CN111424252A - 一种管料加工真空镀膜箱体 - Google Patents

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CN111424252A CN202010344450.8A CN202010344450A CN111424252A CN 111424252 A CN111424252 A CN 111424252A CN 202010344450 A CN202010344450 A CN 202010344450A CN 111424252 A CN111424252 A CN 111424252A
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
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Abstract

本发明公开了一种管料加工真空镀膜箱体，包括主箱体，所述主箱体的底板的底面固定有下支撑架，主箱体的下部固定有隔板，隔板将主箱体分隔成上镀膜室和下传动室；所述上镀膜室中设有传动主轴套，传动主轴套的底部铰接在隔板上，传动主轴套的底端伸出隔板并固定有传动齿轮，主箱体的底板的底面边部固定有驱动电机，驱动电机的输出轴伸入下传动室并固定有驱动齿轮，驱动齿轮与传动齿轮相啮合。本发明可以使放料杆沿着传动主轴进行水平移动，通气其也可以进行自动旋转，使得其上安装的管料的外侧壁上可以均匀镀膜，镀膜效果好。

Description

一种管料加工真空镀膜箱体
技术领域
本发明涉及真空镀膜设备技术领域，更具体的说涉及一种管料加工真空镀膜箱体。
背景技术
真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说，在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜。
现有的真空镀膜箱中，其对管体的外侧壁上进行镀膜时，一般是将管体插套在杆体上，杆体固定在旋转主轴上，通过旋转主轴旋转，实现杆体的移动，从而对管体的外部的各个部位进行镀膜，然而，由于管体并不会沿着杆体进行旋转，使得其镀膜效果有限。
发明内容
本发明的目的是克服现有技术的不足，提供一种管料加工真空镀膜箱体，它可以使放料杆沿着传动主轴进行水平移动，通气其也可以进行自动旋转，使得其上安装的管料的外侧壁上可以均匀镀膜，镀膜效果好。
本发明解决所述技术问题的方案是：
一种管料加工真空镀膜箱体，包括主箱体，所述主箱体的底板的底面固定有下支撑架，主箱体的下部固定有隔板，隔板将主箱体分隔成上镀膜室和下传动室；
所述上镀膜室中设有传动主轴套，传动主轴套的底部铰接在隔板上，传动主轴套的底端伸出隔板并固定有传动齿轮，主箱体的底板的底面边部固定有驱动电机，驱动电机的输出轴伸入下传动室并固定有驱动齿轮，驱动齿轮与传动齿轮相啮合；
所述传动主轴套中插套有传动主轴，传动主轴的底端通过轴承铰接在传动主轴套的底面中部，传动主轴的顶部伸出传动主轴套的顶面并通过轴承铰接在主箱体的顶板上，传动主轴的顶端伸出主箱体的顶板的顶面并通过联轴器与上驱动电机的输出轴相连接，上驱动电机固定在主箱体的顶板的顶面上固定有的上支撑架的顶板的顶面上，上驱动电机的输出轴穿过上支撑架的顶板的底面；
所述传动主轴的外侧壁上固定有多个锥齿轮，传动主轴套的侧壁上通过轴承铰接有多个放料杆，放料杆的放置部伸出传动主轴套的外侧壁，放料杆的内端固定有传动锥齿轮，传动锥齿轮处于传动主轴套中并与对应的锥齿轮相啮合。
所述传动主轴套由两个半轴套通过螺栓固定连接，两个半轴套的底端成型有直径小于半轴套的半柱体，两个半柱体组成下轴部，下轴部插套在下传动轴套中，下传动轴套的顶部外侧壁成型有径向延伸边，径向延伸边通过螺栓固定连接在两个半轴套的底面上，隔板的中部具有传动通孔，传动通孔的内侧壁上固定有内自润滑轴套，传动主轴套的下部插套在内自润滑轴套中，下传动轴套处于下传动室中并固定有驱动齿轮。
所述传动主轴套的下部外侧壁上固定有底部旋转盘，底部旋转盘的底面固定有多个半球自润滑块，半球自润滑块的球面压靠在隔板的顶面上，底部旋转盘的外侧壁上成型有的环形槽，密封圈嵌套在环形槽中，密封圈的外侧壁紧贴主箱体的内侧壁。
所述主箱体的顶板的底面中部固定有导向套，导向套的内侧壁上固定有内自润滑套，传动主轴套的上部插套在内自润滑轴套中，传动主轴套的顶面固定有上环形凹槽，上自润滑密封环形套嵌套在上环形凹槽中，上自润滑密封环形套的顶面紧贴主箱体的顶板的底面上。
