述弹簧预顶组件包括圆柱形主体以及与圆柱形主体连接的带有伸缩弹簧的铜质顶针，圆柱形主体的顶部设置有突出。
由此，本发明专利提出的用于大尺寸细口径光电倍增管精准封接的装置，通过优化设计的夹具，用来固定玻壳、定位，减少上可伐的摩擦以及上下可伐之间的偏心度问题；
在封接过程中，可粗调可伐底座位置，与夹具、导轨配合后，通过弹簧预顶组件的微调，可精确贴合上可伐。
MCP组件的移动，采用丝杠和导向杆驱动，实现移动过程中的稳定传动、导向以及锁位作用。
本发明的封接装置工作效率高，能减少封接偏心度，解决封接过程中的漏气、溅铟短路等问题，实现了大尺寸，细口径光电倍增管管芯与玻壳的精准、稳定封接。
应当理解，前述构思以及在下面更加详细地描述的额外构思的所有组合只要在这样的构思不相互矛盾的情况下都可以被视为本公开的发明主题的一部分。另外，所要求保护的主题的所有组合都被视为本公开的发明主题的一部分。
结合附图从下面的描述中可以更加全面地理解本发明教导的前述和其他方面、实施例和特征。本发明的其他附加方面例如示例性实施方式的特征和/或有益效果将在下面的描述中显见，或通过根据本发明教导的具体实施方式的实践中得知。
附图说明
附图不意在按比例绘制。在附图中，在各个图中示出的每个相同或近似相同的组成部分可以用相同的标号表示。为了清晰起见，在每个图中，并非每个组成部分均被标记。现在，将通过例子并参考附图来描述本发明的各个方面的实施例，其中：
图1A-1C是本发明的半圆形夹具的示意图。
图2是本发明的可公转的旋转台的示意图。
图3是本发明的MCP底座的示意图。
图4是本发明的弹簧预顶组件的示意图。
图5A-5C是本发明的MCP腔室的示意图。
图6是MCP组件进入玻壳内封接的示意图。
具体实施方式
为了更了解本发明的技术内容，特举具体实施例并配合所附图式说明如下。
在本公开中参照附图来描述本发明的各方面，附图中示出了许多说明的实施例。本公开的实施例不必定意在包括本发明的所有方面。应当理解，上面介绍的多种构思和实施例，以及下面更加详细地描述的那些构思和实施方式可以以很多方式中任意一种来实施，这是因为本发明所公开的构思和实施例并不限于任何实施方式。另外，本发明公开的一些方面可以单独使用，或者与本发明公开的其他方面的任何适当组合来使用。
结合图示，根据本发明的示例性实施例的用于大尺寸细口径光电倍增管精准封接的装置，包括夹具、旋转台、MCP组件、MCP底座以及上下可伐盘。夹具1，采用半圆形夹具101，成对地设置，构成一个圆环形的夹具，用来支撑住光电倍增管的玻璃壳体205，如图1A-1C所示。
可公转的旋转台203，可在一个电机207的驱动下围绕轴线公转。优选地，旋转速度0-3rpm可调，控制精度0.02°。旋转台203上设置支撑架202。优选地，支撑架202具有多个均匀分布地支撑到旋转台上的支腿，支腿的高度可调。
优选地，通过调节支撑架202的高度并以上可伐盘206作为基准进行定位调节，使上可伐盘206与半圆形夹具101平面保持水平。
支撑架202的顶部平面固定有石英支撑环201，石英支撑环用于支撑光电倍增管的玻璃壳体的颈部。玻璃壳体205具有顶部的球形部分以及位于球形部分下端的空心柱部分，空心柱部分与球形部分的连接部分构成为所述的颈部。
