CN111453708A - 一种电子级磷烷的合成与精制方法及装置 - Google Patents
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- XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N Phosphine Chemical compound P XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 136
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 83
- 238000007670 refining Methods 0.000 title claims abstract description 66
- 239000005922 Phosphane Substances 0.000 title claims abstract description 61
- 229910000064 phosphane Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 61
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 title claims abstract description 13
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims abstract description 78
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 72
- 229910000073 phosphorus hydride Inorganic materials 0.000 claims abstract description 37
- OBSZRRSYVTXPNB-UHFFFAOYSA-N tetraphosphorus Chemical compound P12P3P1P32 OBSZRRSYVTXPNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 31
- 239000012266 salt solution Substances 0.000 claims abstract description 23
- 230000035484 reaction time Effects 0.000 claims abstract description 9
- 239000003513 alkali Substances 0.000 claims abstract description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 100
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 55
- 239000004229 Alkannin Substances 0.000 claims description 42
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 39
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 36
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 31
- 239000002151 riboflavin Substances 0.000 claims description 30
- 239000004149 tartrazine Substances 0.000 claims description 30
- 239000000661 sodium alginate Substances 0.000 claims description 29
- 239000012043 crude product Substances 0.000 claims description 24
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims description 17
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 claims description 16
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 14
- 239000000047 product Substances 0.000 claims description 14
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims description 9
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims description 9
- 239000002808 molecular sieve Substances 0.000 claims description 9
