CN111408864B - 一种旋转靶材的装配方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种旋转靶材的装配方法。所述方法包括：将至少两个旋转靶材套在背管上进行拼接，相邻两个旋转靶材之间形成拼接缝隙，在每个所述拼接缝隙中设置多个第一支撑件；每个所述第一支撑件均一部分位于拼接缝隙一侧的旋转靶材与背管之间，另一部分位于拼接缝隙另一侧的旋转靶材与背管之间；在每个所述拼接缝隙中设置第二支撑件，所述第二支撑件为环状，套在所述背管上，将形成旋转靶材的两个旋转靶材隔开；用密封件将对每个所述拼接缝隙进行密封，得到装配后的旋转靶材。本发明提供的旋转靶材的装配方法可以使得到的装配后的旋转靶材在焊接时焊接结合率高，成品率高，拼接缝隙均匀，相邻旋转靶材表面高度一致性良好，表面无台阶。

Description

一种旋转靶材的装配方法

技术领域

本发明属于靶材装配技术领域，涉及一种旋转靶材的装配方法。

背景技术

透明导电氧化物薄膜在可见光区具备良好的光透射率及较好的导电性能，广泛应用在液晶显示器镀膜、光伏太阳能镀膜和大面积玻璃镀膜等领域。其薄膜通常利用磁控溅射制备，原理是利用一定能量的粒子轰击靶材表面，使固体原子或分子从表面分离并沉积到基片或工件表面形成薄膜；通过此方法制备的薄膜与基体的附着力强、薄膜致密均匀度高。

掺锡氧化铟(ITO)薄膜是第一代透明导电氧化物薄膜材料，因具备优异的光学特性而被广泛应用在光学器件中。但由于原材料成本高、铟资源短缺等原因，导致迫切需要一种新型的透明导电氧化物薄膜。

掺铝氧化锌(AZO)薄膜具有光电特性好，光学透射率达到90％、电阻率达到10^-4Ω·cm量级，并且Zn和Al资源丰富、成本低廉，被广泛应用在太阳能电池、液晶显示器、发光二极管等领域。AZO薄膜光学性能与ITO薄膜相似，被誉为21世纪最有潜力的功能薄膜之一。

磁控溅射制备AZO薄膜有两种方式：锌铝合金靶材反应溅射镀膜和AZO陶瓷靶材直接溅射镀膜。相对于锌铝合金靶材的反应溅射镀膜，AZO陶瓷靶材直接溅射镀膜具备溅射速率快、膜层成分均匀稳定、可实现低氧或无氧溅射等优点。AZO平面靶材利用率仅为30％左右，溅射跑道区域固定，容易发生结瘤中毒；而旋转靶材的利用率可达80％以上，并且靶材全程在高速旋转溅射，可有效减少靶材表面的结瘤中毒，靶材溅射过程中的冷却效果也得到提升，镀膜过程更加稳定、安全。

AZO陶瓷材料较脆，生产过程中容易损伤和受热开裂。通常AZO平面靶拼接焊接在铜背板上，AZO旋转靶材拼接焊接在不锈钢背管上。AZO旋转靶材的焊接工艺：一般使用铟焊料，利用手持式超声波钎焊机分别对AZO焊接内表面、不锈钢背管焊接外表面进行浸润处理，然后两者紧密贴合在一起，完成后AZO与背管之间具备一定的焊接强度。

管状靶材不同于平面靶材易于浸润和扣合，管状靶材两端相通，且弧形较难在焊接面保留足够焊料，焊接合格率较低，焊接性能较差。

陶瓷靶性能优良，原材料丰富且价格低廉，其溅射所成薄膜电阻率低，可见光区域透射率高，红外区反射率高，紫外吸收率高，被广泛应用于太阳能电池电极，液晶显示器等领域。旋转型陶瓷管靶能提高陶瓷靶材的利用率，有利于改善成膜的均匀性，因此陶瓷管靶近年来成为研究者探究的热门之一。

市场上现有的管靶焊接技术如：

CN105624627A采用背管开槽灌铟的方式，加热靶材和背管并通过旋转机器完成绑定，保持旋转直道冷却，此方法无法保证焊接合格率且焊接后管靶易出现弯曲变形。

CN106270866A将背管连同密封圈固定在底座上，靶材套入背管后在靶材和背管空隙中填铟，然后逐段进行组装焊接，最后由下到上逐段进行冷却完成焊接。但是逐段焊接无法保证管靶整体的焊接合格率，且在操作上存在一定的危险性，逐段焊接拼接缝隙的均匀性无法保证，且不利于稳定批量生产。

