CN111424263A - 气体分布台和悬浮传动装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开一种气体分布台和悬浮传动装置，其中，所述气体分布台包括本体和多个传动辊，所述本体设有多个原子层沉积单元，每一所述原子层沉积单元设有扩散孔，每一所述传动辊设于相邻的两个所述原子层沉积单元之间，所述传动辊突出所述原子层沉积单元的槽口所在平面；或，所述气体分布台包括多个子台体和多个传动辊，每一所述子台体设有多个原子层沉积单元，每一所述原子层沉积单元内设有扩散孔，每一所述传动辊设于相邻的两个所述子台体之间，所述传动辊突出所述原子层沉积单元的槽口所在平面。本发明技术方案隔开气体分布台和沉积基材，避免沉积基材膜划损，从而降低废品率。
Description
技术领域
本发明涉及原子层沉积技术领域，特别涉及一种气体分布台和悬浮传动装置。
背景技术
目前的悬浮传动装置都是通过传动装置直接将沉积基材膜传送在气体分布台上，在传动的过程中，沉积基材膜容易与气体分布台内的零部件表面摩擦容易刮花，导致废品率较高。
上述内容仅用于辅助理解本申请的技术方案，并不代表承认上述内容是现有技术。
发明内容
本发明的主要目的是提供一种气体分布台和悬浮传动装置，旨在隔开气体分布台和沉积基材膜，避免沉积基材膜划损，从而降低废品率。
为实现上述目的，本发明提出的一种气体分布台；所述气体分布台包括本体和多个传动辊，所述本体设有多个原子层沉积单元，每一所述原子层沉积单元内设有扩散孔，每一所述传动辊设于相邻的两个所述原子层沉积单元之间，所述传动辊突出所述原子层沉积单元的槽口所在平面；
或，所述气体分布台包括本体和多个传动辊，所述本体包括多个子台体，每一所述子台体设有多个原子层沉积单元，每一所述原子层沉积单元内设有扩散孔，每一所述传动辊设于相邻的两个所述子台体之间，所述传动辊突出所述原子层沉积单元的槽口所在平面。
在一实施例中，每一所述传动辊与所述本体活动连接；或，每一所述传动辊与所述子台体活动连接。
在一实施例中，所述本体还凹设有多个容纳槽，每一所述容纳槽位于相邻的两个所述原子层沉积单元之间，并与相邻的两个所述原子层沉积单元连通，每一所述传动辊设于一所述容纳槽内，并突出所述容纳槽的槽口，且所述传动辊与所述容纳槽的槽壁之间具有间隔。
在一实施例中，所述气体分布台还包括设于所述本体的抽气装置，每一所述容纳槽的槽壁设有多个间隔排布的抽气孔，所述抽气装置与多个所述抽气孔连通，所述抽气装置用于抽离位于所述容纳槽内的气体。
在一实施例中，所述气体分布台还包括设于多个安装座，且多个所述安装座分别设于所述本体相对两侧，每一所述传动辊的两端分别与两个所述安装座可拆卸连接。
在一实施例中，所述安装座包括：
基座，设于所述本体的外壁；和
安装块，抵接于所述基座，所述传动辊的一端与所述安装块可拆卸地连接。
在一实施例中，所述安装座还包括设于所述基座与所述安装块之间的垫片，所述垫用于调节所述安装块在所述基座上的高度。
在一实施例中，所述基座包括底板和设于所述底板的第一侧板和第二侧板，所述底板与所述第一侧板、所述第二侧板呈夹角设置，所述底板、所述第一侧板及第三侧板围合形成安装槽，所述安装块放置于所述安装槽内。
在一实施例中，所述本体还设有多个容纳槽，每一所述容纳槽位于相邻的两个所述原子层沉积单元之间，并与相邻的两个所述原子层沉积单元连通；多个所述传动辊包括多个第一传动辊和多个第二传动辊，每一所述第一传动辊和每一所述第二传动辊均与一所述容纳槽对应设置，且所述第一传动辊设于所述容纳槽内，并突出所述容纳槽的槽口，所述第一传动辊与所述容纳槽的槽壁之间具有间隔。