所述主箱体的内侧壁上竖直设有若干磁控溅射靶。
所述驱动电机插套在下支撑架的顶板上成型有的插槽中。
所述主箱体的前壁面的侧壁通过铰接轴铰接有箱门。
本发明的突出效果是：与现有技术相比，它可以使放料杆沿着传动主轴进行水平移动，通气其也可以进行自动旋转，使得其上安装的管料的外侧壁上可以均匀镀膜，镀膜效果好。
附图说明
图1是本发明的局部结构示意图；
图2是图1的局部放大图；
图3是图1的另一部分的局部放大图；
图4是本发明的传动主轴套的局部结构示意图。
具体实施方式
实施例，见如图1至图4所示，一种管料加工真空镀膜箱体，包括主箱体10，所述主箱体10的底板的底面固定有下支撑架11，主箱体10的下部固定有隔板12，隔板12将主箱体10分隔成上镀膜室1和下传动室2；
所述上镀膜室1中设有传动主轴套3，传动主轴套3的底部铰接在隔板12上，传动主轴套3的底端伸出隔板12并固定有传动齿轮31，主箱体10的底板的底面边部固定有驱动电机13，驱动电机13的输出轴伸入下传动室2并固定有驱动齿轮131，驱动齿轮131与传动齿轮31相啮合；
所述传动主轴套3中插套有传动主轴4，传动主轴4的底端通过轴承铰接在传动主轴套3的底面中部，传动主轴4的顶部伸出传动主轴套3的顶面并通过轴承铰接在主箱体10的顶板上，传动主轴4的顶端伸出主箱体10的顶板的顶面并通过联轴器与上驱动电机14的输出轴相连接，上驱动电机14固定在主箱体10的顶板的顶面上固定有的上支撑架15的顶板的顶面上，上驱动电机14的输出轴穿过上支撑架15的顶板的底面；
所述传动主轴4的外侧壁上固定有多个锥齿轮41(可以通过焊接固定将锥齿轮41固定在传动主轴4上，也可以通过花键的方式插套隔套和锥齿轮41实现固定，其方式有很多，均为公知方式，不再详述)，传动主轴套3的侧壁上通过轴承铰接有多个放料杆5，放料杆5的放置部伸出传动主轴套4的外侧壁，放料杆5的内端固定有传动锥齿轮51，传动锥齿轮51处于传动主轴套3中并与对应的锥齿轮41相啮合。
进一步的说，所述传动主轴套3由两个半轴套通过螺栓固定连接，两个半轴套的底端成型有直径小于半轴套的半柱体，两个半柱体组成下轴部，下轴部插套在下传动轴套32中，下传动轴套32的顶部外侧壁成型有径向延伸边33，径向延伸边33通过螺栓固定连接在两个半轴套的底面上，隔板12的中部具有传动通孔121，传动通孔121的内侧壁上固定有内自润滑轴套122，传动主轴套3的下部插套在内自润滑轴套122中，下传动轴套32处于下传动室2中并固定有驱动齿轮131。
进一步的说，所述传动主轴套3的下部外侧壁上固定有底部旋转盘34，底部旋转盘34的底面固定有多个半球自润滑块35，半球自润滑块35的球面压靠在隔板12的顶面上，底部旋转盘34的外侧壁上成型有的环形槽，密封圈36嵌套在环形槽中，密封圈36的外侧壁紧贴主箱体10的内侧壁。
进一步的说，所述主箱体10的顶板的底面中部固定有导向套16，导向套16的内侧壁上固定有内自润滑套17，传动主轴套3的上部插套在内自润滑轴套17中，传动主轴套3的顶面固定有上环形凹槽37，上自润滑密封环形套38嵌套在上环形凹槽37中，上自润滑密封环形套38的顶面紧贴主箱体10的顶板的底面上。
进一步的说，所述主箱体10的内侧壁上竖直设有若干磁控溅射靶6。
进一步的说，所述驱动电机13插套在下支撑架11的顶板上成型有的插槽111中。
进一步的说，所述主箱体10的前壁面的侧壁通过铰接轴铰接有箱门19。
本实施例中，其使用的磁控溅射靶6采用的是申请号为201210588533.7的磁控溅射镀膜装置，因此不再详述。
而本实施例中的驱动电机13和上驱动电机14均通过连接线与控制主机电连接，控制主机为公知常用设备，均可以直接购买得到，不再详述。
本实施例的工作原理：将待加工的管体插套在放料杆5的放置部上，然后，将箱门19盖合关闭，然后，通过驱动电机13和上驱动电机14运行，实现传动主轴套3和传动主轴4同时进行转动，其中传动主轴套3和传动主轴4的转动方向相反或者是两者的转动速度不同，具有速度差，从而可以实现待加工的管体可以沿着传动主轴套3进行水平旋转，而通过锥齿轮41带动传动锥齿轮51转动，实现放料杆5的自转，从而使得待加工的管体可以进行全方位转动，方便磁控溅射靶6将其靶料镀膜在待加工的管体上，其镀膜效果好，均匀程度高。
最后，以上实施方式仅用于说明本发明，而并非对本发明的限制，有关技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属于本发明的范畴，本发明的专利保护范围应由权利要求限定。