发明内容

针对现有技术中存在的上述不足，本发明的目的在于提供一种旋转靶材的装配方法。本发明提供的装配方法能够解决旋转靶材在后续焊接过程中，焊接合格率低，焊接过程较复杂且难以实现的问题。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

本发明提供一种旋转靶材的装配方法，所述方法包括以下步骤：

将至少两个旋转靶材套在背管上进行拼接，相邻两个旋转靶材之间形成拼接缝隙，在每个所述拼接缝隙中设置多个第一支撑件；每个所述第一支撑件均一部分位于拼接缝隙一侧的旋转靶材与背管之间，另一部分位于拼接缝隙另一侧的旋转靶材与背管之间；在每个所述拼接缝隙中设置第二支撑件，所述第二支撑件为环状，套在所述背管上，将形成旋转靶材的两个旋转靶材隔开；用密封件将对每个所述拼接缝隙进行密封，得到装配后的旋转靶材。

本发明提供的装配方法中，第一支撑件用于保持背管与旋转靶材之间的距离，同时控制相邻旋转靶材间的距离。第二支撑件的作用在于满足焊缝距离要求，并且阻止焊料流入焊缝，同时起到保护旋转靶材端头表面的作用。

本发明中，第一支撑件和第二支撑件是配合使用的，它们的共同作用保证了经过本发明的方法装配好的旋转靶材在焊接时焊接结合率高，成品率高，拼接缝隙均匀，相邻旋转靶材表面无台阶。

本发明提供的方法中，密封件(例如耐热胶带)的作用在于保证焊料不会从焊缝中流出，同时起到固定相邻旋转靶材的作用。

本发明中，所述第一、第二和第三仅仅是对名称的限定，而不是对数量的限定。

以下作为本发明优选的技术方案，但不作为对本发明提供的技术方案的限制，通过以下优选的技术方案，可以更好的达到和实现本发明的技术目的和有益效果。

作为本发明优选的技术方案，所述旋转靶材和背管在拼接前先进行浸润。进行浸润的目的在于保证靶材与焊料、背管与焊料之间结合良好。

优选地，所述浸润的方法为：用焊料加热浸润并用超声波处理表面液态焊料。

优选地，所述焊料为铟。

优选地，所述加热的温度为210-240℃，例如210℃、215℃、220℃、225℃、230℃、235℃或240℃等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

优选地，所述加热的时间为30-60min，例如30min、40min、50min或60min等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

作为本发明优选的技术方案，所述第一支撑件为金属丝。

优选地，所述金属丝为铜丝。

优选地，所述金属丝的直径为0.6-1mm，例如0.6mm、0.7mm、0.8mm、0.9mm或1mm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

优选地，所述第一支撑件的形状为U型，且将U型的弧形部分弯曲翘起。采用这种形状的第一支撑件的好处在于保证铜丝保留在上下拼接靶材与背管间隙中，同时可以起到保证间隙均匀性的作用。

优选地，U型的所述第一支撑件弯曲翘起的弧形部分位于拼接缝隙一侧的旋转靶材与背管之间，U型的直杆部分位于拼接缝隙另一侧的旋转靶材与背管之间。

作为本发明优选的技术方案，所述第二支撑件为聚四氟乙烯环。

优选地，所述第二支撑件的内径比所述旋转靶材的内径大1-3mm，例如1mm、1.5mm、2mm、2.5mm或3mm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

