CN111440574A - 一种粘着剂组合物及一种应用于切割滤光片的减粘胶带 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及减粘胶带,具体涉及粘着剂组合物及一种应用于切割滤光片的减粘胶带及其制备方法。为了解决现有减粘胶带在滤光片切割完成后不易剥离的问题,本发明提供一种粘着剂组合物及一种用于切割滤光片的减粘胶带。所述粘着剂组合物包括(甲基)丙烯酸酯共聚物100质量份,含10个不饱和双键官能团的聚氨酯丙烯酸酯低聚物30质量份,含6个不饱和双键官能团的多官丙烯酸酯单体5.0‑10.0质量份,固化剂1.5质量份,光引发剂1.5质量份。该粘着剂组合物固化后形成胶黏层,制备得到的减粘胶带在滤光片切割完成后进行UV解胶,UV解胶后剥离力低,易于与滤光片分离开,解决了现有减粘胶带在滤光片切割完成后不易剥离的问题。

Description

一种粘着剂组合物及一种应用于切割滤光片的减粘胶带
技术领域
本发明涉及减粘胶带,具体涉及一种粘着剂组合物及一种应用于切割滤光片的减粘胶带。
背景技术
相机模组是智能手机或平板电脑等移动设备的重要组成部分,正朝着微型化、集成化与功能化的方向发展。为消除红外光线对固态电子器件CCD(Charge Coupled Device,是电荷藕合器件图像传感器)或CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor,本意是指互补金属氧化物半导体,一种大规模应用于集成电路芯片制造的原料,是微机主板上的一块可读写的RAM芯片,用来保存当前系统的硬件配置和用户对某些参数的设定)等成像的影响,通常采用在相机模组内加入红外截止滤波片(以下简称为滤光片)的方法,以有效阻挡干扰成像质量的红外光,使成像更加符合人眼的最佳视觉。而如此微型的滤光片一般需从较大尺寸的玻璃片材经由激光切割或刀轮切割而来。其中,激光切割在切割效率和良率上的优势使得其成为目前滤光片切割的主流方式,主要包含以下工序:覆片、激光切割、扩晶、洗涤、解胶、倒膜和拾取。
在切割如此薄脆的材料时,单片化的滤光片小片(以下简称为小片)极易发生端面破碎或缺角等不良,而受缺角影响,小片的弯曲强度下降容易造成后续组件时发生不良。
通常,为消除滤光片表面的油污及碎屑,需要对滤光片进行洗涤处理,包含两道工序:1、用细刷在滤光片表面上刷洗一定量的洗涤剂;2、用含一定压力的高纯水反复冲洗滤光片表面。然而,在细刷软毛或水流扰动等影响下,小片容易发生渗水或剥落飞散的不良现象。
另外,目前业内批量使用的滤光片减粘胶带普遍采用加热扩晶工艺和UV解胶后倒膜工艺。其中加热扩晶工序是胶带在一定温度下(大于50℃)而进行扩晶的,但加热温度过高或时间过久,都极易造成解胶后在贴合面发生残胶不良;此外,基膜在UV解胶(胶黏层经过紫外线照射后粘接力下降,称为UV解胶)后会发生缓慢回缩,导致相邻单片化的滤光片间距不断缩小而不满足自动拾取组件的最小间距(通常要求相邻小片间距大于100um)或发生相互碰撞。为避免上述不良,单片化的滤光片在解胶完后会被迅速地转移到另外一张静电膜上(称为倒膜),此工序的完成需要额外的人力、工时与材料。
为满足相机模组的微型化、集成化和功能化的需求,构成其组件重要组成部分的红外截止滤波片的尺寸同样朝着薄型化和微型化的方向发展。目前,滤光片厂商批量使用的减粘胶带存在常温下难以扩晶(使用基材的杨氏弹性模量大导致)、需要倒膜、小片飞散(固定过程中胶层对滤光片的剥粘接力低所致)、以及残胶不良(残胶指在解胶完后,胶层的组分留在了滤光片的表面)问题,亟待解决。
发明内容
为了解决现有减粘胶带在滤光片切割完成解胶后不易剥离的问题,本发明提供一种粘着剂组合物及一种应用于切割滤光片的减粘胶带。该粘着剂组合物固化后形成胶黏层,制备得到的减粘胶带在滤光片切割完成后进行UV解胶,UV解胶后剥离力低,易于与滤光片分离开,解决了现有减粘胶带在滤光片切割完成解胶后不易剥离的问题。
另一方面,为了解决现有滤光片切割完成解胶后需要倒膜的问题,本发明提供一种粘着剂组合物及一种用于切割滤光片的减粘胶带。本发明提供的减粘胶带具有优异的扩伸性能,使得其在常温下就可以实现扩晶,不需要额外的加热来帮助软化基材。扩晶后,不需要经历倒膜工序,优化了滤光片的生产工艺,节约工时、材料和避免在倒膜时引入异物的风险。UV固化前减粘胶带的胶层的剪切力、剥离力和基材层的弹性模量共同决定了是否需要倒膜工序。
进一步地,UV解胶前,减粘胶带与滤光片之间的粘接力高,滤光片固定稳固,从而使滤光片在切割、洗涤及转移过程中不易发生小片飞散。
进一步地,本发明提供的减粘胶带在UV解胶前对玻璃和不锈钢钢板(SUS-BA)剥离力性能稳定。
进一步地,本发明提供的减粘胶带在UV解胶后对玻璃和不锈钢钢板(SUS-BA)剥离力性能稳定,使得解胶后的胶层组分不易残留在单片化的滤光片的表面造成不良。
为解决上述技术问题,本发明采用如下技术方案。