本发明还提出一种悬浮传动装置，所述原子层沉积系统包括所述气体分布台。
本发明技术方案通过在本体设有多个原子层沉积单元；每一所述原子层沉积单元用于释放气体；多个传动辊均可活动地连接于所述本体，每一所述传动辊设于相邻的两个所述原子层沉积单元之间，且所述传动辊在所述本体内的高度大于所述原子层沉积单元的腔口，所述传动辊用于传动沉积基材；或，所述气体分布台包括多个子台体和多个传动辊，每一所述子台体设有多个原子层沉积单元，每一所述原子层沉积单元内设有扩散孔，每一所述传动辊设于相邻的两个所述子台体之间，所述传动辊突出所述原子层沉积单元的槽口所在平面；如此设置，所述沉积基材被所述传动辊传动时，所述沉积基材与所述原子层沉积单元的腔口间隔设置，进而避免沉积基材被原子层沉积单元的腔口划损，从而降低产品的废品率。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
图1为本发明气体分布台一实施例的立体图；
图2为本发明气体分布台的俯视图；
图3为图2的A-A截面示意图；
图4为图2的B-B截面示意图；
图5为本发明气体分布台另一实施例的结构示意图；
图6位本发明气体分布台又一实施例的立体图；
图7为图6的俯视图；
图8为图7的C-C截面示意图。
附图标号说明：
本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
需要说明，本发明实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
另外，在本发明中涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本发明要求的保护范围之内。
本发明提出一种气体分布台。
在本发明实施例中，参照图1、图3及图5，该气体分布台包括本体10和多个传动辊20，所述本体10设有多个原子层沉积单元10a，每一所述原子层沉积单元10a内设有扩散孔，每一所述传动辊20设于相邻的两个所述原子层沉积单元10a之间，所述传动辊20突出所述原子层沉积单元10a的腔口所在平面；
或，该气体分布台包括本体10和多个传动辊20，所述本体10包括多个子台体11，每一所述子台体11设有多个原子层沉积单元10a，每一所述原子层沉积单元10a内设有扩散孔，每一所述传动辊20设于相邻的两个所述子台体11之间，所述传动辊20突出所述原子层沉积单元10a的槽口所在平面。
在第一实施例中，出气部件设于本体10的背面，出气部件用于将气体释放至原子层沉积单元10a内，鉴于传动辊20在本体10内的高度大于原子层沉积单元10a的腔口设置，当沉积基材被传动至原子层沉积单元10a上时，位于传动辊20上的沉积基材也高于原子层沉积单元10a的槽口，如此，沉积基材不会被原子层沉积单元10a的槽口刮伤，进而减少沉积基材在沉积反应中形成沉积层被破坏的几率，从而降低产品的废品率。原子层沉积单元10a为设于在本体10内的腔体，且多个扩散孔呈矩阵排布并间隔设置；多个扩散孔包括进气孔和出气孔，所述进气孔用于向原子层沉积单元10a内释放反应气体或前驱体气体，而出气孔连通有抽气泵，通过抽气泵产生负压以将原子层沉积单元10a内的气体抽走。抽走的所述气体包括但不限于：未反应的前驱体、惰性气体气体、未反应的反应物(水蒸气或臭氧)以及反映的中间产物。任意相邻的两个进气孔之间设置有所述出气孔，以提高反应速率；可以理解的是，当待沉积基材在传动辊20上传动时，原子层沉积单元10a内的扩散孔中的进气孔可向待沉积基材释放前驱体气体和反应气体，使得前驱体气体和反气体在待沉积基材的表面反应并沉积，待沉积反应完全后，扩散孔中的出气孔将其他没有反应的气体排出，保证不影响后续的待沉积基材的沉积反应，进而提升效果。