如图2、4，一对半圆形夹具101，固定到旋转台的底部，与支撑架202的位置对应地设置。一对半圆形夹具101用于支撑住玻璃壳体的空心柱部分的底部以及上可伐盘206；每个半圆形夹具的底部设置有沿着圆弧形方向的导轨102。
光电倍增管腔室4，设置有MCP组件支撑筒405、传动丝杠403、导向杆402和MCP底座3。
两个传动丝杠403沿着竖直方向设置在MCP组件支撑筒405内部相对的边缘，MCP组件支撑筒支撑在两个传动丝杠403之间并可上下移动；一对导向杆402沿着竖直方向支撑MCP组件支撑筒并在其运动时提供导向。
MCP组件支撑筒的顶部设置有MCP底座3，MCP底座3包括圆盘型的加热盘301以及设置在加热盘的外周的定位圆环304，所述定位圆环与加热盘之间沿着径向设置有多个弹簧预顶组件303，顶住加热盘。加热盘303的中心设置有多个均匀分布的电极销302。
优选地，定位圆环304的边缘宽度为5mm。
优选地，电极销包括上端和下端，上端口径5mm，下端口径2.2mm，上端和下端构成总长度20mm的螺纹。
MCP组件404，位于光电倍增管腔室的上部并通过连接杆407和下可伐盘406安装到MCP底座上，其中连接杆407设置在圆筒形的MCP组件404和下可伐盘406之间。
下可伐盘406的底部设置有插针，插入到加热盘的中心设置的电极销中，电极销呈凹陷结构，使得二者形成一体，随着MCP组件一起上升，如图5B-5C，其中示例性表示了下可伐盘406与MCP底座3的结构和位置关系。
结合图4、图5A-5C，传动丝杠403通过步进电机带动而旋转并驱动MCP组件升降运动进入玻璃壳体内部，通过导向杆进行导向，两个传动丝杠和导向杆成四等分地分布在光电倍增管腔室内，使其传动上升至旋转台底部的半圆形夹具位置，并进入半圆形夹具底部的导轨102内，通过导轨作用，使得弹簧预顶组件303可向一个方向进行微调偏移，使其顺利进入半圆形夹具，最后完成上下可伐盘封接。
同时，通过MCP底座可进行加热，能够使下可伐盘与底座MCP在一定程度上自我调节偏移，从而更好地进入夹具中，结合四个弹簧预顶组件303调节MCP底座偏心度，可自动调节底座3位置与玻壳205的夹具相配合，保持精确性，实现高精度的封接。
优选地，半圆形夹具的中心位置设置有倒角103，减少摩擦。
结合图3、4，优选地，所述弹簧预顶组件303包括圆柱形主体以及与圆柱形主体连接的带有伸缩弹簧的铜质顶针305，圆柱形主体的顶部设置有突出。
如此，通过本发明的大尺寸细口径光电倍增管精准封接的装置，能够在光电阴极制作时，将玻璃球壳及MCP组件进行封接，在保证玻壳内阴极完好及真空稳定的情况下，上下可伐偏差控制精度小于2MM完成封接。
如图所示，MCP腔室4的上部设置有电离规401。
本发明的实施例中，通过夹具1的倒角103和引导用的导轨102，能自动调节对准，并对玻璃壳体底部起到定位和防护。图1A-1C中，附图标记101为定位用螺丝孔。
虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明。本发明所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作各种的更动与润饰。因此，本发明的保护范围当视权利要求书所界定者为准。