- URGAHOPLAPQHLN-UHFFFAOYSA-N sodium aluminosilicate Chemical compound [Na+].[Al+3].[O-][Si]([O-])=O.[O-][Si]([O-])=O URGAHOPLAPQHLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 claims description 8
- 239000001577 tetrasodium phosphonato phosphate Substances 0.000 claims description 8
- 238000010992 reflux Methods 0.000 claims description 7
- DBMJMQXJHONAFJ-UHFFFAOYSA-M Sodium laurylsulphate Chemical compound [Na+].CCCCCCCCCCCCOS([O-])(=O)=O DBMJMQXJHONAFJ-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 5
- 235000019832 sodium triphosphate Nutrition 0.000 claims description 5
- HUAUNKAZQWMVFY-UHFFFAOYSA-M sodium;oxocalcium;hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+].[Ca]=O HUAUNKAZQWMVFY-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 5
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 claims description 4
- FQENQNTWSFEDLI-UHFFFAOYSA-J sodium diphosphate Chemical compound [Na+].[Na+].[Na+].[Na+].[O-]P([O-])(=O)OP([O-])([O-])=O FQENQNTWSFEDLI-UHFFFAOYSA-J 0.000 claims description 4
- 229940083575 sodium dodecyl sulfate Drugs 0.000 claims description 4
- GCLGEJMYGQKIIW-UHFFFAOYSA-H sodium hexametaphosphate Chemical compound [Na]OP1(=O)OP(=O)(O[Na])OP(=O)(O[Na])OP(=O)(O[Na])OP(=O)(O[Na])OP(=O)(O[Na])O1 GCLGEJMYGQKIIW-UHFFFAOYSA-H 0.000 claims description 4
- 235000019982 sodium hexametaphosphate Nutrition 0.000 claims description 4
- 235000019333 sodium laurylsulphate Nutrition 0.000 claims description 4
- 229940048086 sodium pyrophosphate Drugs 0.000 claims description 4
- 235000019818 tetrasodium diphosphate Nutrition 0.000 claims description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 2
- 150000003003 phosphines Chemical class 0.000 claims description 2
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 claims description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 41
- 239000000243 solution Substances 0.000 abstract description 13
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 11
- 239000002994 raw material Substances 0.000 abstract description 11
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 abstract description 4
- 238000007086 side reaction Methods 0.000 abstract description 4
- 238000009776 industrial production Methods 0.000 abstract description 3