本发明提供一种粘着剂组合物,所述粘着剂组合物包括(甲基)丙烯酸酯共聚物100质量份,含10个不饱和双键官能团的聚氨酯丙烯酸酯低聚物30质量份,含6个不饱和双键官能团的多官丙烯酸酯单体5.0-10.0质量份,固化剂1.5质量份,光引发剂1.5质量份。
所述(甲基)丙烯酸酯共聚物也称为主树脂。
进一步地,所述(甲基)丙烯酸酯共聚物的共聚单体选自含烷基链的(甲基)丙烯酸酯单体。
进一步地,所述(甲基)丙烯酸酯共聚物的共聚单体选自(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸异丁酯、(甲基)丙烯酸正戊酯、(甲基)丙烯酸正辛酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸癸酯中的一种或至少两种的组合。所述(甲基)丙烯酸酯共聚物的共聚单体可以选自碳链数更长的(甲基)丙烯酸酯单体。进一步地,所述(甲基)丙烯酸酯共聚物的共聚单体优选酯基链长度为1-4的(甲基)丙烯酸酯单体,更具体的说,(甲基)丙烯酸酯单体通过(甲基)丙烯酸和醇发生酯化反应制得,所述醇选自主链上含有1-4个碳原子的醇。进一步地,所述(甲基)丙烯酸酯共聚物的共聚单体优选(甲基)丙烯酸甲酯单体。
进一步地,所述(甲基)丙烯酸酯共聚物的共聚单体选自含羟基的(甲基)丙烯酸系单体。进一步地,所述(甲基)丙烯酸酯共聚物的共聚单体选自(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羟基丙酯、(甲基)丙烯酸2-羟基丁酯或(甲基)丙烯酸6-羟基己酯中的一种或至少两种的组合。进一步地,所述(甲基)丙烯酸酯共聚物的共聚单体优选酯基链长度为1-4的含羟基的(甲基)丙烯酸系单体,进一步地优选(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯。
进一步地,所述(甲基)丙烯酸酯共聚物的重均分子量优选40-150万,进一步地优选60-100万。若重均分子量低于40万,UV解胶后容易造成残胶不良;若重均分子量高于150万,则在生产涂布时粘着剂组合物(简称胶水)易发生凝胶化。
优选(甲基)丙烯酸甲酯共聚物的单体比例,含有30-75%的(甲基)丙烯酸甲酯单元、20-65%的(甲基)丙烯酸丁酯单元、0.5-5%的丙烯酸2-羟基乙酯单元,所述百分比为重量百分比。
本发明提供的粘着剂组合物属于混合型的配方,其中主树脂为热固型树脂,可以认为是压敏胶,提供UV解胶前的粘接力,而聚氨酯丙烯酸酯低聚物(也称为UV固化低聚物)和多官(甲基)丙烯酸酯单体在紫外曝光后会迅速发生交联,造成整体胶黏层体积的收缩,从而降低胶层与滤光片的接触面以降低与滤光片的粘性。
热固型主树脂的共聚单体,包含一级单体、二级单体和功能单体,一级单体的玻璃化转变温度(Tg)较低,起到浸润的作用,而二级单体起到调整主树脂Tg点。压敏胶的三种特性:初粘、剥离力和内聚力缺一不可。而功能单体上例如羟基、羧基和环氧基等,能够与固化剂进行反应,增大胶层的内聚力,称之为熟化。一级单体如丙烯酸丁酯(玻璃化转变温度低,-55℃)、二级单体如甲基丙烯酸甲酯类(玻璃化转变温度高,105℃),这两者的比例用于调整主树脂的玻璃化转变温度在一个合适的范围内,功能单体如甲基丙烯酸、甲基丙烯酸2-羟乙酯等含有羧基、羟基等官能团,用于后面固化交联时的反应位点的单体。
所述含10个不饱和双键官能团的聚氨酯丙烯酸酯低聚物和含6个不饱和双键官能团的多官丙烯酸酯单体构成UV固化型聚合物。其中,末端修饰多个异氰酸酯的聚氨酯丙烯酸酯低聚物(也称为预聚物)由聚醚型或聚酯型的多元醇聚合物与多官异氰酸酯反应所得,进一步地,与含羟基的(甲基)丙烯酸或丙烯酸反应得到聚氨酯丙烯酸酯低聚物。特别地,聚氨酯丙烯酸酯低聚物的重均分子量优选为40000-150000。所述多官甲基丙烯酸酯单体优选含6个不饱和双键官能团的二季戊四醇六丙烯酸酯(DPHA)。
搭配上述比例的UV固化型聚合物在经UV照射后,胶黏层与滤光片之间的剥离力低,容易将滤光片从减粘胶带上剥离下来。
所述固化剂选自多官异氰酸酯化合物、环氧树脂化合物、氮丙啶类化合物、或金属螯合物类化合物中的一种或至少两种的组合。其中,因在控制交联反应速率(pot-life)的优势,所述固化剂优选多官异氰酸酯或环氧树脂类化合物,进一步地,优选多官异氰酸酯类化合物。
所述多官异氰酸酯类化合物是指单分子内修饰以2个以及2个以上异氰酸酯基团的化合物。具体可列举如下:
进一步的,所述多官异氰酸酯类化合物选自脂肪族异氰酸酯类化合物。进一步的,所述多官异氰酸酯类化合物选自六亚甲基二异氰酸酯、三甲基己基二异氰酸酯、五亚甲基二异氰酸酯、或1,2-亚丙基二异氰酸酯中的一种或至少两种的组合。
进一步的,所述多官异氰酸酯类化合物选自脂环族异氰酸酯类化合物。进一步的,所述多官异氰酸酯类化合物选自异佛尔酮二异氰酸酯、亚甲基双(4-环己基异氰酸酯)、1,4-环己烷二异氰酸酯、或甲基-2,6-环己烷二异氰酸酯中的一种或至少两种的组合。
