CN111441945B - 真空泵 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种以更低的负载来驱动的真空泵。在真空泵中，壳体具有吸气口、排气口和供油口。转子机构具有：转子主体；多个叶片构件，其由于转子主体的旋转而从上述转子主体的外周面向上述壳体的内周面突出，一边与内周面滑动接触一边绕轴心旋转。排气口具有：多个第一凹部，其从内周面深挖到壳体内，在中心轴的方向上排列成列状；至少一个第二凹部，其在内周面在中心轴的方向上与第一凹部并排，与邻接的第一凹部连通；以及孔部，其从多个第一凹部的每一个贯通至壳体外。通过转子主体和多个叶片构件的旋转，气体经由吸气口被抽吸到壳体内，气体与经由供油口供给到壳体内的润滑油一起经由排气口被排出到壳体外。

Description

真空泵

技术领域

本发明涉及一种油回转式真空泵。

背景技术

作为典型的真空泵，有叶片式真空泵。该真空泵具有转子、收容转子的壳体、使转子旋转的轴、以及与壳体的内周面滑动接触的多个叶片构件。这样的叶片构件通过转子的旋转而在壳体的内周面滑动，由此气体(例如，空气、水蒸气等)经由形成于壳体的吸入口被抽吸到壳体内，被抽吸了的气体经由排出口排出到壳体外。

在此，叶片构件在壳体内通过润滑油被润滑。因此，抽吸到壳体内的气体与供给到壳体内的润滑油一起从排气口排出。但是，当在排气部附近存在的润滑油的移动有被阻碍的情况时，叶片构件在排气口附近受到压缩润滑油的负载。因此，有时在内周面在排出口的近前形成用于对叶片构件受到来自润滑油的负载进行减轻的凹部(浅沟)(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2000-073975号公报。

发明要解决的课题

然而，由于该凹部与排气口形成为一体，所以在未配置排气口的转子的前头部或者后头部没有润滑油的流出处。因此，存在如下情况：在该真空泵中，在气体排出时叶片构件受到来自润滑油的负载。

发明内容

鉴于以上的情况，本发明的目的在于提供一种能够以更低的负载进行驱动的真空泵。

用于解决课题的方案

为了实现上述目的，本发明的一个方式的真空泵具有壳体和转子机构。

上述壳体为筒状，具有吸气口、排气口和供油口。

上述转子机构被收容在上述壳体内。上述转子机构具有：转子主体，其绕着相对于上述壳体的中心轴偏心的轴心进行旋转；以及多个叶片构件，其通过上述转子主体的旋转而从上述转子主体的外周面向上述壳体的内周面突出，一边与上述内周面滑动接触一边绕着上述轴心进行旋转。

上述排气口具有：多个第一凹部，其从上述内周面深挖到上述壳体内，在上述中心轴的方向上排列成列状；至少一个第二凹部，其在上述内周面在上述中心轴的方向上与上述第一凹部并排，与邻接的上述第一凹部连通；以及孔部，其从上述多个第一凹部的每一个贯通至上述壳体外。

通过上述转子主体和上述多个叶片构件的旋转，气体经由上述吸气口被抽吸到上述壳体内，上述气体与经由上述供油口供给到上述壳体内的润滑油一起经由上述排气口被排出到上述壳体外。

根据这样的真空泵，排气口具有：多个第一凹部，其在中心轴的方向上排列成列状；至少一个第二凹部，其在内周面在中心轴的方向上与第一凹部并排，与邻接的第一凹部连通；以及孔部，其从多个第一凹部的每一个贯通至壳体外。由此，壳体内的润滑油能够高效地经由排气口排出到真空泵外，能够以更低的负载驱动真空泵。

在上述真空泵中，上述第二凹部可以经由设置在上述壳体内的连通通道和连通于上述连通通道的上述孔部而与上述第一凹部连通。

根据这样的真空泵，由于第二凹部经由设置在壳体内的连通通道和连通于连通通道的孔部而与第一凹部连通，所以壳体内的润滑油能够高效地被排出到真空泵外，能够以更低的负载驱动真空泵。