本发明中，如果第二支撑件的内径比所述旋转靶材的内径大得太多，会导致铟焊料进入拼接缝隙中。

作为本发明优选的技术方案，所述背管包括不锈钢背管、钛背管、铜背管。

优选地，所述旋转靶材包括掺铝氧化锌陶瓷管靶材(AZO陶瓷靶材)和/或掺锡氧化铟陶瓷管靶材。

优选地，所述背管竖直放置且固定在底座上。

优选地，将背管固定在底座上的方法为螺丝紧固。

作为本发明优选的技术方案，在所述底座和与之相邻的旋转靶材之间设置第三支撑件，所述第三支撑件为环状，套在所述背管上，将所述底座和与之相邻的旋转靶材隔开。

本发明中，所述第三支撑件的作用在于密封底部位置背管与旋转靶材，防止焊料从底部焊接缝隙中流出。

优选地，所述第三支撑件为O-ring圈。

作为本发明优选的技术方案，所述装配方法还包括：

在用密封件将对每个所述拼接缝隙进行密封之前，先调整各个旋转靶材的位置使其中心线均位于同一条直线上。

优选地，调整各个旋转靶材的位置的方法为利用标准的水平块检测拼接缝隙处相邻两个旋转靶材的外表面高度以调整旋转靶材位置使其中心线均位于同一条直线上。

作为本发明优选的技术方案，所述密封件包括胶带。

优选地，所述胶带为耐热胶带。

作为本发明优选的技术方案，每个所述拼接缝隙中设置4-8个第一支撑件，例如4个、5个、6个、7个或8个。

优选地，每个所述拼接缝隙中的第一支撑件沿着所述背管的外壁均匀排布。

作为本发明所述装配方法的进一步优选技术方案，所述方法包括以下步骤：

将至少两个旋转靶材套在背管上进行拼接，相邻两个旋转靶材之间形成拼接缝隙，在每个所述拼接缝隙中设置4-8个第一支撑件每个所述拼接缝隙中的第一支撑件沿着所述背管的外壁均匀排布；第一支撑件为直径0.6-1mm的铜丝，其形状为U型，且将U型的弧形部分弯曲翘起，每个所述第一支撑件弯曲翘起的弧形部分位于拼接缝隙一侧的旋转靶材与背管之间，U型的直杆部分位于拼接缝隙另一侧的旋转靶材与背管之间；

在每个所述拼接缝隙中设置第二支撑件，所述第二支撑件为聚四氟乙烯环，套在所述背管上，将形成旋转靶材的两个旋转靶材隔开；所述第二支撑件的内径比所述旋转靶材的内径大1-3mm；

所述背管为不锈钢背管，所述背管竖直放置且用螺丝固定在底座上，在所述底座和与之相邻的旋转靶材之间设置第三支撑件，所述第三支撑件为环状，套在所述背管上，将所述底座和与之相邻的旋转靶材隔开，所述第三支撑件为O-ring圈；

调整各个旋转靶材的位置使其中心线均位于同一条直线上，用密封件将对每个所述拼接缝隙进行密封，得到装配后的旋转靶材；所述密封件为耐热胶带；

其中，所述旋转靶材和背管在拼接前先用焊料进行210-240℃加热浸润并用超声波处理表面液态焊料，所述旋转靶材为掺铝氧化锌陶瓷管靶材。

上述进一步优化的技术方案可以在后续焊接构成中解决操作困难，焊接合格率低，拼接缝隙不均匀，拼接型AZO靶材表面出现台阶差等问题。

本发明提供的旋转靶材的装配方法得到的装配后的旋转靶材，可以用如下方法进行焊接：

用加热环包裹旋转靶材外表面、加热棒插入不锈钢背管内壁；然后对管靶整体进行加热，预热210℃后将钎焊料从顶部灌入，凝固后完成旋转靶材整体焊接。

与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：

本发明提供的旋转靶材的装配方法在第一支撑件和第二支撑件的配合作用下，可以使得到的装配后的旋转靶材在焊接时焊接结合率高(平均可达99％以上)，成品率高，拼接缝隙均匀，相邻旋转靶材表面高度一致性良好，表面无台阶。

附图说明

图1为实施例1提供的旋转靶材的装配方法中背管2和旋转靶材1的位置示意图；

图2(a)为实施例1提供的旋转靶材的装配方法中第一支撑件4的形状示意图；

图2(b)为实施例1提供的旋转靶材的装配方法中第一支撑件4的排布位置示意图；

图3为实施例1提供的旋转靶材的装配方法中第二支撑件5和第三支撑件6的安装位置示意图；

图4为实施例1提供的旋转靶材的装配方法最后得到的装配后的旋转靶材的外观示意图；

其中，1-旋转靶材，2-背管，3-底座，4-第一支撑件，5-第二支撑件，6-第三支撑件，7-密封件，8-紧固螺丝。

具体实施方式

为更好地说明本发明，便于理解本发明的技术方案，下面对本发明进一步详细说明。但下述的实施例仅仅是本发明的简易例子，并不代表或限制本发明的权利保护范围，本发明保护范围以权利要求书为准。