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 150000003002 phosphanes Chemical class 0.000 description 7
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000009471 action Effects 0.000 description 6
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 6
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 description 3
- 150000007522 mineralic acids Chemical class 0.000 description 3
- ISIJQEHRDSCQIU-UHFFFAOYSA-N tert-butyl 2,7-diazaspiro[4.5]decane-7-carboxylate Chemical compound C1N(C(=O)OC(C)(C)C)CCCC11CNCC1 ISIJQEHRDSCQIU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000006011 Zinc phosphide Substances 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000009972 noncorrosive effect Effects 0.000 description 2
- HOKBIQDJCNTWST-UHFFFAOYSA-N phosphanylidenezinc;zinc Chemical compound [Zn].[Zn]=P.[Zn]=P HOKBIQDJCNTWST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 229940048462 zinc phosphide Drugs 0.000 description 2
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 description 1
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000005008 domestic process Methods 0.000 description 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 1
- 238000003912 environmental pollution Methods 0.000 description 1
- 235000013305 food Nutrition 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-ZSJDYOACSA-N heavy water Substances [2H]O[2H] XLYOFNOQVPJJNP-ZSJDYOACSA-N 0.000 description 1
- 230000008676 import Effects 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K phosphate Chemical compound [O-]P([O-])([O-])=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 description 1
- OJMIONKXNSYLSR-UHFFFAOYSA-N phosphorous acid Chemical compound OP(O)O OJMIONKXNSYLSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 238000001308 synthesis method Methods 0.000 description 1
- 239000002341 toxic gas Substances 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
- NWONKYPBYAMBJT-UHFFFAOYSA-L zinc sulfate Chemical compound [Zn+2].[O-]S([O-])(=O)=O NWONKYPBYAMBJT-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229960001763 zinc sulfate Drugs 0.000 description 1
- 229910000368 zinc sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
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- C01B25/06—Hydrogen phosphides