在上述真空泵中，第二凹部经由设置在内周面的沟与第一凹部连通。

根据这样的真空泵，壳体内的润滑油能够高效地被排出到真空泵外，能够以更低的负载驱动真空泵。

在上述真空泵中，还可以具有封闭上述孔部的开放端的止回阀。上述止回阀可以被从上述壳体向上方延伸的壁部包围。

根据这样的真空泵，能够在壁部的上端面附设其他的壳体、盖等。

在上述真空泵中，可以由配置有上述开放端的区域的上述壳体的外表面和上述壁部来构成收容上述止回阀的槽，上述止回阀被填充在上述槽的油层覆盖。

根据这样的真空泵，能够抑制气体从止回阀向排气口倒流，能够可靠地排出气体。

在上述真空泵中，上述槽可以被盖部封闭，在上述壁部可以设置有将存在于由上述槽和上述盖部围成的空间中的气体排出的贯通孔，上述空间的压力可以维持在大气压以下。

根据这样的真空泵，从排气口排出的气体的排气效率能够增高，能够进一步降低吸气口的压力。

为了实现上述目的，本发明的一个方式的真空泵具有壳体和转子机构。

上述壳体为筒状，具有吸气口、排气口和供油口。

上述转子机构收容在上述壳体内。上述转子机构具有：转子主体，其绕着相对于上述壳体的中心轴偏心的轴心进行旋转；以及多个叶片构件，其通过上述转子主体的旋转而从上述转子主体的外周面向上述壳体的内周面突出，一边与上述内周面滑动接触一边绕着上述轴心进行旋转。

上述排气口具有：多个第一凹部，其从上述内周面深挖到上述壳体内，在上述中心轴的方向上排列成列状；以及孔部，其从上述多个第一凹部的每一个贯通至上述壳体外。

在上述内周面还设置有在上述中心轴的方向上与上述第一凹部并排的至少一个第二凹部。

通过上述转子主体和上述多个叶片构件的旋转，气体经由上述吸气口被抽吸到上述壳体内，上述气体与经由上述供油口供给到上述壳体内的润滑油一起经由上述排气口被排出到上述壳体外。

根据这样的真空泵，排气口具有：多个第一凹部，在中心轴的方向上排列成列状；孔部，其从多个第一凹部的每一个贯通至壳体外；以及至少一个第二凹部，其在内周面在中心轴的方向上与第一凹部并排。由此，壳体内的润滑油能够经由排气口高效地排出到真空泵外，并且润滑油能够流出到第二凹部，能够以更低的负载驱动真空泵。

发明效果

如上所述，根据本发明，提供一种能够以更低的负载进行驱动的真空泵。

附图说明

图1是本实施方式的真空泵的示意剖视图。

图2是本实施方式的真空泵的示意俯视图。

图3是表示沿图1、图2的A1-A2线的剖面的示意图。

图4是说明比较例的真空泵的动作的示意剖视图。

图5是说明本实施方式的真空泵的动作的示意剖视图。

图6是本实施方式的变形例1的真空泵的示意剖视图。

图7的(a)是本实施方式的变形例2的真空泵的示意俯视图。

图7的(b)是本实施方式的变形例2的真空泵的示意剖视图。

图8是从壳体的内周面观察本实施方式的变形例2的真空泵的排气口的示意图。

图9是从壳体的内周面观察本实施方式的变形例3的真空泵的排气口的示意图。

图10是本实施方式的变形例4的真空泵的示意侧视图。

具体实施方式

下面，一边参照附图一边说明本发明的实施方式。在各附图中，有时引入XYZ轴坐标。另外，对相同的构件或具有相同功能的构件标注相同的标记，说明了该构件，在下文中有时酌情地省略说明。

图1是本实施方式的真空泵的示意剖视图。图2是本实施方式的真空泵的示意俯视图。图3是表示沿着图1、图2的A1-A2线的剖面的示意图。在图1、图2中，未示出图3所示的叶片构件23。另外，在图3中示出了收容真空泵1的收容外壳90的下侧的一部分和润滑油91，但在图1中未示出收容外壳90和润滑油91。另外，图1的壳体10的Z轴上方的剖面不是图2的中心部剖面，而是表示在X轴方向上的排气口130A的剖面。