以下为本发明典型但非限制性实施例：

实施例1

本实施例按照如下方法进行旋转靶材的装配：

首先将需拼接的旋转靶材1(AZO陶瓷管)用铟焊料进行220℃加热浸润40min(伴有超声波处理表面)，同时将背管2(不锈钢背管)用铟焊料进行220℃加热浸润50min(伴有超声波处理表面)，之后进行拼接。

将背管2和4个旋转靶材1按图1所示进行拼接，旋转靶材1套在背管2上，背管2竖直放置于底座3上，拼接缝隙用第一支撑件4(0.8mm铜丝)相隔开来，第一支撑件4的形状为U型，且将U型的弧形部分弯曲翘起，如图2(a)所示，第一支撑件4全部保留在上下节旋转靶材1内，U型的所述第一支撑件4弯曲翘起的弧形部分位于拼接缝隙一侧的旋转靶材1与背管2之间，U型的直杆部分位于拼接缝隙另一侧的旋转靶材1与背管2之间。本实施例中，每个拼接缝隙中设置6个第一支撑件4，它们沿着背管2的外壁均匀排布，如图2(b)所示。

旋转靶材1拼接缝隙中间用第二支撑件5(聚四氟乙烯环)相隔开来，本实施例中的第二支撑件5(聚四氟乙烯环)内径比旋转靶材1内径大2mm，在所述底座3和与之相邻的旋转靶材1之间设置第三支撑件6(O-ring圈)，所述第三支撑件6为环状，套在所述背管2上，将所述底座3和与之相邻的旋转靶材1隔开，如图3所示。

利用标准的水平块检测拼接处两节旋转靶材1的表面高度，调节各个旋转靶材1在同一水平线上，同时用密封件7(耐热胶带)在拼接缝隙处进行密封，背管2下方用紧固螺丝8在底座3上，得到装配后的旋转靶材，如图4所示。

对本实施例提供的装配后的旋转靶材的焊接性能测试的结果见表1。

实施例2

本实施例按照如下方法进行旋转靶材的装配：

首先将需拼接的旋转靶材(AZO陶瓷管)用铟焊料进行210℃加热浸润50min(伴有超声波处理表面)，同时将背管(不锈钢背管)用铟焊料进行210℃加热浸润55min(伴有超声波处理表面)，之后进行拼接。

将背管和3个旋转靶材进行拼接，旋转靶材套在背管上，背管竖直放置于底座上，拼接缝隙用第一支撑件(0.6mm铜丝)相隔开来，第一支撑件的形状为U型，且将U型的弧形部分弯曲翘起，第一支撑件全部保留在上下节旋转靶材内，U型的所述第一支撑件弯曲翘起的弧形部分位于拼接缝隙一侧的旋转靶材与背管之间，U型的直杆部分位于拼接缝隙另一侧的旋转靶材与背管之间。本实施例中，每个拼接缝隙中设置4个第一支撑件，它们沿着背管的外壁均匀排布。

旋转靶材拼接缝隙中间用第二支撑件(聚四氟乙烯环)相隔开来，本实施例中的第二支撑件(聚四氟乙烯环)内径比旋转靶材内径大3mm，在所述底座和与之相邻的旋转靶材之间设置第三支撑件(O-ring圈)，所述第三支撑件为环状，套在所述背管上，将所述底座和与之相邻的旋转靶材隔开。

利用标准的水平块检测拼接处两节旋转靶材的表面高度，调节各个旋转靶材在同一水平线上，同时用密封件(耐热胶带)在拼接缝隙处进行密封，背管下方用紧固螺丝在底座上，得到装配后的旋转靶材。

对本实施例提供的装配后的旋转靶材的焊接性能测试的结果见表1。

实施例3

本实施例按照如下方法进行旋转靶材的装配：

首先将需拼接的旋转靶材(AZO陶瓷管)用铟焊料进行240℃加热浸润35min(伴有超声波处理表面)，同时将背管(不锈钢背管)用铟焊料进行240℃加热浸润40min(伴有超声波处理表面)，之后进行拼接。

将背管和6个旋转靶材进行拼接，旋转靶材套在背管上，背管竖直放置于底座上，拼接缝隙用第一支撑件(1mm铜丝)相隔开来，第一支撑件的形状为U型，且将U型的弧形部分弯曲翘起，第一支撑件全部保留在上下节旋转靶材内，U型的所述第一支撑件弯曲翘起的弧形部分位于拼接缝隙一侧的旋转靶材与背管之间，U型的直杆部分位于拼接缝隙另一侧的旋转靶材与背管之间。本实施例中，每个拼接缝隙中设置8个第一支撑件，它们沿着背管的外壁均匀排布。