进一步的,所述多官异氰酸酯类化合物选自芳香族类异氰酸酯类化合物。进一步的,所述多官异氰酸酯类化合物选自1,3-甲苯二异氰酸酯、2,6-甲苯基二异氰酸酯、2,4-甲苯基二异氰酸酯、4,4’-二苯基甲烷二异氰酸酯、或二甲苯二异氰酸酯中的一种或至少两种的组合。
若异氰酸酯类固化剂的添加量低,解胶后胶黏层与滤光片之间的剥离力仍较高,单片化的滤光片拾取性会降低,且当固化剂添加量不够时,胶层的内聚力不够,在解胶后容易发生内聚力失效,剥离时,发生剥离的界面并非滤光片与胶层界面,而是胶层内部,容易出现残胶不良;若固化剂含量高,则减粘胶带对滤光片的粘结力不足,滤光片固定不稳固,减粘胶带的保持性和密着性都会降低,容易发生滤光片单片飞散或渗水等不良。保持性:大片的滤光片(7.7cm×7.7cm)通过多道工序后可以得到微型的单片(5.26mm×5.26mm),其中水洗制程中单片化的滤光片需要承受一定水压的水柱冲洗,如果胶黏层的粘着力(粘性)不够,小片就会飞散,而保证小片不飞散的特性称之为保持性。密着性:同样在上述水洗工序中,如果胶黏层的粘性不够或贴合不服帖,在胶黏层(简称胶层)与滤光片的贴合界面留有微型的孔隙,含一定压力的水流会沿着孔隙渗入界面,最终解胶后的滤光片表面留下水迹,保证小片不发生此类不良的胶层特性称之为密着性。
所述光引发剂选自安息香化合物、苯乙酮化合物、噻吨酮化合物、过氧化物化合物、或酰基氧化膦化合物等光引发剂。具体的,所述光引发剂选自苯偶姻烷基醚系引发剂。进一步地,所述光引发剂选自苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙基醚等;二苯基酮系引发剂:二苯基酮、或3,3’-二甲基-4-甲氧基二苯基酮等。所述光引发剂选自芳香族酮系引发剂。进一步地,所述光引发剂选自α-羟基环己酮苯基酮、α-羟基-α,α’-二甲苯基苯乙酮。所述光引发剂选自噻吨酮系引发剂。进一步地,所述光引发剂选自噻吨酮、2-甲基噻吨酮等;酰基氧化膦系引发剂:2,4,6-三甲基苯甲酰基二苯基氧化膦等。
优选地,所述光引发剂选自分子结构中含1个羟基官能团。进一步优选地,光引发剂包含2个以上的羟基官能团。通过引入含1个以上的羟基光引发剂,经UV照射后裂解的自由基可以被(甲基)丙烯酸酯聚合物中的丙烯酰基反应,进而抑制其向贴合界面迁移,造成污染。
光引发剂的添加量不足,则UV照射后剥离力的降低不足以实现良好地剥离;若添加量过剩,则分子量较低的光引发剂容易迁移至胶层表面,造成污染。
本发明提供一种粘着剂组合物,包括(甲基)丙烯酸酯共聚物100质量份,含10个不饱和双键官能团的聚氨酯丙烯酸酯低聚物30质量份,含6个不饱和双键官能团的多官丙烯酸酯单体5.0-10.0质量份,固化剂1.5质量份,光引发剂1.5质量份。进一步地,所述(甲基)丙烯酸酯共聚物由45-55%(甲基)丙烯酸丁酯单元,40-50%(甲基)丙烯酸甲酯单元和1-5%(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯单元构成;所述百分含量为重量百分含量。进一步地,所述(甲基)丙烯酸酯共聚物的重均分子量为50-60万;进一步的,含10个不饱和双键官能团的聚氨酯丙烯酸酯低聚物的重均分子量为40000;进一步地,所述含6个不饱和双键官能团的多官丙烯酸酯单体为六官二季戊四醇六丙烯酸酯;进一步地,固化剂为甲苯二异氰酸酯;进一步地,光引发剂为1-羟基环己基苯基酮。前述技术方案包括实施例1-4。
进一步地,本发明提供一种粘着剂组合物,包括由(甲基)丙烯酸丁酯单元45-55%,(甲基)丙烯酸甲酯单元40-50%和(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯单元1-5%构成的(甲基)丙烯酸酯共聚物,重均分子量为50-60万,100质量份;含10个不饱和双键官能团的聚氨酯丙烯酸酯低聚物,分子量40000,30质量份;六官二季戊四醇六丙烯酸酯,5.0质量份;甲苯二异氰酸酯作为固化剂,1.5质量份;1-羟基环己基苯基酮作为光引发剂,1.5质量份。前述技术方案包括实施例1。
另一方面,本发明提供一种应用于切割滤光片的减粘胶带,所述减粘胶带依次包括基材层、胶黏层和离型层(也称离型膜);所述胶黏层由本发明的粘着剂组合物固化后形成。
进一步的,所述胶黏层的厚度为10-25μm,进一步地优选为15-20μm。
进一步地,所述基材层选自聚烯烃(PO)材质。
所述基材层(简称基材)的杨氏弹性模量为50-250Mpa。进一步地,所述基材在23℃下拉伸的杨氏弹性模量为50-250Mpa,进一步地,优选为50-150Mpa。若基材拉伸的杨氏弹性模量低于50Mpa,则不足以提供基材层在切割时的支撑作用;若基材拉伸的杨氏弹性模量高于250Mpa,则在常温下难以对基材进行扩张,需要借助对扩晶机台进行加热的方式来实现滤光片小片间的暂时分离,但扩伸后的基膜也极易发生回缩,影响后段其它工序。其次,受加热影响,胶层内低分子量的组分容易迁移到胶层表面,解胶后在滤光片的贴合面易发生残胶不良。