图1、图2所例示的真空泵1是叶片式真空泵。真空泵1具有壳体10、转子机构20、止回阀30、电动机机构40、轴承构件50、正面侧的法兰盘60、以及背面侧的法兰盘61。

壳体10是内部的空洞101沿单轴方向延伸的筒体。在图中，将该单轴方向设为X轴方向。在将壳体10沿着相对于空洞101的中心轴102正交的方向进行切割的情况下，壳体10的内周面110描绘出例如圆形形状的曲面。

另外，在壳体10中，在壳体10的上部设置有吸气口120和排气口130，在壳体10的下部设置有供油口140。在真空泵1动作期间，吸气口120的压力低于排气口130的压力。例如，壳体10内部侧的吸气口120的压力达到例如10Pa以下，排气口130的压力为例如大气压以上。

例如，吸气口120设置在比中心轴102靠上侧的壳体10的上部。吸气口120在X轴方向上位于壳体10的中心部。在吸气口120通过例如真空管道、接头来连接真空容器。

吸气口120具有从壳体10的内周面110深挖到壳体10内的凹部121和与凹部121连通的孔部125。孔部125的内径比排气口130A的孔部135的内径大。

内周面110中的凹部121的平面形状形成了例如与将转子主体21的旋转方向R作为长径的椭圆相近似的形状。凹部121从内周面110较浅地凹陷。孔部125从凹部121向壳体10外延伸。孔部125是两端开放的贯通孔，在Z轴方向上延伸。

排气口130设置在比中心轴102靠上侧的壳体10的上部。排气口130在Y轴方向上与吸气口120隔开规定的距离来配置。排气口130在将壳体10与转子主体21之间的最小间隙作为起点时，在转子主体21的旋转方向R上位于吸气口120的后方。排气口130具有在中心轴102的方向上排列的多个排气口130A和多个排气口130B。在本实施方式中，有时将包括这些多个排气口130A、130B的排气口统称为排气部。

多个排气口130A分别具有从壳体10的内周面110深挖到壳体10内的凹部131(第1凹部)和与凹部131连通的孔部135。

凹部131在中心轴102的方向上构成多个，以排成列状的方式配置。内周面110中的凹部131的平面形状形成了与将转子主体21的旋转方向R作为长径的椭圆、长圆等相近似的形状。孔部135从多个凹部131的每一个向壳体10外延伸。孔部135是两端开放的贯通孔，在Z轴方向上延伸。

多个排气口130B分别具有凹部131、孔部135、凹部132(第二凹部)以及连通通道136。内周面110中的凹部132的平面形状形成了与凹部131相同的形状。该凹部132经由设置在壳体10内的连通通道136和孔部135与邻接的凹部131连通。连通通道136在壳体10内倾斜，与凹部132以及孔部135连通。

在图1、图2的例子中，示出了在中心轴102的方向上排列的多个凹部131的组的两侧配置有凹部132的例子。凹部132在多个凹部131中排列至少1个即可。

另外，连通通道136也能够根据需要而省略。在该情况下，排气口130具有多个凹部131和与多个凹部131的每一个连通的孔部135。并且，在壳体10的内周面110设置在中心轴102的方向上与凹部131并排的至少一个凹部132。

转子机构20具有转子主体21、轴22和多个叶片构件23。

转子主体21收容在壳体10内。转子主体21是在X轴方向上延伸的圆柱形状的棒体。转子主体21的外径构成为比空洞101的内径小。由此，转子主体21的外周面210隔着空洞101与壳体10的内周面110相向。

转子主体21被轴22轴支承。轴22在X轴方向上延伸。轴22的中心轴202相对于壳体10的中心轴102偏心。中心轴202相对于中心轴102平行。由此，转子主体21绕着相对于壳体10的中心轴102偏心的中心轴202的轴心进行旋转。