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/002—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by condensation
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- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/02—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography
- B01D53/04—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography with stationary adsorbents
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J19/18—Stationary reactors having moving elements inside
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
- C01P2006/00—Physical properties of inorganic compounds
- C01P2006/80—Compositional purity
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Abstract
本发明涉及一种电子级磷烷的合成与精制方法及装置。本发明通过优化反应过程中反应温度、反应时间、碱液浓度等条件,使反应过程磷烷的收率可达15‑35%,副反应产生的盐溶液可以进一步制备成盐产品,提高经济性和生产过程的绿色化程度。然后通过低温双效精馏工艺对反应得到的磷烷进行精制,可得到纯度≥99.99999%的电子级磷烷,精制过程磷烷收率≥95%,与传统工艺相比,低温双效精馏工艺节能≥30%。该方法采用氢氧化钠溶液和黄磷反应,原料成本低、生产过程无腐蚀性、无污染,制备的磷烷和盐溶液可进一步加工成产品。该方法流程简单,易于实现磷烷的稳定工业化生产。
Description
技术领域
本发明涉及一种电子级气体的制备方法,具体涉及一种电子级磷烷的合成与精制方法及装置。
背景技术
磷烷(PH3)室温时是无色剧毒气体,广泛应用于半导体、太阳能电池、粮食熏蒸等领域。磷烷(PH3)作为半导体制造中的重要N型掺杂源,同时用于离子注入工艺、外延GAP材料和多晶硅化学气相沉积,是重要的电子特气。磷烷的合成方法主要有化学法、电解法和微波法,但无论哪种合成工艺都会产生不必要的杂质,无法直接用于电子、航空、军工等领域。目前磷烷主要纯化方法主要有分子筛吸附法、低温精馏法以及膜分离法等,但无论哪种方法,磷烷生产工艺较为复杂且成本较高,目前的工艺生产出的产品质量较差,尤其在高纯磷烷的方面,国内还依赖于从国外进口。
中国专利CN201210522061.5提出了磷化氢的制备方法,该方法先将黄磷和碳数为1-5的低碳醇加入反应器中,再加入氢氧化钠溶液,反应完毕后加入无机酸,然后加入碳数为1-5的低碳醇继续反应得到磷酸和亚磷酸的混合酸,最后将混合酸在200-250℃温度条件下电解制得磷化氢。该方法的本质是使用黄磷、氢氧化钠和无机酸制备磷酸和亚磷酸,然后再高温电解制备磷烷,使用无机酸造成环境污染,磷酸、亚磷酸高温电解对设备腐蚀严重,电解产生的磷酸盐、亚磷酸盐难以处理。
中国专利CN201510336886.1提出了一种电子级磷烷的合成与提纯装置和方法,该方法采用硫酸和磷化锌反应制备磷烷,并通过精馏脱轻,多级吸附脱杂质的方法制备6N的磷烷产品。然而,该反应采用电子级的硫酸和高纯度的磷化锌反应,对原料要求高;由于硫酸的高腐蚀性对反应器及后续设备材质要求较高,容易发生腐蚀泄露,采用硫酸亦不利于保护环境;该反应制备磷烷的同时得到硫酸锌盐溶液难以处理。该方法精馏脱轻过程精馏塔操作压力较高,对设备材质要求高;而过度依靠吸附脱杂,对吸附剂要求高,同时大大增加了生产成本。
中国专利CN201810909843.1提出了一种电子级磷烷的提纯系统和处理方法,该方法利用纯度98%wt的磷烷为原料,采用喷淋吸收工艺脱除原料气中的H2S和CO2,采用高压吸附工艺脱除部分杂质后进入精馏塔脱轻脱重。然而,该工艺路线复杂,通过喷淋吸收后的原料气含有大量的水,该工艺采用分子筛将水含量脱至1ppm,对分子筛要求高,且成本大;而该工艺后续精馏部分采用高压、理论板数、高回流比的精制方法,不仅对设备要求较高,而且能耗高,大大增加了生产成本。
发明内容
根据现有技术的问题,本发明提出了一种电子级磷烷的合成与精制方法及装置。本发明以氢氧化钠和黄磷为原料反应合成磷烷,主要反应如下:
P4+4OH-+2H2O→2HPO3 2-+2PH3 (a)
P4+4OH-+4H2O→4H2PO2 -+H2 (b)
H2PO2 -+OH-→HPO3 2-+H2 (c)
P4+3OH-+3H2O→3H2PO2 -+PH3 (d)