Claims (6)

1.一种用于大尺寸细口径光电倍增管精准封接的装置，其特征在于，包括：
可公转的旋转台，所述旋转台上设置支撑架，所述支撑架的顶部平面固定有石英支撑环，所述石英支撑环用于支撑光电倍增管的玻璃壳体的颈部，所述玻璃壳体具有顶部的球形部分以及位于球形部分下端的空心柱部分，空心柱部分与球形部分的连接部分构成为所述的颈部；
一对半圆形夹具，固定到所述旋转台的底部，与所述支撑架的位置对应地设置，所述一对半圆形夹具用于支撑住所述玻璃壳体的空心柱部分的底部以及上可伐盘；每个半圆形夹具的底部设置有沿着圆弧形方向的导轨；
光电倍增管腔室，设置有MCP组件支撑筒、传动丝杠、导向杆和MCP底座，其中两个传动丝杠沿着竖直方向设置在MCP组件支撑筒内部相对的边缘，MCP组件支撑筒支撑在两个传动丝杠之间并可上下移动；一对导向杆沿着竖直方向支撑MCP组件支撑筒并在其运动时提供导向；MCP组件支撑筒的顶部设置有MCP底座，MCP底座包括圆盘型的加热盘以及设置在加热盘的外周的定位圆环，所述定位圆环与加热盘之间沿着径向设置有多个弹簧预顶组件，顶住加热盘；所述加热盘的中心设置有多个均匀分布的电极销；
MCP组件，位于光电倍增管腔室的上部并通过连接杆和下可伐盘安装到MCP底座上，其中连接杆设置在圆筒形的MCP组件和下可伐盘之间，所述下可伐盘的底部设置有插针，插入到所述加热盘的中心设置的电极销中，所述电极销呈凹陷结构；
其中，所述传动丝杠通过步进电机带动而旋转并驱动MCP组件升降运动进入玻璃壳体内部，通过导向杆进行导向，两个传动丝杠和导向杆成四等分地分布在光电倍增管腔室内，使其传动上升至旋转台底部的半圆形夹具位置，并进入半圆形夹具底部的导轨内，通过导轨作用，使得所述弹簧预顶组件可向一个方向进行微调偏移，使其顺利进入半圆形夹具，最后完成上下可伐盘封接。
2.根据权利要求1所述的用于大尺寸细口径光电倍增管精准封接的装置，其特征在于，所述支撑架具有多个均匀分布地支撑到旋转台上的支腿，支腿的高度可调。
3.根据权利要求2所述的用于大尺寸细口径光电倍增管精准封接的装置，其特征在于，所述通过调节支撑架的高度并以上可伐盘作为基准进行定位调节，使上可伐盘与半圆形夹具平面保持水平。
4.根据权利要求1所述的用于大尺寸细口径光电倍增管精准封接的装置，其特征在于，所述半圆形夹具的中心位置设置有倒角。
5.根据权利要求1所述的用于大尺寸细口径光电倍增管精准封接的装置，其特征在于，所述电极销包括上端和下端，上端口径5mm，下端口径2.2mm，上端和下端构成总长度20mm的螺纹。
6.根据权利要求1所述的用于大尺寸细口径光电倍增管精准封接的装置，其特征在于，所述弹簧预顶组件包括圆柱形主体以及与圆柱形主体连接的带有伸缩弹簧的铜质顶针，圆柱形主体的顶部设置有突出。
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Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4039877A (en) * 1975-07-09 1977-08-02 International Telephone And Telegraph Corporation Image intensifier with fiber optic faceplates sealed with indium-bismuth alloy
CN1061301A (zh) * 1990-11-01 1992-05-20 三星电管株式会社 电子枪密封设备
CN2686044Y (zh) * 2004-02-27 2005-03-16 上海爱普特仪器有限公司 一种微调定位装置
CN202564168U (zh) * 2012-02-20 2012-11-28 江苏百正光电科技有限公司 用于低频无极灯生产的对接装置
CN103715034A (zh) * 2013-12-30 2014-04-09 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种光电探测器件转移制作系统及制作方法
CN106449333A (zh) * 2016-12-09 2017-02-22 北方夜视技术股份有限公司 基于阴极转移设备的大尺寸铟封盘封接方法
CN206306018U (zh) * 2016-12-06 2017-07-07 山东航天电子技术研究所 一种微通道板组件组装工装
CN107706072A (zh) * 2017-08-25 2018-02-16 北方夜视技术股份有限公司 基于阴极转移设备的光电倍增管的铟封方法及所制备的光电倍增管
WO2018058870A1 (zh) * 2016-09-28 2018-04-05 北方夜视技术股份有限公司 高量子效率的微通道板型光电倍增管、制备设备及其制备方法
CN108666189A (zh) * 2018-05-15 2018-10-16 北京中科科美科技股份有限公司 一种高温高真空环境下的多工位自动对心装置

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4039877A (en) * 1975-07-09 1977-08-02 International Telephone And Telegraph Corporation Image intensifier with fiber optic faceplates sealed with indium-bismuth alloy
CN1061301A (zh) * 1990-11-01 1992-05-20 三星电管株式会社 电子枪密封设备
CN2686044Y (zh) * 2004-02-27 2005-03-16 上海爱普特仪器有限公司 一种微调定位装置
CN202564168U (zh) * 2012-02-20 2012-11-28 江苏百正光电科技有限公司 用于低频无极灯生产的对接装置
CN103715034A (zh) * 2013-12-30 2014-04-09 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种光电探测器件转移制作系统及制作方法
WO2018058870A1 (zh) * 2016-09-28 2018-04-05 北方夜视技术股份有限公司 高量子效率的微通道板型光电倍增管、制备设备及其制备方法
CN206306018U (zh) * 2016-12-06 2017-07-07 山东航天电子技术研究所 一种微通道板组件组装工装
CN106449333A (zh) * 2016-12-09 2017-02-22 北方夜视技术股份有限公司 基于阴极转移设备的大尺寸铟封盘封接方法
CN107706072A (zh) * 2017-08-25 2018-02-16 北方夜视技术股份有限公司 基于阴极转移设备的光电倍增管的铟封方法及所制备的光电倍增管
CN108666189A (zh) * 2018-05-15 2018-10-16 北京中科科美科技股份有限公司 一种高温高真空环境下的多工位自动对心装置

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
一种大尺寸微通道板型光电倍增管;孙建宁等;《红外与激光工程》;20170425(第04期);全文 *
电真空器件的热熔铟封技术;严光等;《红外技术》;19891030(第05期);全文 *

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