多个叶片构件23收容在设置于转子主体21的叶片沟24中。多个叶片沟24在转子主体21的旋转方向R上周期性地配置，构成为各自的深度相同。另外，多个叶片构件23分别在中心轴202的方向上延伸。收容在多个叶片沟24的每一个中的叶片构件23能够通过受到来自转子主体21的离心力而自如地从叶片沟24露出。

例如，当转子主体21在旋转方向R的方向上旋转时，收容于叶片沟24的多个叶片构件23分别通过转子主体21的离心力从外周面210向壳体的内周面突出。而且，多个叶片构件23的各自的顶端通过转子主体21的旋转而与内周面110接触，该顶端一边与内周面110滑动接触一边绕中心轴202的轴心进行旋转。由此，通过真空泵1反复进行吸气、压缩以及排气。

另外，壳体10的一端被法兰盘60封闭。壳体10的另一端被法兰盘61封闭。在法兰盘60和法兰盘61分别内设有轴承构件50。通过这些轴承构件50对轴22的两端进行轴支承。另外，在法兰盘60附设有电动机机构40。电动机机构40将在旋转方向R上旋转的驱动力向轴22传动。法兰盘60、61与转子主体21及叶片构件23能够一边滑动接触一边旋转。在各滑动接触部位，在旋转过程中形成油层，因此分隔空间保持气密。

另外，多个孔部135分别在比转子机构20靠上侧的壳体10的上部从壳体10开放。并且，在转子机构20的上侧，配置有凹部132的壳体10的部分的壁厚构成为比配置有孔部135的壳体10的部分的壁厚更厚。另外，图示的结构仅是一个例子，多个孔部135的每一个也可以从壳体10的侧面部开放。

例如，在从Z轴方向俯视了从壳体10开放的多个孔部135的各个开放端137的情况下，各个开放端137被从壳体10向上方延伸的壁部150包围。壁部150例如是环状的墙壁。

换言之，由于在凹部132的上方设置有厚的壁部150，所以不能将凹部132经由在Z轴方向上延伸的孔部135向壳体10外开放。因此，使凹部132绕过壁部150与倾斜的连通通道136连通，将凹部132经由连通通道136和孔部135向壳体10外开放。

另外，孔部135的开放端137被止回阀30从壳体10外封闭。止回阀30被从壳体10向上方延伸的壁部150包围。例如，在将配置有开放端137的区域的壳体10的外表面作为底面的情况下，由该底面和壁部150构成收容止回阀30的槽160。另外，该壁部150的上端面151也能够作为例如附设其他壳体、盖等的安装面。

真空泵1收容在收容外壳90。真空泵1与收容外壳90之间的空间成为例如大气压。在收容外壳90的底部存积有矿物油等的润滑油91。润滑油91经由供油口140流入到空洞101。例如，在转子机构20的旋转过程中，当供油口140和吸气口120通过空洞101进行连通时，由于吸气口120内的压力与大气压的压力差，润滑油91经由供油口140流入空洞101。由此，与壳体10的内周面110接触的叶片构件23的顶端被润滑油91润滑。在此，叶片构件23例如包含树脂复合材料。

另外，存在于壳体10的内周面110和叶片构件23的顶端之间的润滑油91作为油层介于各接触面，还作为使在旋转方向R上被叶片构件23划分的空洞之间产生压力差的密封材料来发挥作用。

在说明真空泵1的动作之前，说明比较例的真空泵的动作。在说明真空泵的动作的图中，示出了转子机构20周边，未示出电动机机构40等。

图4的(a)、(b)是说明比较例的真空泵的动作的示意剖视图。在图4的(a)、(b)中，示意地示出了在转子机构20旋转时的润滑油91的流动动作。在此，图4的(b)所示的动作表示在图4的(a)的动作之后的状态。

在图4的(a)、(b)所示的比较例中，多个排气口130A在X轴方向上排列，没有设置凹部132和连通通道136。

在叶片式真空泵中，通过多个叶片构件23和转子主体21的外周面210来分隔空洞101，将分隔出的各个空间通过转子机构20沿旋转方向R输送，由此反复进行气体的吸气、气体的压缩以及气体和润滑油的排出。