本发明通过优化反应过程中反应温度、反应时间、碱液浓度和黄磷的分散程度等工艺条件,使反应过程磷烷的收率可达15-35%,副反应产生的盐溶液可以进一步制备成盐产品,提高经济性和生产过程的绿色化程度。反应得到的初级产品气体通过低温双效精馏工艺进行精制,可得到纯度≥99.99999%的电子级磷烷,精制过程磷烷收率≥95%,与传统工艺相比,低温双效精馏工艺节能≥30%。本发明采用氢氧化钠溶液和黄磷反应,原料成本低,生产过程无腐蚀性、无污染,制备的磷烷和盐溶液可进一步加工成产品。该方法流程简单,易于实现磷烷的稳定工业化生产。
本发明采用如下的技术方案来实现:
一种电子级磷烷的合成与精制方法;包括如下步骤:
(1)氢氧化钠和黄磷在压力0.12~0.3MPa、温度60~90℃条件下进行反应,反应时间1~5h;得到磷烷粗品气;反应过程中加入分散剂促进反应进行;
(2)将磷烷粗品气在-80~40℃条件下冷凝除水后进行收集,收集温度-160~-100℃,得到除水磷烷粗品;
(3)将步骤(2)收集后的除水磷烷粗品升温至0~50℃压气去脱重处理,脱重操作压力0.35-0.8MPa,操作温度-65~-35℃;然后将脱重后的物料进行吸附;
(4)经吸附处理后的物料在压力0.15-0.7MPa、温度-80~-40℃操作条件下进行精制,得到纯度≥99.99999的电子级磷烷产品。
所述步骤(1)氢氧化钠与黄磷的质量比优选为1~2∶1。
所述步骤(1)的分散剂与黄磷的质量比优选为0~0.001∶1。
所述分散剂优选为三聚磷酸钠、六偏磷酸钠、焦磷酸钠或者十二烷基硫酸钠中的一种或多种。
所述步骤(3)吸附用的吸附剂优选为碱石灰、活性炭、分子筛中的一种或多种组合。
本发明的一种电子级磷烷的合成与精制装置,包括反应釜R101、一级除水冷凝器E101、二级除水冷凝器E102、收集冷阱E103、脱重塔T201、吸附塔C201、脱轻塔T301、换热器E401、精制塔T401;反应釜R101设有上部设有黄磷进口、碱液及分散剂进口,顶部设有反应气出口、底部设有盐溶液出口,其中反应气出口连接一级除水冷凝器E101,盐溶液出口采出盐溶液;一级除水冷凝器E101设有物料进口、物料出口,其中物料进口连接反应器R101,物料出口连接二级除水冷凝器E102;二级除水冷凝器E102设有物料进口、物料出口,其中物料进口连接一级除水冷凝器E101,物料出口连接收集冷阱E103;收集冷阱E103中部设有物料进口、压气出口,顶部设有不凝气出口,其中物料进口连接二级除水冷凝器E102,不凝气出口采出不凝气,压气出口连接脱重塔T201;脱重塔T201中部设有物料进口,顶部设有塔顶采出口,底部设有塔釜采出口,其中物料进口连接收集冷阱E103,塔顶采出口连接吸附塔C201,塔釜采出口采出重杂质;吸附塔C201顶部设有物料进口,底部设有物料出口,其中物料进口连接脱重塔T201,物料出口连接脱轻塔T301;脱轻塔T301中部设有物料进口,上部设有回流口,顶部设有塔顶采出口,底部设有塔釜采出口,其中物料进口连接吸附塔C201,回流口连接换热器E401,塔顶采出口分两路,一路采出粮食用磷烷,一路连接换热器E401;塔釜采出口连接精制塔T401;换热器E401设有脱轻塔T301塔顶物料进口、脱轻塔T301塔顶物料出口、精制塔T401塔釜物料进口、精制塔T401塔釜物料出口,其中脱轻塔T301塔顶物料进口、脱轻塔T301塔顶物料出口连接脱轻塔T301,精制塔T401塔釜物料进口、精制塔T401塔釜物料出口连接精制塔T401;精制塔T401中部设有物料进口,顶部设有塔顶采出口,下部设有物料返回口,底部设有塔釜采出口,其中物料进口连接脱轻塔T301,塔顶采出口采出电子级磷烷,物料返回口连接换热器E401,塔釜采出口分两路,一路连接换热器E401,一路采出重组分。
利用本发明的装置合成与精制电子级磷烷的方法:
反应釜R101反应压力0.12~0.3MPa,反应温度60~90℃。
一级除水冷凝器E101除水温度0~40℃;二级除水冷凝器E102除水温度-80~-40℃;收集冷阱E103收集温度-160~-100℃;收集冷阱E103压气温度0~50℃。
脱重塔T201操作压力0.35~0.8MPa,操作温度-65~-35℃;脱轻塔T301操作压力0.25~0.7MPa,操作温度-70~-40℃;精制塔T401操作压力0.15~0.6MPa、操作温度-80~-50℃。
脱轻塔T301塔顶温度较精制塔T401塔底温度≥10℃。
具体说明如下:
(1)先向反应釜R101中加入黄磷,然后逐渐加入氢氧化钠溶液和分散剂,黄磷和氢氧化钠溶液在反应釜R101中充分反应得到磷烷粗品气(含氮气、氢气、H2S、CO2、H2O等杂质),磷烷粗品气采出至一级除水冷凝器E101,反应生成的盐溶液进入后续盐溶液处理工序。
所述的反应釜R101反应压力0.12~0.3MPa,反应温度60~90℃,反应时间1~5h。
所述的氢氧化钠与黄磷的质量比为1~2:1。
所述的分散剂与黄磷的质量比为0~0.001:1。
所述的分散剂为三聚磷酸钠、六偏磷酸钠、焦磷酸钠或者十二烷基硫酸钠中的一种或多种。
(2)经一级除水冷凝器E101除水后的磷烷粗品气进入二级除水冷凝器E102深度脱水,经二级除水冷凝器E102作用后的磷烷粗品气进入收集冷阱E103;
所述的一级除水冷凝器E101除水温度0~40℃。
所述的二级除水冷凝器E102除水温度-80~-40℃。
(3)经收集冷阱E103作用后,未被收集的不凝气采出至后续尾气处理后,收集冷阱E103加热将收集的除水磷烷粗品压气至脱重塔T201。
所述的收集冷阱E103收集温度-160~-100℃。
所述的收集冷阱E103压气温度0~50℃。