旋转靶材拼接缝隙中间用第二支撑件(聚四氟乙烯环)相隔开来，本实施例中的第二支撑件(聚四氟乙烯环)内径比旋转靶材内径大1mm，在所述底座和与之相邻的旋转靶材之间设置第三支撑件(O-ring圈)，所述第三支撑件为环状，套在所述背管上，将所述底座和与之相邻的旋转靶材隔开。

利用标准的水平块检测拼接处两节旋转靶材的外径高度，调节各个旋转靶材在同一水平线上，同时用密封件(耐热胶带)在拼接缝隙处进行密封，背管下方用紧固螺丝在底座上，得到装配后的旋转靶材。

对本实施例提供的装配后的旋转靶材的焊接性能测试的结果见表1。

对比例1

本对比例提供的旋转靶材装配方法除了每个拼接缝隙中都不放置任何第一支撑件4之外，其他操作均与实施例1相同。

对本对比例提供的装配后的旋转靶材的焊接性能测试的结果见表1。

对比例2

本对比例提供的旋转靶材装配方法除了每个拼接缝隙中都不放置第二支撑件5之外，其他操作均与实施例1相同。

对本对比例提供的装配后的旋转靶材的焊接性能测试的结果见表1。

测试方法

对各实施例和对比例提供的装配后的旋转靶材采用如下方法进行焊接：用加热环包裹旋转靶材外表面、加热棒插入不锈钢背管内壁；然后对管靶整体进行加热，预热210℃后将钎焊料从顶部灌入，凝固后完成旋转靶材整体焊接。

各实施例和对比例的方法均提供50个装配后的旋转靶材进行上述焊接测试，采用C型超声波探伤仪测试焊接结合率，采用高精度卡尺、塞尺及水平尺测试焊接成品率。

测试结果如下表所示：

表1

	焊接结合率(％)	焊接成品率(％)
			实施例1	99％	99％
实施例2	99％	99％
			实施例3	99％	99％
对比例1	85％	60％
			对比例2	40％	0％

综合上述实施例和对比例可知，各实施例提供的旋转靶材的装配方法在第一支撑件和第二支撑件的配合作用下，可以使得到的装配后的旋转靶材在焊接时焊接结合率高(平均可达99％以上)，成品率高。

对比例1没有使用第一支撑件(铜丝)，导致旋转靶材在组装与焊接过程中偏心严重，影响焊接结合率及成品率。

对比例2没有使用第二支撑件(聚四氟乙烯环)，导致旋转靶材拼接缝大小直接不符合要求，而且加热、冷却过程中会出现略微膨胀与收缩现象，但是旋转靶材之间缺失聚四氟乙烯环保护，严重情况会造成旋转靶材质量受损。

申请人声明，本发明通过上述实施例来说明本发明的详细工艺设备和工艺流程，但本发明并不局限于上述详细工艺设备和工艺流程，即不意味着本发明必须依赖上述详细工艺设备和工艺流程才能实施。所属技术领域的技术人员应该明了，对本发明的任何改进，对本发明产品各原料的等效替换及辅助成分的添加、具体方式的选择等，均落在本发明的保护范围和公开范围之内。

Claims (23)

1.一种旋转靶材的装配方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

将至少两个旋转靶材套在背管上进行拼接，相邻两个旋转靶材之间形成拼接缝隙，在每个所述拼接缝隙中设置多个第一支撑件；每个所述第一支撑件均一部分位于拼接缝隙一侧的旋转靶材与背管之间，另一部分位于拼接缝隙另一侧的旋转靶材与背管之间；在每个所述拼接缝隙中设置第二支撑件，所述第二支撑件为环状，套在所述背管上，将形成旋转靶材的两个旋转靶材隔开；用密封件将对每个所述拼接缝隙进行密封，得到装配后的旋转靶材；