例如，通过转子主体21和多个叶片构件23的旋转，气体经由吸气口120抽吸到壳体10内，气体与经由供油口140供给到壳体10内的润滑油91一起被压缩，气体和润滑油91经由排气口130A排出到壳体10外。

在此，排气口130A被止回阀30封住，因此抑制了排出至壳体10外的气体以及润滑油91在排气口130A处的倒流。排出到壳体10外的润滑油91能够通过未图示的路径返回到收容外壳90内。

使用图4的(a)、(b)来说明在壳体10内的润滑油91的流动。

例如，如图4的(a)所示，在叶片构件23位于转子主体21的下方时，润滑油91介于壳体10的内周面110和叶片构件23的顶端之间，同时叶片构件23一边将润滑油91沿着内周面110舀上去，一边在旋转方向R上旋转。

另一方面，与位于转子主体21的下方的叶片构件23相比先行的叶片构件23的旋转路径比位于转子主体21的下方的叶片构件23的旋转路径长的部分容易从内周面110的内壁110w受到润滑油91的回溅。

因此，在叶片构件23位于转子主体21的上方时，与叶片构件23位于转子主体21的下方时相比，产生在叶片构件23的两端部处的润滑油91的体积增加的现象。

接着，如图4的(b)所示，当叶片构件23接近排气口130A时，由于在叶片构件23的中央部之上设置有凹部131，所以在叶片构件23的中央部附近被舀上去的润滑油91能够顺利地流进设置在其正上方的凹部131。之后，中央部附近的润滑油91与气体一起经由孔部135排出到壳体10外，或者经由凹部131流入到旋转方向R上近前的下一个分隔的空间。

这里，“分隔的空间”是指在空洞101中由内周面110、外周面210和在旋转方向R上相邻的叶片构件23所分隔的空间、或者由内周面110、外周面210、最接近部以及在旋转方向R上与最接近部相邻的叶片构件23所分隔的空间。另外，叶片构件23与壳体10之间的间隙、或转子主体21与最小间隙部之间的间隙在泵动作期间，由于存在润滑油91而保持了分隔空间的密闭。

另一方面，在叶片构件23的两端部体积增加的润滑油91随着分隔空间的容积减少，导致与中央部相比，产生的压缩力增强了与体积增加量对应的量。而且，在两端部，由于在分隔空间的内周面110未形成凹部131，所以润滑油91的多余部分从由内周面110、外周面210、最接近部、叶片构件23所分隔的空间从两端部向临近的凹部131移动，以使蓄积的压缩力释放。

在此，润滑油91具有规定的粘度。因此，润滑油91难以向狭窄的间隙流动，润滑油91容易在叶片构件23的两端部积存。其结果是，叶片构件23的两端部由于润滑油91而受到负载。

如果在该状态下使叶片构件23旋转，则叶片构件23在受到来自润滑油91的负载的同时进行旋转。由此，真空泵需要过多的电力。另外，若润滑油91局部地积存在叶片构件23的两端部，则有时润滑油91与壳体10的内周面110、叶片构件23等进行碰撞，伴随着该碰撞声、压力释放等带来的声音成为噪音。

与此相对，图5的(a)、(b)是说明本实施方式的真空泵的动作的示意剖视图。在此，图5的(b)的动作表示在图5的(a)的动作之后的状态。

在本实施方式的真空泵1中，如图5的(a)所示，在叶片构件23位于转子主体21的上方时，与叶片构件23位于转子主体21的下方时相比，产生在叶片构件23的两端部润滑油91的体积增加的现象。

在此，如图5的(b)所示，在叶片构件23接近排气口130A时，在叶片构件23的中央部附近舀上去的润滑油91顺利地流进设置在正上方的凹部131。之后，润滑油91与气体一起经由孔部135排出到壳体10外，或者经由凹部131流入到下一个分隔的空间。