(4)脱重塔T201塔顶采出进入吸附塔C201,塔釜采出重杂质。吸附塔C201采出进入脱轻塔T301。脱轻塔T301塔顶采出一路进入换热器E401换热,一路采出粮食用磷烷,塔釜采出进入精制塔T401。精制塔T401塔顶采出纯度≥99.99999%电子级磷烷,塔釜一路进入换热器E401换热,一路采出重组分。
所述的脱重塔T201操作压力0.35~0.8MPa,操作温度-65~-35℃。
所述的吸附塔C201填装吸附剂为碱石灰、活性炭、分子筛中的一种或多种组合。
所述的脱轻塔T301操作压力0.25~0.7MPa,操作温度-70~-40℃。
所述的精制塔T401操作压力0.15~0.6MPa,操作温度-80~-50℃。
所述的脱轻塔T301塔顶温度较精制塔T401塔底温度≥10℃。
本发明的有益成果是:
1、采用氢氧化钠溶液和黄磷反应,原料成本低。
2、反应过程中的反应温度温和,原料及反应产物均对设备无腐蚀性,对设备材质要求低。
3、反应过程磷烷收率可达15-35%,同时副反应产生的盐溶液可以进一步制备成盐产品,大大降低了生产成本。
4、反应原料无污染,反应过程无废弃物产生,实现整个反应过程清洁化。
5、低温双效精馏工艺对反应得到的磷烷进行精制,可得到纯度≥99.99999%的电子级磷烷,精制过程磷烷收率≥95%,与传统工艺相比,低温双效精馏工艺节能≥30%。
附图说明
图1:一种电子级磷烷的合成与精制方法及装置示意图:
R101:反应釜,E101:一级除水冷凝器,E102:二级除水冷凝器,E103:收集冷阱,T201:脱重塔,C201:吸附塔,T301:脱轻塔,E401:换热器,T401:精制塔
具体实施方式
本发明的一种电子级磷烷的合成与精制方法及装置,采用氢氧化钠溶液和黄磷反应,原料成本低,生产过程无腐蚀性、对设备材质要求低。反应过程磷烷收率可达15-35%,副反应产生的盐溶液可以进一步制备成盐产品,提高经济性和生产过程的绿色化程度。反应得到的初级产品气体通过低温双效精馏工艺进行精制,可得到纯度≥99.99999%的电子级磷烷,精制过程磷烷收率≥95%,与传统工艺相比,低温双效精馏工艺节能≥30%。该方法流程简单,易于实现磷烷的稳定工业化生产。
如图1所示,一种电子级磷烷的合成与精制装置:包括反应釜R101、一级除水冷凝器E101、二级除水冷凝器E102、收集冷阱E103、脱重塔T201、吸附塔C201、脱轻塔T301、换热器E401和精制塔T401。反应釜R101设有上部设有黄磷、碱液及分散剂进口,顶部设有粗品气出口、底部设有盐溶液出口,其中粗品气出口连接一级除水冷凝器E101。一级除水冷凝器E101设有物料进口、物料出口,其中物料进口连接反应器R101,物料出口连接二级除水冷凝器E102。二级除水冷凝器E102设有物料进口、物料出口,其中物料进口连接一级除水冷凝器E101,物料出口连接收集冷阱E103。收集冷阱E103中部设有物料进口、压气出口,顶部设有不凝气出口,其中物料进口连接二级除水冷凝器E102,不凝气出口采出不凝气,压气出口连接脱重塔T201。脱重塔T201中部设有物料进口,顶部设有塔顶采出口,底部设有塔釜采出口,其中物料进口连接收集冷阱E103,塔顶采出口连接吸附塔C201,塔釜采出口采出重杂质。吸附塔C201顶部设有物料进口,底部设有物料出口,其中物料进口连接脱重塔T201,物料出口连接脱轻塔T301。脱轻塔T301中部设有物料进口,上部设有回流口,顶部设有塔顶采出口,底部设有塔釜采出口,其中物料进口连接吸附塔C201,回流口连接换热器E401,塔顶采出口分两路,一路采出粮食用磷烷,一路连接换热器E401;塔釜采出口连接精制塔T401。换热器E401设有脱轻塔T301塔顶物料进口、脱轻塔T301塔顶物料出口、精制塔T401塔釜物料进口、精制塔T401塔釜物料出口,其中脱轻塔T301塔顶物料进口、脱轻塔T301塔顶物料出口连接脱轻塔T301,T401塔釜物料进口、T401塔釜物料出口连接精制塔T401。精制塔T401中部设有物料进口,顶部设有塔顶采出口,下部设有物料返回口,底部设有塔釜采出口,其中物料进口连接脱轻塔T301,塔顶采出口采出电子级磷烷,物料返回口连接换热器E401,塔釜采出口分两路,一路连接换热器E401,一路采出重组分。
具体实施方式如下:
(1)先向反应釜R101中加入黄磷,然后逐渐加入氢氧化钠溶液和分散剂,黄磷和氢氧化钠溶液在反应釜R101中充分反应得到粗品气(含氮气、氢气、H2S、CO2、H2O等杂质),磷烷粗品气采出至一级除水冷凝器E101,反应生成的盐溶液进入后续盐溶液处理工序。
所述的反应釜R101反应压力0.12~0.3MPa,反应温度60~90℃,反应时间1~5h。
所述的氢氧化钠与黄磷的质量比为1~2:1。
所述的分散剂与黄磷的质量比为0~0.001:1。
所述的分散剂为三聚磷酸钠、六偏磷酸钠、焦磷酸钠或者十二烷基硫酸钠中的一种或多种。
(2)经一级除水冷凝器E101除水后的磷烷粗品气进入二级除水冷凝器E102深度脱水,经二级除水冷凝器E102作用后的磷烷粗品气进入收集冷阱E103;
所述的一级除水冷凝器E101除水温度0~40℃。
所述的二级除水冷凝器E102除水温度-80~-40℃。
(3)经收集冷阱E103作用后,未被收集的不凝气采出至后续尾气处理后,收集冷阱E103加热将收集的磷烷粗品压气至脱重塔T201。
所述的收集冷阱E103收集温度-160~-100℃。