本发明的创新在于粘着剂组合物的配方,配方中的主树脂(热固性的共聚物),含10个不饱和双键官能团的聚氨酯丙烯酸酯低聚物(官能团数量和分子量)和含6个不饱和双键官能团的多官丙烯酸酯单体(官能团数)等因素决定了减粘胶带的胶黏层的性能。进一步的,基材的选择也很重要,同样的配方不一样性质的基材,也不能解决本发明的技术问题。
本发明还提供所述粘着剂组合物的制备方法,所述方法如下:
将上述(甲基)丙烯酸酯共聚物、UV固化型聚合物(包含UV低聚物和单体)、固化剂与光引发剂依次加入至烧杯中进行充分混合,适当加入一定量的乙酸乙酯或甲苯溶剂来调整粘着剂组合物的固含量和粘度,使其满足相应涂布工艺的要求。特别地,整个过程要求在黄光灯或避光条件下进行,防止光引发剂失效。
本发明还提供所述减粘胶带的制备方法,所述方法如下:
将上述粘着剂组合物用刮刀涂布机涂布于聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)的离型膜上,在烘箱(80℃)烘干2-3分钟充分除去溶剂,与聚烯烃薄膜基材层复合,在恒温恒湿(23℃和50%环境湿度)下熟化一周,制得用于切割滤光片的减粘胶带成品。
将本发明提供的应用于切割滤光片的减粘胶带的胶黏层与无碱玻璃贴合静置30分钟后,所述减粘胶带对无碱玻璃的剥离力优选大于900gf/25mm,进一步地优选大于1200gf/25mm。具备上述剥离力的减粘胶带可与滤光片小片间形成良好的密着性,有效抑制单片化的滤光片在后段工序(如洗涤)中发生飞散或者细刷软毛、水压扰动而发生渗水不良。
所述减粘胶带对无碱玻璃的剪切力优选大于2500gf/25mm,进一步地优选大于3500gf/25mm。对不锈钢板(SUS-BA)的剪切力优选大于3000gf/25mm,进一步地优选大于3500gf/25mm。具备上述剪切力的减粘胶带在滤光片制程工艺中可有效抑制基材层发生回缩。
与现有减粘胶带相比,本发明提供的应用于切割滤光片的减粘胶带在固定滤光片时粘接力高,保证滤光片固定稳固,切割完成,通过UV解胶后,减粘胶带与滤光片之间的剥离力低,易于剥离;且减粘胶带的胶黏层的内聚力大,解胶后,与滤光片分离时不会在滤光片表面产生残胶,滤光片小片的拾取性好。同时,减粘胶带的基材层具有合适的杨氏弹性模量,减粘胶带扩晶过程不需加热,没有加热后基材层回缩的过程,滤光片不需要倒膜。本发明提供的用于切割滤光片的减粘胶带同时达到不倒膜、易拾取、无残胶、不渗水和不飞片的性能。
附图说明
图1为本发明提供的一种减粘胶带的结构示意图;
图2a为本发明中将多片滤光片贴附于除去离型膜后的减粘胶带的胶黏层表面的俯视结构示意图;
图2b为本发明中将多片滤光片贴附于除去离型膜后的减粘胶带的胶黏层表面的侧视结构示意图;
图3a为本发明提供的应用于切割滤光片的减粘胶带的剪切力测试样品俯视示意图;
图3b为本发明提供的应用于切割滤光片的减粘胶带的剪切力测试样品侧视示意图;
图4为滤光片贴在本发明提供的减粘胶带的胶黏剂层上,在激光切割步骤中,利用激光切割滤光片形成改质层的示意图。
具体实施方式
为了更易理解本发明的结构及所能达成的功能特征和优点,下文将本发明的较佳的实施例,并配合图式做详细说明如下:
如图1所示,本发明提供一种应用于切割滤光片的减粘胶带,所述减粘胶带依次包括基材层01、胶黏层02和离型层(也称离型膜)03;所述胶黏层由本发明的粘着剂组合物固化后形成。
对本发明提供的用于切割滤光片的减粘胶带进行下述测试。
1、180°剥离力测试:
选择无碱玻璃和不锈钢板(SUS-BA)作为被贴物,测试减粘胶带在UV固化前、后胶层对两款被贴物的剥离力,其中剥离角度为180°,拉伸速率为300mm/min,温度和湿度分别为23.0℃和50%RH相对湿度。
2、剪切力测试:
如图3a和图3b所示,将减粘胶带2裁切成10.0mm×50.0mm尺寸的样条,在减粘胶带的基材层一侧通过瞬干胶5贴附一层聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)膜6(100μm厚度),于23.0℃和50%RH湿度下撕去离型膜后,将胶层贴合在无碱玻璃4上(贴合面积:1.0×1.0cm2),减粘胶带2、瞬干胶5和PET膜6合称剪切力测试样品7。用2kg辊轮来施加2趟载荷后静置30分钟,沿着长度方向进行剪切力测试,拉伸速率为5.0mm/min,取最大值作为剪切力数值(gf/10mm×10mm)。剪切力测试属于胶层内聚力的衡量指标,是测试胶层受横向剪切应力时的蠕变性能。内聚力低易产生残胶。
3、基材层的杨氏弹性模量测试:
将基材层裁切成1.0cm×10.0cm尺寸的样条,遵照JIS K7161:1994及JIS K7127:1999,测定基材层在23.0℃下的拉伸杨氏弹性模量。具体而言,以拉伸试验机(INSTRON所制,型号:3344),以夹具间距设定50.0mm,以100.0mm/min的速率进行拉伸试验,测定拉伸杨氏弹性模量(Mpa)。
4、滤光片的制造方法,包含以下工序:
(1)覆片步骤,如图2a和图2b所示,将多片滤光片3贴附于除去离型膜后的减粘胶带2的胶黏层一侧,随后将其一起贴附于母环1上;
(2)激光切割步骤,如图4所示,利用激光切割在滤光片3内部烧蚀形成一道改质层8;
(3)扩晶步骤,在切割后的减粘胶带背侧用硅胶辊轮来回施加一定压力,诱导切割后的滤光片在改质层处发生裂片,进一步地经由扩晶机台扩伸基材层移到子环上,使得裂片后的单片间形成一定的间距;
(4)洗涤步骤,用沾有洗涤剂的无尘布或细刷反复刷洗滤光片表面,随后放置于自动清洗机用高纯水冲洗,除去表面油污及碎屑后离心甩干;
(5)UV解胶步骤,从减粘胶带的基材层(非胶黏层)照射一定量的UV光线对胶层进行解胶处理;
(6)检查步骤,取解胶后的小片进行光镜观察,确认贴合界面是否含胶丝、密集型胶点或水印不良;
(7)自动拾取步骤,从解胶完的减粘胶带上逐片拾取单片小片进行组件。
实施例1
本发明提供一种粘着剂组合物及一种应用于切割滤光片的减粘胶带。
所述粘着剂组合物中,选取由(甲基)丙烯酸丁酯单元(45-55%),(甲基)丙烯酸甲酯单元(40-50%)和(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯单元(1-5%)构成的(甲基)丙烯酸酯共聚物(市售品A),重均分子量为50-60万,称量100质量份;选取含10个不饱和双键官能团的聚氨酯丙烯酸酯低聚物(市售品A),分子量40000,称量30质量份;选取六官二季戊四醇六丙烯酸酯作为多官丙烯酸单体(长兴化学制:EM265),称量5.0质量份;选取甲苯二异氰酸酯作为固化剂(东曹化学制:CORONATE L),称量1.5质量份;选取1-羟基环己基苯基酮作为光引发剂(BASF公司制:184),称量1.5质量份。
将上述配方的粘着剂组合物、基材层(市售品,杨氏弹性模量50Mpa)与离型膜按本发明提供的方法制成本发明的减粘胶带,评估减粘胶带在制备单片化滤光片工艺流程中的性能。
实施例2
本发明提供一种粘着剂组合物及一种应用于切割滤光片的减粘胶带。
所述粘着剂组合物中,选取由(甲基)丙烯酸丁酯单元(45-55%),(甲基)丙烯酸甲酯单元(40-50%)和(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯单元(1-5%)构成的(甲基)丙烯酸酯共聚物(市售品A),重均分子量为50-60万,称量100质量份;选取含10个不饱和双键官能团的聚氨酯丙烯酸酯低聚物(市售品),分子量40000,称量30质量份;选取六官二季戊四醇六丙烯酸酯作为多官丙烯酸单体(长兴化学制:EM265),称量10质量份;选取甲苯二异氰酸酯作为固化剂(东曹化学制:CORONATE L),称量1.5质量份;1-羟基环己基苯基酮作为光引发剂(BASF公司制:184),称量1.5质量份。
将上述配方的粘着剂组合物、基材(市售品,杨氏弹性模量50Mpa)与离型膜按上述方法制成减粘胶带,评估其在制备单片化滤光片工艺流程中时的性能。
实施例3
本发明提供一种粘着剂组合物及一种应用于切割滤光片的减粘胶带。
所述粘着剂组合物中,选取由(甲基)丙烯酸丁酯单元(45-55%),(甲基)丙烯酸甲酯单元(40-50%)和(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯单元(1-5%)构成的(甲基)丙烯酸酯共聚物(市售品A),重均分子量为50-60万,称量100质量份;选取含10个的不饱和双键官能团的聚氨酯丙烯酸酯低聚物(市售品A),分子量40000,称量30质量份;选取六官二季戊四醇六丙烯酸酯作为多官丙烯酸单体(长兴化学制:EM265),称量5.0质量份;选取甲苯二异氰酸酯作为固化剂(东曹化学制:CORONATE L),称量1.5质量份;选取1-羟基环己基苯基酮作为光引发剂(BASF公司制:184),称量1.5质量份。
将上述配方的粘着剂组合物、基材(市售品,杨氏弹性模量150Mpa)与离型膜按上述方法制成减粘胶带,评估其在制备单片化滤光片工艺流程中时的性能。
实施例4
本发明提供一种粘着剂组合物及一种应用于切割滤光片的减粘胶带。
所述粘着剂组合物中,选取由(甲基)丙烯酸丁酯单元(45-55%),(甲基)丙烯酸甲酯单元(40-50%)和(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯单元(1-5%)构成的(甲基)丙烯酸酯共聚物(市售品A),重均分子量为50-60万,称量100质量份;选取含10个不饱和双键官能团的聚氨酯丙烯酸酯低聚物(市售品A),分子量40000,称量30质量份;选取六官二季戊四醇六丙烯酸酯作为多官丙烯酸单体(长兴化学制:EM265),称量5.0质量份;选取甲苯二异氰酸酯作为固化剂(东曹化学制:CORONATE L),称量1.5质量份;选取1-羟基环己基苯基酮作为光引发剂(BASF公司制:184),称量1.5质量份。