所述第一支撑件的形状为U型，且将U型的弧形部分弯曲翘起；

U型的所述第一支撑件弯曲翘起的弧形部分位于拼接缝隙一侧的旋转靶材与背管之间，U型的直杆部分位于拼接缝隙另一侧的旋转靶材与背管之间；

所述第二支撑件的内径比所述旋转靶材的内径大1-3mm。

2.根据权利要求1所述的装配方法，其特征在于，所述旋转靶材和背管在拼接前先进行浸润。

3.根据权利要求2所述的装配方法，其特征在于，所述浸润的方法为：用焊料加热浸润并用超声波处理表面液态焊料。

4.根据权利要求3所述的装配方法，其特征在于，所述焊料为铟。

5.根据权利要求3所述的装配方法，其特征在于，所述加热的温度为210-240℃。

6.根据权利要求3所述的装配方法，其特征在于，所述加热的时间为30-60min。

7.根据权利要求1所述的装配方法，其特征在于，所述第一支撑件为金属丝。

8.根据权利要求7所述的装配方法，其特征在于，所述金属丝为铜丝。

9.根据权利要求7所述的装配方法，其特征在于，所述金属丝的直径为0.6-1mm。

10.根据权利要求1所述的装配方法，其特征在于，所述第二支撑件为聚四氟乙烯环。

11.根据权利要求1所述的装配方法，其特征在于，所述背管包括不锈钢背管、钛背管或铜背管中的任意一种或至少两种的组合。

12.根据权利要求1所述的装配方法，其特征在于，所述旋转靶材包括掺铝氧化锌陶瓷管靶材和/或掺锡氧化铟陶瓷管靶材。

13.根据权利要求1所述的装配方法，其特征在于，所述背管竖直放置且固定在底座上。

14.根据权利要求13所述的装配方法，其特征在于，将背管固定在底座上的方法为螺丝紧固。

15.根据权利要求13所述的装配方法，其特征在于，在所述底座和与之相邻的旋转靶材之间设置第三支撑件，所述第三支撑件为环状，套在所述背管上，将所述底座和与之相邻的旋转靶材隔开。

16.根据权利要求15所述的装配方法，其特征在于，所述第三支撑件为O-ring圈。

17.根据权利要求1所述的装配方法，其特征在于，所述装配方法还包括：

在用密封件将对每个所述拼接缝隙进行密封之前，先调整各个旋转靶材的位置使其中心线均位于同一条直线上。

18.根据权利要求17所述的装配方法，其特征在于，调整各个旋转靶材的位置的方法为利用标准的水平块检测拼接缝隙处相邻两个旋转靶材的外表面以调整旋转靶材位置使其中心线均位于同一条直线上。

19.根据权利要求1所述的装配方法，其特征在于，所述密封件包括胶带。

20.根据权利要求19所述的装配方法，其特征在于，所述胶带为耐热胶带。

21.根据权利要求1所述的装配方法，其特征在于，每个所述拼接缝隙中设置4-8个第一支撑件。

22.根据权利要求21所述的装配方法，其特征在于，每个所述拼接缝隙中的第一支撑件沿着所述背管的外壁均匀排布。

23.根据权利要求1所述的装配方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

将至少两个旋转靶材套在背管上进行拼接，相邻两个旋转靶材之间形成拼接缝隙，在每个所述拼接缝隙中设置4-8个第一支撑件， 每个所述拼接缝隙中的第一支撑件沿着所述背管的外壁均匀排布；第一支撑件为直径0.6-1mm的铜丝，其形状为U型，且将U型的弧形部分弯曲翘起，每个所述第一支撑件弯曲翘起的弧形部分位于拼接缝隙一侧的旋转靶材与背管之间，U型的直杆部分位于拼接缝隙另一侧的旋转靶材与背管之间；

在每个所述拼接缝隙中设置第二支撑件，所述第二支撑件为聚四氟乙烯环，套在所述背管上，将形成旋转靶材的两个旋转靶材隔开；所述第二支撑件的内径比所述旋转靶材的内径大1-3mm；

所述背管为不锈钢背管，所述背管竖直放置且用螺丝固定在底座上，在所述底座和与之相邻的旋转靶材之间设置第三支撑件，所述第三支撑件为环状，套在所述背管上，将所述底座和与之相邻的旋转靶材隔开，所述第三支撑件为O-ring圈；

调整各个旋转靶材的位置使其中心线均位于同一条直线上，用密封件将对每个所述拼接缝隙进行密封，得到装配后的旋转靶材；所述密封件为耐热胶带；

其中，所述旋转靶材和背管在拼接前先用焊料进行210-240℃加热浸润并用超声波处理表面液态焊料，所述旋转靶材为掺铝氧化锌陶瓷管靶材。

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