可选地，出气部件在所述原子层沉积单元10a的高度小于所述传动辊20在所述本体10内的高度。如此，也避免出气部件会刮伤位于传动辊20上的沉积基材。在第二实施例中，当沉积基材被传动至每一子台体11的原子层沉积单元10a上时，位于传动辊20上的沉积基材也高于原子层沉积单元10a的槽口和子台体11，如此，沉积基材不会被原子层沉积单元10a的槽口刮伤，进而减少沉积基材在沉积反应中形成沉积层被破坏的几率，从而降低产品的废品率。
本发明技术方案通过在本体10设有多个原子层沉积单元10a；每一所述原子层沉积单元10a设有多个扩散孔，所述扩散孔用于释放反应气体；多个传动辊20均可活动地连接于所述本体10，每一所述传动辊20设于相邻的两个所述原子层沉积单元10a之间，且所述传动辊20在所述本体10内的高度大于所述原子层沉积单元10a的腔口；或，所述气体分布台包括多个子台体和多个传动辊，每一所述子台体设有多个原子层沉积单元，每一所述原子层沉积单元内设有扩散孔，每一所述传动辊设于相邻的两个所述子台体之间，所述传动辊突出所述原子层沉积单元的槽口所在平面；如此设置，所述沉积基材被所述传动辊20传动时，所述沉积基材与所述原子层沉积单元10a的腔口间隔设置，进而避免沉积基材被原子层沉积单元10a的槽口划损，从而降低产品的废品率。
在一实施例中，参照图1和图5，每一所述传动辊20与所述本体10转动连接；或，每一所述传动辊20与所述子台体11转动连接。在本实施例中，通过将传动辊20与本体10或子台体11转动连接，如此设置，当沉积基材被驱动装置带动传动至原子沉积单元10a时，沉积基材移动的同时也带动传动辊20在本体10或子台体11上转动，减少沉积基材传动的摩擦力，且使得沉积基材不会被传动辊20的表面剐蹭，起到保护沉积基材的作用。
在一实施例中，参照图1、图3和图5，所述本体10还设有多个容纳槽10b，每一所述容纳槽10b位于相邻的两个所述原子层沉积单元10a之间，并与相邻的两个所述原子层沉积单元10a连通，每一所述传动辊20设于一所述容纳槽10b内，并突出所述容纳槽10b的槽口，且所述传动辊20与所述容纳槽10a的槽壁之间具有间隔。
在本实施例中，本体10设有多个容纳槽10b，将每一传动辊20对应容纳于一容纳槽10b，使得整个气体分布台结构更紧凑。原子层沉积单元10a的出气部件释放气体，该气体容易扩散至容纳槽10b的位置，而将传动辊20与容纳槽10a的槽壁设置间隔，使得传动辊20面向容纳槽10a的一侧与容纳槽10a的槽壁具有间隔，如此，当容纳于容纳槽10b的传动辊20在气体与沉积基材的表面物质反应时产生一些热量，而传动辊20在该热量的加热下产生膨胀现象，而膨胀增大的传动辊20可通过该间距，使得传动辊20的边缘位置不会位于原子层沉积单元10a，进而使得原子层沉积单元10a的反应气体不容易粘粘在传动辊20上，从而使得传动辊20的表面干净。
在一实施例中，参照图1、图3及图4，所述气体分布台还包括设于所述本体10的抽气装置，每一所述容纳槽10b的槽壁设有多个间隔排布的抽气孔10c，所述抽气装置与多个所述抽气孔10c连通，所述抽气装置用于抽离位于所述容纳槽10b内的气体。通过上述设置，抽气装置可利用自身的抽气部件从抽气孔10c处抽出反应气体，并将反应气体抽出至一增设的储气容器内；该反应气体指的是从原子层沉积单元10a扩散至容纳槽10b的反应气体，这部分反应气体容易让传动辊20脏污。因此，通过抽气装置将该部分反应气体抽离，从而保证传动辊20的表面干净。