将上述配方的粘着剂组合物、基材(市售品,杨氏弹性模量250Mpa)与离型膜按上述方法制成减粘胶带,评估其在制备单片化滤光片工艺流程中时的性能。
对比例1
提供一种粘着剂组合物及一种减粘胶带。
所述粘着剂组合物中,选取由(甲基)丙烯酸丁酯单元(45-55%),(甲基)丙烯酸甲酯单元(40-50%)和(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯单元(1-5%)构成的(甲基)丙烯酸酯共聚物(市售品A),重均分子量50-60万,称量100质量份;选取含10个不饱和双键官能团的聚氨酯丙烯酸酯低聚物(市售品),分子量40000,称量30质量份;选取甲苯二异氰酸酯作为固化剂(东曹化学制:CORONATE L),称量1.5质量份;选取1-羟基环己基苯基酮作为光引发剂(BASF公司制:184),称量1.5质量份。
将上述配方的粘着剂组合物(简称为减粘胶)、基材层(市售品,杨氏弹性模量50Mpa)与离型膜按上述方法制成减粘胶带,评估其在滤光片切割时的性能。
对比例2
提供一种粘着剂组合物及一种减粘胶带。
所述粘着剂组合物中,选取由(甲基)丙烯酸丁酯单元(45-55%),(甲基)丙烯酸甲酯单元(40-50%)和(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯单元(1-5%)构成的(甲基)丙烯酸酯共聚物(市售品A),重均分子量为50-60万,称量100质量份;选取含6个不饱和双键官能团的聚氨酯丙烯酸酯低聚物(长兴化学制:ETERCURE 6195-100),分子量3000-6000,称量30质量份;选取六官二季戊四醇六丙烯酸酯作为多官丙烯酸单体(长兴化学制:EM265),称量5.0质量份;选取甲苯二异氰酸酯作为固化剂(东曹化学制:CORONATE L),称量1.5质量份;选取1-羟基环己基苯基酮作为光引发剂(BASF公司制:184),称量1.5质量份。
将上述配方的粘着剂组合物、基材(市售品,杨氏弹性模量50Mpa)与离型膜按上述方法制成减粘胶带,评估其在制备单片化滤光片工艺流程中时的性能。
对比例3
提供一种粘着剂组合物及一种减粘胶带。
所述粘着剂组合物中,选取由(甲基)丙烯酸丁酯单元(45-55%),(甲基)丙烯酸甲酯单元(40-50%)和(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯单元(1-5%)构成的(甲基)丙烯酸酯共聚物(市售品A),重均分子量为50-60万,称量100质量份;选取含10个不饱和双键官能团的聚氨酯丙烯酸酯低聚物(市售品A),分子量40000,称量30质量份;选取六官二季戊四醇六丙烯酸酯作为多官丙烯酸单体(长兴化学制:EM265),称量5.0质量份;选取甲苯二异氰酸酯作为固化剂(东曹化学制:CORONATE L),称量0.5质量份;选取1-羟基环己基苯基酮作为光引发剂(BASF公司制:184),称量1.5质量份。
将上述配方的粘着剂组合物、基材(市售品,杨氏弹性模量50Mpa)与离型膜按上述方法制成减粘胶带,评估其在制备单片化滤光片工艺流程中时的性能。
对比例4
提供一种粘着剂组合物及一种减粘胶带。
所述粘着剂组合物中,选取由(甲基)丙烯酸丁酯单元(45-55%),(甲基)丙烯酸甲酯单元(40-50%)和(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯单元(1-5%)构成的(甲基)丙烯酸酯共聚物(市售品A),重均分子量为50-60万,称量100质量份;选取含10个不饱和双键官能团聚氨酯丙烯酸酯低聚物(市售品A),分子量40000,称量30质量份;选取六官二季戊四醇六丙烯酸酯作为多官丙烯酸单体(长兴化学制:EM265),称量5.0质量份;选取甲苯二异氰酸酯作为固化剂(东曹化学制:CORONATE L),称量5.0质量份;选取1-羟基环己基苯基酮作为光引发剂(BASF公司制:184),称量1.5质量份。
将上述配方的粘着剂组合物、基材(市售品,杨氏弹性模量50Mpa)与离型膜按上述方法制成减粘胶带,评估其在制备单片化滤光片工艺流程中时的性能。
对比例5
提供一种粘着剂组合物及一种减粘胶带。
所述粘着剂组合物中,选取由(甲基)丙烯酸丁酯单元(45-55%),(甲基)丙烯酸甲酯单元(40-50%)和(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯单元(1-5%)构成的(甲基)丙烯酸酯共聚物(市售品A),重均分子量50-60万,称量100质量份;选取含10个不饱和双键官能团的聚氨酯丙烯酸酯低聚物(市售品A),分子量40000,称量30质量份;选取六官二季戊四醇六丙烯酸酯作为多官丙烯酸单体(长兴化学制:EM265),称量5.0质量份;选取甲苯二异氰酸酯作为固化剂(东曹化学制:CORONATE L),称量1.5质量份;选取1-羟基环己基苯基酮作为光引发剂(BASF公司制:184),称量1.5质量份。