所述的收集冷阱E103压气温度0~50℃。
(4)脱重塔T201塔顶采出进入吸附塔C201,塔釜采出重杂质。吸附塔C201采出进入脱轻塔T301。脱轻塔T301塔顶采出一路进入换热器E401换热,一路采出粮食用磷烷,塔釜采出进入精制塔T401。精制塔T401塔顶采出纯度≥99.99999%电子级磷烷,塔釜一路进入换热器E401换热,一路采出重组分。
所述的脱重塔T201操作压力0.35~0.8MPa,操作温度-65~-35℃。
所述的吸附塔C201填装吸附剂为碱石灰、活性炭、分子筛中的一种或多种组合。
所述的脱轻塔T301操作压力0.25~0.7MPa,操作温度-70~-40℃。
所述的精制塔T401操作压力0.15~0.6MPa,操作温度-80~-50℃。
所述的脱轻塔T301塔顶温度较精制塔T401塔底温度≥10℃。
实施例1
下面结合附图1及具体实施方式对本发明作进一步说明。
先向反应釜R101中加入3000g黄磷并保持反应釜温度80℃,将3g三聚磷酸钠和由3000g氢氧化钠配制的40%的氢氧化钠溶液搅拌均匀后逐渐加入反应釜中,黄磷与氢氧化钠发生反应生成磷烷,维持反应釜R101压力0.3MPa并将生成的磷烷粗品气采出。反应时间1h后不再产生气体,反应达到终点。
磷烷粗品气采出至一级除水冷凝器E101,反应生成的盐溶液进入后续盐溶液处理工序。一级除水冷凝器E101除水温度40℃,经一级除水冷凝器E101除水后的粗品气进入二级除水冷凝器E102深度脱水,二级除水冷凝器E102除水温度-40℃,经二级除水冷凝器E102作用后的磷烷粗品气进入收集冷阱E103。收集冷阱E103收集温度-100℃,经收集冷阱E103作用后,得到450g除水磷烷粗品,未被收集的不凝气采出至后续尾气处理后,收集冷阱E103压气温度50℃,收集冷阱E103加热将收集的除水磷烷粗品压气至脱重塔T201。
脱重塔T201操作压力0.8MPa,操作温度-35℃,脱重塔T201塔顶采出进入吸附塔C201,塔釜采出重杂质。吸附塔C201填装活性炭吸附剂,吸附塔C201采出进入脱轻塔T301。脱轻塔T301操作压力0.7MPa,操作温度-40℃。脱轻塔T301塔顶一路进入换热器E401换热,一路采出粮食用磷烷,塔釜采出进入精制塔T401。精制塔T401操作压力0.6MPa,操作温度-50℃。精制塔T401塔顶采出电子级磷烷,塔釜一路进入换热器E401换热,一路采出重组分。
所述的精制过程可得到纯度99.99999%的电子级磷烷产品427.5g,与传统工艺相比可节能30%。
实施例2
先向反应釜R101中加入2000g黄磷并保持反应釜温度90℃,然后逐渐加入由3000g氢氧化钠配制的40%的氢氧化钠溶液,不加入分散剂。黄磷与氢氧化钠发生反应生成磷烷,维持反应釜R101压力0.12MPa并将生成的磷烷粗品气采出。反应时间2h后不再产生气体,反应达到终点。
磷烷粗品气采出至一级除水冷凝器E101,反应生成的盐溶液进入后续盐溶液处理工序。一级除水冷凝器E101除水温度20℃,经一级除水冷凝器E101除水后的磷烷粗品气进入二级除水冷凝器E102深度脱水,二级除水冷凝器E102除水温度-70℃,经二级除水冷凝器E102作用后的磷烷粗品气进入收集冷阱E103。收集冷阱E103收集温度-130℃,经收集冷阱E103作用后,得到除水磷烷粗品420g,未被收集的不凝气采出至后续尾气处理后,收集冷阱E103压气温度25℃,收集冷阱E103加热将收集的除水磷烷粗品压气至脱重塔T201。
脱重塔T201操作压力0.5MPa,操作温度-50℃,脱重塔T201塔顶采出进入吸附塔C201,塔釜采出重杂质。吸附塔C201填装碱石灰、活性炭、分子筛组合吸附剂,吸附塔C201采出进入脱轻塔T301。脱轻塔T301操作压力0.4MPa,操作温度-55℃。脱轻塔T301塔顶一路进入换热器E401换热,一路采出粮食用磷烷,塔釜采出进入精制塔T401。精制塔T401操作压力0.3MPa,操作温度-65℃。精制塔T401塔顶采出电子级磷烷,塔釜一路进入换热器E401换热,一路采出重组分。
所述的精制过程可得到纯度99.999995%的电子级磷烷产品403.2g,与传统工艺相比可节能35%
实施例3
先向反应釜R101中加入2000g黄磷并保持反应釜温度60℃,将2g十二烷基磺酸钠和由4000g氢氧化钠配制的40%的氢氧化钠溶液搅拌均匀后逐渐加入反应釜中。黄磷与氢氧化钠发生反应生成磷烷,维持反应釜R101压力0.2MPa并将生成的磷烷粗气品采出。反应时间5h后不再产生气体,反应达到终点。
磷烷粗品气采出至一级除水冷凝器E101,反应生成的盐溶液进入后续盐溶液处理工序。一级除水冷凝器E101除水温度0℃,经一级除水冷凝器E101除水后的磷烷粗品气进入二级除水冷凝器E102深度脱水,二级除水冷凝器E102除水温度-80℃,经二级除水冷凝器E102作用后的磷烷粗品气进入收集冷阱E103。收集冷阱E103收集温度-160℃,经收集冷阱E103作用后,得到除水磷烷粗品700g,未被收集的不凝气采出至后续尾气处理后,收集冷阱E103压气温度0℃,收集冷阱E103加热将收集的除水磷烷粗品压气至脱重塔T201。