在一实施例中，参照图1、图3及图5，所述气体分布台还包括设于多个安装座30，且多个所述安装座30分别设于所述本体10相对两侧，每一所述传动辊20的两端分别与两个所述安装座30可拆卸连接。在本实施例中，每一传动辊20的两端分别与两个安装座30可拆卸连接，进而便于用户更换传动辊20，可根据使用需求更换不同尺寸的传动辊20。
在一实施例中，参照图1、图3及图5，所述安装座30包括基座31和安装块32，基座31设于所述本体10的外壁；安装块32抵接在所述基座31，所述传动辊20的一端与所述安装块32可拆卸地连接。
在本实施例中，基座31固定设于本体10对应所述原子层沉积单元10a的一外侧壁，且该基座31设有凹槽；而传动辊20的两端分别与两个安装块32可拆卸地连接，如此形成的整个部件重量较大，进而可直接将连接有安装块32的传动辊20直接放置在基座31的凹槽内，当气体分布台在沉积处理过程中，传动辊20也不会在凹槽内移动。可选地，基座31为L形结构件，凹槽则是L形结构件的凹陷的空间。可选地，安装块32设有安装孔，且所述传动辊20的端部设有轴承，并将轴承的外侧可活动地穿设于所述安装孔内。
在一实施例中，参照图1、图3及图5，所述安装座30还包括设于所述基座31与所述安装块32之间的垫片(图未示)，所述垫片用于调节所述安装块32在所述基座31上的高度。
在本实施例中，通过在基座31和安装块32设置垫片，进而可调节安装块32在基座31上的高度，从而可调节与安装块32连接的传动辊20在原子层沉积单元10a的高度；当沉积基材沉积不同的反应气体时，可根据反应气体的活性程度来调整传动辊20在原子层沉积单元10a的高度，使得反应气体不容易与传动辊20接触。垫片设置有多个，每一个垫片的厚度不同，如此，用户只需更换不同的厚度的垫片，即可将传动辊20调节为不同的高度。
在一实施例中，参照图1，所述基座31包括底板311和设于所述底板311的第一侧板312和第二侧板313，所述底板311与所述第一侧板312、所述第二侧板313呈夹角设置，所述底板311、所述第一侧板312及第二侧板313围合形成安装槽(图未标)，所述安装块32放置于所述安装槽内。如此，无论设于安装块32的传动辊20往左或右，第一侧板312和第二侧板313均可限定安装块32在水平方向的位移，从而保证传动辊20传动更稳定。
在一实施例中，参照图1，所述底板311设有连通所述安装槽(图未标)的限位孔(图未示)，所述安装块32放置于所述安装槽内时，所述安装块32卡接在所述限位孔处。在本实施例中，通过在底板311凹设限位孔，使得安装块32的底部可卡在限位孔处，限位孔的孔壁可限定安装块32的底部，让安装块32不容易在传动辊20转动时驱动移动，另外还可加快安装块32与基座31的装配速度。
在一实施例中，参照图6至图8，所述本体10还设有多个容纳槽10b，每一所述容纳槽10b位于相邻的两个所述原子层沉积单元10a之间，并与相邻的两个所述原子层沉积单元10a连通；多个所述传动辊20包括多个第一传动辊21和多个第二传动辊22，每一所述第一传动辊21和每一所述第二传动辊22均与一所述容纳槽10b上下相对设置，且所述第一传动辊21设于所述容纳槽10b内，并突出所述容纳槽10b的槽口，所述第一传动辊21与所述容纳槽10b的槽壁之间具有间隔。
在本实施例中，第一传动辊21和第二传动辊22上下相对设于容纳槽10b上，而第一传动辊21的部分位于容纳槽10b内，且第一传动辊21与容纳槽10b间隔设置；如此设置，可让上下相对设置的第一传动辊21和第二传动辊22形成传动沉积基材的缝隙，使得沉积基材传动更稳定顺畅。