将上述配方的粘着剂组合物、基材(市售品,杨氏弹性模量300Mpa)与离型膜按上述方法制成减粘胶带,评估其在制备单片化滤光片工艺流程中时的性能。
对比例6
提供一种粘着剂组合物及一种减粘胶带。
所述粘着剂组合物中,选取由(甲基)丙烯酸乙基己酯单元(50-60%),(甲基)丙烯酸甲酯单元(35-45%)和(甲基)丙烯酸(1-5%)单元构成的(甲基)丙烯酸酯共聚物(市售品B),重均分子量为40-45万,称量100质量份;选取含10个不饱和双键官能团的聚氨酯丙烯酸酯低聚物(市售品A),分子量40000,称量30质量份;选取六官二季戊四醇六丙烯酸酯作为多官丙烯酸单体(长兴化学制:EM265),称量5.0质量份;选取甲苯二异氰酸酯作为固化剂(东曹化学制:CORONATE L),称量1.5质量份;1-羟基环己基苯基酮作为光引发剂(BASF公司制:184),称量1.5质量份。
将上述配方的粘着剂组合物、基材(市售品,杨氏弹性模量50Mpa)与离型膜按上述方法制成减粘胶带,评估其在制备单片化滤光片工艺流程中时的性能。
本发明提供的减粘胶带的评价办法如下:
(1)缩膜性:即贴附滤光片的基材在经历扩晶制程后转移至子环后,与子环贴附的胶带(拉伸)随时间增加,是否会缓慢发生回缩。T表示缩膜时间,缩膜时间长,缩膜性优,不需要倒膜;缩膜性差,就需要倒膜。
优:T>48h;
良:24h≤T≤48h;
差:T<24h;差为不合格产品。
(2)污染性:将经过激光切割、扩晶和洗涤等工序后的减粘胶带,使用高压汞灯以500mJ/cm2进行紫外照射,随后取单片化的滤光片进行光镜(×50倍)观察,检查贴合面是否存在胶丝、密集型胶点或渗水不良,以及其占切割后单片化滤光片总数的比例。
优:无;
良:比例≤1%;
差:比例>1%。
污染性用于表征胶带的残胶不良情况。优表示单片化的滤光片每一片均无残胶,良表示切割后有残胶的小片数量占总数的比例小于或等于1%,差表示上述比例大于1%,残胶情况严重。差为不合格产品。
(3)拾取性:拾取步骤中,以可拾取的滤光片占全部滤光片的比例来进行评价。
优:≥99%单片化的滤光片可以拾取;
良:95%以上且小于99%单片化的滤光片可以拾取;
差:低于95%单片化的滤光片可以拾取。差为不合格产品。
表1:本发明实施例及对比例提供的粘着剂组合物的配方
Figure BDA0002340108180000171
Figure BDA0002340108180000181
表1中的10官指含10个不饱和双键官能团的聚氨酯丙烯酸酯低聚物(市售品A),
6官指含6个不饱和双键官能团的聚氨酯丙烯酸酯低聚物(长兴化学制:ETERCURE6195-100)。
(甲基)丙烯酸酯共聚物A指由45-55%(甲基)丙烯酸丁酯单元,40-50%(甲基)丙烯酸甲酯单元和1-5%(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯单元构成的(甲基)丙烯酸酯共聚物(市售品A)。(甲基)丙烯酸酯共聚物B指市售品B。
表2本发明实施例及对比例提供的减粘胶带的性能评估结果
Figure BDA0002340108180000182
由表2所示的测试结果可以得出,本发明提供的减粘胶带能够应用于滤光片的切割工艺,尤其是相较于现有减粘胶带,可帮助客户省去倒膜工序,有效节省人工工时和材料。
上述实施例1-4中,实施例1提供的减粘胶带的综合性能最好。
以上所述,仅为本发明的较佳实施例而已,并非用于限定本发明的保护范围。凡是根据本发明内容所做的均等变化与修饰,均涵盖在本发明的专利范围内。

Claims (10)

1.一种粘着剂组合物,其特征在于,所述粘着剂组合物包括(甲基)丙烯酸酯共聚物100质量份,含10个不饱和双键官能团的聚氨酯丙烯酸酯低聚物30质量份,含6个不饱和双键官能团的多官丙烯酸酯单体5.0-10.0质量份,固化剂1.5质量份,光引发剂1.5质量份。
2.根据权利要求1所述的粘着剂组合物,其特征在于,所述(甲基)丙烯酸酯共聚物由45-55%(甲基)丙烯酸丁酯单元,40-50%(甲基)丙烯酸甲酯单元和1-5%(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯单元构成;所述百分含量为重量百分含量。
3.根据权利要求1所述的粘着剂组合物,其特征在于,所述(甲基)丙烯酸酯共聚物的重均分子量为50-60万。
4.根据权利要求1所述的粘着剂组合物,其特征在于,所述含10个不饱和双键官能团的聚氨酯丙烯酸酯低聚物的重均分子量为40000。
5.根据权利要求1所述的粘着剂组合物,其特征在于,所述含6个不饱和双键官能团的多官丙烯酸酯单体为六官二季戊四醇六丙烯酸酯。
6.根据权利要求1所述的粘着剂组合物,其特征在于,所述固化剂为甲苯二异氰酸酯。
7.根据权利要求1所述的粘着剂组合物,其特征在于,所述光引发剂为1-羟基环己基苯基酮。
8.一种应用于切割滤光片的减粘胶带,其特征在于,所述减粘胶带依次包括基材层、胶黏层和离型层;所述胶黏层由权利要求1-7中任一项所述的粘着剂组合物固化后形成。