脱重塔T201操作压力0.35MPa,操作温度-65℃,脱重塔T201塔顶采出进入吸附塔C201,塔釜采出重杂质。吸附塔C201填装活性炭、分子筛组合吸附剂,吸附塔C201采出进入脱轻塔T301。脱轻塔T301操作压力0.25MPa,操作温度-70℃。脱轻塔T301塔顶一路进入换热器E401换热,一路采出粮食用磷烷,塔釜采出进入精制塔T401。精制塔T401操作压力0.15MPa,操作温度-80℃。精制塔T401塔顶采出电子级磷烷,塔釜一路进入换热器E401换热,一路采出重组分。
所述的精制过程可得到纯度≥99.99999%的电子级磷烷产品665g,与传统工艺相比可节能32%
本发明公开和提出的技术方案,本领域技术人员可通过借鉴本文内容,适当改变条件路线等环节实现,尽管本发明的方法和制备技术已通过较佳实施例子进行了描述,相关技术人员明显能在不脱离本发明内容、精神和范围内对本文所述的方法和技术路线进行改动或重新组合,来实现最终的制备技术。特别需要指出的是,所有相类似的替换和改动对本领域技术人员来说是显而易见的,他们都被视为包括在本发明精神、范围和内容中。
Claims (10)
1.一种电子级磷烷的合成与精制方法;其特征是包括如下步骤:
(1)氢氧化钠和黄磷在压力0.12~0.3MPa、温度60~90℃条件下进行反应,反应时间1~5h;得到磷烷粗品气;反应过程中加入分散剂促进反应进行;
(2)将磷烷粗品气在-80~40℃条件下冷凝除水后进行收集,收集温度-160~-100℃,得到除水磷烷粗品;
(3)将步骤(2)收集后的除水磷烷粗品升温至0~50℃压气去脱重处理,脱重操作压力0.35-0.8MPa,操作温度-65~-35℃;然后将脱重后的物料进行吸附;
(4)经吸附处理后的物料在压力0.15-0.7MPa、温度-80~-40℃操作条件下进行精制,得到纯度≥99.99999的电子级磷烷产品。
2.如权利要求1所述的方法,其特征是所述步骤(1)氢氧化钠与黄磷的质量比为1~2:1。
3.如权利要求1所述的方法,其特征是所述步骤(1)的分散剂与黄磷的质量比为0~0.001:1。
4.如权利要求3所述的方法,其特征是所述分散剂为三聚磷酸钠、六偏磷酸钠、焦磷酸钠或者十二烷基硫酸钠中的一种或多种。
5.如权利要求1所述的方法,其特征是所述步骤(3)吸附用的吸附剂为碱石灰、活性炭、分子筛中的一种或多种组合。
6.一种电子级磷烷的合成与精制装置,其特征是包括反应釜R101、一级除水冷凝器E101、二级除水冷凝器E102、收集冷阱E103、脱重塔T201、吸附塔C201、脱轻塔T301、换热器E401、精制塔T401;反应釜R101设有上部设有黄磷进口、碱液及分散剂进口,顶部设有反应气出口、底部设有盐溶液出口,其中反应气出口连接一级除水冷凝器E101,盐溶液出口采出盐溶液;一级除水冷凝器E101设有物料进口、物料出口,其中物料进口连接反应器R101,物料出口连接二级除水冷凝器E102;二级除水冷凝器E102设有物料进口、物料出口,其中物料进口连接一级除水冷凝器E101,物料出口连接收集冷阱E103;收集冷阱E103中部设有物料进口、压气出口,顶部设有不凝气出口,其中物料进口连接二级除水冷凝器E102,不凝气出口采出不凝气,压气出口连接脱重塔T201;脱重塔T201中部设有物料进口,顶部设有塔顶采出口,底部设有塔釜采出口,其中物料进口连接收集冷阱E103,塔顶采出口连接吸附塔C201,塔釜采出口采出重杂质;吸附塔C201顶部设有物料进口,底部设有物料出口,其中物料进口连接脱重塔T201,物料出口连接脱轻塔T301;脱轻塔T301中部设有物料进口,上部设有回流口,顶部设有塔顶采出口,底部设有塔釜采出口,其中物料进口连接吸附塔C201,回流口连接换热器E401,塔顶采出口分两路,一路采出粮食用磷烷,一路连接换热器E401;塔釜采出口连接精制塔T401;换热器E401设有脱轻塔T301塔顶物料进口、脱轻塔T301塔顶物料出口、精制塔T401塔釜物料进口、精制塔T401塔釜物料出口,其中脱轻塔T301塔顶物料进口、脱轻塔T301塔顶物料出口连接脱轻塔T301,精制塔T401塔釜物料进口、精制塔T401塔釜物料出口连接精制塔T401;精制塔T401中部设有物料进口,顶部设有塔顶采出口,下部设有物料返回口,底部设有塔釜采出口,其中物料进口连接脱轻塔T301,塔顶采出口采出电子级磷烷,物料返回口连接换热器E401,塔釜采出口分两路,一路连接换热器E401,一路采出重组分。
7.如权利要求6所述的装置,其特征是反应釜R101反应温度反应压力0.12~0.3MPa,60~90℃。
8.如权利要求6所述的装置,其特征是一级除水冷凝器E101除水温度0~40℃;二级除水冷凝器E102除水温度-80~-40℃;收集冷阱E103收集温度-160~-100℃;收集冷阱E103压气温度0~50℃。
9.如权利要求6所述的装置,其特征是脱重塔T201操作压力0.35~0.8MPa,操作温度-65~-35℃;脱轻塔T301操作压力0.25~0.7MPa,操作温度-70~-40℃;精制塔T401操作压力0.15~0.6MPa、操作温度-80~-50℃。
10.如权利要求6所述的装置,其特征是脱轻塔T301塔顶温度较精制塔T401塔底温度≥10℃。
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---|---|
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Family
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