另一方面，在叶片构件23的两端部体积增加的润滑油91由于在正上方形成有凹部132，所以能够顺利地流进该凹部132。而且，在设置有将凹部132与孔部135连接的连通通道136的情况下，由于未成为封闭空间，所以不会引起压力上升，同时在润滑油91流至凹部132之后，润滑油91与气体一起经由连通通道136、孔部135而排出至壳体10外，或者经由凹部131而流入至下一个分隔的空间。

由此，在真空泵1中，叶片构件23的两端部难以受到来自润滑油91的负载，叶片构件23顺畅地旋转。即，真空泵1与比较例相比不需要过多的电力。另外，局部地积存在叶片构件23的两端部的润滑油91难以与内周面110、叶片构件23等进行碰撞，与比较例相比难以产生噪音。

(变形例1)

图6是本实施方式的变形例1的真空泵的示意剖视图。在图6中，未示出叶片构件23、收容外壳90等。

在真空泵2中，在槽160中收容油层92，止回阀30被填充在槽160中的油层92覆盖。油层92的成分与润滑油91的成分相同。如果采用这样的结构，则经由孔部135从壳体10内排出的气体以及润滑油91难以经由止回阀30通过孔部135而倒流，气体以及润滑油91能够更可靠地从壳体10内排出到壳体10外。

(变形例2)

图7的(a)是本实施方式的变形例2的真空泵的示意俯视图。图7的(b)是本实施方式的变形例2的真空泵的示意剖视图。图8是从壳体的内周面观察本实施方式的变形例2的真空泵的排气口的示意图。在图8中，将叶片构件23在内周面110滑动的方向作为旋转方向R来示出。

在真空泵3中，凹部132经由在壳体10的内周面110设置的沟138而与凹部132邻接的凹部131连通。在真空泵3中，将凹部132、沟138、与沟138连通的凹部131、以及与连通于沟138的凹部131相连通的孔部135作为排气口130C。

沟138配置成将凹部132的下部和凹部131的上部连通。如果采用这样的结构，则沟138与叶片构件23(转子机构20)的旋转方向R以及中心轴202的方向交叉。由此，在叶片构件23的两端部体积增加的润滑油91在叶片构件23位于凹部132的下方时流至凹部132，然后依次流过沟138、凹部131、孔部135。即，在叶片构件23的两端部体积增加的润滑油91经由排气口130C高效地排出至壳体10外。

假设在连接凹部132与凹部131的沟138相对于中心轴202平行地配置的情况下，通过内周面110和沟138，在旋转方向R上在内周面110形成台阶。在这样的结构中，叶片构件23每跨过台阶，叶片构件23就受到来自台阶的负载(例如冲击)，有可能加快叶片构件23的消耗。

与此相对，沟138相对于中心轴202非平行(倾斜)地配置，因此，即使叶片构件23经过沟138，叶片构件23也难以受到来自台阶的负载，叶片构件23能够在沟138上顺畅地滑动。

(变形例3)

图9是从壳体的内周面观察本实施方式的变形例3的真空泵的排气口的示意图。

在真空泵3中，沟138使邻接的凹部131之间连通。即使采用这样的结构，润滑油91也能够高效地从排气口排出。

(变形例4)

图10是本实施方式的变形例4的真空泵的示意侧视图。

在真空泵4中，槽160的内部被盖部155封闭。在盖部155与壁部150之间设置有O型环等密封构件156，以使槽160的内部能够维持大气压以下的减压状态(依赖于后述的后级侧的真空泵15的能力的压力、例如10Pa左右的减压状态)。在壳体10的与电动机机构40相反的一侧连结有后级侧的真空泵15。在壁部150形成有与真空泵15的吸气口连通的贯通孔152。真空泵15与真空泵1等相同地能够通过电动机机构40来驱动。

在真空泵4中，通过使真空泵15工作，能够将存在于由槽160和盖部155所围成的空间内的气体经由贯通孔152排出到槽160外。由此，由槽160和盖部155所围成的空间维持在例如压力比大气压低的减压状态。另外，在真空泵4中，由于该空间维持减压状态，所以比该空间靠上游的排气口130的压力比被盖部155封闭的槽160的内部的压力更低。