在一实施例中，参照图1，所述气体分布台还包括多个滚动轴承(图未标)，每一所述滚动轴承设于一所述安装块32，每一所述传动辊20的两端分别插设于两个所述滚动轴承的中心孔处。在本实施例中，每一安装块32内设有一滚动轴承，且每一传动辊20的两端分别插设在两个安装块32的滚动轴承的中心孔处，以此实现传动辊20可转动地连接于安装块32。
本发明还提出一种悬浮传动装置，所述悬浮传动装置包括所述气体分布台。该气体分布台的具体结构参照上述实施例，由于本悬浮传动装置采用了上述所有实施例的全部技术方案，因此至少具有上述实施例的技术方案所带来的所有有益效果，在此不再一一赘述。
以上所述仅为本发明的优选实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是在本发明的发明构思下，利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本发明的专利保护范围内。
Claims (10)
1.一种气体分布台，其特征在于，所述气体分布台包括本体和多个传动辊，所述本体设有多个原子层沉积单元，每一所述传动辊设于相邻的两个所述原子层沉积单元之间，所述传动辊突出所述原子层沉积单元的槽口所在平面；
或，所述气体分布台包括本体和多个传动辊，所述本体包括多个子台体，每一所述子台体设有多个原子层沉积单元，每一所述原子层沉积单元内设有扩散孔，每一所述传动辊设于相邻的两个所述子台体之间，所述传动辊突出所述原子层沉积单元的槽口所在平面。
2.如权利要求1所述的气体分布台，其特征在于，每一所述传动辊与所述本体活动连接；或，每一所述传动辊与所述子台体活动连接。
3.如权利要求2所述的气体分布台，其特征在于，所述本体还设有多个容纳槽，每一所述容纳槽位于相邻的两个所述原子层沉积单元之间，并与相邻的两个所述原子层沉积单元连通，每一所述传动辊设于一所述容纳槽内，并突出所述容纳槽的槽口，且所述传动辊与所述容纳槽的槽壁之间具有间隔。
4.如权利要求3所述的气体分布台，其特征在于，所述气体分布台还包括设于所述本体的抽气装置，每一所述容纳槽的槽壁设有多个间隔排布的抽气孔，所述抽气装置与多个所述抽气孔连通，所述抽气装置用于抽离位于所述容纳槽内的气体。
5.如权利要求4所述的气体分布台，其特征在于，所述气体分布台还包括多个安装座，多个所述安装座分别设于所述本体相对两侧，每一所述传动辊的两端分别与两个所述安装座可拆卸连接。
6.如权利要求5所述的气体分布台，其特征在于，所述安装座包括：
基座，设于所述本体的外壁；和
安装块，抵接于所述基座，所述传动辊的一端与所述安装块可拆卸地连接。
7.如权利要求6所述的气体分布台，其特征在于，所述安装座还包括设于所述基座与所述安装块之间的垫片，所述垫片用于调节所述安装块在所述基座上的高度。
8.如权利要求7所述的气体分布台，其特征在于，所述基座包括底板和设于所述底板的第一侧板和第二侧板，所述底板与所述第一侧板、所述第二侧板呈夹角设置，所述底板、所述第一侧板及所述第二侧板围合形成安装槽，所述安装块放置于所述安装槽内。
9.如权利要求2所述的气体分布台，所述本体还设有多个容纳槽，每一所述容纳槽位于相邻的两个所述原子层沉积单元之间，并与相邻的两个所述原子层沉积单元连通；多个所述传动辊包括多个第一传动辊和多个第二传动辊，每一所述第一传动辊和每一所述第二传动辊均与一所述容纳槽对应设置，且所述第一传动辊设于所述容纳槽内，并突出所述容纳槽的槽口，所述第一传动辊与所述容纳槽的槽壁之间具有间隔。
10.一种悬浮传动装置，其特征在于，所述悬浮传动装置包括如权利要求1至9中任意一项所述的气体分布台。
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