Claims (7)

1.一种管料加工真空镀膜箱体，包括主箱体(10)，其特征在于：所述主箱体(10)的底板的底面固定有下支撑架(11)，主箱体(10)的下部固定有隔板(12)，隔板(12)将主箱体(10)分隔成上镀膜室(1)和下传动室(2)；
所述上镀膜室(1)中设有传动主轴套(3)，传动主轴套(3)的底部铰接在隔板(12)上，传动主轴套(3)的底端伸出隔板(12)并固定有传动齿轮(31)，主箱体(10)的底板的底面边部固定有驱动电机(13)，驱动电机(13)的输出轴伸入下传动室(2)并固定有驱动齿轮(131)，驱动齿轮(131)与传动齿轮(31)相啮合；
所述传动主轴套(3)中插套有传动主轴(4)，传动主轴(4)的底端通过轴承铰接在传动主轴套(3)的底面中部，传动主轴(4)的顶部伸出传动主轴套(3)的顶面并通过轴承铰接在主箱体(10)的顶板上，传动主轴(4)的顶端伸出主箱体(10)的顶板的顶面并通过联轴器与上驱动电机(14)的输出轴相连接，上驱动电机(14)固定在主箱体(10)的顶板的顶面上固定有的上支撑架(15)的顶板的顶面上，上驱动电机(14)的输出轴穿过上支撑架(15)的顶板的底面；
所述传动主轴(4)的外侧壁上固定有多个锥齿轮(41)，传动主轴套(3)的侧壁上通过轴承铰接有多个放料杆(5)，放料杆(5)的放置部伸出传动主轴套(4)的外侧壁，放料杆(5)的内端固定有传动锥齿轮(51)，传动锥齿轮(51)处于传动主轴套(3)中并与对应的锥齿轮(41)相啮合；
所述传动主轴套(3)的下部外侧壁上固定有底部旋转盘(34)，底部旋转盘(34)的底面固定有多个半球自润滑块(35)，半球自润滑块(35)的球面压靠在隔板(12)的顶面上。
2.根据权利要求1所述的一种管料加工真空镀膜箱体，其特征在于：所述传动主轴套(3)由两个半轴套通过螺栓固定连接，两个半轴套的底端成型有直径小于半轴套的半柱体，两个半柱体组成下轴部，下轴部插套在下传动轴套(32)中，下传动轴套(32)的顶部外侧壁成型有径向延伸边(33)，径向延伸边(33)通过螺栓固定连接在两个半轴套的底面上，隔板(12)的中部具有传动通孔(121)，传动通孔(121)的内侧壁上固定有内自润滑轴套(122)，传动主轴套(3)的下部插套在内自润滑轴套(122)中，下传动轴套(32)处于下传动室(2)中并固定有驱动齿轮(131)。
3.根据权利要求2所述的一种管料加工真空镀膜箱体，其特征在于：所述底部旋转盘(34)的外侧壁上成型有的环形槽，密封圈(36)嵌套在环形槽中，密封圈(36)的外侧壁紧贴主箱体(10)的内侧壁。
4.根据权利要求2所述的一种管料加工真空镀膜箱体，其特征在于：所述主箱体(10)的顶板的底面中部固定有导向套(16)，导向套(16)的内侧壁上固定有内自润滑套(17)，传动主轴套(3)的上部插套在内自润滑轴套(17)中，传动主轴套(3)的顶面固定有上环形凹槽(37)，上自润滑密封环形套(38)嵌套在上环形凹槽(37)中，上自润滑密封环形套(38)的顶面紧贴主箱体(10)的顶板的底面上。
5.根据权利要求1所述的一种管料加工真空镀膜箱体，其特征在于：所述主箱体(10)的内侧壁上竖直设有若干磁控溅射靶(6)。
6.根据权利要求1所述的一种管料加工真空镀膜箱体，其特征在于：所述驱动电机(13)插套在下支撑架(11)的顶板上成型有的插槽(111)中。
7.根据权利要求1所述的一种管料加工真空镀膜箱体，其特征在于：所述主箱体(10)的前壁面的侧壁通过铰接轴铰接有箱门(19)。
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