另外，在润滑油91作为膜存在于止回阀30与槽160的接触部分，通过存在的该润滑油91发挥与油层92相同的作用的情况下，槽160的内部表面只要保持在被润滑油91润湿的程度即可。优选的是超出被润滑油91润湿的程度的量的润滑油91的剩余量迅速地排出到槽160外的结构。

另外，在槽160的内部为10Pa左右的真空度时，由于也不能忽略气体分子进入润滑油91的物理现象，所以更优选油层92的剩余量被引导到真空泵15侧。例如，油层92的剩余量通过其自重而被重力输送到真空泵15侧。

另外，作为另一变形例，可以是将图10的贯通孔152的底面设为与槽160的底面相同或者为其以下且朝向真空泵15侧倾斜的结构。

由此，在真空泵4中，从排气口130排出的气体的排气效率比真空泵1～3更高，能够使吸气口120的压力比真空泵1～3更低。例如，吸气口120的压力达到1Pa以下。

其结果是，在排气运转过程中的空洞101内的润滑油91的气体分子量减少，气体难以经由吸气口120向真空容器侧扩散。即，如果使用真空泵4，则能够在更洁净的环境下进行真空处理。

以上，对本发明的实施方式进行了说明，但本发明并不仅限于上述实施方式，当然能够施加各种变更。各实施方式未必是独立的方式，只要在技术上能够实现，就能够进行组合。

附图标记说明

1、2、3、4、15：真空泵

10：壳体

15：真空泵

20：转子机构

21：转子主体

22：轴

23：叶片构件

24：叶片沟

30：止回阀

40：电动机机构

50：轴承构件

60、61：法兰盘

90：收容外壳

91：润滑油

92：油层

101：空洞

102：中心轴

110：内周面

110w：内壁

120：吸气口(吸气部)

121、131、132：凹部

125、135：孔部

130：排气口(排气部)

130A、130B、130C：排气口

136：连通通道

137：开放端

138：沟

140：供油口

150：壁部

151：上端面

152：贯通孔

155：盖部

156：密封构件

160：槽

202：中心轴

210：外周面

Claims (4)

1.一种真空泵，其具有：

筒状的壳体，其具有吸气口、排气口和供油口；以及

转子机构，其被收容在所述壳体内，所述转子机构具有转子主体和多个叶片构件，所述转子主体绕着相对于所述壳体的中心轴偏心的轴心进行旋转，所述叶片构件通过所述转子主体的旋转从所述转子主体的外周面向所述壳体的内周面突出，所述叶片构件一边与所述内周面滑动接触一边绕着所述轴心进行旋转，

所述排气口具有：

多个第一凹部，其从所述内周面深挖到所述壳体内，在所述中心轴的方向上排列成列状；

至少一个第二凹部，其在所述内周面在所述中心轴的方向上与所述第一凹部并排，与邻接的所述第一凹部连通；以及

孔部，其从所述多个第一凹部的每一个贯通至所述壳体外，

所述孔部的各自的开放端被从所述壳体向上方延伸的壁部包围，

在所述第二凹部的上方设置所述壁部，

所述第二凹部经由设置在所述壳体内并绕过所述壁部的连通通道和连通于所述连通通道的所述孔部而与所述第一凹部连通，通过所述转子主体和所述多个叶片构件的旋转，气体经由所述吸气口被抽吸到所述壳体内，所述气体与经由所述供油口供给到所述壳体内的润滑油一起经由所述排气口被排出到所述壳体外。

2.根据权利要求1所述的真空泵，其中，

还具有止回阀，其封闭所述孔部的开放端，

所述止回阀被从所述壳体向上方延伸的所述壁部包围。

3.根据权利要求2所述的真空泵，其中，

由配置有所述开放端的区域的所述壳体的外表面和所述壁部来构成收容所述止回阀的槽，

所述止回阀被填充在所述槽的油层覆盖。

4.根据权利要求3所述的真空泵，其中，

所述槽被盖部封闭，

在所述壁部设置有将存在于由所述槽和所述盖部围成的空间中的气体排出的贯通孔，

所述空间的压力维持在大气压以下。

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