9.根据权利要求8所述的应用于切割滤光片的减粘胶带,其特征在于,所述胶黏层的厚度为10-25μm。
10.根据权利要求8所述的应用于切割滤光片的减粘胶带,其特征在于,所述基材层选自聚烯烃材质,所述基材层的杨氏弹性模量为50-250Mpa。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112239641A (zh) * 2020-09-22 2021-01-19 江苏皇冠新材料科技有限公司 一种uv解粘胶黏剂,其制备方法以及uv解粘膜
CN114231205A (zh) * 2021-12-31 2022-03-25 深圳市云启科技有限公司 一种耐热uv减粘胶带
CN114231199A (zh) * 2022-01-11 2022-03-25 苏州赛伍应用技术股份有限公司 一种用于滤光片切割的uv减粘胶带及其制备方法
CN114517069A (zh) * 2020-11-19 2022-05-20 宁波激智科技股份有限公司 一种粘着剂组合物、一种uv减粘胶带及其制备方法
CN114517068A (zh) * 2020-11-19 2022-05-20 宁波激智科技股份有限公司 一种黏着剂组合物及一种uv减粘切割胶带

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105778806A (zh) * 2016-03-18 2016-07-20 张家港康得新光电材料有限公司 耐热型uv减粘胶组合物及uv减粘保护膜
CN108276923A (zh) * 2018-02-02 2018-07-13 苏州城邦达力材料科技有限公司 一种uv减粘组合物、uv减粘膜及其制备方法
WO2018197561A1 (en) * 2017-04-26 2018-11-01 Essilor International Optical adhesive for glass and polycarbonate
CN109762509A (zh) * 2019-01-17 2019-05-17 上海仁速新材料有限公司 Uv减黏胶及其用途

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105778806A (zh) * 2016-03-18 2016-07-20 张家港康得新光电材料有限公司 耐热型uv减粘胶组合物及uv减粘保护膜
WO2018197561A1 (en) * 2017-04-26 2018-11-01 Essilor International Optical adhesive for glass and polycarbonate
CN108276923A (zh) * 2018-02-02 2018-07-13 苏州城邦达力材料科技有限公司 一种uv减粘组合物、uv减粘膜及其制备方法
CN109762509A (zh) * 2019-01-17 2019-05-17 上海仁速新材料有限公司 Uv减黏胶及其用途

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112239641A (zh) * 2020-09-22 2021-01-19 江苏皇冠新材料科技有限公司 一种uv解粘胶黏剂,其制备方法以及uv解粘膜
CN112239641B (zh) * 2020-09-22 2021-11-12 江苏皇冠新材料科技有限公司 一种uv解粘胶黏剂,其制备方法以及uv解粘膜
CN114517069A (zh) * 2020-11-19 2022-05-20 宁波激智科技股份有限公司 一种粘着剂组合物、一种uv减粘胶带及其制备方法
CN114517068A (zh) * 2020-11-19 2022-05-20 宁波激智科技股份有限公司 一种黏着剂组合物及一种uv减粘切割胶带
CN114517069B (zh) * 2020-11-19 2023-09-01 宁波激智科技股份有限公司 一种粘着剂组合物、一种uv减粘胶带及其制备方法
CN114517068B (zh) * 2020-11-19 2023-11-28 宁波激智科技股份有限公司 一种黏着剂组合物及一种uv减粘切割胶带
CN114231205A (zh) * 2021-12-31 2022-03-25 深圳市云启科技有限公司 一种耐热uv减粘胶带
CN114231205B (zh) * 2021-12-31 2023-09-19 深圳市云启科技有限公司 一种耐热uv减粘胶带
CN114231199A (zh) * 2022-01-11 2022-03-25 苏州赛伍应用技术股份有限公司 一种用于滤光片切割的uv减粘胶带及其制备方法

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